發(fā)射出的輸出(二次或反向散射)電子的通量的角相關(guān)性。
[0060]如這里所呈遞的，檢測器19和21兩者都用于檢查電子；然而，這純粹是設(shè)計/實(shí)現(xiàn)方式選擇，以及如果期望的話，除了電子之外或者作為對電子的替代，人們也可以推選檢測從樣本S發(fā)射出的其他類型的輸出輻射通量(例如X射線、陰極發(fā)光)。
[0061]通過在樣本S上掃描輸入射束3，輸出輻射(其包括例如X射線、紅外/可見/紫外光、二次電子和/或反向散射(BS)電子的通量)從樣本S發(fā)射出。因?yàn)檫@樣的輸出輻射(由于所述掃描運(yùn)動)是位置敏感的，從檢測器19、21獲得的信息也將是依賴于位置的。這個事實(shí)允許(例如)檢測器19的輸出被用于產(chǎn)生(例如)樣本S的(部分的)二次電子圖像，該圖像基本上是檢測器19的輸出作為樣本S上的掃描路徑位置的函數(shù)的映射。
[0062]來自檢測器19、21的沿著控制線(總線)25’傳遞的信號由控制器25處理，以及被顯示在顯示單元27上。這樣的處理可以包括諸如組合、積分、相減、假著色、邊緣增強(qiáng)和技術(shù)人員已知的其他處理之類的操作。此外，(例如，如用于粒子分析的)自動化識別過程可以被包括在這些處理中。
[0063]應(yīng)當(dāng)指出的是，這樣的結(jié)構(gòu)的許多改善和替代方式將對于技術(shù)人員是已知的，所述改善和替代方式包括但不限于:
-雙射束的使用一一例如用于成像的電子射束3和用于加工樣本S (或在某些情況下對樣本S進(jìn)行成像)的離子射束；
-在樣本S處的受控環(huán)境的使用一一例如保持(如在所謂的環(huán)境SEM中使用的)若干豪巴的壓強(qiáng)或者通過允許諸如蝕刻氣體或前驅(qū)氣體之類的氣體，
等等。盡管在圖1中示出的掃描類型顯微鏡是SEM，在本發(fā)明的情境中，它可以正好妥當(dāng)?shù)厥抢鏢TEM (參見下面的實(shí)施例3)。
[0064]本發(fā)明涉及到射束3關(guān)于樣本S進(jìn)行掃描的方式，該樣本S被保持在保持器7上，以便對射束3示出所呈現(xiàn)的表面。如上文已經(jīng)討論的，射束3和保持器7的相對掃描運(yùn)動原則上可以以兩種不同的方式來實(shí)現(xiàn)，即:
-通過使用偏轉(zhuǎn)單元15來相對于保持器7移動射束3 ;
-通過使用載臺/致動器V來相對于射束3移動保持器7。
[0065]不管使用這些機(jī)制中的哪個，本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)的不同之處在于它使用復(fù)合的長行程運(yùn)動+短行程運(yùn)動來實(shí)現(xiàn)射束3相對于樣本S的掃描運(yùn)動。這個概念在下文的下一個實(shí)施例中被更詳細(xì)地解釋。這樣的復(fù)合運(yùn)動可以通過使用(例如)控制器25來生成用于長行程掃描裝置和短行程掃描裝置的互補(bǔ)控制命令而自動地實(shí)現(xiàn)，該長行程掃描裝置和短行程掃描裝置可以例如被體現(xiàn)如下:
-長行程掃描裝置:載臺7’，其可以例如包括線性馬達(dá)。替代地，例如，人們可以利用在偏轉(zhuǎn)單元15中的長行程磁偏轉(zhuǎn)線圈。
[0066]-短行程掃描裝置:偏轉(zhuǎn)單元15，其可以例如包括靜電偏轉(zhuǎn)板。
[0067]控制器25可以例如基于在期望作為最終掃描路徑而使用的特定空間填充曲線上的采樣點(diǎn)的坐標(biāo)位置來計算周期性設(shè)定點(diǎn)并向這些長行程掃描裝置和短行程掃描裝置發(fā)布該周期性設(shè)定點(diǎn)。
[0068]實(shí)施例2
圖2A-2G示出了使用本發(fā)明的實(shí)施例所描繪出的掃描路徑的各種方面，以及特別地圖示了如何使用長行程掃描裝置和短行程掃描裝置來對其進(jìn)行實(shí)現(xiàn)。更具體地，這些各種子圖的內(nèi)容可以被解釋如下:
圖2A呈遞了樣本S的所呈現(xiàn)的表面(的部分)的平面圖。在其上疊加的是(假想的)網(wǎng)格G，其將所述平面分為(假想的)框(塊、單元、元組)B的(正交的)陣列。意圖在于這些框B中的每個被掃描帶電粒子射束(未描述；參見例如圖1中的項目3)所訪問/采樣。為了這個目的，在所述射束和樣本S之間實(shí)現(xiàn)相對運(yùn)動以便在樣本S上描繪出掃描路徑P。如這里圖示的，掃描路徑P是摩爾曲線，其中開始點(diǎn)PS和結(jié)束點(diǎn)PF彼此緊密相鄰。注意到，框B中的每個(的中心)都位于掃描路徑P上(即被掃描路徑P訪問)。依照本發(fā)明，如現(xiàn)在將被更詳細(xì)地解釋的，這樣的掃描路徑P可以通過使用長行程掃描裝置和短行程掃描裝置的組合效應(yīng)而被描繪出。
