專利名稱：帶導(dǎo)電軸的壓電柱的超聲微電機(jī)及其電極的極化、激勵(lì)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
一種帶導(dǎo)電軸的壓電柱的超聲微電機(jī)及其電極的極化、激勵(lì)方法，屬于超聲波微電機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一類彎曲振動(dòng)模態(tài)的超聲波微電機(jī)。
2、體積小、結(jié)構(gòu)靈活，功率體積比是電磁電機(jī)的3-10倍。
3、起動(dòng)停止響應(yīng)快，響應(yīng)時(shí)間小于1毫秒。
4、不產(chǎn)生電磁干擾，也不受電磁干擾。
5、有自保持力矩，無(wú)齒輪間隙，可精密定位。
6、運(yùn)行安靜無(wú)噪聲。
彎曲振動(dòng)模態(tài)超聲波電機(jī)是超聲電機(jī)的一種，它的結(jié)構(gòu)相對(duì)別的超聲電機(jī)比較簡(jiǎn)單，同樣主要由激勵(lì)超聲振動(dòng)的定子，輸出力矩的轉(zhuǎn)子/軸以及給轉(zhuǎn)子加壓的預(yù)壓力機(jī)構(gòu)等組成，所說(shuō)的定子又主要由激勵(lì)振動(dòng)的壓電陶瓷元件以及匹配塊構(gòu)成。同時(shí)彎曲振動(dòng)模態(tài)超聲波電機(jī)又根據(jù)激勵(lì)彎曲搖頭振動(dòng)的方式和壓電陶瓷元件的形狀分為壓電片驅(qū)動(dòng)電機(jī)、壓電管驅(qū)動(dòng)電機(jī)。它們的傳動(dòng)原理和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)都相同，如

圖1所示。定子處于圓周搖頭的振動(dòng)模態(tài)，定子11與環(huán)狀轉(zhuǎn)子12之間有一很小的間隙，傳動(dòng)時(shí)定子邊彎曲邊搖頭運(yùn)動(dòng)，因此定、轉(zhuǎn)子之間有切點(diǎn)接觸，其接觸點(diǎn)在定子的外圓周邊上移動(dòng)，依次，定、轉(zhuǎn)子間的摩擦力使轉(zhuǎn)子沿與接觸點(diǎn)移動(dòng)方向相反的方向轉(zhuǎn)動(dòng)。
現(xiàn)有的三種激勵(lì)彎曲搖頭振動(dòng)方式如圖2、圖5和圖6所示圖2為已有的壓電片激勵(lì)彎曲搖頭振動(dòng)的原理圖，所用的壓電陶瓷元件為4片壓電片。在同一壓電片上以直徑對(duì)稱分兩半反相極化，通A相電流的兩片壓電片21和通B相電流的兩片壓電片22空間垂直排列，兩相均采用朗之萬(wàn)夾心結(jié)構(gòu)組成定子，同時(shí)A相輸入Sin信號(hào)，B相輸入Cos信號(hào)，這樣采用時(shí)間和空間各90度相位差來(lái)激勵(lì)彎曲振動(dòng)；這種壓電片激勵(lì)的彎曲振動(dòng)模態(tài)超聲波電機(jī)結(jié)構(gòu)如圖3所示，上、下匹配塊36、38夾緊4片壓電陶瓷片37后共同構(gòu)成電機(jī)的定子，置于定子上的轉(zhuǎn)子35為空心結(jié)構(gòu)，其中空部位有施加預(yù)壓力的彈簧34，力矩通過(guò)齒輪33輸出，32為聚四氟乙烯套，起軸承的作用，31為墊圈，39為主軸，33為螺母。
