專利名稱：集成電子結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及利用壓電材料和焊接的叉指陣列的集成電子結(jié)構(gòu)。更具體地說本發(fā)明涉及利用壓電材料的不同特性在同一結(jié)構(gòu)內(nèi)執(zhí)行不同的功能。
利用材料的壓電特性結(jié)合以叉指陣列形式的焊接電極用于控制或處理電信號(hào)的處理工藝已經(jīng)是眾所周知的技術(shù)。諸如諧振器、延遲線、濾波器和卷積器之類的聲表面波(SAW)裝置在全世界范圍獲得了廣泛應(yīng)用。大多數(shù)應(yīng)用是采用石英作為壓電材料，但是還采用了包括有方向取向的氧化鋅和氮化鋁在內(nèi)的其它材料。這些裝置通常是分離裝置，采用自身的外殼支持，并且經(jīng)印刷電路板或線路與其它組件連接。
利用基底材料的介電特性的技術(shù)也是眾所周知的。通常在印刷電路板上將電容和電感或高頻傳輸線與其它導(dǎo)電軌一起蝕刻。在這種情況下利用了印刷電路板的集成電子結(jié)構(gòu)基材料的介電特性。
本發(fā)明的目的是解決在某電路中需要一定數(shù)量的電氣元件，其中一些元件需要壓電特性工作而另一些元件要求介電特性起作用的情況下所存在的問題。
本發(fā)明是一種集成電子結(jié)構(gòu)，它包括導(dǎo)電基底部件，其上焊接了一層壓電材料。其特征在于至少第一和第二叉指陣列被焊接到所述材料層上，在使用時(shí)所述第一叉指陣列依靠所述層的壓電特性工作而所述第二叉指陣列依靠所述層的介電特性工作。
優(yōu)選的是所述第一叉指陣列構(gòu)成至少一個(gè)振蕩器的一部分，所述振蕩器比如是聲表面波(SAW)諧振器、淺體聲波(SBAW)諧振器等等。
優(yōu)選的是所述第二叉指陣列構(gòu)成至少一個(gè)定向耦合器比如Lange耦合器的一部分。


圖1是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的平面圖；圖2是圖1的表示了各層和連接情況的剖面。
圖1是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的平面圖。導(dǎo)電的基底部件2的上面焊接有一層壓電材料15。硅芯片電子電路1固定于基底部件2的中心。SAW諧振器5和6以導(dǎo)電的叉指陣列形成在壓電層15的表面上，叉指陣列是汽相淀積在該表面上的。SAW諧振器5和6利用了該層的壓電特性。
Lange耦合器2和3也經(jīng)汽相淀積于壓電層15表面上的另一導(dǎo)電叉指陣列而形成。Lange耦合器2和3盡管是形成在壓電材料的表面上，但僅利用了該層材料的介電特性而不是其壓電特性。SAW諧振器5和6，以及Lange耦合器2和3經(jīng)線焊或其它適當(dāng)?shù)姆椒ㄟB接到硅芯片電子電路1上，以產(chǎn)生工作電路。
圖2是貫穿叉指電子結(jié)構(gòu)15的剖面圖，該圖表示了導(dǎo)電的基底元件2，而連接管腳12和13正是貫穿其中。這些管腳經(jīng)密封絕緣材料，比如玻璃或玻璃一類的材料制成、具有適當(dāng)?shù)臒崤蛎浵禂?shù)的元件14與基底元件絕緣。壓電層15焊接到基底元件2上，使連接管腳穿過該層。叉指陣列16汽相淀積到壓電層15上，并與連接管腳12和13電接觸。
集成電子結(jié)構(gòu)的上述實(shí)施例可以使用作為我們與本申請(qǐng)同日提交的分別題為“Apparatus for Measuring Impedance of a ResonantStructure”和“Apparatus for Tracking Resonant Frequency”的兩份待審PCT申請(qǐng)所描述的裝置和方法中的一個(gè)組件部分。
應(yīng)當(dāng)為本領(lǐng)域的技術(shù)人員所認(rèn)識(shí)的是，可以在不偏離本發(fā)明的精神和范疇的情況下對(duì)本發(fā)明作出許多修改和改型。
權(quán)利要求
1.電子結(jié)構(gòu)，它包括其上焊接有一層壓電材料的導(dǎo)電基底部件，其特征在于至少第一和第二叉指陣列被焊接或用其它方式固定到所述層上，在使用時(shí)所述第一叉指陣列依靠所述層的壓電特性工作，而所述第二叉指陣列依靠所述層的介電特性工作。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子結(jié)構(gòu)，其特征在于所述第一和第二叉指陣列構(gòu)成至少一個(gè)振蕩器的一部分，所述振蕩器比如是聲表面波(SAW)諧振器、淺體聲波(SBAW)諧振器等等。
3.根據(jù)上述任何一個(gè)權(quán)利要求所述的電子結(jié)構(gòu)，其特征在于所述第二叉指陣列構(gòu)成至少一個(gè)定向耦合器比如Lange耦合器的一部分。
4.根據(jù)上述任何一個(gè)權(quán)利要求所述的電子結(jié)構(gòu)，其特征在于采用了電感或電容性元件，并將其焊接或用其它方式固定到該層上。
全文摘要
一種集成電子結(jié)構(gòu),它包括導(dǎo)電基底部件,其上焊接了一層壓電材料。其特征在于至少第一和第二叉指陣列被焊接或用其它方式固定到所述材料層上,在使用時(shí)所述第一叉指陣列依靠所述層的壓電特性工作而所述第二叉指陣列依靠所述層的介電特性工作。通常第一和第二叉指陣列構(gòu)成至少一個(gè)振蕩器的一部分,所述振蕩器比如是聲表面波諧振器、淺體聲波諧振器等等。所述第二叉指陣列構(gòu)成至少一個(gè)定向耦合器比如Lange耦合器的一部分。
文檔編號(hào)H01P5/18GK1244970SQ97181358
公開日2000年2月16日 申請(qǐng)日期1997年11月13日 優(yōu)先權(quán)日1996年11月13日
發(fā)明者安東尼·朗斯代爾, 布賴恩·朗斯代爾 申請(qǐng)人:安東尼·朗斯代爾, 布賴恩·朗斯代爾