24b與外圍擋板124c之間的容積所限定。
[0024]如圖3所示，柔性膜120可具有大致平坦的主要部分140及外圍環(huán)形部分150。主要部分510的下表面提供基板安裝表面142。外圍部分150的下邊緣連結(jié)至主要部分140的外圍邊緣。
[0025]內(nèi)圍環(huán)形擋板124a連結(jié)至柔性膜120的主要部分140的上表面。因此，施加于基板安裝表面142的內(nèi)圍圓形部分144上的向下壓力主要由第一腔室124a(見圖2)中的壓力所控制，所述內(nèi)圍圓形部分位于內(nèi)圍環(huán)形擋板124a連接至主要部分140的區(qū)域內(nèi)。另一方面，施加于基板安裝表面142的外圍環(huán)形部分146上的向下壓力主要由第二腔室124b(見圖2)中的壓力所控制，所述外圍環(huán)形部分146位于內(nèi)圍環(huán)形擋板124a連接至主要部分140處與外圍環(huán)形部分150之間。
[0026]內(nèi)圍擋板124a可在基板安裝表面142的半徑的75%與95%之間，例如基板安裝表面142的半徑的80%與85%之間的徑向位置處連結(jié)至主要部分140的內(nèi)圍表面。為了拋光150_直徑基板，基板安裝表面142 (及主要部分140)可具有大約75_的半徑。內(nèi)圍擋板124a可在距離所述基板安裝表面的邊緣約1mm處連接至主要部分140。因此，內(nèi)圍圓形部分144可具有約65mm的半徑，且外圍環(huán)形部分146可具有約1mm的寬度。
[0027]內(nèi)圍環(huán)形擋板124a可包括垂直部分160及水平部分162，所述垂直部分從主要部分140向上延伸，且所述水平部分從垂直部分160的上邊緣水平延伸。水平部分120可從垂直部分160向內(nèi)延伸(朝向所述承載頭的中心)。水平部分162的尾端可具有厚的外緣部分164，所述外緣部分固定至底座組件104時(shí)可被配置成流體地分離腔室122a、122b。舉例而言，假設(shè)水平部分162從垂直部分160向內(nèi)延伸，厚的外緣部分164可位于水平部分162的內(nèi)圍邊緣處。
[0028]在一些實(shí)施中，內(nèi)圍環(huán)形擋板124a的水平部分162可具有小于垂直部分160的厚度。在一些實(shí)施中，水平部分162的長(zhǎng)度與垂直部分160的長(zhǎng)度的比例介于約1.5與2.0之間，例如約1.66。在一些實(shí)施中，內(nèi)圍環(huán)形擋板124a的垂直部分160可具有小于所述柔性膜的主要部分140的厚度。
[0029]在一些實(shí)施中，凹陷(indentat1n)或凹口 166形成于內(nèi)圍環(huán)形擋板124a的垂直部分160中。凹口 166可設(shè)置于水平部分162與凹口 166所在的垂直部分160之間的接合部分(juncture)的拐角處。凹口 166可允許同心環(huán)形擋板516的水平部分垂直彎曲。然而，其他位置是可能的，例如在垂直部分160中間或在垂直部分160至主要部分140的接合部。
[0030]柔性膜120的外圍部分150包括主體152，所述主體從主要部分140的外圍邊緣向上延伸。主體152可比柔性膜120的主要部分140更厚。凹槽154可形成于主體152的內(nèi)圍表面中且形成于主體152與主要部分140之間的接合部分處。所述凹槽154可容許主體152相對(duì)于主要主體140更自由地在樞軸上轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0031]外圍環(huán)形部分150可具有沿著所述環(huán)形外圍部分的外壁的環(huán)形凹槽156。環(huán)形外部環(huán)126 (見圖2)可插入凹槽156中。介于凹槽156與下邊緣之間的所述主體外圍表面的部分172可橫向?qū)?zhǔn)介于凹槽156與上邊緣之間的所述主體外圍表面的部分174。
