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一種逐層調(diào)節(jié)二維材料帶隙的方法與流程

文檔序號(hào):11925051閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種逐層調(diào)節(jié)二維材料帶隙的方法,其特征在于:包括以下步驟:

1)選取性能穩(wěn)定的基底材料,將基底進(jìn)行預(yù)處理,使其成為富含羥基的清潔基底材料;

2)獲取目標(biāo)二維材料樣品,置于所述基底上;并且對(duì)基底上的二維材料樣品進(jìn)行光學(xué)襯度差、常規(guī)拉曼、光致發(fā)光光譜表征;

3)將所述二維材料樣品連同基底置于等離子清洗機(jī)機(jī)腔內(nèi);

4)向等離子清洗機(jī)內(nèi)通入一定容量的氣體,使目標(biāo)二維材料處于氧氣氣體中;

5)選擇等離子清洗機(jī)的工作功率;

6)選擇等離子清洗機(jī)的工作時(shí)間;

7)關(guān)閉等離子清洗機(jī),在性質(zhì)穩(wěn)定的保護(hù)氣的氛圍下取出目標(biāo)二維材料樣品;

8)再對(duì)目標(biāo)二維材料樣品進(jìn)行光學(xué)襯度差、常規(guī)拉曼、光致發(fā)光光譜表征;

9)進(jìn)行步驟8)之后,重復(fù)步驟4)至步驟8)的操作,即可逐層的進(jìn)行二維材料樣品的帶隙調(diào)節(jié)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的逐層調(diào)節(jié)二維材料帶隙的方法,其特征在于:步驟1)中所述樣品基底選用的性能穩(wěn)定材料,基底材料為硅、二氧化硅;基底平面尺寸為1mm×1mm~20mm×20mm,厚度為100μm~10mm。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的逐層調(diào)節(jié)二維材料帶隙的方法,其特征在于:采用氧等離子清洗機(jī)處理,或用強(qiáng)氧化劑清洗基底表面,得到富含羥基的清潔的基底材料。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的逐層調(diào)節(jié)二維材料帶隙的方法,其特征在于:步驟2)中獲取目標(biāo)二維材料樣品的方法包括機(jī)械剝離、化學(xué)氧化還原或者化學(xué)氣相沉積。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的逐層調(diào)節(jié)二維材料帶隙的方法,其特征在于:步驟3)中二維材料樣品連同基底在等離子清洗機(jī)機(jī)腔中的距等離子發(fā)射中心的距離為5~500mm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的逐層調(diào)節(jié)二維材料帶隙的方法,其特征在于:步驟4)中通入的氣體為氧氣和氬氣,氣體通入速率為2~40sccm。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的逐層調(diào)節(jié)二維材料帶隙的方法,其特征在于:步驟5)中等離子清洗機(jī)的工作功率為5~50W。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的逐層調(diào)節(jié)二維材料帶隙的方法,其特征在于:步驟6)中等離子清洗機(jī)的工作時(shí)間為5~400s。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的逐層調(diào)節(jié)二維材料帶隙的方法,其特征在于:步驟7)中保護(hù)氣的選擇為氮?dú)狻?/p>

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