圖4為已有的壓電管激勵(lì)彎曲搖頭振動(dòng)的原理圖，所用的壓電陶瓷元件為壓電管。壓電管由外壁向內(nèi)壁均勻極化，在使用時(shí)其內(nèi)電極接地，外壁涂有四個(gè)均勻分布的外電極45，依次在41、42、43和44四極上通入sinωt，cosωt，-sinωt，-cosωt信號(hào)激勵(lì)。這種壓電管激勵(lì)的彎曲振動(dòng)模態(tài)超聲波電機(jī)結(jié)構(gòu)如圖5所示，壓電管51兩端接兩個(gè)金屬帽52構(gòu)成電機(jī)定子，兩端的轉(zhuǎn)子53用螺母55和彈簧54擰在軸56上。
上述彎曲振動(dòng)模態(tài)超聲波電機(jī)的主要優(yōu)勢(shì)就是易于實(shí)現(xiàn)微型化和產(chǎn)業(yè)化。到目前為止做的最小的超聲電機(jī)是新加坡國(guó)立大學(xué)的直徑為1.5mm的搖頭電機(jī)，該電機(jī)用壓電陶瓷管來(lái)激勵(lì)電機(jī)的彎曲振動(dòng)，但壓電管和壓電片由于要考慮內(nèi)徑，所以要進(jìn)一步小型化比較困難。
本發(fā)明所述的帶導(dǎo)電軸的壓電柱的超聲微電機(jī)，其特征在于它是一種彎曲振動(dòng)模態(tài)的超聲微電機(jī)，所述的壓電陶瓷元件為具有同軸地內(nèi)接著導(dǎo)電軸且其外壁涂有四個(gè)均勻分布的供極化和激勵(lì)振動(dòng)用的外電極的壓電柱。它具有磁力定位結(jié)構(gòu)，所述的匹配塊是與壓電柱粘結(jié)成一體的凹形磁性金屬匹配塊，所述的轉(zhuǎn)子是與上述匹配塊的凹面摩擦接觸且形成預(yù)壓力的磁性(鋼)球。它是力矩軸輸出結(jié)構(gòu)的，所述的匹配塊是其底面與壓電柱粘接成一體且上下表面各有一沿中心線相通的凹形圓孔的，所述的轉(zhuǎn)子是置于匹配塊上相摩擦接觸且同時(shí)又鍵合著一根下端固定有一個(gè)直徑比軸徑稍大且被匹配塊下凹面反扣定位的小圓盤(pán)的力矩輸出軸的，所述的預(yù)壓力機(jī)構(gòu)是由同軸地套在力矩輸出軸外且依次緊壓著轉(zhuǎn)子上端面的彈簧，墊圈和螺母構(gòu)成的。它是固定軸結(jié)構(gòu)的，所述的匹配塊在其上凹面上整體地加工有一個(gè)作電機(jī)固定軸用的小軸而其下端面是與壓電柱粘接的，所述的轉(zhuǎn)子是與上述小軸同軸相套的，所述的預(yù)壓力機(jī)構(gòu)是由與上述小軸同軸且依次緊壓著轉(zhuǎn)子的彈簧，墊圈和螺母構(gòu)成的。它是外殼卡定結(jié)構(gòu)的，所述的匹配塊是下端面與壓電柱粘接且?guī)в猩习济娴模龅霓D(zhuǎn)子是其中間整體地加工有一個(gè)作力矩輸出軸用的細(xì)棒而且整個(gè)是置于匹配塊之上的，所述的預(yù)壓力機(jī)構(gòu)是由和壓電柱下端面粘接的金屬底座，下端側(cè)面和上述金屬底座螺紋固定的外殼，從下而上依次壓在轉(zhuǎn)子上端面上的彈簧、墊圈和上端面被外殼卡緊的橡膠墊構(gòu)成的。它是固定軸結(jié)構(gòu)的，所述的匹配塊是下端面與壓電柱粘接且?guī)в猩习济娴?，所述的轉(zhuǎn)子是置于匹配塊上且摩擦接觸的所述的導(dǎo)電軸是不僅同軸地內(nèi)接于壓電柱內(nèi)且也同軸地穿過(guò)匹配塊和轉(zhuǎn)子的一根電機(jī)固定軸，所述預(yù)壓力機(jī)構(gòu)是由與導(dǎo)電軸且依次緊壓在轉(zhuǎn)子上端面的彈簧、墊圈和螺母構(gòu)成的。
本發(fā)明所述的帶導(dǎo)電軸的壓電柱的超聲微電機(jī)的電極的極化方法，其特征在于它可以是下列三種方法中的任何一種