[0032]中間環(huán)形擋板124b可從環(huán)形外圍部分150水平向內(nèi)延伸，例如從主體152的內(nèi)圍表面。中間擋板124b的厚度可與內(nèi)圍擋板124a的水平部分162相同。中間擋板124b可在主體152的最寬處連接至主體152。中間擋板124b的內(nèi)圍邊緣可具有厚的外緣部分164，所述厚的外緣部分固定至底座組件104時(shí)可被配置成流體地分離腔室122b、122c。
[0033]在一些實(shí)施中，凹槽158形成于主體152的內(nèi)圍表面中且形成于中間擋板124b與主體152之間的接合部分處。內(nèi)部環(huán)128(見圖2)可利用凸緣鄰接外圍部分150，所述凸緣延伸至凹槽154及凹槽158之中。
[0034]外圍擋板124c可從外圍環(huán)形部分150的上邊緣向內(nèi)延伸。外圍擋板124c的厚度可與內(nèi)圍擋板124a的水平部分162相同。外圍擋板124c的內(nèi)圍邊緣可具有厚的外緣部分164，所述厚的外緣部分固定至底座組件104時(shí)可被配置成流體地將第三腔室122c與所述承載頭外面的環(huán)境分離。
[0035]在一些實(shí)施中，外圍部分150的表面170是斜向的，所述表面在中間擋板124b與外圍擋板124c之間延伸。所述斜向表面170可在外圍部分150的頂部提供三角剖面。
[0036]當(dāng)?shù)谌皇?22c (見圖2)被加壓時(shí)，表面170上的壓力通過主體152傳輸以施加壓力于基板安裝表面142的邊緣部分148。
[0037]本發(fā)明以若干實(shí)施例的方式描述。然而，本發(fā)明不受限于所描繪和描述的實(shí)施例。相對(duì)地，本發(fā)明的范圍是由附加的權(quán)利要求書所限定。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種柔性膜，所述柔性膜用于化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)的承載頭，所述柔性膜包括: 主要部分，所述主要部分具有用以提供基板安裝表面的下表面，所述基板安裝表面具有半徑R ; 環(huán)形外圍部分，所述環(huán)形外圍部分從所述主要部分的外圍邊緣向上延伸，所述環(huán)形外圍部分具有下邊緣，所述下邊緣連接至所述主要部分及上邊緣；及 剛好三個(gè)環(huán)形擋板，在將所述柔性膜固定至承載頭時(shí)，所述三個(gè)環(huán)形擋板用以將所述主要部分上方的容積分割為多個(gè)腔室，所述三個(gè)環(huán)形擋板包括: 第一環(huán)形擋板，所述第一環(huán)形擋板在介于R的75%與R的95%之間的徑向位置處連結(jié)至所述主要部分的內(nèi)圍表面； 第二環(huán)形擋板，所述第二環(huán)形擋板在介于所述下邊緣與所述上邊緣之間的位置處連結(jié)至所述環(huán)形外圍部分，所述第二環(huán)形擋板從所述外圍環(huán)形部分向內(nèi)延伸；及 第三環(huán)形擋板，所述第三環(huán)形擋板連結(jié)至所述環(huán)形外圍部分的所述上邊緣，所述第三環(huán)形擋板從所述外圍環(huán)形部分向內(nèi)延伸。
2.如權(quán)利要求1所述的柔性膜，其中所述基板安裝表面具有約150mm的直徑。
3.如權(quán)利要求2所述的柔性膜，其中所述第一環(huán)形擋板在距離所述主要部分的所述外圍邊緣約10_處連結(jié)至所述主要部分。
4.如權(quán)利要求2所述的柔性膜，其中所述第一環(huán)形擋板在介于R的85%與R的90%之間的徑向位置處連結(jié)至所述主要部分。
5.如權(quán)利要求1所述的柔性膜，其中所述第一環(huán)形擋板包括水平延伸區(qū)段及垂直延伸區(qū)段，所述垂直延伸區(qū)段將所述橫向延伸區(qū)段連接至所述主要部分。
6.如權(quán)利要求5所述的柔性膜，所述柔性膜包括凹口，所述凹口位于所述水平延伸區(qū)段與所述垂直延伸區(qū)段之間的接合部。
7.如權(quán)利要求5所述的柔性膜，其中所述水平延伸區(qū)段具有小于所述垂直延伸區(qū)段的厚度。
