一種晶圓生產(chǎn)用壓環(huán)的制作方法
【技術(shù)領域】
[0001 ] 本實用新型涉及一種用于生產(chǎn)晶圓的壓環(huán)。
【背景技術(shù)】
[0002]在生產(chǎn)晶圓的過程中，濕法蝕刻沒有方向性，缺乏導向，故而大多采用干法蝕刻。而干法蝕刻利用到射頻，以此給予化學離子以方向性，射頻的發(fā)生過程中會產(chǎn)生高溫，故而我們需要在晶圓(產(chǎn)品)的背面施以氣體經(jīng)行冷卻處理，如此兩個方向的施壓會造成晶圓的移動，所以我們工藝中需要固件來固定晶圓，而此固件就是壓環(huán)(一部分陶瓷，一部分金屬)。如圖1所示，現(xiàn)有工藝采用的壓環(huán)100呈圓形，即產(chǎn)品周邊一圈都不能最終使用。圖1中晶圓200上圖形全覆蓋，被壓環(huán)100所影響的芯片有一百顆左右，按十元一顆，結(jié)果損失一千元。從而對工藝使用中的原材料浪費很多，工藝原材料(圓形)邊圈全部浪費。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實用新型的目的在于提供一種晶圓生產(chǎn)用壓環(huán)，只有八個點接觸產(chǎn)品，并且均勻受力，將生產(chǎn)面積擴為最廣。
[0004]實現(xiàn)上述目的的技術(shù)方案是:
[0005]一種晶圓生產(chǎn)用壓環(huán)，包括環(huán)形的壓環(huán)本體，該壓環(huán)本體的內(nèi)圓半徑等于晶圓半徑，所述壓環(huán)本體沿內(nèi)圓周邊面向圓心地延伸有2N個壓爪，N為正整數(shù)；該2N個壓爪圍繞圓心環(huán)形陣列。
[0006]在上述的晶圓生產(chǎn)用壓環(huán)中，所述壓爪長度為5mm。
[0007]在上述的晶圓生產(chǎn)用壓環(huán)中，所述壓爪的數(shù)量為8個。
[0008]在上述的晶圓生產(chǎn)用壓環(huán)中，所述壓環(huán)本體包括環(huán)形的金屬壓環(huán)，以及包裹該金屬壓環(huán)的陶瓷殼體。
[0009]本實用新型的有益效果是:本實用新型通過將金屬壓環(huán)從圓周型加工成八爪型，可以讓同等產(chǎn)品原材料的情況下產(chǎn)出更多的最終成品，從而節(jié)約材料，減少原材料的浪費，制造更多的利潤。
【附圖說明】
[0010]圖1是現(xiàn)有技術(shù)中壓環(huán)的表面結(jié)構(gòu)圖；
[0011]圖2是本實用新型的晶圓生產(chǎn)用壓環(huán)的表面結(jié)構(gòu)圖。
【具體實施方式】
[0012]下面將結(jié)合附圖對本實用新型作進一步說明。
[0013]請參閱圖2，本實用新型的晶圓生產(chǎn)用壓環(huán)，包括環(huán)形的壓環(huán)本體I。壓環(huán)本體I包括環(huán)形的金屬壓環(huán)以及包裹該金屬壓環(huán)的陶瓷殼體，從而保護金屬部分不被射頻擊穿而改變并產(chǎn)生金屬離子。
[0014]壓環(huán)本體I的內(nèi)圓半徑等于晶圓200半徑。壓環(huán)本體I沿內(nèi)圓周邊面向圓心地延伸有2N個壓爪2，N為正整數(shù)。該2N個壓爪2圍繞圓心環(huán)形陣列。本實施例中，壓爪2的數(shù)量為8個，壓爪2的長度為5_。這樣，壓環(huán)接觸產(chǎn)品點從一大圈，改造成八個接觸點，可以讓同等產(chǎn)品原材料的情況下產(chǎn)出更多的最終成品，從而節(jié)約材料，減少原材料的浪費，制造更多的利潤。
[0015]如圖1所示，現(xiàn)有的壓環(huán)100為圓形全接觸產(chǎn)品式，而晶圓200內(nèi)圖形為矩形，故而晶圓200周邊一圈(從邊緣向中心延伸5_，外加圖形不能被接觸到，最終向內(nèi)延伸至少8mm不能有圖形)，最終成圖(以我們1*8模板為例)現(xiàn)有709個圖形，圖1中環(huán)形的第一重疊區(qū)域3為報廢區(qū)。
[0016]而采用本實用新型，即:當我們改變金屬壓環(huán)接觸式方式為八爪接觸式后，(各向外延伸5_，最終直徑延伸1mm)，圖2中的8個凸出的第二重疊區(qū)域(壓爪2的面積)4為報廢區(qū)，最終成圖(以我們1*8模板為例)至少增加100個圖形。每片可以增產(chǎn)100個產(chǎn)品，按市場價十元人民幣，就是增加產(chǎn)值一千元人民幣。按月產(chǎn)量1000片，可以增產(chǎn)100000個產(chǎn)品，增加產(chǎn)值壹佰萬元人民幣。
[0017]以上實施例僅供說明本實用新型之用，而非對本實用新型的限制，有關(guān)技術(shù)領域的技術(shù)人員，在不脫離本實用新型的精神的情況下，還可以作出各種變換或變型，因此所有等同的技術(shù)方案也應該屬于本實用新型的范疇，應由各權(quán)利要求所限定。
【主權(quán)項】
1.一種晶圓生產(chǎn)用壓環(huán)，其特征在于，包括環(huán)形的壓環(huán)本體，該壓環(huán)本體的內(nèi)圓半徑等于晶圓半徑，所述壓環(huán)本體沿內(nèi)圓周邊面向圓心地延伸有2N個壓爪，N為正整數(shù)；該2N個壓爪圍繞圓心環(huán)形陣列。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓生產(chǎn)用壓環(huán)，其特征在于，所述壓爪長度為5_。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓生產(chǎn)用壓環(huán)，其特征在于，所述壓爪的數(shù)量為8個。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓生產(chǎn)用壓環(huán)，其特征在于，所述壓環(huán)本體包括環(huán)形的金屬壓環(huán)，以及包裹該金屬壓環(huán)的陶瓷殼體。
【專利摘要】本實用新型公開了一種晶圓生產(chǎn)用壓環(huán)，包括環(huán)形的壓環(huán)本體，該壓環(huán)本體的內(nèi)圓半徑等于晶圓半徑，所述壓環(huán)本體沿內(nèi)圓周邊面向圓心地延伸有2N個壓爪，N為正整數(shù)；該2N個壓爪圍繞圓心環(huán)形陣列。本實用新型只有八個點接觸產(chǎn)品，并且均勻受力，將生產(chǎn)面積擴為最廣。
【IPC分類】H01L21/687
【公開號】CN204668289
【申請?zhí)枴緾N201520355258
【發(fā)明人】黃惠良, 趙繼鴻, 朱偉冬
【申請人】上海鴻輝光通科技股份有限公司
【公開日】2015年9月23日
【申請日】2015年5月28日