(1)以導(dǎo)電軸為一個(gè)電極，在壓電柱側(cè)面均勻涂上四份銀電極后再把他們并聯(lián)成另一電極，然后沿徑向按常規(guī)壓電陶瓷的極化方法進(jìn)行極化；(2)以導(dǎo)電軸為一個(gè)電極，側(cè)面均勻涂上四份銀電極后其相鄰的兩份銀電極并聯(lián)后成為另一電極，沿徑向進(jìn)行正向極化；以導(dǎo)電軸為一個(gè)電極，側(cè)面已均勻涂上銀電極的另外兩份相鄰的電極并聯(lián)后成為另一電極，沿徑向進(jìn)行反向極化；(3)在壓電柱的側(cè)面上均勻涂上金屬全電極；以導(dǎo)電軸為一個(gè)電極側(cè)面全電極為另一個(gè)電極，再按常規(guī)壓電陶瓷的極化方法進(jìn)行極化；極化后，把側(cè)面全電極均勻分為4份。
本發(fā)明所述的帶導(dǎo)電軸的壓電柱的超聲微電機(jī)的電極的激勵(lì)方法，其特征在于在已極化的具有導(dǎo)電軸的壓電柱側(cè)面的四個(gè)電極上分別焊上導(dǎo)線后，可以按下述兩種激勵(lì)振動(dòng)方法中的任何一種進(jìn)行激勵(lì)(1)在以導(dǎo)電軸為一個(gè)電極，在壓電柱側(cè)面均勻涂上四份銀電極后再把他們并聯(lián)成另一電極，然后按常規(guī)壓電陶瓷的極化方法進(jìn)行極化的情況下，在四份電極上同時(shí)分別加Sin、Cos、-Sin、-Cos四路交流信號(hào)使壓電柱產(chǎn)生所需的彎曲搖頭振動(dòng)；只要交換任意兩路信號(hào)，電機(jī)反向運(yùn)轉(zhuǎn)；(2)在以導(dǎo)電軸為一個(gè)電極，側(cè)面均勻涂上四份銀電極后，其相鄰的兩份銀電極并聯(lián)成為另一電極，沿徑向進(jìn)行正向極化；以導(dǎo)電軸為一個(gè)電極，側(cè)面已均勻涂上銀電極的另外兩份相鄰的電極并聯(lián)后成為另一電極，沿徑向進(jìn)行反向極化的情況下在相對(duì)角的一對(duì)電極上加Sin信號(hào)，在另一相對(duì)角的電極上加Cos信號(hào)，使壓電柱產(chǎn)生所需的彎曲搖頭振動(dòng)；上述兩路信號(hào)交換，電機(jī)反向運(yùn)轉(zhuǎn)。
(3)當(dāng)在壓電柱的側(cè)面上均勻涂上金屬全電極；以導(dǎo)電軸為一個(gè)電極，側(cè)面全電極為另一個(gè)電極，再按常規(guī)壓電陶瓷的極化方法進(jìn)行極化并在極化后把側(cè)面全電極分為4份的情況下，在四份電極上同時(shí)分別加Sin、Cos、-Sin、-Cos四路交流信號(hào)使壓電柱產(chǎn)生所需的彎曲搖頭振動(dòng)；只要交換任意兩路信號(hào)，電機(jī)反向運(yùn)轉(zhuǎn)。
實(shí)踐證明它達(dá)到了進(jìn)一步微型化的目的。
圖2為通過(guò)壓電片激勵(lì)彎曲搖頭振動(dòng)的原理示意圖。
圖3為已有的壓電片激勵(lì)彎曲搖頭電機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖4為通過(guò)壓電管激勵(lì)彎曲搖頭振動(dòng)的原理示意圖。
圖5為已有的壓電管激勵(lì)彎曲搖頭電機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖6(a)為已有的壓電柱分極示意圖，(b)為已有的壓電柱超聲微電機(jī)。
圖7為具有長(zhǎng)導(dǎo)電軸的壓電柱極化和引線示意圖。
圖8為具有短導(dǎo)電軸的壓電柱極化和引線示意圖。
圖9為具有短導(dǎo)電軸的圓柱微超聲電機(jī)實(shí)施例一——磁力定位電機(jī)結(jié)構(gòu)示意圖。
圖10為具有短導(dǎo)電軸的圓柱微超聲電機(jī)實(shí)施例二——力矩軸輸出電機(jī)結(jié)構(gòu)示意圖。
圖11為具有短導(dǎo)電軸的圓柱微超聲電機(jī)實(shí)施例三——固定軸電機(jī)結(jié)構(gòu)示意圖。
