一種熱板加熱裝置及控制方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及顯示技術領域，公開一種熱板加熱裝置及控制方法，熱板加熱裝置包括腔體，腔體內至少包括一個加熱腔室，加熱腔室內包括一基板支撐面，其特征在于，每一個加熱腔室中，底壁朝向頂壁的一面形成基板支撐面，且沿垂直于基板支撐面的方向，加熱腔室的頂壁和底壁上均設有加熱裝置，在上述加熱裝置中，基板放置在基板支撐面上，在對加熱腔室進行加熱時，頂壁和底壁上的加熱裝置同時進行加熱，一方面能夠提高加熱效果，使得基板上光刻膠中的物質較快揮發(fā)，另一方面能夠保證腔體內的溫度均勻，揮發(fā)的氣體在腔體的頂壁上不會遇冷凝結，達到更好的自潔效果，能夠減少對基板造成二次污染，能夠提高產品良率。
【專利說明】
一種熱板加熱裝置及控制方法
技術領域
[0001 ]本發(fā)明涉及顯示技術領域，尤其涉及一種熱板加熱裝置及控制方法。
【背景技術】
[0002]在顯示技術領域，由于光刻膠(PR膠)具有加熱易揮發(fā)的特性，而熱板加熱(HP)能夠快速升溫將光刻膠加熱揮發(fā)以進行光刻膠膜層固化繼續(xù)后續(xù)刻蝕工藝，因此，熱板加熱常用于對顯影后具有圖形的光刻膠膜層進行烘烤固化。
[0003]現在的HP設備采用密閉腔體加熱，在腔體的底部設置加熱裝置，通過加熱裝置產生高溫，基板上涂覆的PR膠內含有的有機溶劑添加劑等在高溫下揮發(fā)后在腔體的頂部形成凝結，而凝結的易揮發(fā)物質會易對基板造成二次污染，因此，設計一種能夠減少對基板造成二次污染的熱板加熱裝置，提高產品良率顯得尤為重要。

【發(fā)明內容】

[0004]本發(fā)明提供一種熱板加熱裝置及控制方法，該熱板加熱裝置能夠減少對基板造成一■次污染，能夠提尚廣品良率。
[0005]為達到上述目的，本發(fā)明提供以下技術方案:
[0006]—種熱板加熱裝置，包括腔體，所述腔體內至少包括一個加熱腔室，所述加熱腔室內包括一基板支撐面，每一個所述加熱腔室中，底壁朝向頂壁的一面形成所述基板支撐面，且沿垂直于所述基板支撐面的方向，所述加熱腔室的頂壁和底壁上均設有加熱裝置。
[0007]在上述加熱裝置中，基板放置在基板支撐面上，在對加熱腔室進行加熱時，頂壁和底壁上的加熱裝置同時進行加熱，一方面能夠提高加熱效果，使得基板上光刻膠中的物質較快揮發(fā)，另一方面能夠保證腔體內的溫度均勻，揮發(fā)的氣體在腔體的頂壁上不會遇冷凝結，達到更好的自潔效果，能夠減少對基板造成二次污染，能夠提高產品良率。
[0008]優(yōu)選地，所述腔體內還具有進風通道和排風通道，且每一個所述加熱腔室具有進風口和排風口，所述進風口用于連通所述加熱腔室和所述進風通道，且所述排風口用于連通所述加熱腔室和所述排風通道。
[0009]優(yōu)選地，所述進風通道為熱風通道。
[0010]優(yōu)選地，所述進風通道為冷風通道，且在所述加熱腔室進風口處設有加熱單元。
[0011]優(yōu)選地，所述加熱單元為電加熱絲。
[0012]優(yōu)選地，每一個所述加熱腔室中，所述頂壁設有的加熱裝置為加熱線圈，和/或，所述底壁設有的加熱裝置為加熱線圈。
[0013]優(yōu)選地，每一個所述加熱腔室中，所述頂壁設有的加熱裝置為嵌設在所述頂壁的加熱板，和/或，所述底壁設有的加熱裝置為嵌設在所述底壁的加熱板。
[0014]一種熱板加熱裝置的控制方法，包括:
[0015]通過加熱加熱腔室的頂壁和底壁對位于加熱腔室基板支撐面上的基板進行加熱。
[0016]優(yōu)選地，當腔體具有進風通道和排風通道時，所述進風通道與冷卻裝置相連通。
