一種教學(xué)用掃描電子顯微鏡的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種教學(xué)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種教學(xué)用掃描電子顯微
Ho
【背景技術(shù)】
[0002]掃描電子顯微鏡是1965年發(fā)明的較現(xiàn)代的細(xì)胞生物學(xué)研究工具，主要是利用二次電子信號成像來觀察樣品的表面形態(tài)，即用極狹窄的電子束去掃描樣品，通過電子束與樣品的相互作用產(chǎn)生各種效應(yīng)，其中主要是樣品的二次電子發(fā)射，二次電子能夠產(chǎn)生樣品表面放大的形貌像，這個像是在樣品被掃描時按時序建立起來的，即使用逐點(diǎn)成像的方法獲得放大像。
[0003]掃描電鏡是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀性貌觀察手段，可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀成像，掃描電鏡的優(yōu)點(diǎn)是，①有較高的放大倍數(shù)，20-20萬倍之間連續(xù)可調(diào)有很大的景深，視野大，成像富有立體感，可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細(xì)微結(jié)構(gòu)；③試樣制備簡單，目前的掃描電鏡都配有X射線能譜儀裝置，這樣可以同時進(jìn)行顯微組織性貌的觀察和微區(qū)成分分析，因此它是當(dāng)今十分有用的科學(xué)研究儀器。
[0004]掃描電鏡從原理上講就是利用聚焦得非常細(xì)的高能電子束在試樣上掃描，激發(fā)出各種物理信息，通過對這些信息的接受、放大和顯示成像，獲得測試試樣表面形貌的觀察，當(dāng)一束極細(xì)的高能入射電子轟擊掃描樣品表面時，被激發(fā)的區(qū)域?qū)a(chǎn)生二次電子、俄歇電子、特征X射線和連續(xù)譜X射線、背散射電子、透射電子，以及在可見、紫外、紅外光區(qū)域產(chǎn)生的電池輻射，同時可產(chǎn)生電子-空穴對、晶格振動(聲子)、電子振蕩(等離子體)，目前現(xiàn)有的電子掃描電子顯微鏡結(jié)構(gòu)復(fù)雜，操作不方便，不容易維護(hù)，不適合教學(xué)使用。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種操作方便，顯示效果好，方便維護(hù)，非常適合教學(xué)使用的教學(xué)用掃描電子顯微鏡。
[0006]為解決上述問題，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案:一種教學(xué)用掃描電子顯微鏡，包括殼體、電子槍、散光像差補(bǔ)償器和樣品臺，所述電子槍設(shè)在殼體頂部，電子槍能夠產(chǎn)生掃描電子束，作為信號的激發(fā)源，所述電子槍下方依次設(shè)置有陽極和會聚光圈，所述會聚光圈內(nèi)依次設(shè)置有聚光鏡頭一和聚光鏡頭二，聚光鏡一、聚光鏡二和聚光鏡三能夠縮小束斑的直徑，散光像差補(bǔ)償器可以提升電子束的亮度，所述散光像差補(bǔ)償器設(shè)在聚光鏡頭二下方，所述散光像差補(bǔ)償器一側(cè)設(shè)置有一側(cè)設(shè)置有調(diào)節(jié)手柄，調(diào)節(jié)手柄保持調(diào)節(jié)操作方便，所述散光像差補(bǔ)償器下方設(shè)置有偏轉(zhuǎn)線圈，所述樣品臺上設(shè)置有聚光鏡頭三，所述聚光鏡頭三呈傾角設(shè)置，所述殼體底部設(shè)置有真空裝置，真空裝置防止樣品污染，提供高的真空度，所述真空裝置與殼體無縫連接，呈一體式設(shè)置，方便維護(hù)使用。
[0007]作為優(yōu)選，所述聚光鏡頭三一側(cè)設(shè)置有二次電子探測器，能夠收集產(chǎn)生的物理信號，放大作為顯像系統(tǒng)的調(diào)制信號。
[0008]作為優(yōu)選，所述二次電子探測器與殼體固定連接，保持結(jié)構(gòu)穩(wěn)定可靠。
[0009]作為優(yōu)選，所述樣品臺為電動樣品臺，方便進(jìn)行操控。
[0010]作為優(yōu)選，所述樣品臺與殼體固定連接，保持結(jié)構(gòu)穩(wěn)定可靠。
[0011 ] 該技術(shù)方案具有操作方便，顯示效果好，方便維護(hù)，非常適合教學(xué)使用的特點(diǎn)。
[0012]本實(shí)用新型的有益效果是:設(shè)置的電子槍能夠產(chǎn)生掃描電子束，作為信號的激發(fā)源，聚光鏡一、聚光鏡二和聚光鏡三能夠縮小束斑的直徑，散光像差補(bǔ)償器可以提升電子束的亮度，調(diào)節(jié)手柄保持調(diào)節(jié)操作方便，真空裝置防止樣品污染，提供高的真空度，二次電子探測器能夠收集產(chǎn)生的物理信號，放大作為顯像系統(tǒng)的調(diào)制信號。
【附圖說明】
[0013]為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0014]圖1為本實(shí)用新型的一種教學(xué)用掃描電子顯微鏡的結(jié)構(gòu)圖。
【具體實(shí)施方式】