圖12為具有導(dǎo)電軸的圓柱微超聲電機(jī)實(shí)施例四——外殼卡定電機(jī)結(jié)構(gòu)示意圖。
圖13為具有長(zhǎng)導(dǎo)電軸的圓柱微超聲電機(jī)實(shí)施例五——固定軸電機(jī)結(jié)構(gòu)示意圖。
本發(fā)明提出一種具有導(dǎo)電軸的壓電柱式彎曲旋轉(zhuǎn)超聲波微電機(jī)。它由激勵(lì)超聲振動(dòng)的定子，輸出力矩的轉(zhuǎn)子/軸以及給轉(zhuǎn)子加壓的預(yù)壓力機(jī)構(gòu)組成，所說(shuō)的定子主要由激勵(lì)振動(dòng)的壓電陶瓷元件以及匹配塊構(gòu)成，激勵(lì)彎曲振動(dòng)的壓電陶瓷元件為具有導(dǎo)電軸的壓電柱，即在壓電柱內(nèi)嵌有一根導(dǎo)電軸供極化用(圖7中76，或圖8中86)，壓電柱的外壁涂有四個(gè)均勻分布的外電極71～74或81～84，外電極與導(dǎo)線連接，供激勵(lì)振動(dòng)所用。
以下用圖7來(lái)說(shuō)明壓電柱75上電極的極化方法。先在四份電極71～74上均勻涂上銀電極。然后，可以用長(zhǎng)導(dǎo)電軸76作一個(gè)電極，在4個(gè)并聯(lián)的電極71～74和長(zhǎng)導(dǎo)電軸76之間通入高壓直流電進(jìn)行徑向極化。也可以用長(zhǎng)導(dǎo)電軸76作一個(gè)電極，其中任意相鄰的二個(gè)電極71和73相并聯(lián)構(gòu)成另一電極，在兩者之間沿徑向進(jìn)行正向極化；再用長(zhǎng)導(dǎo)電軸76作一個(gè)電極，另外兩個(gè)相鄰的電極72和74并聯(lián)后構(gòu)成另一個(gè)電極，在兩者之間沿徑向進(jìn)行反向極化。還可以在壓電柱75的整個(gè)側(cè)面均勻涂上全電極，以長(zhǎng)導(dǎo)電軸76作另一個(gè)電極，在兩者之間沿徑向極化，極化后再把側(cè)面電極沿軸向均勻分成四份電極。
以下還用圖7來(lái)說(shuō)明壓電柱75上電極的激勵(lì)振動(dòng)方法。先在四個(gè)電極71～74上分別焊上焊片和導(dǎo)線。
對(duì)上述(1)(3)極化的，可以同時(shí)在四份電極71-74上分別加Sin、Cos、-Sin、-Cos四路交流信號(hào)，則可激勵(lì)該壓電柱75產(chǎn)生所需彎曲搖頭振動(dòng)。交換其中任意兩路信號(hào)，則電機(jī)彎曲搖頭振動(dòng)反向。對(duì)上述(2)極化的，可以把電極71和74并聯(lián)后再加Sin交流信號(hào)，把電極72和73并聯(lián)后再加Cos交流信號(hào)，則可激勵(lì)該壓電柱75產(chǎn)生所需的彎曲搖頭振動(dòng)。兩路交流信號(hào)相互交換，則電機(jī)彎曲搖頭振動(dòng)反向。
本發(fā)明設(shè)計(jì)的超聲電機(jī)可加工的尺寸為0.3mm到3mm之間，大大的促進(jìn)了超聲電機(jī)的微型化。在輸入電信號(hào)的峰值約(2-6)V時(shí)，轉(zhuǎn)子可以在定子表面上明顯轉(zhuǎn)動(dòng)起來(lái)。本發(fā)明將在生物、醫(yī)療、微機(jī)械、國(guó)防科技等方面有著廣闊的應(yīng)用前景。
權(quán)利要求
