一款加熱盤檢驗(yàn)及拆裝時(shí)存放專用車的制作方法
【專利說(shuō)明】
[0001]技術(shù)領(lǐng)域:本發(fā)明涉及一種小車，尤其是一款加熱盤檢驗(yàn)及拆裝時(shí)存放專用車，屬于半導(dǎo)體薄膜沉積應(yīng)用及制造技術(shù)領(lǐng)域。。
[0002]【背景技術(shù)】:在現(xiàn)有的半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備中，加熱盤屬于關(guān)鍵零部件，其材質(zhì)通常為鋁或陶瓷。鋁自身質(zhì)地較軟，對(duì)于硬度較高或強(qiáng)度較大的磕碰、摩擦，均會(huì)產(chǎn)生痕跡。陶瓷因加工的特點(diǎn)限制，在外力作用下，很容易掉渣或是出現(xiàn)裂紋。所以無(wú)論哪種材質(zhì)的加熱盤，其在運(yùn)輸、檢驗(yàn)或使用等過(guò)程中，都很容易受到損傷。另外，加熱盤由盤面及安裝固定基座組成，二者直徑相差很大，但二者作為一體，不可分離。另外，加熱盤的加熱線纜及熱偶安裝管均是從安裝固定基座處伸出盤體，實(shí)現(xiàn)與外部的連接。該部分與盤體也為硬連接，不可拆卸。線纜表面雖有自己特有的保護(hù)層，但在長(zhǎng)期的使用過(guò)程中，該保護(hù)層容易破損，導(dǎo)致內(nèi)部線纜裸露。另外，線纜經(jīng)過(guò)外力多次不經(jīng)意的彎曲、拉扯，也容易折斷。另一方面，加熱盤的表面上，鑲嵌有多個(gè)高出盤面的用于支撐晶圓的球或柱。出于安全考慮，目前加熱盤在放置時(shí)，我們只能用加熱盤的上盤面作為基底進(jìn)行放置。所以，拆裝時(shí)，這些用于支撐晶圓的球或柱以及定位用銷等容易脫落的小部件必須先拆下來(lái)，單獨(dú)放置。另外，因?yàn)楦邷刈冃渭肮に囘^(guò)程中副產(chǎn)物的存在，導(dǎo)致部分用于支撐晶圓的球或柱在使用后不能正常取出。所以，用加熱盤的上盤面作為基底存放時(shí)，盤面存留的球或柱就會(huì)在加熱盤的底面形成一個(gè)支點(diǎn)，導(dǎo)致盤面不能很好的與存儲(chǔ)面接觸，使加熱盤自身會(huì)產(chǎn)生一定的變形，以至于加熱盤盤面的平面度不合格，其使用性能失效。有時(shí)，因?yàn)榕R時(shí)存儲(chǔ)空間的限制，會(huì)導(dǎo)致線纜的硬性折彎損傷。無(wú)論怎樣，都會(huì)對(duì)加熱盤產(chǎn)生傷害。
[0003]
【發(fā)明內(nèi)容】
:針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明結(jié)合加熱盤自身的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)，即盤面大，安裝基座細(xì)長(zhǎng)，加熱電纜易損傷等方面，設(shè)計(jì)了一款加熱盤檢驗(yàn)及拆裝時(shí)存放專用車。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是:一款加熱盤檢驗(yàn)及拆裝時(shí)存放專用車，包括車體、水晶軟墊和萬(wàn)向輪，萬(wàn)向輪固定在車體的下面，車體是由橫梁、端橫梁和立柱組成的四方體，在上端和中間的橫梁上設(shè)有支臂，水晶軟墊放置在支臂上，水晶軟墊上設(shè)有開口，開口的寬度小于兩個(gè)支臂的間距。
[0005]在加熱盤存放后，加熱盤檢驗(yàn)及拆裝時(shí)存放專用車整體重心仍位于貨架中心偏下處，無(wú)偏移存在。從而保證在使用過(guò)程中，不會(huì)有因重心偏移導(dǎo)致小車翻倒的現(xiàn)象出現(xiàn)。貨架底部裝有輔助移動(dòng)的腳輪組件，可以實(shí)現(xiàn)小車在使用過(guò)程中來(lái)回移動(dòng)或?？浚阌趯?shí)際操作。因?yàn)樗к泬|自身富有彈性，無(wú)論任何材質(zhì)，其都不會(huì)對(duì)加熱盤造成任何損傷。同時(shí)，從加熱盤的電纜部位考慮，該貨架留有足夠的存放空間，在整個(gè)存取過(guò)程中，不會(huì)再有硬性彎曲等損傷出現(xiàn)。拆裝過(guò)程中，加熱盤上盤面用于支撐晶圓的球或柱以及其他定位用的小部件，可以根據(jù)實(shí)際情況決定是否拆下。不需拆下時(shí)，可以連同加熱盤一起直接放置在小車上。這樣，對(duì)原有的結(jié)構(gòu)沒(méi)有任何影響，也便于下次直接使用，節(jié)省了小部件的拆裝過(guò)程，縮短了更換周期。在加熱盤檢驗(yàn)過(guò)程中，對(duì)于加熱盤上盤面相關(guān)尺寸的檢測(cè)及盤面平面度的檢測(cè)等，都是很便利的。
