本申請是申請人動力微系統(tǒng)公司的發(fā)明名稱“半導體儲料器系統(tǒng)和方法”的申請的分案申請，國際申請日是2012年6月28日，國際申請?zhí)枮閜ct/ib2012/053278，進入中國國家階段日期是2013年12月27日，國家申請?zhí)枮?01280032202.3。

本申請主張2011年6月28日提出申請的題目為“semiconductorstockersystemsandmethods”的美國臨時專利申請第61/501,792號的優(yōu)先權，該申請通過引用在此并入供參考。

本發(fā)明涉及用于存儲在半導體制造行業(yè)中使用的諸如晶片或掩模版載具的工件或工件容器的設備和方法。

背景技術：

儲料器通常安裝在半導體設備內(nèi)以用于臨時存儲諸如晶片、平板顯示器、lcd、光刻掩模版或掩模的工件。在制造半導體器件、lcd面板及其它工件的過程中，具有數(shù)百個處理設備并因此具有數(shù)百個制造步驟。非常難以使晶片、平板、或lcd(以下稱為工件)在步驟之間、工具之間統(tǒng)一流動。盡管被最好計劃，但是始終存在料想不到的情況，例如工具掉下、發(fā)生緊急狀況、周期性保養(yǎng)比計劃持續(xù)得時間長，因此對于一些工具在一些步驟處會存在各種工件的聚集。聚集的工件將需要被存儲在存儲儲料器中，等待被處理。

例如，光刻處理是半導體制造設備中的關鍵處理，涉及大量光刻掩?；蜓谀０?在以下中稱為掩模版)。掩模版因此通常被存儲在存儲儲料器中，并當需要使被取回到光刻曝光設備中。

工件和掩模版(以下稱為物品)的存儲由于清潔度要求而更加復雜。對物品的損壞可以是顆粒形式的物理損壞或相互作用形式的化學損壞。在半導體裝置處理的關鍵尺寸超過0.1微米的情況下，將需要防止0.1微米尺寸的顆粒和活性組分接近物品。存儲區(qū)域通常需要比處理設備更清潔以確保處理之間進行較小的清潔。

因此儲料器存儲區(qū)域通常被設計成優(yōu)選地通過恒定吹掃或甚至通過惰性氣體流相對于外部環(huán)境密封以防止可能的化學反應。對存儲區(qū)域的訪問被負載鎖定，以確保清潔的存儲環(huán)境與外部環(huán)境之間的隔離。

隨著半導體裝置和處理的發(fā)展，在現(xiàn)代化半導體設備中的清潔度要求增加，例如在存儲儲料器中的清潔度的要求增加。

技術實現(xiàn)要素：

在一個實施例中，本發(fā)明公開了用于諸如超紫外線(euv)掩模版載具的高水平清潔度物品的清潔存儲方法和系統(tǒng)。凈化室可以用于清潔存儲工件。吹掃氣體系統(tǒng)可以用于防止存儲在工件內(nèi)的物品的污染。機器人可以用于檢測在輸送工件之前存儲室的條件。監(jiān)測裝置可以用于監(jiān)測器儲料器的狀態(tài)。

附圖說明

圖1a-1b示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的儲料器系統(tǒng)的結構；

圖2a-2b示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的凈化處理的示例；

圖3a-3b示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的凈化系統(tǒng)的不同結構；

圖4a-4b示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的用于使用凈化室對對象進行凈化的流程圖；

圖5a-5b示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的用于使用凈化室對對象進行凈化的其它流程圖；

圖6a-6c示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的用于使用凈化室對儲料器中的對象進行凈化的流程圖；

圖7示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的包括多個存儲隔室的存儲室；

圖8示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的使用吹掃氣體存儲隔室的儲料器系統(tǒng)；

圖9a-9c示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的用于使用吹掃氣體隔室存儲對象的流程圖；

圖10a-10e示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的具有流量傳感器的機械臂；

圖11a-11b示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例夾持臂上的傳感器結構；

圖12a-12d示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的流動檢測程序；

圖13a-13b示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的在放置對象之前用于感測吹掃氣體流的流程圖；

圖14a圖示了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的監(jiān)測器載具；

圖14b示出了為儲料器的監(jiān)測載具的移動；

圖15a-15c示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例用于從監(jiān)測載具收集數(shù)據(jù)的流程圖；

圖16a示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的包括數(shù)據(jù)采集臺的系統(tǒng)；

圖16b示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的數(shù)據(jù)采集臺的流程圖；

圖17示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的用于過載臺和手動裝載臺的示例性結構；

圖18a-18b示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的用于防問過載臺的示例性流程圖；

圖19示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的具有吹掃噴嘴的示例性輸送和/或存儲臺；以及

圖20示出了euv掩模版載具的結構。

具體實施方式

在一些實施例中，本發(fā)明公開了用于存儲諸如半導體工件容器和掩模版載具的對象的方法和設備。在一個實施例中，存儲過程可以包括用于將氣體吹掃到存儲對象的內(nèi)部容積的用于存儲的潔凈環(huán)境和用于周期性地清潔存儲對象的凈化室。

對于諸如暗盒、foup、保持器、載具等的半導體制品來說清潔度可能是關鍵的要求。在清潔存儲中，清潔環(huán)境保持清潔度水平，例如將在幾微米范圍內(nèi)的顆粒減小到子微米水平，并且減少痕量污染物、有機、無機金屬、自然氧化物和微粒問題。

在一個實施例中，本發(fā)明公開了用于諸如超紫外線(euv)掩模版載具的高水平清潔度制品的清潔存儲方法和系統(tǒng)。隨后的描述使用超紫外輻射掩模版載具是示例性的，但是本發(fā)明不受此限制，而是可以被應用于具有嚴格清潔度要求的任何對象，例如低微粒污染物和低除氣部件。

圖20示出了將要被存儲的euv掩模版載具的結構。euv掩模版200通常被存儲在雙容器載具209中，且在內(nèi)容器與外容器之間的空間207中具有氮氣。內(nèi)容器通常由金屬制成，所述內(nèi)容器包括與下支撐件202配合的上蓋201。外容器通常由低除氣聚合物制成，所述外容器包括與下支撐件204配合的上蓋203。兩個容器都可以具有用于被操作者或自動輸送系統(tǒng)保持的手柄。顯示用于外容器的上蓋203的手柄205。外容器的支撐件204可以具有用于接收吹掃到掩模版載具的內(nèi)部容積207的氮氣的入口。

