保護(hù)膜形成用膜的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及用于對(duì)例如半導(dǎo)體芯片的背面進(jìn)行保護(hù)的保護(hù)膜形成用膜。
【背景技術(shù)】
[0002] 以往，使用被稱為倒裝方式的安裝法進(jìn)行了半導(dǎo)體裝置的制造。在倒裝方式中，半 導(dǎo)體芯片的形成有凸塊等電極的芯片表面與基板等對(duì)置并接合，另一方面，芯片背面露出， 因此，用保護(hù)膜進(jìn)行了保護(hù)。在由保護(hù)膜保護(hù)的半導(dǎo)體芯片（以下，稱為"帶有保護(hù)膜的芯 片"）的背面，通常通過(guò)激光打印等在保護(hù)膜上打印標(biāo)記、文字等。
[0003] 上述保護(hù)膜通過(guò)例如樹(shù)脂涂敷等而形成，但近年來(lái)，例如如專利文獻(xiàn)1公開(kāi)的那 樣，為了確保膜厚的均勻性等，粘貼保護(hù)膜形成用膜而形成的保護(hù)膜正在被實(shí)用化。
[0004] 專利文獻(xiàn)1公開(kāi)的保護(hù)膜形成用片的保護(hù)膜為單層結(jié)構(gòu)，但近年來(lái)，進(jìn)行了各種 將用于對(duì)半導(dǎo)體進(jìn)行密封的密封片、及保護(hù)膜形成用膜的保護(hù)膜等制成2層結(jié)構(gòu)的嘗試。
[0005] 例如，專利文獻(xiàn)2中公開(kāi)了一種密封用片，其由含有第一高分子量成分的第一樹(shù) 脂層和第二樹(shù)脂層形成，所述第二樹(shù)脂層含有熱固化性成分、無(wú)機(jī)填料及第二高分子量成 分，且第二樹(shù)脂層的各成分含量為給定的范圍。
[0006] 另外，專利文獻(xiàn)3公開(kāi)了一種芯片保護(hù)用膜，其具有粘接在芯片上的低硬度層、和 設(shè)置于該低硬度層上的用來(lái)進(jìn)行激光標(biāo)記的高硬度層，其中，高硬度層是含有粘合劑聚合 物成分、能量固化性成分和光聚合引發(fā)劑的能量線固化型樹(shù)脂層。
[0007] 此外，專利文獻(xiàn)4公開(kāi)了由晶片粘接層和激光標(biāo)記層疊層而成的半導(dǎo)體背面用 膜。對(duì)于該半導(dǎo)體背面用膜而言，通過(guò)使激光標(biāo)記層在未固化狀態(tài)下的彈性模量較高，在未 固化狀態(tài)下進(jìn)行激光標(biāo)記時(shí)的打印性得到了提高。
[0008] 現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0009] 專利文獻(xiàn)
[0010] 專利文獻(xiàn)1 :日本特開(kāi)2002-280329號(hào)公報(bào)
[0011] 專利文獻(xiàn)2 :日本特開(kāi)2006-321216號(hào)公報(bào)
[0012] 專利文獻(xiàn)3 :日本特開(kāi)2009-130233號(hào)公報(bào)
[0013] 專利文獻(xiàn)4 :日本特開(kāi)2011-151361號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0014] 發(fā)明要解決的課題
[0015] 但是，由保護(hù)膜形成用膜形成芯片的保護(hù)膜的情況下，帶有保護(hù)膜的芯片的可靠 性差，例如在長(zhǎng)期使用時(shí)，有時(shí)會(huì)發(fā)生保護(hù)膜從芯片上剝離等不良情況。因此，要求進(jìn)一步 提高使用保護(hù)膜形成用膜得到的帶有保護(hù)膜的芯片的可靠性。
