本實用新型涉及功率模塊,特別是涉及一種芯片上表面齊平的功率模塊。
背景技術:
功率模塊是電子電力器件如金屬氧化物半導體(功率MOS管)、絕緣柵型場效應晶體管(IGBT),快恢復二極管(FRD)按一定的功能組合封裝成的電力開關模塊,其主要用于電動汽車,光伏發(fā)電,風力發(fā)電,工業(yè)變頻等各種場合下的功率轉(zhuǎn)換。
釬焊技術是目前功率模塊中芯片與DBC連接所廣泛采用的技術,但受焊料熔點限制,釬焊模塊結(jié)溫一般低于150℃,在高溫工作時可靠性低,壽命短。銀燒結(jié)技術是應用于功率模塊制作中的一種先進連接技術,采用銀燒結(jié)技術的功率模塊,其可靠性高,壽命長,結(jié)溫可達200℃以上,適于高溫下長期穩(wěn)定地工作。銀燒結(jié)技術應用于芯片與DBC的連接時,一般需在芯片上表面施加一定壓力,從而得到可靠的連接界面。由于不同種類芯片厚度不同,為了得到均勻的壓力,加壓夾具的壓頭需進行特殊設計,這對加壓夾具設計及制造水平要求較高,增加了模塊研發(fā)成本,延長了模塊研發(fā)周期。
技術實現(xiàn)要素:
實用新型目的:本實用新型的目的是提供一種能夠解決現(xiàn)有技術中存在的缺陷的芯片上表面齊平的功率模塊。
技術方案:本實用新型所述的芯片上表面齊平的功率模塊,包括絕緣基板,絕緣基板上表面金屬層上設有燒結(jié)層,燒結(jié)層上設有芯片,所有芯片的厚度不完全相同,所述上表面金屬層厚度不均勻,使得所有芯片上表面高度一致。
進一步,所述上表面金屬層上設有凸臺,凸臺上設有燒結(jié)層。
進一步,多個厚度相同的芯片共用一個凸臺。
進一步,所述凸臺頂部尺寸大于燒結(jié)層底部尺寸。
進一步,所述上表面金屬層上設有凹槽,凹槽內(nèi)設有燒結(jié)層。
進一步,多個厚度相同的芯片共用一個凹槽。
進一步,所述凹槽底部尺寸大于燒結(jié)層底部尺寸。
進一步,所有芯片中,厚度為中間值的芯片對應的燒結(jié)層直接設置在上表面金屬層上,厚度大于中間值的芯片對應的燒結(jié)層設置在上表面金屬層的凹槽內(nèi),厚度小于中間值的芯片對應的燒結(jié)層設置在上表面金屬層的凸臺上。
進一步,所述凸臺為上表面金屬層的一部分。
進一步,所述凸臺為焊接在上表面金屬層上的薄銅片。
有益效果:與現(xiàn)有技術相比,本實用新型具有如下的有益效果:
1)本實用新型降低了對加壓夾具設計及制作水平的要求。由于各芯片上表面高度一致,設計夾具時無需考慮芯片厚度不同的問題,夾具壓頭可簡化至單一平面,一方面簡化了設計制造難度,另一方面實現(xiàn)了夾具的通用性,從而降低了模塊研發(fā)成本,縮短了模塊研發(fā)周期。
2)本實用新型降低了雙面冷卻模塊的設計制造難度。對于采用雙面冷卻的模塊,會針對芯片厚度不同的情況,采取額外的厚度補償設計,芯片上表面高度一致時,無需采取額外措施進行芯片厚度補償,從而降低了設計制造難度。
附圖說明
圖1為現(xiàn)有技術中的絕緣基板的剖視圖;
圖2為本發(fā)明實施例1中的絕緣基板的剖視圖;
圖3為本發(fā)明實施例2中的絕緣基板的剖視圖;
圖4為本發(fā)明實施例3中的絕緣基板的剖視圖;
圖5為本發(fā)明實施例4中的絕緣基板的俯視圖;
圖6為本發(fā)明實施例5中的絕緣基板的俯視圖;
圖7為本發(fā)明實施例6中的絕緣基板的俯視圖;
圖8為本發(fā)明實施例7中的絕緣基板的俯視圖;
圖9為本發(fā)明實施例8中的絕緣基板的俯視圖;
圖10為本發(fā)明實施例9中的絕緣基板的俯視圖;
圖11為本發(fā)明實施例10中的絕緣基板的俯視圖;