雙容器euv掩模版載具是用于半導體處理的高水平清潔度的一個示例，其中掩模版被存儲在兩個水平的容器中以防止污染。另外，兩個水平之間的容積被氮氣吹掃以避免細菌增長，或防止來自外容器的除氣顆粒附到內(nèi)容器。因此用于這種清潔對象的存儲系統(tǒng)要求保持期望的清潔度水平的改進的特征。

在一個實施例中，本發(fā)明公開了用于周期性地吹掃、清潔存儲對象或?qū)λ龃鎯ο筮M行除氣的清潔室和方法。清潔室可以例如通過在存儲期間對粘到對象的任何污染物進行除氣來恢復存儲對象的清潔度。周期性清潔可以減少或除去任何污染物，從而使對象恢復到高清潔度水平。

在一個實施例中，清潔室可以包括凈化室，所述凈化室采用高真空以對對象執(zhí)行污染物的除氣。將要被存儲的對象在放置處于存儲狀態(tài)之前被凈化。存儲對象可以在從儲料器取出之前被凈化。例如在一定時間之后，當對象變臟時，或當考慮儲料器的清潔度水平時，存儲對象可以在某些程序之后被凈化。

在一個實施例中，凈化過程使用諸如10^-6托或低于10^-6托的高真空，以釋放對象的表面或子表面上的任何被圈閉污染物。另外，對象內(nèi)部的容積例如以相同的高真空水平被抽空。此外，可以對內(nèi)部容積執(zhí)行吹掃處理以進一步除去對象內(nèi)的任何微粒和污染物。

在一個實施例中，通過內(nèi)部容積泵送清潔氮氣和/或泵送/吹掃清潔氮氣在閉合的同時對對象進行去污。在另一個實施例中，在打開的同時對對象進行去污，因此對象的所有部分都受到高水平真空以釋放任何被圈閉污染物。

圖1a-1b示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的儲料器系統(tǒng)的結構。儲料器可以包括存儲室12、裝載和卸載臺18和用于在裝載/卸載臺18與存儲室12之間輸送對象的輸送系統(tǒng)16。另外，儲料器還可以包括用于清潔存儲對象的凈化室14。凈化室14可以被定位成與存儲室12相對(圖1a)或緊接于存儲室12(圖1b)。可選地，凈化室14可以位于儲料器系統(tǒng)內(nèi)的任何位置，例如，位于輸送機器人16的入口內(nèi)。

圖2a-2b示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的凈化處理的示例。被顯示要被凈化的對象是雙容器掩模版載具，所述雙容器掩模版載具包括保護掩模版21的外容器22b和內(nèi)容器22a。凈化室20可以包括用于保持凈化室23a內(nèi)的真空的真空泵25、包括諸如氮氣或壓縮空氣的用于建立加壓室的清潔的、不活潑或惰性氣體的氣體吹掃系統(tǒng)26、和聯(lián)接到對象的內(nèi)部容器(例如，外容器22b與內(nèi)容器22a之間的容積23b)的一個或多個歧管28。歧管28聯(lián)接到用于對內(nèi)部容積進行抽空的泵送管線29b和用于吹掃內(nèi)部容積的吹掃氣體29a?？梢园訜崞?4以用于加熱對象和/或凈化室。還可以包括諸如rga(殘余氣體分析器)的傳感器以監(jiān)測對象的污染物水平。

在圖2a中，通過真空泵25(例如，通過切斷流26)建立真空容積23a，且通過切換到泵送管線29b的歧管28建立對象內(nèi)部的真空容積23b。加熱器24和rga27可以打開?？梢灶A先確定設定用于凈化的時間，或可以通過由傳感器27觀察到的污染物水平設定用于凈化的時間。在圖2b中，完成真空凈化之后，真空關閉，并且吹掃氣體26被接通以在凈化室中建立加壓環(huán)境23a*。進一步地，歧管28被切換到吹掃氣體29a以使吹掃氣體流動到內(nèi)部容積23b*。在將凈化室20朝向大氣打開之前，例如在從凈化室取出對象之前，可以建立加壓環(huán)境。加壓環(huán)境可以防止污染物和微粒到對象表面的反圈閉。

在一個實施例中，在真空凈化狀態(tài)期間(圖2a)，歧管28可以在泵送與吹掃之間周期性地切換，從而有效地執(zhí)行清潔內(nèi)部容積23b的泵送/吹掃循環(huán)。

圖3a-3b示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的凈化系統(tǒng)的不同結構。在圖3a中，外容器22b在凈化期間被打開。在這種情況下，因為內(nèi)部容積可以通過凈化室23被泵送，因此歧管28可以直接聯(lián)接到吹掃管線29a。如前所述執(zhí)行凈化處理，其真空與加熱器24和傳感器27一起提供用于圈閉污染物的除氣處理。吹掃氣體被切斷，例如，用于室的吹掃氣體26和用于容器的吹掃氣體29a。在完成凈化處理之后，除了用于填充內(nèi)部容積的吹掃29a之外，可以引入吹掃氣體26以建立加壓環(huán)境。在將所有對象釋放到外部環(huán)境之前，在通過吹掃氣體29a進行的潔凈環(huán)境下可以閉合外容器。

在圖3b中，內(nèi)容器和外容器兩者在凈化期間都打開。在將封閉的對象釋放到外部之前在吹掃氣體環(huán)境下閉合內(nèi)容器和外容器。

圖4a-4b示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的用于使用凈化室對對象進行凈化的流程圖。在一個實施例中，載具的外部受到真空除氣處理，并且載具內(nèi)的容積受到泵送/吹掃處理。泵送/吹掃處理可以是用于在清潔氣體吹掃之后進行除氣的真空泵送。可選地，泵送/吹掃處理可以包括泵送和吹掃的多個循環(huán)。在圖4a中，操作40抽空凈化室中的氣體以凈化載具。操作泵送和吹掃載具內(nèi)的氣體，一個或多個循環(huán)。操作42在移除載具之前使氮氣流動到凈化室。

在一個實施例中，載具內(nèi)的容積內(nèi)載被任選地泵送出來。例如，如果凈化之間的時間較短，這表示載具內(nèi)的清潔氣體仍然非常潔凈，且具有最小或可忽略的粘到內(nèi)部容積內(nèi)側的對象，則可能不需要內(nèi)部容積的除氣。在大多數(shù)情況下，載具內(nèi)的清潔氣體(例如，氮氣)例如通過內(nèi)部容積的吹掃處理被新的清潔氣體替換。在圖4b中，操作43將輸送載具到凈化室。操作44抽空凈化室中的氣體。操作45任選地抽空載具內(nèi)的氣體。操作46使氮氣流動到載具內(nèi)的容積。操作47使氮氣流動到凈化室。操作48將載具從凈化室輸送出來。