【附圖說明】
[0017]圖1為本發(fā)明提供的一種熱板加熱裝置的結構示意圖；
[0018]圖2為本發(fā)明提供的一種熱板加熱裝置的另一結構示意圖。
【具體實施方式】
[0019]下面將結合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。
[0020]本發(fā)明實施例提供的一種熱板加熱裝置，如圖1以及圖2所示，包括腔體，腔體內至少包括一個加熱腔室2，每一個加熱腔室2內形成一基板支撐面，每一個加熱腔室2中，底壁22朝向頂壁21的一面形成基板支撐面，且沿垂直于基板支撐面的方向，加熱腔室2的頂壁21和底壁22上均設有加熱裝置。
[0021]在上述加熱裝置中，基板5放置在基板支撐面上，在對加熱腔室2進行加熱時，頂壁21和底壁22上的加熱裝置同時進行加熱，一方面能夠提高加熱效果，使得基板5上光刻膠6中的物質較快揮發(fā)，另一方面能夠保證腔體內的溫度均勻，揮發(fā)的氣體在腔體的頂壁21上不會遇冷凝結，達到更好的自潔效果，能夠減少對基板造成二次污染，能夠提高產品良率。
[0022]—種優(yōu)選實施方式中，如圖1以及圖2所述，腔體內還具有進風通道I和排風通道4，且每一個加熱腔室2具有進風口和排風口，進風口用于連通加熱腔室2和進風通道I，且排風口用于連通加熱腔室2和排風通道4。
[0023]進風通道I的氣流通過進風口進入加熱腔室2，并通過排風口流向排風通道4，當加熱腔室2加熱涂覆有光刻膠6的基板5時，光刻膠6內含有的有機溶劑、添加劑等在高溫下揮發(fā)并隨從進風口流向出風口的氣流一起排出加熱腔室2，減少了高溫揮發(fā)的氣體在加熱腔室2內的凝結，保證了加熱腔室2的清潔，延長加熱腔室2的使用時間，并且減少對基板5造成二次污染的可能，提高了產品良率;并且當加熱腔室2內凝結有光刻膠6內高溫揮發(fā)的物質需要進行清潔時，對加熱腔室2進行加熱，所凝結的物質揮發(fā)并隨從進風口流向出風口的氣流一起排出加熱腔室2，相比人工清潔，清潔效果較好，節(jié)省人力物力。
[0024]為了避免氣流對加熱腔室2內高溫揮發(fā)物質的影響，減少對基板5造成污染，一種優(yōu)選實施方式中，如圖1所示，進風通道I為熱風通道，當對加熱腔室2進行加熱時，光刻膠6內含有的有機溶劑、添加劑等受高溫揮發(fā)，凝結在加熱腔室2內壁上的物質受高溫揮發(fā)，從進風通道I的熱氣流通過進風口進入加熱腔室2，并使揮發(fā)的氣體一起流向出風口進而一起排出加熱腔室2，由于進風通道I為熱風通道，通過進風口進入加熱腔室2的氣流為熱氣流，因而能夠避免氣流對高溫揮發(fā)物質的影響，減少對基板5造成污染，提高產品良率。
[0025]為了實現上述實施方式中的清潔效果，需要保證從進風口進入加熱腔室2的氣流為熱氣流，另一種優(yōu)選實施方式中，如圖2所示，進風通道I為冷風通道，且在加熱腔室2進風口處設有加熱單元3，雖然進風通道I為冷風通道，但是氣體在加熱腔室2進風口處經過加熱單元3的加熱形成熱氣流，保證了從進風口進入加熱腔室2的氣流為熱氣流，能夠實現進風通道I為熱風通道時相同的清潔效果，而且，進風通道I為冷風通道相對于熱風通道也減少了對設備以及工藝的要求。
[0026]具體地，加熱單元3為電加熱絲，電加熱絲將電能轉化為熱能，加熱經過進風口的氣體以形成熱氣流，由于電加熱絲具有電阻率高、耐高溫且在高溫狀態(tài)下形狀穩(wěn)定等特點，使其使用壽命較長且加熱效果較好，保證了熱板加熱裝置較長的使用壽命。