圖12為本發(fā)明實施例11中的絕緣基板的俯視圖;
圖13為本發(fā)明實施例12中的絕緣基板的俯視圖;
圖14為本發(fā)明實施例13中的凸臺結(jié)構(gòu)的剖視圖;
圖15為本發(fā)明實施例14中的另一種凸臺結(jié)構(gòu)的加工過程示意圖。
具體實施方式
下面結(jié)合附圖和實施例,對本實用新型的技術方案作進一步的介紹。
圖1為現(xiàn)有技術中的絕緣基板,絕緣基板包括中間層16、位于中間層16上表面的上金屬層15以及位于中間層16下表面的下金屬層17。上金屬層15上設有厚度相等的第一燒結(jié)層13和第二燒結(jié)層14,第一燒結(jié)層13上設有第一芯片11,第二燒結(jié)層14上設有第二芯片12,第一芯片11和第二芯片12的厚度不相等。可見,第一芯片11和第二芯片12的上表面不在同一高度上。
本發(fā)明公開了一種芯片上表面齊平的功率模塊,包括絕緣基板,絕緣基板上表面金屬層上設有燒結(jié)層,燒結(jié)層上設有芯片,所有芯片的厚度不完全相同,所述上表面金屬層厚度不均勻,使得所有芯片上表面高度一致。
下面介紹一下本發(fā)明的各個實施例。
實施例1:
實施例1公開了一種芯片上表面齊平的功率模塊,如圖2所示,包括絕緣基板,絕緣基板包括中間層27、位于中間層27上表面的上金屬層26以及位于中間層27下表面的下金屬層28。上金屬層26上設有凹槽25,凹槽25內(nèi)設有第一燒結(jié)層23,第一燒結(jié)層23上設有第一芯片21。上金屬層26上不帶凹槽25的區(qū)域設有第二燒結(jié)層24,第二燒結(jié)層24上設有第二芯片22。雖然第一芯片21的厚度大于第二芯片22的厚度,但由于第一芯片21所在位置是凹槽25,而第二芯片22所在位置更高,因此,第一芯片21和第二芯片22上表面高度一致。
實施例2:
實施例2公開了一種芯片上表面齊平的功率模塊,如圖3所示,包括絕緣基板,絕緣基板包括中間層37、位于中間層37上表面的上金屬層36以及位于中間層37下表面的下金屬層38。上金屬層36上設有凸臺35,凸臺35上設有第二燒結(jié)層34,第二燒結(jié)層34上設有第二芯片32。上金屬層36上不帶凸臺35的區(qū)域設有第一燒結(jié)層33,第一燒結(jié)層33上設有第一芯片31。雖然第一芯片31的厚度大于第二芯片32的厚度,但由于第一芯片31所在位置較低,而第二芯片32所在位置是凸臺35,因此,第一芯片31和第二芯片32上表面高度一致。
實施例3:
實施例3公開了一種芯片上表面齊平的功率模塊,如圖4所示,包括絕緣基板,絕緣基板包括中間層48、位于中間層48上表面的上金屬層45以及位于中間層48下表面的下金屬層49。上金屬層45上設有凹槽47和凸臺46,凹槽47內(nèi)設有第一燒結(jié)層43,第一燒結(jié)層43上設有第一芯片41,凸臺46上設有第二燒結(jié)層44,第二燒結(jié)層44上設有第二芯片42。雖然第一芯片41的厚度大于第二芯片42的厚度,但由于第一芯片41所在位置是凹槽47,第二芯片42所在位置是凸臺46,因此,第一芯片41和第二芯片42上表面的高度一致。
實施例4:
實施例4公開了一種芯片上表面齊平的功率模塊,如圖5所示,絕緣基板上金屬層上設有凹槽53,凹槽53內(nèi)設有第一燒結(jié)層,第一燒結(jié)層上設有第一芯片51,上金屬層上不帶凹槽53的區(qū)域設有第二燒結(jié)層,第二燒結(jié)層上設有第二芯片52。
實施例5:
