本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造，具體為一種晶片組合載具。

背景技術(shù)：

1、一種晶片組合載具，也稱為半導(dǎo)體載具，是專為半導(dǎo)體晶片設(shè)計(jì)的精密承載裝置。它的設(shè)計(jì)旨在滿足嚴(yán)格的潔凈室標(biāo)準(zhǔn)，確保晶片在整個(gè)制造過(guò)程中的物理安全與化學(xué)純凈。

2、然而現(xiàn)有技術(shù)中，再將片狀產(chǎn)品放入載具下底板的內(nèi)部時(shí)，無(wú)法使其保持在載具下底板內(nèi)部的中間部位，片狀產(chǎn)品無(wú)法保持在載具的中心位置，會(huì)導(dǎo)致加工設(shè)備如光刻機(jī)、刻蝕機(jī)等在對(duì)其進(jìn)行處理時(shí)產(chǎn)生定位誤差，這種誤差會(huì)直接影響加工圖案的精度，導(dǎo)致晶片上的電路布局出現(xiàn)偏差，還會(huì)導(dǎo)致加工過(guò)程中產(chǎn)生額外的物理?yè)p傷或化學(xué)污染，從而增加片狀產(chǎn)品上的缺陷數(shù)量，這些缺陷包括劃痕、污染顆粒、短路或開(kāi)路等，嚴(yán)重影響晶片的良率和可靠性，在載具夾持的過(guò)程中容易將片狀產(chǎn)品損傷，此外，現(xiàn)有技術(shù)在對(duì)片狀產(chǎn)品調(diào)整時(shí)，通常是人工或機(jī)械臂進(jìn)行調(diào)整，人工調(diào)整工調(diào)整往往依賴于操作員的經(jīng)驗(yàn)和技能，難以達(dá)到高精度的要求，特別是在微米級(jí)甚至納米級(jí)的晶片制造過(guò)程中，微小的偏差都可能導(dǎo)致嚴(yán)重的質(zhì)量問(wèn)題，并且人工調(diào)整需要花費(fèi)較多的時(shí)間和精力，特別是在大規(guī)模生產(chǎn)環(huán)境中，人工調(diào)整會(huì)顯著降低生產(chǎn)效率，而機(jī)械臂調(diào)整在面對(duì)復(fù)雜多變的晶片制造環(huán)境時(shí)，其靈活性可能顯得不足，例如，在某些特殊情況下，機(jī)械臂可能無(wú)法適應(yīng)晶片形狀、尺寸或位置的變化，導(dǎo)致靈活性不足；

3、因此，基于上述檢索以及結(jié)合現(xiàn)有技術(shù)，提出一種晶片組合載具，以解決上述問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供一種晶片組合載具，以解決上述背景技術(shù)中提出的問(wèn)題。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：

3、一種晶片組合載具，包括：載具上底板和載具下底板，所述載具下底板內(nèi)壁固定安裝有密封條，所述載具上底板的頂面固定內(nèi)嵌有多個(gè)磁鐵，所述載具下底板的頂面與內(nèi)嵌的磁鐵吸附，所述載具下底板的內(nèi)部設(shè)置有片狀產(chǎn)品，所述載具上底板的底面固定安裝有多個(gè)定位銷，所述載具下底板的頂面開(kāi)設(shè)有多個(gè)插孔，所述定位銷與插孔相互配合；吸附組件，吸附組件設(shè)置有四組，分別設(shè)置在載具上底板的底面上；檢測(cè)組件，設(shè)置有四組，檢測(cè)組件設(shè)置在圓板上，且用于對(duì)片狀產(chǎn)品的位置進(jìn)行檢測(cè)；調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)設(shè)置有四組，調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)設(shè)置在圓板，且用于對(duì)片狀產(chǎn)品的位置進(jìn)行調(diào)節(jié)。

4、優(yōu)選的，吸附組件包括：圓盤，所述圓盤固定安裝在載具上底板的底面上，所述圓盤的底面開(kāi)設(shè)有圓槽，所述圓槽的內(nèi)壁固定安裝有圓板，所述圓板的頂面開(kāi)設(shè)有活動(dòng)槽，所述活動(dòng)槽的側(cè)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接有球體，所述球體的底面固定安裝有吸盤一

5、優(yōu)選的，檢測(cè)組件包括：支架，所述支架設(shè)置有多個(gè)，所述支架固定安裝在圓板的頂面上，多個(gè)所述支架之間固定安裝有固定盤，所述固定盤的底面開(kāi)設(shè)有安裝槽，所述安裝槽的內(nèi)部固定安裝有視覺(jué)傳感器，所述球體的頂面開(kāi)設(shè)有儲(chǔ)存盒，所述儲(chǔ)存盒的內(nèi)部設(shè)置有水準(zhǔn)泡，所述水準(zhǔn)泡位于視覺(jué)傳感器的正下方。

6、優(yōu)選的，調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括：兩個(gè)吸盤二，兩個(gè)所述吸盤二設(shè)置在圓板上，所述圓板的頂面位于球體的右側(cè)開(kāi)設(shè)有豎向槽，所述圓板的頂面位于球體的后側(cè)開(kāi)設(shè)有橫向槽，調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)還包括移動(dòng)組件與驅(qū)動(dòng)組件。

7、優(yōu)選的，移動(dòng)組件包括：兩個(gè)t形塊，兩個(gè)所述t形塊分別滑動(dòng)安裝在豎向槽與橫向槽中，兩個(gè)所述t形塊的底面均開(kāi)設(shè)有矩形槽，兩個(gè)所述矩形槽的內(nèi)部均固定安裝有電推桿，兩個(gè)所述t形塊的側(cè)壁均固定安裝有齒條。