[0069]圖2B本質(zhì)上示出了圖2A的主題，但現(xiàn)在被拉遠(yuǎn)(zoom out)以便描述樣本S的更大的區(qū)域。為了實(shí)現(xiàn)圖2B中示出的掃描路徑，互補(bǔ)的圖2C和圖2D分別示出了由合作的長行程掃描裝置(圖2C)和短行程掃描裝置(圖2D)執(zhí)行的移動。更具體地:
-以圖2D開始，顯然的是，短行程掃描裝置具有相對有限的運(yùn)動范圍/幅度；如這里所描述的，它們具有圖2B的寬度/高度的僅大約15%的范圍。然而，這并非是阻礙，因?yàn)楦鶕?jù)本發(fā)明，相關(guān)聯(lián)的長行程掃描裝置可以被調(diào)用以便在圖2B的邊界內(nèi)的任意地方定位短行程掃描裝置的運(yùn)動范圍。
[0070]-在此情境下，圖2C示出了由所述長行程掃描裝置所跟隨的管束(tract)。注意至|J，所描述的管束具有特有的單元大小/周期，其比圖2B的得到的掃描路徑的單元大小/周期大得多；相應(yīng)地，長行程掃描裝置可以被看作執(zhí)行相對“低頻”(LF)的運(yùn)動。疊加在這個LF運(yùn)動上，短行程掃描裝置做出相對“高頻”(HF)的偏移。這些在圖2E中是更清晰可見的，圖2E是圖2D的5倍放大的(和拉近的(zoom in))版本。
[0071]任務(wù)的這個互補(bǔ)分支也在圖2F和圖2G中被圖示，圖2F和圖2G描述了與圖2B的掃描路徑相關(guān)聯(lián)的(對于掃描裝置的)命令(設(shè)定點(diǎn))信號。更具體地:
-圖2F示出了與圖2B的掃描路徑相關(guān)聯(lián)的得到的/累積的/凈余的命令信號。注意至IJ，它包括疊加在LF “載波”波形上的HF偏移。
[0072]-在圖2G中，這些HF和LF成分已經(jīng)被分離以便更清晰地圖示它們。圖2G中的上部(LF)信號對應(yīng)于圖2C的長行程管束，而圖2G中的下部(HF)信號對應(yīng)于圖2D/2E的短行程管束。
[0073]圖2F、2G中的信號可以例如代表對于例如磁偏轉(zhuǎn)線圈、靜電偏轉(zhuǎn)器板或機(jī)械載臺致動器的驅(qū)動電壓/電流。
[0074]實(shí)施例3
圖3是根據(jù)本發(fā)明的另一個CPM的實(shí)施例的高度示意性描述；更具體地，它示出了透射類型顯微鏡M的實(shí)施例，其在這種情況下是TEM/STEM (盡管在本發(fā)明的情境中它可以正好妥當(dāng)?shù)厥抢缁陔x子的顯微鏡)。在該圖中，在真空殼體2內(nèi)，電子源4 (諸如例如肖特基槍)產(chǎn)生電子的射束(8)，其穿越用來將電子射束引導(dǎo)/聚焦到樣本S的被選擇的部分(其可以例如被(局部地)變薄/變平)上的電子光學(xué)照射器6。這個照射器6具有電子光學(xué)軸8’，以及將一般地包括各種靜電/磁透鏡、(多個)(掃描)偏轉(zhuǎn)器16、校正器(諸如消像散器)等；典型地，它也可以包括聚光器系統(tǒng)(項目6的整體有時被稱為“聚光器系統(tǒng)”)。
[0075]樣本S被保持在樣本保持器10上，該樣本保持器10可以通過定位裝置(載臺)12來以多自由度定位；例如，樣本保持器10可以包括指狀物，其可以(尤其)在XY平面內(nèi)移動(參見所描述的笛卡爾坐標(biāo)系統(tǒng)；典型地，平行于Z的運(yùn)動和關(guān)于X/Y的傾斜也將是可能的)。這樣的移動允許樣本S的不同部分被沿著軸8’(在Z方向上)行進(jìn)的電子射束所輻照/成像/檢查(和/或允許作為對射束掃描的替代方式執(zhí)行掃描運(yùn)動)?？蛇x的冷卻裝置14與樣本保持器10處于親密的熱接觸，以及能夠?qū)⒑笳弑３衷诘蜏叵?，例如使用循環(huán)的低溫冷卻劑來達(dá)到和保持所期望的低溫度。
[0076]沿著軸8，行進(jìn)的(聚焦)電子射束8將以這樣的方式與樣本S相互作用以至于使各種類型的“受激的”福射從樣本S發(fā)射出，包括(例如)二次電子、反向散射電子、X射線和光學(xué)輻射(陰極發(fā)光)。如果期望的話，這些輻射類型中的一個或多個可以借助于分析設(shè)備22來檢測，該分析設(shè)備22可以是例如組合的閃爍體/光電倍增器或Η)Χ (能量色散X射線光譜學(xué))模塊；在這種情況下，可以基本上使用與在SEM中相同的原理來構(gòu)建圖像。然而，替代地或補(bǔ)充地，人們可以研究穿越(穿過)樣本S、從樣本S發(fā)射出以及繼續(xù)(基本上，盡管通常具有一些偏轉(zhuǎn)/散射)沿著軸8，傳播的電子。這樣的透射電子通量進(jìn)入成像系統(tǒng)(組合的物鏡/投影透鏡)24，其將通常包括各種靜電/磁透鏡、偏轉(zhuǎn)器、校正器(諸如消像散器)等。在正常(非掃描)TEM模式中，這個成像系統(tǒng)24可以將透射電子通量聚焦到熒光屏幕26上，如果期望的話，該熒光屏幕26可以被縮回/撤回(如由箭頭26’示意性指出的)以便使其避開軸8’。樣本S (的部分)的圖像(或衍射圖)將由成像系統(tǒng)24在屏幕26上形成，以及這可以通過位于壁2的適當(dāng)部分