本實(shí)用新型涉及電子顯微鏡技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及掃描式電子顯微鏡技術(shù)領(lǐng)域，具體是指一種掃描式電子顯微鏡樣品夾具。

背景技術(shù)：

掃描電子顯微鏡(scanning electron microscope，SEM)是1965年發(fā)明的較現(xiàn)代的細(xì)胞生物學(xué)研究工具，主要是利用二次電子信號(hào)成像來觀察樣品的表面形態(tài)，即用極狹窄的電子束去掃描樣品，通過電子束與樣品的相互作用產(chǎn)生各種效應(yīng)，其中主要是樣品的二次電子發(fā)射。

在采用掃描電子顯微鏡例如現(xiàn)有的Hitachi su8010機(jī)臺(tái)進(jìn)行切片(cross-section)觀測時(shí)，請(qǐng)參見圖1所示，用膠帶1例如碳膠帶2直接把樣品3粘合在SEM的樣品基座4上，樣品3的影像容易產(chǎn)生漂移。因?yàn)闃悠?是通過膠帶1粘貼固定在SEM的樣品基座4上的，因此很容易出現(xiàn)固定不牢固的現(xiàn)象，從而使樣品3的導(dǎo)電性不好，量取數(shù)據(jù)不準(zhǔn)確；而且樣品3更換不方便，工作效率低。

因此，希望提供一種掃描式電子顯微鏡樣品夾具，其能夠?qū)悠防喂坦潭ㄔ赟EM的樣品基座上，從而提高樣品導(dǎo)電性，達(dá)到改善圖片質(zhì)量的目的，而且樣品更換方便，提高了工作效率。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)中的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型的一個(gè)目的在于提供一種掃描式電子顯微鏡樣品夾具，其能夠?qū)悠防喂坦潭ㄔ赟EM的樣品基座上，從而提高樣品導(dǎo)電性，達(dá)到改善圖片質(zhì)量的目的，而且樣品更換方便，提高了工作效率，適于大規(guī)模推廣應(yīng)用。

本實(shí)用新型的另一目的在于提供一種掃描式電子顯微鏡樣品夾具，其設(shè)計(jì)巧妙，結(jié)構(gòu)簡潔，制造簡單，使用方便，成本低，適于大規(guī)模推廣應(yīng)用。

為達(dá)到以上目的，本實(shí)用新型的掃描式電子顯微鏡樣品夾具，其特點(diǎn)是，包括夾具主體和至少一個(gè)第一固定件，所述夾具主體中設(shè)置有用于容納掃描式電子顯微鏡的樣品的樣品凹槽，所述樣品凹槽的開口朝上設(shè)置，所述樣品凹槽的底部用于固定在所述掃描式電子顯微鏡的樣品基座上，所述第一固定件橫向穿設(shè)所述樣品凹槽的側(cè)壁并相對(duì)所述側(cè)壁橫向可移動(dòng)及可固定設(shè)置用于將所述樣品抵靠固定在所述第一固定件和所述側(cè)壁之間或在多個(gè)所述第一固定件之間。

較佳地，所述第一固定件上橫向設(shè)置有多個(gè)第一固定位，所述側(cè)壁位于其中一個(gè)所述第一固定位上。

較佳地，所述第一固定件螺紋嚙合在所述側(cè)壁中。

更佳地，所述第一固定件是第一螺絲，所述側(cè)壁中橫向設(shè)置有第一螺孔，所述第一螺絲螺紋嚙合在所述第一螺孔中。

較佳地，所述的第一固定件的數(shù)目為2個(gè)，2個(gè)所述第一固定件相對(duì)設(shè)置用于將所述樣品抵靠固定在2個(gè)所述第一固定件之間。