8、優(yōu)選的，驅(qū)動(dòng)組件包括：齒輪一，所述齒輪一設(shè)置在圓板上，所述圓盤的頂面開(kāi)設(shè)有導(dǎo)軌，所述導(dǎo)軌的內(nèi)壁滑動(dòng)連接有移動(dòng)塊，所述移動(dòng)塊的頂面與齒輪一的底面轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述圓板的頂面開(kāi)設(shè)有放置槽。

9、優(yōu)選的，驅(qū)動(dòng)組件還包括：電機(jī)，所述電機(jī)固定安裝在放置槽的內(nèi)部，所述圓板的頂面位于兩個(gè)齒條的一側(cè)均轉(zhuǎn)動(dòng)連接有齒輪二，所述電機(jī)的輸出軸與其中一個(gè)齒輪二的側(cè)壁連接，兩個(gè)所述齒輪二的頂面均固定安裝有聯(lián)軸，兩個(gè)所述聯(lián)軸之間設(shè)置有皮帶。

10、優(yōu)選的，兩個(gè)所述電推桿的輸出軸分別與兩個(gè)吸盤二的頂面固定連接。

11、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：

12、1、本發(fā)明中，通過(guò)設(shè)置有檢測(cè)組件，使視覺(jué)傳感器與水準(zhǔn)泡相互配合，實(shí)現(xiàn)了對(duì)片狀產(chǎn)品位置的實(shí)時(shí)、高精度檢測(cè)，水準(zhǔn)泡的傾斜狀態(tài)通過(guò)其頂部的透明材質(zhì)被視覺(jué)傳感器精確捕捉，即使微小的位置偏移也能被快速識(shí)別并量化，從而顯著提升了晶片在載具中的位置檢測(cè)精度，并且檢測(cè)組件的自動(dòng)化運(yùn)作減少了人工干預(yù)，降低了人為因素帶來(lái)的誤差，同時(shí)，實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)傳輸與控制系統(tǒng)的無(wú)縫對(duì)接，使得整個(gè)檢測(cè)過(guò)程更加智能化，提升了生產(chǎn)線的整體自動(dòng)化水平，高精度的位置檢測(cè)能夠迅速識(shí)別并反饋晶片的位置偏差，為后續(xù)的位置調(diào)整提供了準(zhǔn)確依據(jù)，從而縮短了調(diào)整時(shí)間，提高了整個(gè)生產(chǎn)流程的效率；

13、2、本發(fā)明中，通過(guò)設(shè)置有調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)晶片位置的精確調(diào)整，無(wú)論是水平方向還是垂直方向，調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)都能根據(jù)檢測(cè)組件提供的數(shù)據(jù)進(jìn)行快速響應(yīng)，將晶片準(zhǔn)確調(diào)整至載具中心位置，確保了加工與測(cè)試的精度，調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)充分考慮了晶片形狀、尺寸及位置變化的可能性，通過(guò)水平和垂直兩個(gè)方向的調(diào)節(jié)組合，能夠靈活應(yīng)對(duì)各種復(fù)雜的生產(chǎn)環(huán)境，這種靈活性使得本發(fā)明的晶片載具在多種應(yīng)用場(chǎng)景下都能保持良好的性能，自動(dòng)調(diào)節(jié)機(jī)制避免了人工調(diào)整過(guò)程中可能出現(xiàn)的誤操作與碰撞，從而減少了晶片在調(diào)整過(guò)程中受到的損傷，同時(shí)，精確的位置調(diào)整確保了加工與測(cè)試的準(zhǔn)確性，降低了因位置偏差導(dǎo)致的缺陷率，提高了晶片的良率與可靠性。

技術(shù)特征：

1.一種晶片組合載具，其特征在于：包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶片組合載具，其特征在于：吸附組件包括：

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種晶片組合載具，其特征在于：檢測(cè)組件包括：

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶片組合載具，其特征在于：調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括：

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種晶片組合載具，其特征在于：移動(dòng)組件包括：

6.根據(jù)權(quán)利要求2或4所述的一種晶片組合載具，其特征在于：驅(qū)動(dòng)組件包括：

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種晶片組合載具，其特征在于：驅(qū)動(dòng)組件還包括：

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種晶片組合載具，其特征在于：兩個(gè)所述電推桿(24)的輸出軸分別與兩個(gè)吸盤二(25)的頂面固定連接。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種晶片組合載具，涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，包括：載具上底板和載具下底板，所述載具下底板內(nèi)壁固定安裝有密封條，所述載具上底板的頂面固定內(nèi)嵌有多個(gè)磁鐵，所述載具下底板的頂面與內(nèi)嵌的磁鐵吸附，所述載具下底板的內(nèi)部設(shè)置有片狀產(chǎn)品，所述載具上底板的底面固定安裝有多個(gè)定位銷，所述載具下底板的頂面開(kāi)設(shè)有多個(gè)插孔，所述定位銷與插孔相互配合；吸附組件，吸附組件設(shè)置有四組，本發(fā)明的檢測(cè)組件與調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)相結(jié)合，不僅提升了晶片載具的自動(dòng)化與智能化水平，還顯著提高了位置檢測(cè)的精度與調(diào)節(jié)的準(zhǔn)確性，為晶片制造行業(yè)帶來(lái)了更高的生產(chǎn)效率與片狀產(chǎn)品質(zhì)量。

技術(shù)研發(fā)人員：肖錦成,孫彩霞,鄭泌淮
受保護(hù)的技術(shù)使用者：蘇州尊恒半導(dǎo)體科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/6