【附圖說(shuō)明】
:
[0006]圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0007]圖2是本發(fā)明的使用狀態(tài)圖。
[0008]圖3是車體的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
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[0009]下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清晰、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0010]如圖1-圖3所示:一款加熱盤檢驗(yàn)及拆裝時(shí)存放專用車，包括車體2、水晶軟墊I和萬(wàn)向輪13，萬(wàn)向輪13固定在車體2的下面，車體是由橫梁5、端橫梁3和立柱10組成的四方體，在上端和中間的橫梁5上設(shè)有支臂6，水晶軟墊I放置在支臂6上，水晶軟墊上設(shè)有開口，開口的寬度小于兩個(gè)支臂的間距。加熱盤14放置在水晶軟墊I上。
[0011]車體2由不同長(zhǎng)度的鋁制型材，通過(guò)不同型號(hào)的型材連接件組合而成。車體2主要由兩根端橫梁3、三根橫梁5、四根支臂6、四根立柱10、四個(gè)腳輪組件13、四根下邊橫梁11通過(guò)多個(gè)相對(duì)應(yīng)的型材連接件(包括直角連接件8、T型連接件12)以及T型內(nèi)置螺母7和相對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)件9連接而成。每根支臂6及端橫梁3的端部均用專門的堵板4封堵，從而保證整體外觀的完美性，見圖3。我們將該小車分為上、下兩層，每層可以放置一個(gè)加熱盤。上層的水晶軟墊I直接放置在端橫梁3、支臂6和橫梁5所構(gòu)成的平面上。下層的水晶軟墊I直接放置在下邊橫梁11、支臂6和橫梁5所構(gòu)成的平面上。每層加熱盤的重量主要由兩根支臂6和橫梁5來(lái)承擔(dān)。
[0012]在使用過(guò)程中，加熱盤14是上盤面沖上，水平放置，通過(guò)其下盤面與水晶軟墊I直接接觸。水晶軟墊I自身富有彈性，無(wú)論任何材質(zhì)其都不會(huì)對(duì)加熱盤造成任何損傷。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一款加熱盤檢驗(yàn)及拆裝時(shí)存放專用車，其特征在于:包括車體、水晶軟墊和萬(wàn)向輪，萬(wàn)向輪固定在車體的下面，車體是由橫梁、端橫梁和立柱組成的四方體，在上端和中間的橫梁上設(shè)有支臂，水晶軟墊放置在支臂上，水晶軟墊上設(shè)有開口，開口的寬度小于兩個(gè)支臂的間距。
【專利摘要】一款加熱盤檢驗(yàn)及拆裝時(shí)存放專用車，包括車體、水晶軟墊和萬(wàn)向輪，萬(wàn)向輪固定在車體的下面，車體是由橫梁、端橫梁和立柱組成的四方體，在上端和中間的橫梁上設(shè)有支臂，水晶軟墊放置在支臂上，水晶軟墊上設(shè)有開口，開口的寬度小于兩個(gè)支臂的間距。在加熱盤存放后，加熱盤檢驗(yàn)及拆裝時(shí)存放專用車整體重心仍位于貨架中心偏下處，無(wú)偏移存在。貨架底部裝有輔助移動(dòng)的腳輪組件，可以實(shí)現(xiàn)小車在使用過(guò)程中來(lái)回移動(dòng)或?？?，便于實(shí)際操作。因?yàn)樗к泬|自身富有彈性，無(wú)論任何材質(zhì)，其都不會(huì)對(duì)加熱盤造成任何損傷。
【IPC分類】H01L21/677
【公開號(hào)】CN104952776
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510202923
【發(fā)明人】呂光泉, 吳彪, 吳鳳麗, 國(guó)建花
【申請(qǐng)人】沈陽(yáng)拓荊科技有限公司
【公開日】2015年9月30日
【申請(qǐng)日】2015年4月24日