1.帶導(dǎo)電軸的壓電柱的超聲微電機(jī)，含有由匹配塊和壓電陶瓷元件構(gòu)成的定子，轉(zhuǎn)子及預(yù)壓力機(jī)構(gòu)，其特征在于它是一種彎曲振動(dòng)模態(tài)的超聲微電機(jī)，所述的壓電陶瓷元件為具有同軸地內(nèi)接著導(dǎo)電軸且其外壁涂有四個(gè)均勻分布的供極化和激勵(lì)振動(dòng)用的外電極的壓電柱。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的帶導(dǎo)電軸的壓電柱的超聲微電機(jī)，其特征在于它具有磁力定位結(jié)構(gòu)，所述的匹配塊是與壓電柱粘結(jié)成一體的凹形磁性金屬匹配塊，所述的轉(zhuǎn)子是與上述匹配塊的凹面摩擦接觸且形成預(yù)壓力的磁性(鋼)球。
3.根據(jù)權(quán)利要求1的帶導(dǎo)電軸的壓電柱的超聲微電機(jī)，其特征在于它是力矩軸輸出結(jié)構(gòu)的，所述的匹配塊是其底面與壓電柱粘接成一體且上下表面各有一沿中心線相通的凹形圓孔的，所述的轉(zhuǎn)子是置于匹配塊上相摩擦接觸且同時(shí)又鍵合著一根下端固定有一個(gè)直徑比軸徑稍大且被匹配塊下凹面反扣定位的小圓盤(pán)的力矩輸出軸的，所述的預(yù)壓力機(jī)構(gòu)是由同軸地套在力矩輸出軸外且依次緊壓著轉(zhuǎn)子上端面的彈簧，墊圈和螺母構(gòu)成的。
4.根據(jù)權(quán)利要求1的帶導(dǎo)電軸的壓電柱的超聲微電機(jī)，其特征在于它是固定軸結(jié)構(gòu)的，所述的匹配塊在其上凹面上整體地加工有一個(gè)作電機(jī)固定軸用的小軸而其下端面是與壓電柱粘接的，所述的轉(zhuǎn)子是與上述小軸同軸相套的，所述的預(yù)壓力機(jī)構(gòu)是由與上述小軸同軸且依次緊壓著轉(zhuǎn)子的彈簧，墊圈和螺母構(gòu)成的。
5.根據(jù)權(quán)利要求1的帶導(dǎo)電軸的壓電柱的超聲微電機(jī)，其特征在于它是外殼卡定結(jié)構(gòu)的，所述的匹配塊是下端面與壓電柱粘接且?guī)в猩习济娴模龅霓D(zhuǎn)子是其中間整體地加工有一個(gè)作力矩輸出軸用的細(xì)棒而且整個(gè)是置于匹配塊之上的，所述的預(yù)壓力機(jī)構(gòu)是由和壓電柱下端面粘接的金屬底座，下端側(cè)面和上述金屬底座螺紋固定的外殼，從下而上依次壓在轉(zhuǎn)子上端面上的彈簧、墊圈和上端面被外殼卡緊的橡膠墊構(gòu)成的。
6.根據(jù)權(quán)利要求1的帶導(dǎo)電軸的壓電柱的超聲微電機(jī)，其特征在于它是固定軸結(jié)構(gòu)的，所述的匹配塊是下端面與壓電柱粘接且?guī)в猩习济娴模龅霓D(zhuǎn)子是置于匹配塊上且摩擦接觸的，所述的導(dǎo)電軸是不僅同軸地內(nèi)接于壓電柱內(nèi)且也同軸地穿過(guò)匹配塊和轉(zhuǎn)子的一根電機(jī)固定軸，所述預(yù)壓力機(jī)構(gòu)是由與導(dǎo)電軸同軸且依次緊壓在轉(zhuǎn)子上端面的彈簧、墊圈和螺母構(gòu)成的。
7.帶導(dǎo)電軸的壓電柱的超聲微電機(jī)的電極的極化方法，其特征在于它可以是下列三種方法中的任何一種(1)以導(dǎo)電軸為一個(gè)電極，在壓電柱側(cè)面均勻涂上四份銀電極后再把他們并聯(lián)成另一電極，然后按常規(guī)壓電陶瓷的極化方法進(jìn)行極化；(2)以導(dǎo)電軸為一個(gè)電極，側(cè)面均勻涂上四份銀電極后，其相鄰的兩份銀電極并聯(lián)成為另一電極，沿徑向進(jìn)行正向極化；以導(dǎo)電軸為一個(gè)電極，側(cè)面已均勻涂上銀電極的另外兩份相鄰的電極并聯(lián)后成為另一電極，沿徑向進(jìn)行反向極化；(3)在壓電柱的側(cè)面上均勻涂上金屬全電極；以導(dǎo)電軸為一個(gè)電極，側(cè)面全電極為另一個(gè)電極，再按常規(guī)壓電陶瓷的極化方法進(jìn)行極化；極化后，把側(cè)面全電極分為4份。
