減壓夾具以及使用減壓夾具的被加壓物的加壓方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及為了通過加壓單元對進行加壓處理的被加壓物進行加壓，對收納有被加壓物的收納空間進行減壓的減壓夾具以及使用該減壓夾具的被加壓物的加壓方法。
【背景技術(shù)】
[0002]以往，在半導體芯片的密封、多層基板的制造等以在減壓下加壓的方式進行的工序中，使用以在內(nèi)部使被加壓物減壓的狀態(tài)下保持被加壓物的減壓夾具。例如，日本特開2011-29516號公報公開有如下技術(shù)，即、在將樹脂密封材料與半導體芯片在基板上層疊并配置于用柔軟的膜覆蓋的空間后，利用減壓夾具進行減壓處理，利用與大氣的差壓通過柔軟的膜加壓、固定，并保持加壓狀態(tài)進行加熱，從而進行密封。另外，日本特開2003-124628號公報公開有如下技術(shù)，即、在層疊了多個樹脂片后對片材保持件的內(nèi)部進行減壓并通過柔軟的膜亦即蓋部件固定樹脂片，其后，通過熱壓裝置進行熱加壓處理。
[0003]但是，在上述的技術(shù)中，在減壓時同時對被加壓物加載來自柔軟的膜的加壓力，因此導致在被加壓物附近的減壓充分進行之前對被加壓物加載加壓力。未進行充分排氣而直接加壓的結(jié)果是，存在加壓后的被加壓物產(chǎn)生空隙(void)的問題。這在被加壓物是層疊體或如密封樹脂那樣粘著性較高的物質(zhì)的情況下特別顯著地表現(xiàn)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]因此，本發(fā)明的目的在于提供能夠在收納有被加壓物的空間充分減壓后，進行被加壓物的加壓的減壓夾具以及使用該減壓夾具的被加壓物的加壓方法。
[0005]為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的第一方式是一種減壓夾具，其為了通過加壓單元對進行加壓處理的被加壓物進行加壓，而對收納有被加壓物的收納空間進行減壓，上述減壓夾具的特征在于，具備:第一減壓部件，其具備形成為框狀的第一框狀部件、和鋪設(shè)于該第一框狀部件的第一薄片部件；保持部件，其與上述第一減壓部件對置配置，在該保持部件與上述第一減壓部件之間收納上述被加壓物；密封部件，其配置于上述第一框狀部件與上述保持部件之間，將上述第一減壓部件與上述保持部件之間的空間形成為氣密狀態(tài)，形成能夠收納上述被加壓物的收納空間；以及第一預備減壓部件，其構(gòu)成為，與第一減壓部件對置并配置于與上述保持部件相反的一側(cè)，在該第一預備減壓部件與上述第一薄片部件之間形成預備減壓室，能夠使上述預備減壓室減壓。
[0006]根據(jù)本發(fā)明的第一方式，在收納空間配置被加壓物，在對預備減壓室進行排氣并減壓后對收納空間進行排氣，由此能夠在被加壓物不會從第一薄片部件受到加壓力的狀態(tài)下進行收納空間的排氣。由此，能夠在收納空間充分減壓后，進行被加壓物的加壓，因此能夠防止在被加壓物殘存氣泡等，空隙等的缺陷產(chǎn)生。此處，通過利用具有足夠可撓性的材料形成第一薄片部件等的結(jié)構(gòu)，也能夠在收納空間充分減壓后，對被加壓物進行固定并加壓。