[0016] 但是，為了提高可靠性而在專利文獻(xiàn)1所公開(kāi)的那樣的單層結(jié)構(gòu)的保護(hù)膜中改進(jìn) 其組成時(shí)，會(huì)產(chǎn)生熱固化后保護(hù)膜的表面特性惡化，在進(jìn)行激光打印時(shí)無(wú)法得到高的文字 辨識(shí)性這樣的其它問(wèn)題。即，在單層結(jié)構(gòu)的保護(hù)膜中，僅僅通過(guò)改進(jìn)其組成難以兼?zhèn)涓叩奈?字辨識(shí)性和高可靠性。另外，即使能夠兼?zhèn)鋬烧?，聚合物成分的選擇余地也較小，保護(hù)膜形 成膜的配合設(shè)計(jì)自由度明顯受到限制。
[0017] 另一方面，如專利文獻(xiàn)2~4所公開(kāi)的那樣使保護(hù)膜形成用膜為由2層結(jié)構(gòu)形成， 與單層結(jié)構(gòu)的保護(hù)膜形成用膜相比，設(shè)計(jì)自由度提高。但是，對(duì)于專利文獻(xiàn)2~4而言，各 層中含有的聚合物成分實(shí)際上只實(shí)施了相互間具有同樣組成的丙烯酸類共聚物。像這樣的 2層共聚合物成分的組成相同時(shí)，難以謀求兼?zhèn)涓叩奈淖直孀R(shí)性和高可靠性。例如，在專利 文獻(xiàn)2中，由于作為各層的聚合物成分的丙烯酸橡膠的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度低至-7°C，因此存 在帶有保護(hù)膜的芯片的可靠性變得不充分的擔(dān)心。
[0018] 本發(fā)明就是鑒于以上問(wèn)題而進(jìn)行的，其課題在于提供一種可使激光打印的辨識(shí)性 良好、并且能夠提高可靠性的帶有保護(hù)膜的芯片。
[0019] 解決問(wèn)題的方法
[0020] 為了解決上述課題，本發(fā)明人等反復(fù)進(jìn)行了深入研究的結(jié)果發(fā)現(xiàn)，通過(guò)使保護(hù)膜 形成用膜為2層結(jié)構(gòu)，并且使一個(gè)樹(shù)脂層中的丙烯酸類聚合物的組成為給定的組成且使玻 璃化轉(zhuǎn)變溫度也為給定的范圍，同時(shí)使另一樹(shù)脂層中的聚合物成分與前一個(gè)樹(shù)脂層中的聚 合物成分不同，可以解決上述課題，從而完成了以下的本發(fā)明。
[0021] BP，本發(fā)明提供以下的（1)~（6)。
[0022] (1) -種保護(hù)膜形成用膜，其用于形成保護(hù)半導(dǎo)體芯片的保護(hù)膜，
[0023] 所述保護(hù)膜形成用膜由樹(shù)脂層a和樹(shù)脂層0疊層而成，所述樹(shù)脂層a含有（A1) 丙烯酸類聚合物和（B1)環(huán)氧類固化性成分，所述樹(shù)脂層0含有（A2)聚合物、（B2)環(huán)氧類 固化性成分、（D2)著色劑和（E2)填充材料，所述（A2)聚合物是不同于（A1)丙烯酸類聚合 物的聚合物，
[0024] 構(gòu)成（A1)丙烯酸類聚合物的單體不含含有環(huán)氧基團(tuán)的單體或者以全部單體的8 質(zhì)量％以下的比例包含含有環(huán)氧基團(tuán)的單體，并且（A1)丙烯酸類聚合物的玻璃化轉(zhuǎn)變溫 度為-3°C以上，
[0025] 按照J(rèn)ISZ8741測(cè)定的所述樹(shù)脂層0的表面固化后的光澤值為20以上。
[0026] (2)上述⑴所述的保護(hù)膜形成用膜，其中，（A2)聚合物為（A2-1)丙烯酸類聚合 物，