較佳地，所述樣品凹槽為圓柱形凹槽。

較佳地，所述掃描式電子顯微鏡樣品夾具還包括第二固定件，所述第二固定件固定所述底部并用于固定所述樣品基座。

更佳地，所述第二固定件為第二螺絲，所述底部中豎向設(shè)置有第二螺孔，所述第二螺絲螺紋嚙合在所述第二螺孔中并用于螺紋嚙合在所述樣品基座中。

較佳地，所述掃描式電子顯微鏡樣品夾具還包括膠帶，所述膠帶位于所述樣品凹槽中并粘接在所述底部上用于粘接所述樣品。

較佳地，所述掃描式電子顯微鏡樣品夾具為銅夾具。

本實(shí)用新型的有益效果主要在于：

1、本實(shí)用新型的掃描式電子顯微鏡樣品夾具包括夾具主體和至少一個(gè)第一固定件，夾具主體中設(shè)置有用于容納掃描式電子顯微鏡的樣品的樣品凹槽，樣品凹槽的開口朝上設(shè)置，樣品凹槽的底部用于固定在掃描式電子顯微鏡的樣品基座上，第一固定件橫向穿設(shè)樣品凹槽的側(cè)壁并相對(duì)側(cè)壁橫向可移動(dòng)及可固定設(shè)置用于將樣品抵靠固定在第一固定件和側(cè)壁之間或在多個(gè)第一固定件之間，因此，其能夠?qū)悠防喂坦潭ㄔ赟EM的樣品基座上，從而提高樣品導(dǎo)電性，達(dá)到改善圖片質(zhì)量的目的，而且樣品更換方便，提高了工作效率，適于大規(guī)模推廣應(yīng)用。

2、本實(shí)用新型的掃描式電子顯微鏡樣品夾具包括夾具主體和至少一個(gè)第一固定件，夾具主體中設(shè)置有用于容納掃描式電子顯微鏡的樣品的樣品凹槽，樣品凹槽的開口朝上設(shè)置，樣品凹槽的底部用于固定在掃描式電子顯微鏡的樣品基座上，第一固定件橫向穿設(shè)樣品凹槽的側(cè)壁并相對(duì)側(cè)壁橫向可移動(dòng)及可固定設(shè)置用于將樣品抵靠固定在第一固定件和側(cè)壁之間或在多個(gè)第一固定件之間，因此，設(shè)計(jì)巧妙，結(jié)構(gòu)簡潔，制造簡單，使用方便，成本低，適于大規(guī)模推廣應(yīng)用。

本實(shí)用新型的這些和其它目的、特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)，通過下述的詳細(xì)說明，附圖和權(quán)利要求得以充分體現(xiàn)，并可通過所附權(quán)利要求中特地指出的手段、裝置和它們的組合得以實(shí)現(xiàn)。

附圖說明

圖1是現(xiàn)有的將掃描電子顯微鏡的樣品固定在掃描電子顯微鏡的樣品基座上的主視示意圖。

圖2是本實(shí)用新型的掃描式電子顯微鏡樣品夾具的一具體實(shí)施例的主視剖視示意圖。

圖3是圖2所示的具體實(shí)施例的俯視示意圖。

圖4是采用圖2所示的具體實(shí)施例將掃描電子顯微鏡的樣品固定在掃描電子顯微鏡的樣品基座上的主視局部剖視示意圖。

(符號(hào)說明)

1膠帶；2碳膠帶；3樣品；4樣品基座；41第三螺孔；5夾具主體；51樣品凹槽；52開口；53底部；54側(cè)壁；55第一螺孔；56第二螺孔；6第一固定件；61第一螺絲；7第二固定件；71第二螺絲。

具體實(shí)施方式

為了能夠更清楚地理解本實(shí)用新型的技術(shù)內(nèi)容，特舉以下實(shí)施例詳細(xì)說明。

請(qǐng)參見圖2至圖4所示，在本實(shí)用新型的一具體實(shí)施例中，本實(shí)用新型的掃描式電子顯微鏡樣品夾具包括夾具主體5和至少一個(gè)第一固定件6，所述夾具主體5中設(shè)置有用于容納掃描式電子顯微鏡的樣品3的樣品凹槽51，所述樣品凹槽51的開口52朝上設(shè)置，所述樣品凹槽51的底部53用于固定在所述掃描式電子顯微鏡的樣品基座4上，所述第一固定件6橫向穿設(shè)所述樣品凹槽51的側(cè)壁54并相對(duì)所述側(cè)壁54橫向可移動(dòng)及可固定設(shè)置用于將所述樣品3抵靠固定在所述第一固定件6和所述側(cè)壁54之間或在多個(gè)所述第一固定件6之間。

