一種硅片表面氣體鈍化處理的處理后氣體破除器的制造方法
【專利摘要】本實用新型提出一種硅片表面氣體鈍化處理的處理后氣體破除器包括進氣口、反應腔、出氣口以及底部支架，所述進氣口與硅片噴淋組件下方的抽風裝置的出氣口連接，所述出氣口與抽風機連接，所述進氣口與反應腔、反應腔與出氣口之間采用法蘭連接，所述反應腔的上部與進氣口之間設有濾網，所述反應腔的下部與出氣口之間也設有濾網。本實用新型的破除器采用法蘭連接，便于拆卸維護；通過濾網設置避免雜質進入反應腔以及避免反應腔內的金屬氧化物漏出，提高臭氧分解的效率和破除器的使用壽命。
【專利說明】
一種硅片表面氣體鈍化處理的處理后氣體破除器
技術領域
[0001]本發(fā)明涉及光伏太陽能電池制造技術領域，特別涉及一種光伏電池硅片表面氣體鈍化處理的處理后氣體破除器。
【背景技術】
[0002]為了應對傳統(tǒng)的石化燃料的大規(guī)模使用造成的日益嚴峻的環(huán)境問題，大力發(fā)展清潔能源如太陽能光伏發(fā)電越來越受到重視，而不斷降低光伏發(fā)電的成本，提高發(fā)電效率是其能夠得以不斷推廣的重要的因素。
[0003]目前在光伏領域使用最多的是硅基板太陽電池，為了提高其發(fā)電效率，需要對硅基板表面進行制絨處理再進行表面鈍化，目前采用比較多的工藝是采用臭氧氣體進行硅片表面鈍化，在鈍化過程中，一邊要通過氣體噴淋組件不斷地向硅片表面均勻吹送一定濃度的臭氧氣體，同時，為了避免臭氧氣體泄露對環(huán)境造成污染，還需要將硅片表面反應后的反應氣體通過抽風裝置吸走，將反應氣體內的有害氣體如臭氧分解后再排放，因此需要設計一種配合抽風裝置使用的臭氧破除器來解決這個問題，同時要兼顧臭氧破除器的使用壽命以及維修便利等問題。
【實用新型內容】
[0004]針對現有工藝中的使用需求，本實用新型的目的是提供一種配合硅片表面氣體鈍化處理設備使用的臭氧破除器，以此避免有害氣體對大氣造成污染。
[0005]為達到本實用新型的目的，本實用新型的一種硅片表面氣體鈍化處理的處理后氣體破除器包括進氣口、反應腔、出氣口以及底部支架，所述進氣口與硅片噴淋組件下方的抽風裝置的出氣口連接，所述出氣口與抽風機連接，所述進氣口與反應腔、反應腔與出氣口之間采用法蘭連接，所述反應腔的上部與進氣口之間設有濾網，所述反應腔的下部與出氣口之間也設有濾網。
[0006]優(yōu)選的，所述反應腔的上部與進氣口之間的濾網設有兩個。
[0007]再優(yōu)選的，所述兩層濾網上面的濾網孔徑比下面的濾網孔徑大。
[0008]本實用新型的有益效果是，所述硅片表面氣體鈍化處理的處理后氣體破除器采用法蘭連接，便于拆卸維護;通過濾網設置避免雜質進入反應腔以及避免反應腔內的金屬氧化物漏出，提高臭氧分解的效率和破除器的使用壽命。
【附圖說明】
[0009]通過下面結合附圖的詳細描述，本實用新型前述的和其他的目的、特征和優(yōu)點將變得顯而易見。其中:
[0010]圖1所示為本實用新型的一實施例的硅片表面氣體鈍化處理的處理后氣體破除器的結構示意圖；
[0011]圖2所示為圖1的A-A向剖面視圖；
[0012]圖3所示為圖1的第二層濾網的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0013]結合附圖本實用新型的結構及特點詳述如下。
[0014]參見圖1所示的本實用新型的硅片表面氣體鈍化處理的處理后氣體破除器的結構示意圖，所述的處理后氣體破除器包括進氣口 10、反應腔20、出氣口 30以及底部支架40，所述進氣口 10與硅片噴淋組件下方的抽風裝置的出氣孔連接，所述出氣口 20與抽風機(未圖示)連接，所述進氣口 10與反應腔20、反應腔20與出氣口 30之間采用法蘭12連接，如此，可以便于破除器的裝卸和維護，而不是像現有的很多反應腔通過焊接或其他方式密閉的臭氧破除器，不能進行拆卸和維修;所述反應腔20的上部與進氣口 10之間設有濾網，所述反應腔的下部與出氣口之間也設有濾網26;所述底部支架40與下面的法蘭12固定。
[0015]在一優(yōu)選的實施方式中，所述反應腔的上部與進氣口之間的濾網設有兩層，即如圖1所示的濾網22和24，一并參見圖2及圖3，濾網22的孔徑比濾網24大，用以過濾到尺寸較大的雜質，如較大的硅片碎片等;孔徑較小的濾網24再進行第二級過濾，避免硅片碎片等雜質進入反應腔20中。
[0016]反應腔20中為金屬氧化物反應媒介，用以將處理后氣體中的臭氧分解成氧氣，然后經抽風機抽出直接排放。
[0017]在反應腔20的下部設置濾網26，其用以阻止反應腔20的金屬氧化物反應媒介被抽風機抽走，保證臭氧分解的效果，延長破除器的使用壽命，在一優(yōu)選的實施方式中，考慮到加工成本，濾網24和濾網26可以采用同樣規(guī)格的濾網。
[0018]綜上所述，本實用新型的硅片表面氣體鈍化處理的處理后氣體破除器采用法蘭連接，便于拆卸維護;通過濾網設置避免雜質進入反應腔以及避免反應腔內的金屬氧化物漏出，提高臭氧分解的效率和破除器的使用壽命。
[0019]本實用新型并不局限于所述的實施例，本領域的技術人員在不脫離本實用新型的精神即公開范圍內，仍可作一些修正或改變，故本實用新型的權利保護范圍以權利要求書限定的范圍為準。
【主權項】
1.一種硅片表面氣體鈍化處理的處理后氣體破除器，其特征在于，所述破除器包括進氣口、反應腔、出氣口以及底部支架，所述進氣口與硅片噴淋組件下方的抽風裝置的出氣口連接，所述出氣口與抽風機連接，所述進氣口與反應腔、反應腔與出氣口之間采用法蘭連接，所述反應腔的上部與進氣口之間設有濾網，所述反應腔的下部與出氣口之間也設有濾網。2.如權利要求1所述的硅片表面氣體鈍化處理的處理后氣體破除器，其特征在于，所述反應腔的上部與進氣口之間的濾網設有兩個。3.如權利要求2所述的硅片表面氣體鈍化處理的處理后氣體破除器，其特征在于，所述兩層濾網上面的濾網孔徑比下面的濾網孔徑大。
【文檔編號】H01L31/18GK205621758SQ201620467550
【公開日】2016年10月5日
【申請日】2016年5月20日
【發(fā)明人】王振交, 艾凡凡, 韓培育
【申請人】蘇州中世太新能源科技有限公司