[0015]參閱圖1所不，一種教學(xué)用掃描電子顯微鏡，包括殼體1、電子槍2、散光像差補(bǔ)償器3和樣品臺4，所述電子槍2設(shè)在殼體I頂部，所述電子槍2下方依次設(shè)置有陽極5和會聚光圈6，所述會聚光圈6內(nèi)依次設(shè)置有聚光鏡頭一 7和聚光鏡頭二 8，所述散光像差補(bǔ)償器3設(shè)在聚光鏡頭二 8下方，所述散光像差補(bǔ)償器3 —側(cè)設(shè)置有一側(cè)設(shè)置有調(diào)節(jié)手柄9，所述散光像差補(bǔ)償器3下方設(shè)置有偏轉(zhuǎn)線圈10，所述樣品臺4上設(shè)置有聚光鏡頭三11，所述聚光鏡頭三11呈傾角設(shè)置，所述殼體I底部設(shè)置有真空裝置12，所述真空裝置12與殼體I無縫連接。
[0016]所述聚光鏡頭三11 一側(cè)設(shè)置有二次電子探測器13，在使用時，能夠收集產(chǎn)生的物理信號，放大作為顯像系統(tǒng)的調(diào)制信號。
[0017]所述二次電子探測器13與殼體I固定連接，在使用時，保持結(jié)構(gòu)穩(wěn)定可靠。
[0018]所述樣品臺4為電動樣品臺，在使用時，方便進(jìn)行操控。
[0019]所述樣品臺4與殼體I固定連接，在使用時，保持結(jié)構(gòu)穩(wěn)定可靠。
[0020]在使用時，將樣品放置在樣品臺4上，啟動電子槍2放射電子束，經(jīng)過聚光鏡頭一7、聚光鏡頭二 8和聚光鏡頭三11聚光，同時通過散光像差補(bǔ)償器3進(jìn)行補(bǔ)償，電子束在樣品上產(chǎn)生物理信號被二次電子探測器13檢測，放大作為顯像系統(tǒng)的調(diào)制信號，即可顯示觀測。
[0021]本實(shí)用新型的有益效果是:設(shè)置的電子槍能夠產(chǎn)生掃描電子束，作為信號的激發(fā)源，聚光鏡一、聚光鏡二和聚光鏡三能夠縮小束斑的直徑，散光像差補(bǔ)償器可以提升電子束的亮度，調(diào)節(jié)手柄保持調(diào)節(jié)操作方便，真空裝置防止樣品污染，提供高的真空度，二次電子探測器能夠收集產(chǎn)生的物理信號，放大作為顯像系統(tǒng)的調(diào)制信號。
[0022]以上所述，僅為本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】，但本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不局限于此，任何不經(jīng)過創(chuàng)造性勞動想到的變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)，因此，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍應(yīng)該以權(quán)利要求書所限定的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種教學(xué)用掃描電子顯微鏡，其特征在于:包括殼體、電子槍、散光像差補(bǔ)償器和樣品臺，所述電子槍設(shè)在殼體頂部，所述電子槍下方依次設(shè)置有陽極和會聚光圈，所述會聚光圈內(nèi)依次設(shè)置有聚光鏡頭一和聚光鏡頭二，所述散光像差補(bǔ)償器設(shè)在聚光鏡頭二下方，所述散光像差補(bǔ)償器一側(cè)設(shè)置有一側(cè)設(shè)置有調(diào)節(jié)手柄，所述散光像差補(bǔ)償器下方設(shè)置有偏轉(zhuǎn)線圈，所述樣品臺上設(shè)置有聚光鏡頭三，所述聚光鏡頭三呈傾角設(shè)置，所述殼體底部設(shè)置有真空裝置，所述真空裝置與殼體無縫連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的教學(xué)用掃描電子顯微鏡，其特征在于:所述聚光鏡頭三一側(cè)設(shè)置有二次電子探測器。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的教學(xué)用掃描電子顯微鏡，其特征在于:所述二次電子探測器與殼體固定連接。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的教學(xué)用掃描電子顯微鏡，其特征在于:所述樣品臺為電動樣P Ζλ叩□ °5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的教學(xué)用掃描電子顯微鏡，其特征在于:所述樣品臺與殼體固定連接。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開一種教學(xué)用掃描電子顯微鏡，包括殼體、電子槍、散光像差補(bǔ)償器和樣品臺，所述電子槍設(shè)在殼體頂部，所述電子槍下方依次設(shè)置有陽極和會聚光圈，所述會聚光圈內(nèi)依次設(shè)置有聚光鏡頭一和聚光鏡頭二，所述散光像差補(bǔ)償器設(shè)在聚光鏡頭二下方，所述散光像差補(bǔ)償器一側(cè)設(shè)置有調(diào)節(jié)手柄，所述散光像差補(bǔ)償器下方設(shè)置有偏轉(zhuǎn)線圈，所述樣品臺上設(shè)置有聚光鏡頭三，所述聚光鏡頭三呈傾角設(shè)置，所述殼體底部設(shè)置有真空裝置，所述真空裝置與殼體無縫連接，該教學(xué)用掃描電子顯微鏡操作方便，顯示效果好，方便維護(hù)，非常適合教學(xué)使用。
【IPC分類】H01J31/28
【公開號】CN204905206
【申請?zhí)枴緾N201520614100
【發(fā)明人】楊如倩
【申請人】河南理工大學(xué)萬方科技學(xué)院
【公開日】2015年12月23日
【申請日】2015年8月14日