實施例5公開了一種芯片上表面齊平的功率模塊,如圖6所示,絕緣基板上金屬層上設有第一凹槽63和第二凹槽64,第一凹槽63內(nèi)設有第一燒結(jié)層,第二凹槽64內(nèi)設有第二燒結(jié)層,第一燒結(jié)層上設有第一芯片61,第二燒結(jié)層上設有第二芯片65,上金屬層上不帶凹槽的區(qū)域設有第三燒結(jié)層,第三燒結(jié)層上設有第三芯片65和第四芯片66。
實施例6:
實施例6公開了一種芯片上表面齊平的功率模塊,如圖7所示,絕緣基板上金屬層上設有凹槽73,凹槽73內(nèi)設有第一燒結(jié)層,第一燒結(jié)層上設有第一芯片71和第二芯片72,上金屬層上不帶凹槽73的區(qū)域設有第二燒結(jié)層,第二燒結(jié)層上設有第三芯片74和第四芯片75。
實施例7:
實施例7公開了一種芯片上表面齊平的功率模塊,如圖8所示,絕緣基板上金屬層上設有凸臺83,凸臺83上設有第二燒結(jié)層,第二燒結(jié)層上設有第二芯片82,上金屬層上不帶凸臺83的區(qū)域設有第一燒結(jié)層,第一燒結(jié)層上設有第一芯片81。
實施例8:
實施例8公開了一種芯片上表面齊平的功率模塊,如圖9所示,絕緣基板上金屬層上設有第一凸臺95和第二凸臺96,第一凸臺95上設有第一燒結(jié)層,第二凸臺96上設有第二燒結(jié)層,第一燒結(jié)層上設有第一芯片93,第二燒結(jié)層上設有第二芯片94,上金屬層上不帶凸臺的區(qū)域設有第三燒結(jié)層,第三燒結(jié)層上設有第三芯片91和第四芯片92。
實施例9:
實施例9公開了一種芯片上表面齊平的功率模塊,如圖10所示,絕緣基板上金屬層上設有凸臺105,凸臺105上設有第一燒結(jié)層,第一燒結(jié)層上設有第一芯片103和第二芯片104,上金屬層上不帶凸臺105的區(qū)域設有第二燒結(jié)層,第二燒結(jié)層上設有第三芯片101和第四芯片102。
實施例10:
實施例10公開了一種芯片上表面齊平的功率模塊,如圖11所示,絕緣基板上金屬層上設有凹槽113和凸臺114,凹槽113內(nèi)設有第一燒結(jié)層,第一燒結(jié)層上設有第一芯片111,凸臺114上設有第二燒結(jié)層,第二燒結(jié)層上設有第二芯片112。
實施例11:
實施例11公開了一種芯片上表面齊平的功率模塊,如圖12所示,絕緣基板上金屬層上設有第一凹槽123、第二凹槽124、第一凸臺127和第二凸臺128,第一凹槽123內(nèi)設有第一燒結(jié)層,第二凹槽124內(nèi)設有第二燒結(jié)層,第一燒結(jié)層上設有第一芯片121,第二燒結(jié)層上設有第二芯片122,第一凸臺127上設有第三燒結(jié)層,第二凸臺128上設有第四燒結(jié)層,第三燒結(jié)層上設有第三芯片125,第四燒結(jié)層上設有第四芯片126。
實施例12:
實施例12公開了一種芯片上表面齊平的功率模塊,如圖13所示,絕緣基板上金屬層上設有凹槽133和凸臺136,凹槽133內(nèi)設有第一燒結(jié)層,第一燒結(jié)層上設有第一芯片131和第二芯片132,凸臺136上設有第二燒結(jié)層,第二燒結(jié)層上設有第三芯片134和第四芯片135。
實施例13:
實施例13公開了一種絕緣基板,如圖14所示,包括中間層141、位于中間層141上表面的上金屬層142以及位于中間層141下表面的下金屬層143。上金屬層142上的凸臺144是和上金屬層142一體的。
實施例14:
實施例14公開了一種凸臺的加工過程,如圖15所示,凸臺是將薄銅片151焊接在上表面金屬層152上形成的。