8.帶導(dǎo)電軸的壓電柱的超聲微電機(jī)的電極的激勵(lì)方法，其特征在于在已極化的具有導(dǎo)電軸的壓電柱側(cè)面的四個(gè)電極上分別焊上導(dǎo)線后，可以按下述兩種激勵(lì)振動(dòng)方法中的任何一種進(jìn)行激勵(lì)(1)在以導(dǎo)電軸為一個(gè)電極，在壓電柱側(cè)面均勻涂上四份銀電極后再把他們并聯(lián)成另一電極，然后按常規(guī)壓電陶瓷的極化方法進(jìn)行極化的情況下，在四份電極上同時(shí)分別加Sin、Cos、-Sin、-Cos四路交流信號(hào)使壓電柱產(chǎn)生所需的彎曲搖頭振動(dòng)；只要交換任意兩路信號(hào)，電機(jī)反向運(yùn)轉(zhuǎn)；(2)在以導(dǎo)電軸為一個(gè)電極，側(cè)面均勻涂上四份銀電極后，其相鄰的兩份銀電極并聯(lián)成為另一電極，沿徑向進(jìn)行正向極化；以導(dǎo)電軸為一個(gè)電極，側(cè)面已均勻涂上銀電極的另外兩份相鄰的電極并聯(lián)后成為另一電極，沿徑向進(jìn)行反向極化的情況下在相對(duì)角的一對(duì)電極上加Sin信號(hào)，在另一相對(duì)角的電極上加Cos信號(hào)，使壓電柱產(chǎn)生所需的彎曲搖頭振動(dòng)；上述兩路信號(hào)交換，電機(jī)反向運(yùn)轉(zhuǎn)。(3)當(dāng)在壓電柱的側(cè)面上均勻涂上金屬全電極；以導(dǎo)電軸為一個(gè)電極，側(cè)面全電極為另一個(gè)電極，再按常規(guī)壓電陶瓷的極化方法進(jìn)行極化并在極化后把側(cè)面全電極分為4份的情況下，在四份電極上同時(shí)分別加Sin、Cos、-Sin、-Cos四路交流信號(hào)使壓電柱產(chǎn)生所需的彎曲搖頭振動(dòng)；只要交換任意兩路信號(hào)，電機(jī)反向運(yùn)轉(zhuǎn)。
全文摘要
帶導(dǎo)電軸的壓電柱的超聲微電機(jī)及其電極的極化、激勵(lì)方法屬于彎曲振動(dòng)模態(tài)超聲微電機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，其特征在于定子含有用于激勵(lì)振動(dòng)的內(nèi)接著導(dǎo)電軸的壓電柱和匹配塊，該壓電柱外壁涂有四個(gè)均勻分布的供極化和激勵(lì)振動(dòng)用的外電極。極化時(shí)以導(dǎo)電軸為一極，四個(gè)電極并聯(lián)后為另一極進(jìn)行徑向極化；也可以導(dǎo)電軸為一極，相鄰的兩對(duì)電極各作為一極，分別沿徑向做正向和反向極化。激勵(lì)時(shí)，四份電極焊上焊片和導(dǎo)線后，同時(shí)分別加Sin、Cos、－Sin、－Cos四路交流信號(hào)；也可在相對(duì)角的兩對(duì)電極上分別加Sin、Cos交流信號(hào)。電機(jī)便會(huì)作彎曲搖頭振動(dòng)。本電機(jī)可加工的尺寸為0.3mm～3mm之間，促進(jìn)了超聲電機(jī)的微型化。在輸入電信號(hào)的峰值為2V～6V時(shí)，轉(zhuǎn)子可在定子表面明顯轉(zhuǎn)動(dòng)。它在生物、醫(yī)療、微機(jī)械、軍工業(yè)有廣泛應(yīng)用前景。
文檔編號(hào)H02N2/10GK1440115SQ0210068
公開(kāi)日2003年9月3日 申請(qǐng)日期2002年2月22日 優(yōu)先權(quán)日2002年2月22日
發(fā)明者周鐵英, 郭釗, 張凱, 姜開(kāi)利, 陳宇 申請(qǐng)人:清華大學(xué)