上述的“所述第一固定件6相對(duì)所述側(cè)壁54橫向可移動(dòng)及可固定設(shè)置”指的是所述第一固定件6相對(duì)所述側(cè)壁54橫向可移動(dòng)設(shè)置并在期望位置可固定設(shè)置，即所述第一固定件6相對(duì)所述側(cè)壁54可以橫向移動(dòng)并可以在期望位置固定，從而所述第一固定件6朝向所述樣品凹槽51內(nèi)橫向伸入或橫向退出所述樣品凹槽51。

上述的“用于將所述樣品3抵靠固定在所述第一固定件6和所述側(cè)壁54之間或在多個(gè)所述第一固定件6之間”指的是在所述第一固定件6的數(shù)目為1個(gè)時(shí)，所述第一固定件6用于將所述樣品3抵靠固定在所述第一固定件6和所述側(cè)壁54之間，在所述第一固定件6的數(shù)目為多個(gè)時(shí)，根據(jù)多個(gè)所述第一固定件6的設(shè)置位置，多個(gè)所述第一固定件6用于將所述樣品3抵靠固定在多個(gè)所述第一固定件6和所述側(cè)壁54之間(例如均設(shè)置在所述樣品凹槽51的一側(cè)時(shí))或在多個(gè)所述第一固定件6之間(例如相對(duì)設(shè)置時(shí))。

所述第一固定件6相對(duì)所述側(cè)壁54橫向可移動(dòng)及可固定設(shè)置可以采用任何合適的結(jié)構(gòu)，在本實(shí)用新型的一具體實(shí)施例中，所述第一固定件6螺紋嚙合在所述側(cè)壁54中。

可選地，在本實(shí)用新型的另一具體實(shí)施例中，所述第一固定件6上橫向設(shè)置有多個(gè)第一固定位(圖中未示出)，所述側(cè)壁54位于其中一個(gè)所述第一固定位上，通過不同的第一固定位的選擇，同樣可以實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的目的。

所述第一固定件6可以是任何合適的固定件，請(qǐng)參見圖2和圖4所示，在本實(shí)用新型的一具體實(shí)施例中，所述第一固定件6是第一螺絲61，所述側(cè)壁54中橫向設(shè)置有第一螺孔55，所述第一螺絲61螺紋嚙合在所述第一螺孔55中。

所述的第一固定件6的數(shù)目可以根據(jù)需要確定，例如1個(gè)、2個(gè)、3個(gè)，甚至更多，請(qǐng)參見圖2至圖4所示，在本實(shí)用新型的一具體實(shí)施例中，所述的第一固定件6的數(shù)目為2個(gè)，2個(gè)所述第一固定件6相對(duì)設(shè)置用于將所述樣品3抵靠固定在2個(gè)所述第一固定件6之間。

所述樣品凹槽51可以具有任何合適的形狀，只要能將樣品3置入即可，優(yōu)選橫截面稍大于樣品3的橫截面，以既利于更換樣品3，又便于保證樣品3固定的穩(wěn)固性，請(qǐng)參見圖2至圖4所示，在本實(shí)用新型的一具體實(shí)施例中，所述樣品凹槽51為圓柱形凹槽。

所述夾具主體5可以具有任何合適的形狀，請(qǐng)參見圖2至圖4所示，在本實(shí)用新型的一具體實(shí)施例中，所述夾具主體5為圓柱形。

所述樣品凹槽51的底部53用于固定在所述掃描式電子顯微鏡的樣品基座4上可以采用任何合適的結(jié)構(gòu)，請(qǐng)參見圖2至圖4所示，在本實(shí)用新型的一具體實(shí)施例中，所述掃描式電子顯微鏡樣品夾具還包括第二固定件7，所述第二固定件7固定所述底部53并用于固定所述樣品基座4。即所述底部53通過所述第二固定件7固定在所述樣品基座4上。

