本實(shí)用新型涉及離子刻蝕技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說，涉及一種反應(yīng)離子刻蝕設(shè)備。

背景技術(shù)：

為了實(shí)現(xiàn)對(duì)硅片或者硅材料等元件的刻蝕，需要用到反應(yīng)離子刻蝕(英文名稱為Reactive Ion Etching，后文均采用其簡(jiǎn)稱RIE)設(shè)備。

在RIE設(shè)備腔體正常運(yùn)行中，射頻電源經(jīng)過發(fā)射端再到腔體，等離子體在腔體內(nèi)部實(shí)現(xiàn)上電極發(fā)射、下電極接收的過程，沿固定的從上往下的方向進(jìn)行工作。硅片放置于載板上，載板四周用耐高溫絕緣的材料做一層保護(hù)，并加以一塊蓋板蓋在絕緣層上方。一方面防止硅片位置偏移導(dǎo)致上、下電極導(dǎo)通，從而發(fā)生打火故障，另一方面也能均勻分散氣體，使工藝后均勻性更好。

等離子體以較高的頻率對(duì)硅片進(jìn)行射頻打擊時(shí)，腔體內(nèi)部的重量小的非固定件會(huì)有輕微的震動(dòng)?？紤]到RIE設(shè)備腔體內(nèi)部環(huán)境需要，在固定腔體上電極的檔條的時(shí)候，廠商選用純鋁材料制作的螺絲，并在表層做陽(yáng)極氧化。

但是，該螺絲隨著使用時(shí)間的增加，表層氧化會(huì)逐漸消失，因此需要高頻率的定期更換，并且在等離子體高頻震動(dòng)的工作環(huán)境下很容易松動(dòng)，松動(dòng)后腔體內(nèi)部環(huán)境處于不絕緣狀態(tài)，就極容易發(fā)生打火故障，這樣一來，給設(shè)備備件成本及稼動(dòng)率帶來影響。

綜上所述，如何有效地解決RIE設(shè)備中上電極固定不牢帶來的打火故障的問題，是目前本領(lǐng)域技術(shù)人員急需解決的問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

有鑒于此，本實(shí)用新型的目的在于提供一種RIE設(shè)備，該RIE設(shè)備的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)可以有效地解決上電極固定不牢帶來的打火故障的問題。

為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：

一種RIE設(shè)備，包括腔體和位于所述腔體內(nèi)部的上電極和下電極，所述上電極通過硬質(zhì)螺釘和所述腔體固定連接，所述硬質(zhì)螺釘?shù)亩瞬窟B接有耐高溫螺帽。

優(yōu)選地，上述RIE設(shè)備中，所述硬質(zhì)螺釘具體為不銹鋼內(nèi)六角螺釘。

優(yōu)選地，上述RIE設(shè)備中，所述不銹鋼內(nèi)六角螺釘包括尺寸為M5*0.8*10的螺紋端和尺寸為M10*1.5的頭部，所述頭部和所述螺紋端之間固定有尺寸為1.2*φ12的圓盤。

優(yōu)選地，上述RIE設(shè)備中，所述耐高溫螺帽設(shè)有帶螺紋的凹槽，所述凹槽和所述頭部螺紋連接。

優(yōu)選地，上述RIE設(shè)備中，所述耐高溫螺帽具體為陶瓷螺帽。

優(yōu)選地，上述RIE設(shè)備中，所述陶瓷螺帽的表面設(shè)有網(wǎng)隔層。

本實(shí)用新型提供的RIE設(shè)備，包括腔體和位于所述腔體內(nèi)部的上電極和下電極，所述上電極通過硬質(zhì)螺釘和所述腔體固定連接，所述硬質(zhì)螺釘?shù)亩瞬窟B接有耐高溫螺帽。應(yīng)用本實(shí)用新型提供的RIE設(shè)備時(shí)，在腔體內(nèi)部，上電極和腔體采用硬質(zhì)螺釘固定連接，因此當(dāng)該RIE設(shè)備在工作過程中發(fā)生震動(dòng)時(shí)，硬質(zhì)螺釘不會(huì)產(chǎn)生明顯形變，在震動(dòng)過程中不會(huì)輕易松動(dòng)，因此上電極的固定效果十分牢固。同時(shí)耐高溫螺帽避免了硬質(zhì)螺釘被刻蝕，進(jìn)一步保障了硬質(zhì)螺釘使用過程中的穩(wěn)定性和可靠性。采用上述結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，使得RIE設(shè)備的上電極可以得到穩(wěn)定的固定，不會(huì)輕易發(fā)生打火故障。

附圖說明

為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的不銹鋼內(nèi)六角螺釘?shù)闹饕暯Y(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為圖1的左視圖；

圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的陶瓷螺帽的主視結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為圖3的左視圖。

附圖中標(biāo)記如下：

螺紋端1、頭部2、圓盤3、陶瓷螺帽4、凹槽5。

具體實(shí)施方式

本實(shí)用新型實(shí)施例公開了一種RIE設(shè)備，以避免震動(dòng)過程中上電極松動(dòng)發(fā)生打火故障，提高RIE過程的安全性和可靠性。

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

請(qǐng)參閱圖1-圖4，圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的不銹鋼內(nèi)六角螺釘?shù)闹饕暯Y(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖1的左視圖；圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的陶瓷螺帽4的主視結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為圖3的左視圖。