圖5a-5b示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的用于使用凈化室對對象進行凈化的其它流程圖。在一個實施例中，載具被打開以用于凈化載具的外部和內(nèi)部。例如，外容器被打開以用于凈化外容積與內(nèi)部容積之間的容積。最內(nèi)部容積仍然被關閉以保護掩模版。在圖5a中，操作50將載具輸送到凈化室。操作51使氮氣流動到凈化室。操作52打開載具的外容器。操作53抽空凈化室中的氣體。操作54使氮氣流動到凈化室。操作55使氮氣流動到載具的內(nèi)部容積。操作56關閉載具的外容器。操作57除去載具。

在一個實施例中，外容器和內(nèi)容器兩者都打開以用于進行凈化。因此，可以在將操作52和56修改到52a和56a的情況下使用以上程序。在圖5b中，操作52a打開載具的外容器和內(nèi)容器。操作53至55是類似的，且操作53抽空凈化室中的空氣；操作54使氮氣流動到凈化室；以及操作55使氮氣流動到載具的內(nèi)部容積。操作56a關閉載具的內(nèi)容器和外容器。

圖6a-6c示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的用于使用凈化室對儲料器中的對象進行凈化的流程圖。在一個實施例中，存儲在儲料器中的對象被周期性地或偶爾帶到清潔室(例如，凈化室)以用于清潔或調(diào)節(jié)。在圖6a中，操作60將載具存儲在存儲室中。操作61周期性地將載具帶到凈化室以用于進行凈化。操作62使凈化載具返回到存儲室。

在一個實施例中，在將對象帶到儲料器之前清潔或凈化對象。在圖6b中，操作63將載具裝載到儲料器裝載端口。操作64將載具輸送到凈化室以用于進行凈化。操作65將載具存儲在儲料器的存儲部中。

在一個實施例中，在將對象從儲料器取出之前清潔或凈化對象。在圖6c中，操作66將載具存儲在儲料器的存儲部中。操作67將載具輸送到凈化室以用于進行凈化。操作68將凈化載具輸送到儲料器的裝載端口。

在一些實施例中，本發(fā)明公開了一種用于凈化工件的凈化室。工件可以包括用于存儲制品的第一容器。第一容器可以存儲在第二容器內(nèi)。例如，工件可以是用于euv掩模版的載具。凈化室可以包括用于支撐工件的支撐件。支撐件可以包括室的壁。支撐件可以包括基架。凈化室可以包括第一泵送機構，其中第一泵送機構聯(lián)接到凈化室。第一泵送機構可以包括諸如渦輪泵或低溫泵的泵。泵送機構可以包括用于快速吞吐量的高速泵送系統(tǒng)。凈化室可以包括用于將惰性氣體輸送給凈化室的第一氣體輸送系統(tǒng)。第一輸送系統(tǒng)可以包括終止氣流的切斷閥。凈化室可以包括第二泵送機構，其中第二泵送機構聯(lián)接到工件，其中第二泵送機構被構造成泵送第一容器與第二容器之間的容積。凈化室可以包括第二氣體輸送系統(tǒng)，其中第二氣體輸送系統(tǒng)聯(lián)接到工件，其中第二氣體輸送系統(tǒng)被構造成將惰性氣體輸送到第一容器與第二容器之間的容積。在一些實施例中，凈化室可以包括例如通過用于在泵送與吹掃之間進行切換的歧管將工件連接到第二泵送系統(tǒng)和第二輸送系統(tǒng)的噴嘴。噴嘴可以從凈化室的外部突出到凈化室的內(nèi)部。例如，噴嘴可以聯(lián)接到支撐件，使得當被放置在支撐件上時工件可以被聯(lián)接到噴嘴?？蛇x地，噴嘴可以設置在凈化室內(nèi)的任何位置，并聯(lián)接到工件用于泵送和吹掃的開口。在一些實施例中，第二泵送機構可以聯(lián)接到噴嘴以泵送第一容器與第二容器之間的容積。第二氣體輸送系統(tǒng)可以聯(lián)接到噴嘴以將惰性氣體輸送到第一容器與第二容器之間的容積?？梢栽O置歧管，其中歧管聯(lián)接到噴嘴以用于在將惰性氣體輸送到噴嘴與通過噴嘴進行泵送之間進行切換。在一些實施例中，凈化室可以包括用于打開第二容器的第一機構，其中第二容器的打開將第一容器暴露給第二臺的環(huán)境。例如，第二容器的頂部部分可以被向上抬高。凈化室可以包括用于打開第一容器的第二機構，其中第一容器的打開將制品暴露給第二臺的環(huán)境。例如，第一容器的頂部部分可以被向上抬高。

在一些實施例中，本發(fā)明公開了一種用于存儲工件的儲料器。工件可以包括用于存儲制品的第一容器，其中第一容器被存儲在第二容器內(nèi)。儲料器可以包括第一臺，其中第一臺可操作以裝載或卸載工件。第一臺可以是裝載臺、卸載臺或用作裝載和卸載臺的臺。儲料器可以包括第二臺，其中第二臺包括第一泵送機構，其中第一泵送機構可操作以建立第二臺內(nèi)的真空環(huán)境，其中第二臺可操作以對工件進行除氣。第二臺可以使用真空作為凈化室操作以對工件的表面進行除氣。儲料器可以包括存儲室，其中存儲室包括用于存儲工件的多個隔室。儲料器可以包括第三臺，其中第三臺包括用于在第一臺、第二臺以及存儲室之間輸送工件的機器人機構。

在一些實施例中，第二臺可以包括用于將惰性氣體輸送到第二臺的氣體輸送系統(tǒng)。第二臺可以包括用于將惰性氣體輸送到第一容器與第二容器之間的容積的氣體輸送系統(tǒng)。第二臺可以包括從第二臺的外部突出到第二臺的內(nèi)部的一個或多個噴嘴，其中工件聯(lián)接到噴嘴。噴嘴可以被構造成將惰性氣體輸送到第一容器與第二容器之間的容積，或其中噴嘴被構造成泵送第一容器與第二容器之間的容積。第二臺可以包括用于泵送第一容器與第二容器之間的容積的第二泵送機構。第二臺可以包括用于打開第二容器的第一機構，其中第二容器的打開將第一容器暴露給第二臺的環(huán)境，其中第二臺進一步包括用于打開第一容器的第二機構，其中第一容器的打開將制品暴露給第二臺的環(huán)境。