[0027]具體地，每一個加熱腔室2中，頂壁21設有的加熱裝置為加熱線圈，和/或，底壁22設有的加熱裝置為加熱線圈，加熱線圈將電能轉化為熱能，具有熱效率高、升溫快等特點，能夠獲得較高的溫度、易于實現溫度的自動控制，且能夠保證加熱腔體的清潔，不會污染加熱腔體。
[0028]具體地，每一個加熱腔室2中，頂壁21設有的加熱裝置為嵌設在頂壁21的加熱板，和/或，底壁22設有的加熱裝置為嵌設在底壁22的加熱板，加熱板將電能轉化為熱能，能夠加快地獲得較高的溫度、實現溫度的自動控制，且能夠保證加熱腔體的清潔，不會污染加熱腔體。
[0029]—種熱板加熱裝置的控制方法，包括:
[0030]通過加熱加熱腔室的頂壁21和底壁22對位于加熱腔室基板支撐面上的基板進行加熱。
[0031]在上述熱板加熱裝置的控制方法中，通過加熱腔室的頂壁21和底壁22同時加熱，保證腔體內的溫度均勻，揮發(fā)的氣體在腔體的頂壁21上不會遇冷凝結，達到更好的自潔效果，能夠減少對基板造成一■次污染，能夠提尚廣品良率。
[0032]一種優(yōu)選實施方式中，當腔體具有進風通道和排風通道時，所述進風通道與冷卻裝置相連通。進風通道I以及排風通道4與冷卻裝置相連，排風通道4內的氣體中攜帶有基板5上光刻膠6中高溫揮發(fā)的物質在經過在冷卻裝置時冷卻，凝結在冷卻裝置中，便于重新利用；而冷卻裝置排出的壓縮氣體可以繼續(xù)作為輸入進風通道的氣體，在熱板裝置中進行二次使用，提高壓縮氣體的利用率，節(jié)約成本。
[0033]顯然，本領域的技術人員可以對本發(fā)明實施例進行各種改動和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權利要求及其等同技術的范圍之內，則本發(fā)明也意圖包含這些改動和變型在內。
【主權項】
1.一種熱板加熱裝置，包括腔體，所述腔體內至少包括一個加熱腔室，所述加熱腔室內包括一基板支撐面，其特征在于，每一個所述加熱腔室中，底壁朝向頂壁的一面形成所述基板支撐面，且沿垂直于所述基板支撐面的方向，所述加熱腔室的頂壁和底壁上均設有加熱目.02.根據權利要求1所述的熱板加熱裝置，其特征在于，所述腔體內還具有進風通道和排風通道，且每一個所述加熱腔室具有進風口和排風口，所述進風口用于連通所述加熱腔室和所述進風通道，且所述排風口用于連通所述加熱腔室和所述排風通道。3.根據權利要求2所述的熱板加熱裝置，其特征在于，所述進風通道為熱風通道。4.根據權利要求2所述的熱板加熱裝置，其特征在于，所述進風通道為冷風通道，且在所述加熱腔室進風口處設有加熱單元。5.根據權利要求4所述的熱板加熱裝置，其特征在于，所述加熱單元為電加熱絲。6.根據權利要求1所述的熱板加熱裝置，其特征在于，每一個所述加熱腔室中，所述頂壁設有的加熱裝置為加熱線圈，和/或，所述底壁設有的加熱裝置為加熱線圈。7.根據權利要求1所述的熱板加熱裝置，其特征在于，每一個所述加熱腔室中，所述頂壁設有的加熱裝置為嵌設在所述頂壁的加熱板，和/或，所述底壁設有的加熱裝置為嵌設在所述底壁的加熱板。8.一種如權利要求1?7任一項所述的熱板加熱裝置的控制方法，其特征在于，包括: 通過加熱加熱腔室的頂壁和底壁對位于加熱腔室基板支撐面上的基板進行加熱。9.根據權利要求8所述的控制方法，其特征在于，當腔體具有進風通道和排風通道時，所述進風通道與冷卻裝置相連通。
【文檔編號】G03F7/26GK105895524SQ201610325732
【公開日】2016年8月24日
【申請日】2016年5月17日
【發(fā)明人】陳柏宇, 陳巍, 何茂盛, 劉慶, 范鵬飛
【申請人】成都京東方光電科技有限公司, 京東方科技集團股份有限公司