[0007]在本發(fā)明的第一方式的減壓夾具的基礎(chǔ)上，本發(fā)明的第二方式的減壓夾具的特征在于，上述保持部件是具備了與上述第一框狀部件對置配置的形成為框狀的第二框狀部件、和鋪設(shè)于該第二框狀部件的第二薄片部件的第二減壓部件，上述減壓夾具具備第二預備減壓部件，該第二預備減壓部件構(gòu)成為，與上述第二減壓部件對置并配置于與上述第一減壓部件相反的一側(cè)，在該第二預備減壓部件與上述第二薄片部件之間形成預備減壓室，能夠使上述預備減壓室內(nèi)部減壓。
[0008]如本發(fā)明的第二方式那樣，能夠采用如下結(jié)構(gòu)，S卩、作為保持部件使用與第一減壓部件相同的結(jié)構(gòu)的第二減壓部件，并具備了與第一預備減壓部件相同的結(jié)構(gòu)的第二預備減壓部件。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠通過片材構(gòu)成保持部件而使熱容變小，因此在加熱或者冷卻被加壓物的情況下，能夠進行迅速的加熱或者冷卻，從而優(yōu)選。并且，即使使收納空間減壓第二預備減壓部件也不會向收納空間側(cè)彎曲，因此第一薄片部件以及第二薄片部件不會與被加壓物接觸。
[0009]在本發(fā)明的第一或者第二方式的減壓夾具的基礎(chǔ)上，本發(fā)明的第三方式的減壓夾具的特征在于，上述第一預備減壓部件或者第二預備減壓部件具備朝向上述預備減壓室內(nèi)部形成的隔板。
[0010]根據(jù)本發(fā)明的第三方式，能夠通過隔板減少預備減壓室的體積，因此能夠迅速使預備減壓室減壓，并且能夠在使預備減壓室減壓時抑制第一薄片部件、第二薄片部件過度彎曲。
[0011]在本發(fā)明的第一或者第二方式的減壓夾具的基礎(chǔ)上，本發(fā)明的第四方式的減壓夾具的特征在于，具備收納空間形成部件，該收納空間形成部件是配置于上述保持部件的板狀部件，且該收納空間形成部件將上述收納空間形成為收納被加壓物的第二收納空間、和使第二收納空間與排氣裝置連通的流路空間。
[0012]根據(jù)本發(fā)明的第四方式，能夠通過收納空間形成部件將收納空間形成為第二收納空間和流路空間，因此能夠難以發(fā)生被加壓物的位置偏移，并且確保用于排氣的流路空間，從而能夠防止因被加壓物的位置偏移等而閉塞排氣流路的情況，進而能夠可靠并迅速地使第二收納空間內(nèi)部排氣。
[0013]在本發(fā)明的第四方式的減壓夾具的基礎(chǔ)上，本發(fā)明的第五方式的減壓夾具的特征在于，具備進行上述被加壓物的定位的定位部件，該定位部件是配置于上述保持部件的框狀的板狀部件。
[0014]根據(jù)本發(fā)明的第五方式，能夠利用定位部件進行被加壓物的正確的定位，因此被加壓物不會產(chǎn)生位置偏移，從而能夠進行被加壓物的穩(wěn)定的加壓。
[0015]在本發(fā)明的第一或者第二方式的減壓夾具的基礎(chǔ)上，本發(fā)明的第六方式的減壓夾具的特征在于，上述被加壓物是具備半導體芯片的基板以及半導體芯片密封用材料。
[0016]如本發(fā)明的第六方式那樣，在作為被加壓物采用具備半導體芯片的基板以及半導體芯片密封用材料的情況，也能夠在進行充分的排氣后進行加壓處理，因此能夠防止空隙的產(chǎn)生，從而優(yōu)選。
[0017]本發(fā)明的第七方式是被加壓物的加壓方法，其特征在于，具備:準備本發(fā)明的第一或者第二方式的減壓夾具和被加壓物，對上述預備減壓室進行排氣并減壓的預備減壓工序；在上述收納空間配置上述被加壓物的配置工序；對上述收納空間進行排氣，使被加壓物在不會從上述第一薄片部件受到加壓力的范圍內(nèi)進行減壓的減壓工序；將上述預備減壓室向大氣壓敞開，由此使上述第一薄片部件與配置于上述收納空間的被加壓物緊貼而固定被加壓物的固定工序；以及將上述預備減壓部件從上述減壓部件取下，對已固定的被加壓物進行加壓的加壓工序。