在一些實施例中，本發(fā)明公開了一種用于凈化工件的方法。工件包括用于存儲制品的第一容器。第一容器可以被存儲在第二容器內(nèi)。所述方法可以包括將工件輸送到第一臺，其中第一臺被構造成對工件進行凈化。在將工件設置在第一臺中之后，可以在第一臺內(nèi)建立真空。進一步地，可以對第一容器與第二容器之間的容積進行泵送。接著監(jiān)測工件的除氣，其中通過真空環(huán)境并通過泵送產(chǎn)生除氣。在工件被清潔之后，例如，通過監(jiān)測顯示沒有或具有最小污染物，諸如監(jiān)測器顯示恒定水平的污染物，可以從第一臺移除工件。在移除之前，惰性氣體流動到第一臺?；顫姎怏w還流動到第一容器與第二容器之間的容積。惰性氣體因此可以防止環(huán)境與被清潔工件的交叉污染。然后，可以從第一臺輸送出工件。

在一些實施例中，所述方法可以包括在凈化處理期間打開第一容器和/或打開第二容器。所述方法還可以包括以下步驟：在存儲之前將工件從裝載端口輸送到第一臺以用于進行凈化；在存儲一定時間之后或當從存儲部取出工件時，將工件從存儲室輸送到第一臺以用于進行凈化；將工件從第一臺輸送到卸載端口以用于從存儲部取出；在被清潔之后將工件從第一臺輸送到存儲室以用于存儲工件。

以上描述說明了采用凈化室以用于清潔存儲對象的儲料器。然而，本發(fā)明沒有受限于此，而是可以等同地應用于任何清潔室，例如低溫清潔、吹起清潔低溫噴砂、激光清潔、或超臨界液體清潔。

在一個實施例中，本發(fā)明公開了具有用于保持存儲對象的內(nèi)部容積清潔的吹掃氣體系統(tǒng)的存儲室。吹掃氣體系統(tǒng)可以將氮氣輸送到對象的內(nèi)部，從而有效地替換內(nèi)部環(huán)境，恢復清潔度水平，并可以消除或減少微粒除氣。例如，在存儲期間用氮氣連續(xù)(或斷續(xù)地)吹掃雙容器euv掩模版載具的外容器與內(nèi)容器之間的容積，使得從外容器被除氣的任何污染物被移除并不會粘到內(nèi)容器。

在一個實施例中，可以用層流吹掃存儲室以用于保持存儲清潔，從而防止或減小任何污染物粘到載具的外部。例如，諸如過濾之后的壓縮空氣的清潔氣體可以從頂部部分或從側部被引入到存儲室以減少或消除交叉污染。

在一個實施例中，吹掃氣體可以被再循環(huán)，從而消除來自外部環(huán)境的任何污染機會。再循環(huán)氣體可以包括諸如氮氣的惰性氣體或諸如空氣的活潑氣體。再循環(huán)氣體可以被過濾以除去微粒，并且可以被冷卻減少熱運動。因此，存儲室的內(nèi)部環(huán)境與外部環(huán)境隔離，從而允許適于存儲對象的清潔度水平。

圖7示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的包括多個存儲隔室的存儲室。中心氣體管線74將吹掃氣體輸送到存儲隔室。在一個實施例中，在沒有任何有源計量或控制閥的情況下，吹掃氣體73a/73b連續(xù)輸送吹掃氣體?？梢栽谥圃炱陂g預先確定吹掃氣體流，并且輸送吹掃氣體流可以具有任選的用于手動調(diào)節(jié)的計量閥，這對于所有隔室是相同的或?qū)τ诓煌羰沂遣煌模强梢詻]有有源或反饋控制裝置。吹掃氣體流可以是定量氣體，而與對象是否位于隔室內(nèi)無關。在另一個實施例中，吹掃氣體可以被有效控制以例如在任何存儲對象的情況下減少隔室的吹掃氣體的損失。

吹掃氣體可以將諸如氮氣的清潔氣體輸送到存儲對象的內(nèi)部容積，例如，雙容器掩模版載具的外容器72a與內(nèi)容器72b之間的容積。對于所有隔室來說層流(來自外部環(huán)境或來自再循環(huán)環(huán)境))可以從各個隔室的頂部71a(或從底部，未示出)或從側部71b被輸送到存儲隔室。

圖8示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的使用吹掃氣體存儲隔室的儲料器系統(tǒng)。諸如雙容器載具81b的對象可以被裝載到輸入裝載臺，并且可以通過機器人84被輸送到儲料器80的存儲室81a。在一個實施例中，存儲室可以包括可在方向85上旋轉的傳送帶，使得輸入/輸出隔室81a面對機器人84。

每一個存儲室81可以包括用于對存儲載具的內(nèi)部容積進行吹掃的吹掃氣體管線83c。吹掃氣體可以從中心管線83被輸送到輸送管線83a，被分配給環(huán)83b，然后被提供給存儲隔室。因為傳送帶可旋轉，因此諸如鐵流體密封件82的旋轉密封件可以聯(lián)接在固定輸入管線83與旋轉管線83a/83b/83c之間。為過濾環(huán)境氣體或過濾再循環(huán)氣體的層流88被提供給存儲隔室。在一個實施例中，輸入裝載臺設置有吹掃氣體管線87以在裝載位置處吹掃載具81b的內(nèi)部容積。

類似的處理可以用于將載具從存儲隔室移到裝載/卸載臺。

圖9a-9c示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的用于使用吹掃氣體隔室存儲對象的流程圖。在一個實施例中，載具可以被存儲在使吹掃氣體到載具的內(nèi)部容積的位置中。在圖9a中，操作90將載具輸送到儲料器。操作91使在儲料器中的存儲位置處的氮氣流動。操作92將載具存儲在存儲位置處，其中載具聯(lián)接到氮氣流以使氮氣流動到載具的內(nèi)部容積。

在一個實施例中，每一個隔室都可以具有吹掃氣體，并且每一個載具都可以在具有吹掃氣體的位置處被裝載到儲料器。在圖9b中，載具可以通過存儲傳送帶的旋轉被輸送到儲料器中的存儲室。操作93將載具輸送到儲料器裝載端口。操作94使儲料器的存儲傳送帶旋轉到空閑的存儲位置。操作95使在空閑的存儲位置處的氮氣流動。操作96將載具輸送到存儲位置，其中載具聯(lián)接到氮氣流以使氮氣流動到載具的內(nèi)部容積。