[0027] (A2-1)丙烯酸類聚合物以高于構(gòu)成該聚合物的全部單體的8質(zhì)量％的比例包含 含有環(huán)氧基團(tuán)的單體、或者其玻璃化轉(zhuǎn)變溫度低于_3°C。
[0028] (3)上述（1)或（2)所述的保護(hù)膜形成用膜，其中，（E2)填充材料的平均粒徑為 1 ~5 u m〇
[0029] (4)上述⑴~⑶中任一項(xiàng)所述的保護(hù)膜形成用膜，其中，（E2)填充材料的含量 為樹(shù)脂層0的20質(zhì)量％以上。
[0030] (5)-種帶有保護(hù)膜的芯片，其具備半導(dǎo)體芯片、和設(shè)置在所述半導(dǎo)體芯片上的保 護(hù)膜，其中，
[0031] 所述保護(hù)膜是使保護(hù)膜形成用膜固化而形成的，
[0032] 所述保護(hù)膜形成用膜由樹(shù)脂層a和樹(shù)脂層0疊層而成，所述樹(shù)脂層a含有（A1) 丙烯酸類聚合物和（B1)環(huán)氧類固化性成分，所述樹(shù)脂層0含有（A2)聚合物、（B2)環(huán)氧類 固化性成分、（D2)著色劑和（E2)填充材料，所述（A2)聚合物是不同于（A1)丙烯酸類聚合 物的聚合物，
[0033] 構(gòu)成（A1)丙烯酸類聚合物的單體不含含有環(huán)氧基團(tuán)的單體或者以全部單體的8 質(zhì)量％以下的比例包含含有環(huán)氧基團(tuán)的單體，并且（A1)丙烯酸類聚合物的玻璃化轉(zhuǎn)變溫 度為-3°C以上，
[0034] 按照J(rèn)ISZ8741測(cè)定的所述樹(shù)脂層0的表面固化后的光澤值為20以上。
[0035] (6) -種帶有保護(hù)膜的芯片的制造方法，該方法包括：
[0036] 將半導(dǎo)體晶片分割成多個(gè)芯片的工序；
[0037] 將保護(hù)膜形成用復(fù)合片的保護(hù)膜形成用膜粘貼在所述半導(dǎo)體晶片或由多個(gè)芯 片形成的芯片組上的工序，所述保護(hù)膜形成用復(fù)合片是在支撐片上能夠剝離地形成上述 (1)~（4)中任一項(xiàng)所述的保護(hù)膜形成用膜而得到的；
[0038] 將所述保護(hù)膜形成用復(fù)合片中的支撐片從所述保護(hù)膜形成用膜上剝離的工序；以 及
[0039] 將所述保護(hù)膜形成用膜熱固化的工序，
[0040] 其中，在將保護(hù)膜形成用復(fù)合片中的支撐片從保護(hù)膜形成用膜上剝離的工序之 后，進(jìn)行將保護(hù)膜形成用膜熱固化的工序。
[0041] 發(fā)明的效果
[0042] 本發(fā)明可以提供可使激光打印的辨識(shí)性良好、且能夠提高可靠性的帶有保護(hù)膜的 芯片。
【具體實(shí)施方式】
[0043] 以下，使用其實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明進(jìn)行具體說(shuō)明。
[0044] 需要說(shuō)明的是，在本說(shuō)明書(shū)中，"（甲基）丙烯?；?是用于表示"丙烯?；?或"甲 基丙烯?；?中的一者或其兩者的用語(yǔ)。另外，"（甲基）丙烯酸酯"是用于表示"丙烯酸 酯"或"甲基丙烯酸酯"中的一者或其兩者的用語(yǔ)。此外，"（甲基）丙烯酰氧基"是用于表 示"丙烯酰氧基"或"甲基丙烯酰氧基"中的一者或其兩者的用語(yǔ)，其它類似用語(yǔ)也相同。
[0045] [保護(hù)膜形成用膜]
[0046] 本發(fā)明的保護(hù)膜形成用膜是用于形成保護(hù)半導(dǎo)體芯片的保護(hù)膜的膜，其由樹(shù)脂層 a和樹(shù)脂層P疊層而成。保護(hù)膜形成用膜的樹(shù)脂層a側(cè)被粘接于半導(dǎo)體芯片上，樹(shù)脂層 0為通過(guò)激光進(jìn)行打印的層。