本實(shí)用新型的實(shí)施例提供了一種RIE設(shè)備，包括腔體和位于腔體內(nèi)部的上電極和下電極，上電極通過硬質(zhì)螺釘和腔體固定連接，硬質(zhì)螺釘?shù)亩瞬窟B接有耐高溫螺帽。

應(yīng)用上述實(shí)施例提供的RIE設(shè)備時(shí)，在腔體內(nèi)部，上電極和腔體采用硬質(zhì)螺釘固定連接，因此當(dāng)該RIE設(shè)備在工作過程中發(fā)生震動(dòng)時(shí)，硬質(zhì)螺釘不會(huì)產(chǎn)生明顯形變，在震動(dòng)過程中不會(huì)輕易松動(dòng)，因此上電極的固定效果十分牢固。同時(shí)耐高溫螺帽避免了硬質(zhì)螺釘被刻蝕，進(jìn)一步保障了硬質(zhì)螺釘使用過程中的穩(wěn)定性和可靠性。采用上述結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，使得RIE設(shè)備的上電極可以得到穩(wěn)定的固定，不會(huì)輕易發(fā)生打火故障。

為了優(yōu)化上述實(shí)施例中硬質(zhì)螺釘?shù)氖褂眯Ч?，硬質(zhì)螺釘具體為不銹鋼內(nèi)六角螺釘。優(yōu)選采用不銹鋼內(nèi)六角螺釘，在RIE設(shè)備的震動(dòng)過程中不會(huì)產(chǎn)生明顯的形變，有效保證了上電極和腔體的相對(duì)位置的穩(wěn)定性。同時(shí)不銹鋼內(nèi)六角螺釘也具備一定的耐高溫能力，在高溫條件下也不會(huì)輕易形變。而且不銹鋼內(nèi)六角螺釘方便拆裝，安裝后的固定效果也很理想。

為了優(yōu)化上述實(shí)施例中不銹鋼內(nèi)六角螺釘?shù)氖褂眯Ч讳P鋼內(nèi)六角螺釘包括尺寸為M5*0.8*10的螺紋端1和尺寸為M10*1.5的頭部2，頭部2和螺紋端1之間固定有尺寸為1.2*φ12的圓盤3。圓盤3可以起到對(duì)不銹鋼內(nèi)六角螺釘?shù)南尬恍Ч?dāng)不銹鋼內(nèi)六角螺釘旋擰到一定位置時(shí)，圓盤3會(huì)抵緊相應(yīng)的孔位處的臺(tái)階面，以免旋擰過度。頭部2的設(shè)置則方便了旋擰工具的使用，螺紋端1的長(zhǎng)度根據(jù)具體實(shí)施情況自由選擇。以上優(yōu)選的尺寸要求其單位均為毫米。

當(dāng)然，關(guān)于不銹鋼內(nèi)六角螺釘和耐高溫螺帽的具體尺寸的選擇，都應(yīng)以適應(yīng)上電極和腔體的尺寸為前提，具體選擇何種尺寸的不銹鋼內(nèi)六角螺釘和耐高溫螺帽，根據(jù)實(shí)際情況靈活判斷。

為了優(yōu)化上述實(shí)施例中耐高溫螺帽的使用效果，耐高溫螺帽設(shè)有帶螺紋的凹槽5，凹槽5和頭部2螺紋連接。頭部2的外周優(yōu)選設(shè)置有螺紋，耐高溫螺帽則優(yōu)選和頭部2螺紋連接。采用上述結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，耐高溫螺帽和不銹鋼內(nèi)六角螺釘連接緊密和穩(wěn)固，使得耐高溫螺帽不易脫落，同時(shí)也方便其拆卸，當(dāng)需要更換時(shí)可以隨時(shí)便捷的拆換。

可以理解的是，耐高溫螺帽具體為陶瓷螺帽4。優(yōu)選采用陶瓷螺帽4，耐高溫效果突出，因此其防刻蝕效果也很顯著，有效的保護(hù)了不銹鋼內(nèi)六角螺釘。當(dāng)然其他耐高溫螺帽也是可以的，在具體實(shí)施時(shí)靈活選取。

為了優(yōu)化上述實(shí)施例中陶瓷螺帽4的使用效果，陶瓷螺帽4的表面設(shè)有網(wǎng)隔層。網(wǎng)隔層可以增大手和陶瓷螺帽4之間的摩擦力，方便了用戶對(duì)陶瓷螺帽4的旋擰，同時(shí)其防刻蝕效果也更理想。

本說明書中各個(gè)實(shí)施例采用遞進(jìn)的方式描述，每個(gè)實(shí)施例重點(diǎn)說明的都是與其他實(shí)施例的不同之處，各個(gè)實(shí)施例之間相同相似部分互相參見即可。

還需要說明的是，在本說明書中，術(shù)語(yǔ)“包括”、“包含”或者其任何其他變體意在涵蓋非排他性的包含，從而使得包括一系列要素的過程、方法、物品或者設(shè)備不僅包括那些要素，而且還包括沒有明確列出的其他要素，或者是還包括為這種過程、方法、物品或者設(shè)備所固有的要素。在沒有更多限制的情況下，由語(yǔ)句“包括一個(gè)……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的過程、方法、物品或者設(shè)備中還存在另外的相同要素。

對(duì)所公開的實(shí)施例的上述說明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實(shí)用新型。對(duì)這些實(shí)施例的多種修改對(duì)本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實(shí)用新型的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此，本實(shí)用新型將不會(huì)被限制于本文所示的這些實(shí)施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。