在一個實施例中，每一個隔室都可以具有吹掃氣體，并且每一個載具都可以被卸載到裝載端口。在圖9c中，載具可以通過存儲傳送帶的旋轉被輸送到卸載端口。操作97將載具存儲在儲料器傳送帶中，其中每一個載具都聯(lián)接到氮氣流以使氮氣流動到載具的內(nèi)部容積。操作98將儲料器的存儲傳送帶旋轉到期望的載具位置。操作99將期望的載具輸送到儲料器裝載端口。

在一些實施例中，本發(fā)明公開了一種用于存儲工件的儲料器。工件可以包括用于存儲制品的第一容器。第一容器可以被存儲在第二容器內(nèi)。儲料器可以包括：第一臺，其中第一臺可操作以裝載或卸載工件；存儲室，其中存儲室包括用于存儲工件的多個隔室；第二臺，其中第二臺包括用于在第一臺與存儲室之間輸送工件的機器人機構；氣體輸送系統(tǒng)，其中氣體輸送系統(tǒng)被分配給存儲室的每一個隔室中的一個或多個噴嘴，其中噴嘴被構造成聯(lián)接到存儲在每一個隔室中的工件以將惰性氣體輸送給工件的第一容器與第二容器之間的容積。

在一些實施例中，在工件聯(lián)接到噴嘴或工件沒有聯(lián)接到噴嘴的情況下，氣體輸送系統(tǒng)將惰性氣體輸送給噴嘴。在一些實施例中，儲料器可以包括：當工件聯(lián)接到噴嘴時將惰性氣體輸送到噴嘴的機構；計量閥，所述計量閥聯(lián)接到噴嘴以控制通過噴嘴的惰性氣體的流量；用于將層流輸送到隔室的流機構，其中層流從存儲室的頂部被提供；用于將層流輸送到隔室的流機構，其中層流從每一個各個隔室的側部被提供；循環(huán)機構，所述循環(huán)機構聯(lián)接到升高底板以用于使存儲室內(nèi)的流動循環(huán)；和用于冷卻存儲室內(nèi)的氣體的冷卻器。

在一些實施例中，儲料器可以包括：第一臺，其中第一臺可操作以裝載或卸載工件；第一氣體輸送系統(tǒng)，其中第一氣體輸送系統(tǒng)聯(lián)接到第一臺中的一個或多個第一噴嘴，其中第一噴嘴被構造成聯(lián)接到位于第一臺中的工件以將惰性氣體輸送到工件的第一容器與第二容器之間的容積；存儲室，其中存儲室包括用于存儲工件的多個隔室，其中所述隔室設置在可旋轉傳送帶上；第二臺，其中第二臺包括用于在第一臺與存儲室之間輸送工件的機器人機構；第二氣體輸送系統(tǒng)，其中氣體輸送系統(tǒng)通過旋轉密封件被分配給存儲室的每一個隔室中的一個或多個噴嘴，其中旋轉密封件被構造成將第二氣體輸送系統(tǒng)聯(lián)接到可旋轉傳送帶，其中噴嘴被構造成聯(lián)接到存儲在每一個隔室中的工件以將惰性氣體輸送到工件的第一容器與第二容器之間的容積。

在一些實施例中，儲料器可以包括：用于將層流輸送到隔室的流機構，其中層流從每一個各個隔室的側部被提供；循環(huán)機構，所述循環(huán)機構聯(lián)接到升高的底板以用于使存儲室內(nèi)的流循環(huán)；用于冷卻存儲室內(nèi)的氣體的冷卻器；和凈化室，其中凈化室可操作以對工件進行凈化。

在一些實施例中，本發(fā)明公開了一種用于存儲工件的方法。工件可以包括用于存儲制品的第一容器。第一容器可以被存儲在第二容器內(nèi)。所述方法可以包括以下步驟：將工件輸送到存儲室的隔室，其中工件聯(lián)接到一個或多個噴嘴，其中噴嘴被構造成將惰性氣體輸送到工件的第一容器與第二容器之間的容積；使惰性氣體流動到噴嘴。

在一些實施例中，所述方法可以進一步包括以下步驟：在將工件從裝載端口輸送到隔室之前將工件接收到裝載端口，其中工件聯(lián)接到裝載端口中的一個或多個第二噴嘴，其中第二噴嘴被構造成將惰性氣體輸送到工件的第一容器與第二容器之間的容積；使惰性氣體流動到第二噴嘴；在工件聯(lián)接到噴嘴或在工件沒有聯(lián)接到噴嘴的情況下使惰性氣體流動到噴嘴；當工件聯(lián)接到噴嘴時使惰性氣體流動到噴嘴；將層流輸送給隔室，其中層流從隔室的側部被提供；通過升高的底板將循環(huán)流輸送給隔室；以及通過冷卻器輸送循環(huán)流。

在一個實施例中，本發(fā)明公開了一種在存儲室與裝載端口之間進行輸送期間保持對象的機械臂。機器人可以包括用于檢測在將對象存儲在存儲室處時檢測所述位置處的吹掃氣體的流量傳感器。在一個實施例中，可以立即執(zhí)行檢測，這表示在到存儲室的通路期間，因此不會發(fā)生輸送置頂。在一個實施例中，可以以單獨的動作執(zhí)行檢測，從而在選擇存儲室之前檢測吹掃流的存在。

在一個實施例中，傳感器可以用于每一個吹掃氣體，因此用于多個吹掃氣體系統(tǒng)，機械臂可以檢測多個有缺陷的吹掃氣體噴嘴。傳感器可以被定位成直接位于吹掃氣體噴嘴上，因此可以可靠地檢測氣流的存在。在一個實施例中，例如，當機械臂載具的夾持外緣并且吹掃氣體噴嘴設置在外緣區(qū)域內(nèi)時，傳感器被定位成偏離吹掃氣體噴嘴。

在一個實施例中，具有夾持臂的夾持手柄可以用于保持諸如雙容器載具的存儲對象。例如，夾持臂可以保持外容器?？蛇x地，夾持臂可以保持被設計成用于置頂輸送系統(tǒng)的頂部手柄。