8.如權(quán)利要求1所述的柔性膜，其中各個(gè)所述擋板具有小于所述主要部分的厚度的厚度。
9.如權(quán)利要求8所述的柔性膜，其中所述環(huán)形外圍部分包括主體，所述主體具有大于所述主要部分的厚度的厚度。
10.如權(quán)利要求1所述的柔性膜，所述柔性膜包括凹口，所述凹口位于所述環(huán)形外圍部分的所述主體的內(nèi)部表面內(nèi)且位于所述主要部分與所述主體的接合部。
11.如權(quán)利要求10所述的柔性膜，所述柔性膜包括環(huán)形凹槽，所述環(huán)形凹槽位于所述主體的外圍表面內(nèi)且位于所述主體的上邊緣與下邊緣之間。
12.如權(quán)利要求11所述的柔性膜，其中所述凹槽與所述下邊緣之間的所述主體的所述外圍表面是單一垂直表面。
13.如權(quán)利要求12所述的柔性膜，其中所述凹槽與所述上邊緣之間的所述主體的所述外圍表面是單一垂直表面。
14.如權(quán)利要求13所述的柔性膜，其中所述凹槽與所述下邊緣之間的所述主體的所述外圍表面橫向?qū)?zhǔn)所述凹槽與所述上邊緣之間的所述主體的所述外圍表面。
15.一種化學(xué)機(jī)械拋光頭，所述化學(xué)機(jī)械拋光頭包括: 底座組件； 保持環(huán)，所述保持環(huán)固定至所述底座組件；及 柔性膜，所述柔性膜固定至所述底座組件，所述柔性膜包括: 主要部分，所述主要部分具有用以提供基板安裝表面的下表面，所述基板安裝表面具有半徑R ； 環(huán)形外圍部分，所述環(huán)形外圍部分從所述主要部分的外圍邊緣向上延伸，所述環(huán)形外圍部分具有下邊緣，所述下邊緣連接至所述主要部分及上邊緣；及 剛好三個(gè)環(huán)形擋板，在將所述柔性膜固定至承載頭時(shí)，所述三個(gè)環(huán)形擋板用以將所述主要部分上方的容積分割為多個(gè)腔室，所述三個(gè)環(huán)形擋板包括: 第一環(huán)形擋板，所述第一環(huán)形擋板在介于R的75%與R的95%之間的徑向位置處連結(jié)至所述主要部分的內(nèi)圍表面； 第二環(huán)形擋板，所述第二環(huán)形擋板在介于所述下邊緣與所述上邊緣之間的位置處連結(jié)至所述環(huán)形外圍部分，所述第二環(huán)形擋板從所述外圍環(huán)形部分向內(nèi)延伸；及 第三環(huán)形擋板，所述第三環(huán)形擋板連結(jié)至所述環(huán)形外圍部分的所述上邊緣，所述第三環(huán)形擋板從所述外圍環(huán)形部分向內(nèi)延伸。
【專利摘要】一種用于化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)的承載頭的柔性膜，所述柔性膜包括主要部分、環(huán)形外圍部分及三個(gè)環(huán)形擋板。所述主要部分具有基板安裝表面，所述基板安裝表面具有半徑R。所述環(huán)形外圍部分從所述主要部分的外圍邊緣向上延伸，且所述環(huán)形外圍部分具有連接至所述主要部分的下邊緣及上邊緣。所述三個(gè)環(huán)形擋板包括第一環(huán)形擋板、向內(nèi)延伸的第二環(huán)形擋板及向內(nèi)延伸的第三環(huán)形擋板，所述第一環(huán)形擋板在介于R的75％與R的95％之間的徑向位置處連結(jié)至所述主要部分的內(nèi)圍表面，所述第二環(huán)形擋板在介于所述下邊緣與所述上邊緣之間的位置處連結(jié)至所述環(huán)形外圍部分，所述第三環(huán)形擋板連結(jié)至所述環(huán)形外圍部分的上邊緣。
【IPC分類】H01L21-302
【公開號(hào)】CN104854680
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201380061923
【發(fā)明人】吳正勛, 杰米·萊頓
【申請(qǐng)人】應(yīng)用材料公司
【公開日】2015年8月19日
【申請(qǐng)日】2013年11月21日
【公告號(hào)】EP2926365A1, US20140150974, WO2014085203A1