[0047] [樹(shù)脂層a、]
[0048] 本發(fā)明的樹(shù)脂層a至少含有（A1)丙烯酸類聚合物和（B1)環(huán)氧類固化性成分，還 可以適宜含有作為任意成分的選自（C1)固化促進(jìn)劑、（D1)著色劑、（E1)填充材料、（F1)偶 聯(lián)劑及其它添加劑中的成分。
[0049] 樹(shù)脂層0至少含有（A2)聚合物、（B2)環(huán)氧類固化性成分、（D2)著色劑和（E2)填 充材料，所述（A2)聚合物是不同于（A1)丙烯酸類聚合物的聚合物，此外，還可以適宜含有 作為任意成分的選自（C2)固化促進(jìn)劑、（F2)偶聯(lián)劑及其它添加劑中的成分。
[0050]以下，對(duì)樹(shù)脂層a、樹(shù)脂層P中所配合的各成分進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
[0051] < (A1)丙烯酸類聚合物>
[0052] 樹(shù)脂層a中所含有的（A1)丙烯酸類聚合物是以對(duì)樹(shù)脂層a賦予撓性、片形狀保 持性為主要目的的成分，構(gòu)成（A1)丙烯酸類聚合物的單體不含含有環(huán)氧基團(tuán)的單體或者 以構(gòu)成（A1)丙烯酸類聚合物的全部單體的8質(zhì)量％以下的比例包含含有環(huán)氧基團(tuán)的單體。
[0053] 如果含有環(huán)氧基團(tuán)的單體的比例多于8質(zhì)量％，則（A1)成分和（B1)成分的固化 物的相容性提高，難以形成后面所敘述的的相分離結(jié)構(gòu)，帶有保護(hù)膜的芯片的可靠性降低。 從這樣的觀點(diǎn)考慮，含有環(huán)氧基團(tuán)的單體的含量為構(gòu)成（A1)丙烯酸類共聚物的全部單體 的6質(zhì)量％以下。
[0054] 包含含有環(huán)氧基團(tuán)的單體的情況下，含有環(huán)氧基團(tuán)的單體的含量在構(gòu)成（A1)丙 烯酸類聚合物的全部單體中通常為〇. 1質(zhì)量％以上，優(yōu)選為全部單體的1質(zhì)量％以上，從防 止（A1)丙烯酸類聚合物和（B1)環(huán)氧類固化性成分發(fā)生分離而使涂布性惡化的觀點(diǎn)考慮， 在用于形成樹(shù)脂層a的樹(shù)脂層a形成用組合物中，優(yōu)選為3質(zhì)量％以上。
[0055] 在構(gòu)成（A1)丙烯酸類聚合物的單體包含含有環(huán)氧基團(tuán)的單體的情況下，具體來(lái) 說(shuō)，構(gòu)成（A1)丙烯酸類聚合物的單體由選自含有環(huán)氧基團(tuán)的（甲基）丙烯酸酯及含有環(huán)氧 基團(tuán)的非丙烯酸類單體中的一種以上含有環(huán)氧基團(tuán)的單體與不具有環(huán)氧基團(tuán)的各種（甲 基）丙烯酸酯和/或不含環(huán)氧基團(tuán)的非丙烯酸類單體構(gòu)成。該情況下，含有環(huán)氧基團(tuán)的單 體僅由含有環(huán)氧基團(tuán)的非丙烯酸類的單體構(gòu)成的情況下，構(gòu)成丙烯酸類聚合物的單體包含 不具有環(huán)氧基團(tuán)的各種（甲基）丙烯酸酯。
[0056] 作為含有環(huán)氧基團(tuán)的（甲基）丙烯酸酯，可以舉出例如：（甲基）丙烯酸縮水甘油 酯、（甲基）丙烯酸甲基縮水甘油酯、（甲基）丙烯酸（3, 4-環(huán)氧環(huán)己基）甲酯、3-環(huán) 氧環(huán)-2-羥基丙基（甲基）丙烯酸酯等，作為含有環(huán)氧基團(tuán)的非丙烯酸類單體，