圖10a-10e示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的具有流量傳感器的機械臂。機械臂101可以具有設置在機械臂的端部區(qū)域處的流量傳感器102，因此可以檢測在機械臂移動期間并在載具105到達氣體噴嘴103之前的流104。在檢測氣流存在于期望位置之后，機械臂可以使其繼續(xù)向前移動，并當載具到達噴嘴103時停止。機器人然后可以將載具105放置在吹掃氣體噴嘴上，從而允許吹掃氣體104a從噴嘴進入載具105的內(nèi)部容積106。如果沒有檢測到吹掃氣體，則機械臂可以移動到另一個存儲室，并且任選地將該位置標記為具有缺陷的吹掃氣體。在到期望存儲位置的通路期間可以執(zhí)行檢測，因此不會發(fā)生置頂，并且儲料器的吞吐量可以保持基本上相同，而與檢測吹掃氣體流的額外動作無關。

圖11a-11b示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例夾持臂上的傳感器結構。在一個實施例中，傳感器可以位于機械臂的諸如夾持臂的前端處，使得傳感器可以檢測在載具到達氣體噴嘴之前的流。在圖11a中，夾持臂110可以夾持通過邊緣載具111。傳感器112可以設置在夾持臂110的末端處，并且當夾持臂移動通過氣體噴嘴113時可以檢測來自噴嘴113的側流。在一個實施例中，夾持臂可以移動，使得載具111與氣體噴嘴113對準。在所述移動方向上，來自噴嘴的流可以通過傳感器112被補償?？蛇x地，夾持臂可以移動以檢測流，然后調(diào)節(jié)移動到使載具與噴嘴對準。

在一個實施例中，傳感器可以被設置成在移動路徑期間與噴嘴對準。在圖11b中，夾持臂110a可以將載具111a夾持在頂部手柄115處，因此當夾持臂移動以將載具111a放置在噴嘴113上時直接位于噴嘴113的頂部上。

圖12a-12d示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的流動檢測程序。所述程序顯示了夾持臂110a將載具111a在夾持在頂部手柄115處。傳感器112可以位于夾持臂110a的端部處。圖12a顯示了在將載具111a放置在存儲位置上使得載具與吹掃噴嘴113配合的路徑上的夾持臂110a。在移動路徑上，傳感器112可以在流動噴嘴113的頂部上，并因此可以檢測是否存在流動(圖12b)。基于傳感器的位置、流動噴嘴和夾持臂的路徑，其它結構也是可以的。在檢測至少一個流的存在(所有兩個流，這取決于對吹掃載具的要求)時，夾持臂可以繼續(xù)所述路徑，從而當噴嘴與載具對準時(圖12c)夾持臂停止。在對準之后，夾持臂可以將載具放置在存儲位置處，從而允許噴嘴將吹掃氣體提供給載具的內(nèi)部容積。然后可以收回夾持臂(圖12d)。

該程序描述了檢測放置載具的路徑上的噴嘴流的可能結構。可以使用其它結構，例如檢測側流，移動以在校正用于載具放置的路徑之前檢測噴嘴流。

圖13a-13b示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的在放置對象之前用于感測吹掃氣體流的流程圖。在圖13a中，機械臂可以檢測存儲位置處的氣流的存在，并且可以識別存儲位置具有適于存儲對象的吹掃氣體流。流識別可以集成到對象放置操作，從而識別對象放置路徑上的流。操作130使機械臂移動到存儲位置。操作131通過夾持臂上的傳感器感測存儲位置處的氣流的存在。操作132識別存儲位置是否具有吹掃氣體流。

在圖13b中，可以通過具有一個或多個集成傳感器的機械臂執(zhí)行對象放置的程序。操作133通過夾持臂拾取載具。操作134移動到期望的存儲位置。操作135通過夾持臂上的傳感器在到存儲位置的路徑上感測氣流的存在。操作136在檢測到氣流的情況下將載具放置到期望的存儲位置，使得氣體流動到載具的內(nèi)部。操作137在沒有檢測到氣流的情況下將載具輸送到另一個存儲位置。

在一些實施例中，本發(fā)明公開了一種用于輸送工件的機器人。機器人可以包括用于支撐工件的機械臂；聯(lián)接到機械臂的第一端的一個或多個傳感器，其中傳感器可操作以檢測氣流；聯(lián)接到機械臂的第二端的移動機構聯(lián)，其中移動機構可操作以移動機械臂。

在一些實施例，機械臂形成用于夾持工件的夾持裝置。機器人可以進一步包括用于改變機械臂的夾持距離的機構。工件可以被支撐在第一端與第二端之間。傳感器可以被構造成檢測向上的氣流。傳感器可以被構造成檢測側向氣流。傳感器可以被構造成檢測在將工件輸送到目的地期間的氣流。

在一些實施例中，本發(fā)明公開了一種用于存儲工件的儲料器。儲料器可以包括存儲室，其中存儲室包括用于存儲工件的多個隔室，其中存儲室包括用于輸送氣流的一個或多個；用于將工件輸送到存儲室或從存儲室輸送工件的機器人，其中機器人包括聯(lián)接到機械臂的端部的一個或多個傳感器，其中傳感器可操作以檢測氣流。

在一些實施例中，機械臂可以形成用于夾持工件的夾持裝置。機器人可以包括用于改變機械臂的夾持距離的機構。工件可以包括用于存儲制品的第一容器，其中第一容器被存儲在第二容器內(nèi)，以及其中第二容器包括用于接收流動到第一容器與第二容器之間的容積的氣流的入口。傳感器可以被構造成檢測向上的氣流。傳感器可以被構造成檢測側向氣流。傳感器可以被構造成檢測在將工件輸送到隔室期間的氣流。

在一些實施例中，本發(fā)明公開了一種用于輸送工件的方法。所述方法可以包括以下步驟：通過機械臂支撐工件；將工件輸送到隔室，其中隔室包括噴嘴，其中噴嘴被構造成輸送氣流；在將工件輸送到隔室期間檢測氣流是否存在；將工件放置到隔室，使得在檢測到氣流的情況下將噴嘴聯(lián)接到工件。

在一些實施例中，在機械臂的端部處的傳感器檢測到氣流的存在之后，機器人可以繼續(xù)移動以將工件放置到隔室，其中工件被支撐在機械臂的中間處。由機械臂形成的夾持裝置可以被釋放以將工件放置到隔室。

在一些實施例中，所述方法可以進一步包括以下步驟：如果沒有檢測到氣流，則將工件輸送到另一個隔室；如果沒有檢測到氣流，則將隔室標記為有故障；將工件輸送到裝載端口，其中裝載端口包括噴嘴，其中噴嘴被構造成輸送氣流；在將工件輸送到裝載端口期間檢測氣流是否存在；將工件放置到隔室，使得在檢測到氣流的情況下將噴嘴聯(lián)接到工件。