[0018]根據(jù)本發(fā)明的第七方式，在預備減壓工序?qū)︻A備減壓室進行排氣并減壓，在配置工序中在收納空間配置被加壓物，在減壓工序中對收納空間進行排氣，并在被加壓物不會從上述第一薄片部件受到加壓力的范圍內(nèi)進行減壓，在固定工序中將預備減壓室向大氣壓敞開，由此使第一薄片部件與配置于收納空間的被加壓物緊貼而固定被加壓物，在加壓工序中將預備減壓部件從減壓部件取下，能夠利用加壓單元對固定了的被加壓物進行加壓。由此，能夠在收納空間充分減壓后，進行被加壓物的固定、加壓，因此能夠防止在被加壓物殘存氣泡等，空隙等的缺陷產(chǎn)生。
[0019]在本發(fā)明的第七方式的被加壓物的加壓方法的基礎(chǔ)上，本發(fā)明的第八方式的被加壓物的加壓方法的特征在于，對上述預備減壓室進行減壓的內(nèi)壓在對上述收納空間進行減壓的內(nèi)壓以下。
[0020]若如本發(fā)明的第八方式那樣設(shè)定對預備減壓室進行減壓的內(nèi)壓，則預備減壓室的一方成為低壓，在第一薄片部件作用朝向預備減壓室側(cè)的力，因此能夠不使被加壓物從第一薄片部件受到加壓力。
[0021]在本發(fā)明的第七方式的被加壓物的加壓方法的基礎(chǔ)上，本發(fā)明的第九方式的被加壓物的加壓方法的特征在于，在上述加壓工序中，通過上述固定工序中的固定被加壓物的加壓力，對被加壓物進行加壓。
[0022]在對被加壓物進行加壓時不需要較大的加壓力的情況下，如本發(fā)明的第九方式那樣，利用固定工序中的固定被加壓物的加壓力，能夠?qū)Ρ患訅何镞M行加壓。
[0023]本申請主張于2012年10月12日提出的日本專利申請2012-226629號的優(yōu)先權(quán)，其內(nèi)容作為本申請的內(nèi)容，而形成本申請的一部分。
[0024]另外，能夠通過以下的詳細的說明而更加完整地理解本發(fā)明。然而，詳細的說明以及特定的實施例是本發(fā)明優(yōu)選的實施方式，僅為了實現(xiàn)說明的目的而進行記載。對于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，能夠根據(jù)以上詳細的說明，明確各種變更、改變。
[0025]申請者未打算將所有的所記載的實施方式都貢獻于公眾，可能詞句上未包含于所公開的改變、代替方案中的權(quán)利要求書，但是也等效成為討論下的本發(fā)明的一部分。
[0026]在本說明書或者權(quán)利要求書的記載中，名詞以及相同的指示語的使用，只要未被特別地指示，或者只要未被文脈清楚地否定，能夠解釋為包含單個和多個中任一個。在本說明書中所欲提供的錯開的例示或者例示性用語(例如，“等”)的使用也只不過是為了便于說明本發(fā)明，而并非對本發(fā)明的范圍加以限制，只要是在權(quán)利要求書未特別地記載。
【附圖說明】
[0027]圖1是表示第一實施方式的減壓夾具的構(gòu)造的說明圖。圖1(A)是減壓夾具的俯視圖以及剖視圖，圖1(B)是圖1(A)的A-A剖視圖。
[0028]圖2是表示第一減壓部件的構(gòu)造的說明圖。圖2(A)是從上方觀察的俯視圖以及剖視圖，圖2(B)是從下方觀察的俯視圖，圖2(C)是圖2(B)的A部的放大圖。
[0029]圖3是表示