所述第二固定件7可以是任何合適的固定件，請(qǐng)參見圖2至圖4所示，在本實(shí)用新型的一具體實(shí)施例中，所述第二固定件7為第二螺絲71，所述底部53中豎向設(shè)置有第二螺孔56，所述第二螺絲71螺紋嚙合在所述第二螺孔56中并用于螺紋嚙合在所述樣品基座4中。例如在螺紋嚙合在所述樣品基座4的第三螺孔41中，在這種情況下，所述樣品基座4需要預(yù)先設(shè)置第三螺孔41。

為了使得樣品3的固定更加穩(wěn)固，請(qǐng)參見圖2至圖4所示，在本實(shí)用新型的一具體實(shí)施例中，所述掃描式電子顯微鏡樣品夾具還包括膠帶1，所述膠帶1位于所述樣品凹槽51中并粘接在所述底部53上用于粘接所述樣品3。

所述膠帶1可以是任何合適的膠帶，例如導(dǎo)電膠帶，比如碳膠帶2。請(qǐng)參見圖2至圖4所示，在本實(shí)用新型的一具體實(shí)施例中，所述膠帶1是碳膠帶2。

所述掃描式電子顯微鏡樣品夾具可以采用任何合適的材質(zhì)制成，在本實(shí)用新型的一具體實(shí)施例中，所述掃描式電子顯微鏡樣品夾具為銅夾具，具有良好的導(dǎo)電性。

使用時(shí)，請(qǐng)參見圖4所示，通過第二固定件7將樣品凹槽51的底部53固定在樣品基座4上，具體是通過第二螺絲71螺紋嚙合樣品凹槽51的底部53和樣品基座4的第三螺孔41，將樣品3置于樣品凹槽51內(nèi)，如果存在膠帶1，則樣品3粘接在膠帶1上，然后使第一固定件6相對(duì)樣品凹槽51的側(cè)壁54橫向移動(dòng)從而朝向樣品凹槽51內(nèi)橫向伸入，直至多個(gè)第一固定件6將樣品3抵靠固定在多個(gè)第一固定件6之間或者將樣品3抵靠固定在第一固定件6和樣品凹槽51的側(cè)壁54之間，如圖4所示，在所述的第一固定件6的數(shù)目為2個(gè)且2個(gè)所述第一固定件6相對(duì)設(shè)置的情況下，2個(gè)所述第一固定件6將所述樣品3抵靠固定在2個(gè)所述第一固定件6之間。

現(xiàn)有技術(shù)是用碳膠帶將樣品和樣品基座直接粘接在一起，容易出現(xiàn)導(dǎo)電性不好和樣品影像漂移的狀況。而采用本實(shí)用新型，可以將樣品固定在樣品基座上，使樣品的固定性變得更好，使樣品穩(wěn)定性提高，從而提高樣品導(dǎo)電性，達(dá)到改善圖片質(zhì)量的目的。與此同時(shí)，本實(shí)用新型更便于樣品的更換，提高了工作效率。

綜上，本實(shí)用新型的掃描式電子顯微鏡樣品夾具能夠?qū)悠防喂坦潭ㄔ赟EM的樣品基座上，從而提高樣品導(dǎo)電性，達(dá)到改善圖片質(zhì)量的目的，而且樣品更換方便，提高了工作效率，設(shè)計(jì)巧妙，結(jié)構(gòu)簡潔，制造簡單，使用方便，成本低，適于大規(guī)模推廣應(yīng)用。

由此可見，本實(shí)用新型的目的已經(jīng)完整并有效的予以實(shí)現(xiàn)。本實(shí)用新型的功能及結(jié)構(gòu)原理已在實(shí)施例中予以展示和說明，在不背離所述原理下，實(shí)施方式可作任意修改。所以，本實(shí)用新型包括了基于權(quán)利要求精神及權(quán)利要求范圍的所有變形實(shí)施方式。