在一個實施例中，本發(fā)明公開了一種可以由與將要被存儲在儲料器中的對象類似尺寸和形狀形成的監(jiān)測對象。監(jiān)測對象可以在不同存儲位置處移動以相對于時間和位置采集與不同存儲位置有關的數(shù)據(jù)。例如，監(jiān)測對象可以移動到不同的位置，從而識別儲料器內(nèi)的不同位置處的吹掃氣體流動特性。另外，監(jiān)測對象可以采集與時間有關的數(shù)據(jù)，從而提供吹掃氣體特性的時間演化。

在一個實施例中，監(jiān)測載具可以監(jiān)測吹掃氣體的特性，例如是否存在吹掃氣體，吹掃氣體流的類型、吹掃氣體的質(zhì)量、吹掃氣體的組分、吹掃氣體中的顆粒的水平和吹掃氣體的任何其它特性。

在一個實施例中，監(jiān)測載具可以監(jiān)測環(huán)境的特性，例如存儲室中的清潔氣體流。監(jiān)測載具可以檢測存儲環(huán)境的質(zhì)量，例如顆粒生成率、污染物生成率、流量、和任何其它環(huán)境特性。還可以采集其它數(shù)據(jù)，例如溫度、清潔度、微粒等。

圖14a圖示了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的監(jiān)測器載具。監(jiān)測載具140可以具有類似于其它載具的形狀和尺寸，包括被機械臂拾取和釋放的把手和放置在隔室支撐件上的底部表面。監(jiān)測載具可以包括給電子設備提供電力的電池142。電池可以是可充電電池，但是可以使用其它電池類型。監(jiān)測載具可以包括用于感測內(nèi)部容積內(nèi)的吹掃流以感測外部環(huán)境特性的一個或多個傳感器141a和141b。傳感器可以通過接口143通信例如裝載指令和卸載數(shù)據(jù)。

圖14b示出了為儲料器的監(jiān)測載具的移動。在一個實施例中，可以在儲料器的操作期間使用監(jiān)測載具，且多個存儲載具145具有掩模版146。監(jiān)測載具140可以放置在空閑的位置中，從而在所述位置處采集數(shù)據(jù)。然后，監(jiān)測載具可以被移動到新的位置，或者另一個空閑的位置147，或通過使占據(jù)的載具移動到另一個位置被變空閑的位置。

通過移動監(jiān)測載具，可以采集位置相關數(shù)據(jù)。例如，通過與機器人移動互相關，采集數(shù)據(jù)可以被屬性化給儲料器中的不同位置。進一步地，還可以例如通過使數(shù)據(jù)與時間標識或與機器人移動相關來提供時間相關數(shù)據(jù)。

圖15a-15c示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例用于從監(jiān)測載板收集數(shù)據(jù)的流程圖。在圖15a中，一個或多個傳感器可以聯(lián)接到載具架以用于采集數(shù)據(jù)。操作150提供載具架。操作151將一個或多個傳感器聯(lián)接到載具架以用于采集與環(huán)境有關的數(shù)據(jù)。

在圖15b中，可以在儲料器中的空閑位置處采集數(shù)據(jù)。操作152將監(jiān)測載具輸送到儲料器中空閑的存儲位置。操作153采集與在空閑存儲位置處的吹掃流相關的數(shù)據(jù)。

在圖15c中，可以相對于時間和位置使采集數(shù)據(jù)進行相關。操作154將監(jiān)測載具輸送到儲料器中的存儲位置。操作155采集與儲料器中的存儲位置處的吹掃流有關的數(shù)據(jù)。操作156使與吹掃流有關的數(shù)據(jù)相對于時間和位置相關。

在一些實施例中，本發(fā)明公開了一種用于監(jiān)測儲料器的狀態(tài)的裝置，且儲料器被構造成存儲多個工件。裝置可以包括：聯(lián)接到裝置的外表面或內(nèi)部的一個或多個傳感器，其中裝置包括類似尺寸和形狀的工件；聯(lián)接到傳感器以用于存儲由傳感器采集的數(shù)據(jù)的存儲器；聯(lián)接到存儲器以給存儲器提供電力的電池。

在一些實施例中，傳感器可以被構造成檢測氣流。傳感器可以被構造成檢測氣流的質(zhì)量。氣流的質(zhì)量可以包括氣流的組分和氣流中的顆粒的水平中的至少一個。傳感器可以被構造成檢測環(huán)境的特征。所述特征可以包括溫度、清潔度、和微粒的水平中的至少一個。傳感器可以采集數(shù)據(jù)作為時間函數(shù)。可以包括控制器以操作傳感器和存儲器?？梢园ń涌谝杂糜谑箓鞲衅髋c數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)通信。

以上描述說明了用于在存儲儲料器中使用的監(jiān)測載具。然而，本發(fā)明不受限于此，而是可以使用其它系統(tǒng)，例如在操作條件下監(jiān)測系統(tǒng)特性的清潔系統(tǒng)或處理系統(tǒng)。

在一個實施例中，本發(fā)明公開了一種用于接收監(jiān)測載具的系統(tǒng)內(nèi)的臺。臺可以為監(jiān)測載具提供例如傳輸數(shù)據(jù)和動力的接口。在一個實施例中，臺可以包括用于與監(jiān)測載具的接口匹配的匹配接口。通過接口，可以在臺與監(jiān)測載具之間傳輸例如給監(jiān)測載具中的可充電電池充電的動力和例如傳輸采集數(shù)據(jù)或接受指令的數(shù)據(jù)。臺可以聯(lián)接到系統(tǒng)的電子子系統(tǒng)，使得可以處理數(shù)據(jù)。

圖16a示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的包括數(shù)據(jù)采集臺的系統(tǒng)。儲料器可以包括存儲室160、傳輸模塊161、裝載和卸載臺162、控制設備164、和數(shù)據(jù)采集臺163。輸送模塊可以在整個存儲室160中將一個或多個監(jiān)測載具輸送到數(shù)據(jù)采集臺163和從數(shù)據(jù)采集臺163輸送一個或多個監(jiān)測載具以用于電池再充電和數(shù)據(jù)傳輸。數(shù)據(jù)可以從數(shù)據(jù)采集臺被傳輸?shù)诫娮釉O備，以被進一步處理和顯示。

在一個實施例中，本發(fā)明公開了一種用于存儲工件的儲料器。儲料器可以包括存儲室，其中存儲室包括用于存儲工件的多個隔室，其中存儲室包括用于輸送氣流的一個或多個；用于將工件輸送到存儲室或從存儲室輸送工件的機器人；臺，其中臺可操作以支撐件工件，其中臺包括用于與一裝置匹配的接口，其中所述裝置包括類似于工件的尺寸和形狀。

在一些實施例中，控制器可以聯(lián)接到匹配接口以用于處理來自裝置的數(shù)據(jù)。裝置可以采集與儲料器有關的數(shù)據(jù)并將所述數(shù)據(jù)傳輸給接口。數(shù)據(jù)可以包括氣流的存在、氣流的質(zhì)量和環(huán)境的特征中的至少一個。氣流的質(zhì)量可以包括氣流的組分和氣流中的顆粒的水平中的至少一個。所述特征可以包括溫度、清潔度、和微粒的水平中的至少一個。裝置可以采集數(shù)據(jù)作為時間函數(shù)以傳輸?shù)浇涌凇?/p>

圖16b示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的數(shù)據(jù)采集臺的流程圖。操作165將監(jiān)測載具輸送到數(shù)據(jù)臺。操作166聯(lián)接監(jiān)測載具與數(shù)據(jù)臺之間的電連接。操作167將指令上傳到監(jiān)測載具(任選的)。操作168將來自監(jiān)測載具的數(shù)據(jù)下載到數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)。操作169給監(jiān)測載具中的電池充電(任選的)。

在一些實施例中，本發(fā)明公開了一種用于監(jiān)測儲料器的狀態(tài)的方法，其中儲料器被構造成存儲多個工件。所述方法可以包括以下步驟：將裝置輸送到儲料器的存儲室，其中所述裝置包括類似于工件的尺寸和形狀，其中所述裝置被構造成作為工件由相同的機構被輸送，其中所述裝置被構造成作為工件設置在存儲室中；由所述裝置采集與氣流或環(huán)境有關的數(shù)據(jù)；將所述裝置輸送到另一個存儲室。

在一些實施例中，所述方法可以從臺拾取裝置，其中所述臺包括用于從裝置傳輸數(shù)據(jù)的接口；在臺處給裝置的電池充電。與氣流或環(huán)境有關的數(shù)據(jù)可以包括氣流的質(zhì)量、氣流的組分、氣流中的顆粒的水平、環(huán)境的特征、溫度、清潔度和微粒的水平中的至少一個。

在一個實施例中，本發(fā)明公開了一種用于置頂輸送(oht)的裝載臺。置頂輸送通常在頂部進行，從而連接制造設備內(nèi)的不同處理設備。置頂輸送通常還是線性的，從而在從一個設備到另一個設備的直線上運行。因此置頂輸送裝載臺通常是線性的，從而垂直地鄰接置頂輸送管線。相比之下，手動裝載臺通常徑向定位，從而連接機械臂所在的中心點。

在一個實施例中，本發(fā)明公開了在置頂輸送裝載/卸載臺中使對象從線性方位旋轉到面對中心機械臂的徑向方位的方法和系統(tǒng)。在一個實施例中，與手動裝載臺相比較，置頂裝載臺設置在更高的位置處。同一機器人可以用于方位手動裝載臺和置頂裝載臺兩者，且機器人在連接兩個裝載臺的垂直方向上行進。通過重新定向置頂裝載臺以面對中心機器人，可以簡化訪問置頂裝載臺中的對象。

圖17示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的用于過載和手動裝載臺的示例性結構。手動裝載/卸載臺171和相應的對象172被徑向設計，從而在手動裝載臺的高度處面對中心機器人170a。置頂裝載/卸載臺173被線性設計成容納置頂輸送管線179。在從置頂輸送管線179輸送之后，對象被線性定向175。置頂裝載臺包括旋轉機構174，從而使對象旋轉177以徑向面對機器人170b。如圖所示，左側對象和右側對象在不同的方向上旋轉?；诰€性輸送管線的位置和中心機器人的位置，包括其它旋轉方向。因此，為了訪問對象，機器人在z方向上從手動裝載臺移動到置頂裝載臺，對象從線性位置旋轉到徑向位置，并且機器人可以訪問旋轉對象。

圖18a-18b示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的用于訪間過載臺的示例性流程圖。在圖18a中，機器人向上移動并且載具旋轉以被徑向定向從而被機器人拾取。操作180旋轉載具支撐件，使得載具可以被oht臂訪問(任選的)。操作181通過oht臂接收載具支撐件上的載具。操作182使載具支撐件旋轉，使得載具面對中心機械臂。操作183使機械臂移動到適當?shù)母叨人?任選的)。操作184由機械臂拾取載具。

在圖18b中，機器人向上移動并將載具放置在裝載臺上。裝載臺然后旋轉以被線性定向以通過置頂輸送裝置拾取。操作185使載具支撐件旋轉以面對中心機械臂(任選的)。操作186通過機械臂將載具放置在載具支撐件上。操作187使載具支撐件旋轉，使得載具可以由oht臂訪問。操作188使機械臂移動到適當?shù)母叨人?任選的)。操作189接收oht臺中的載具。

在一個實施例中，本發(fā)明公開了一種通過氮氣吹掃對象內(nèi)部的容積的用于清潔系統(tǒng)的裝載和卸載臺。為了保持載具內(nèi)部的對象的清潔度水平，內(nèi)部容積被諸如氮氣的惰性氣體連續(xù)吹掃。因此，本發(fā)明公開可一種用于輸送和/或存儲臺從而確保內(nèi)部容積的恒定吹掃的惰性氣體吹掃。

圖19示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的具有吹掃噴嘴的示例性輸送和/或存儲臺。雙容器載具190放置在臺192中的氮氣吹掃噴嘴194上。通過氮氣噴嘴194將氮氣195提供給雙容器載具190的底部支撐件，外容器內(nèi)部的容積被新鮮的氮氣不斷吹掃。

在一個實施例中，本發(fā)明公開了一種用于euv載具的存儲的euv儲料器系統(tǒng)和方法。euv儲料器系統(tǒng)包括：一個或多個清潔室(例如，凈化室)；吹掃氣體存儲臺和隔室；具有用于檢測吹掃氣體操作的傳感器的機械臂；用于在儲料器中進行數(shù)據(jù)采集的監(jiān)測載具；用于數(shù)據(jù)和動力傳輸?shù)谋O(jiān)測臺；旋轉置頂裝載臺；和吹掃氣體裝載和卸載臺。