一種刻蝕機臺反應(yīng)腔的壓力控制盤的安裝工具的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種刻蝕機臺反應(yīng)腔的壓力控制盤的安裝工具。本實用新型提供了一種刻蝕機臺反應(yīng)腔的壓力控制盤的安裝工具，包括托盤和升降臺，所述托盤包括圓形托盤和連接柄，所述圓形托盤包括盤壁，并在所述盤壁開設(shè)定位口，所述托盤通過連接柄和升降臺連接。通過本實用新型能夠方便的安裝壓力控制盤。
【專利說明】一種刻蝕機臺反應(yīng)腔的壓力控制盤的安裝工具
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種刻蝕機臺反應(yīng)腔的壓力控制盤的安裝工具。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，在半導(dǎo)體制造【技術(shù)領(lǐng)域】內(nèi)會經(jīng)常使用到刻蝕機臺，例如LAM刻蝕機臺?？涛g機臺反應(yīng)腔每兩周維護周期需要拆裝壓力控制裝置(VAT)，更換壓力控制盤(VAT plate)的上部和下部密封圈。之后再需要重新安裝壓力控制盤。如果壓力控制盤安裝的不夠好會損壞上部密封圈可能引起反應(yīng)腔漏率不合格。
[0003]目前，主要是通過手工的方式進行壓力控制盤的安裝。如圖1所示，圖1為壓力控制器局部圖，壓力控制器設(shè)置導(dǎo)向銷11。如圖2所示，圖為壓力控制盤的結(jié)構(gòu)圖，所述壓力控制盤包括圓環(huán)主體20和把柄22，所述圓環(huán)主體20上設(shè)置若干導(dǎo)向槽21，所述導(dǎo)向槽21設(shè)置入口端23和鎖口端24。安裝的時候，需要把壓力控制盤放在壓力控制器下面，然后讓壓力控制盤的導(dǎo)向槽21的入口端23先和壓力控制器的導(dǎo)向銷11對齊。然后，一手要按住壓力控裝置的按鈕控制導(dǎo)向銷11下降，另一只手去安裝壓力控制盤，使導(dǎo)向銷先進入入口端23，再旋轉(zhuǎn)壓力控制盤，使導(dǎo)向銷11卡合在鎖口端24。由于壓力控制盤的把柄22比較短，且兩只手在安裝過程中要分開操作，因此比較吃力和費時。而如果安裝不好，更可能損壞密封圈和引起反應(yīng)腔漏率不合格。因此，需要設(shè)計一個簡單實用的工具，去安裝壓力控制盤。
實用新型內(nèi)容
[0004]為解決現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實用新型提供了一種刻蝕機臺反應(yīng)腔的壓力控制盤的安裝工具，能夠方便的安裝壓力控制盤。
[0005]本實用新型提供了一種刻蝕機臺反應(yīng)腔的壓力控制盤的安裝工具，包括托盤和升降臺，所述托盤包括圓形托盤和連接柄，所述圓形托盤包括盤壁，并在所述盤壁開設(shè)定位口，所述托盤通過連接柄和升降臺連接。
[0006]優(yōu)選的，所述圓形托盤的直徑大于壓力控制盤的圓環(huán)的主體寬度。
[0007]優(yōu)選的，所述托盤為不銹鋼材質(zhì)。
[0008]本實用新型能夠幫助操作人員有效快速的安裝壓力控制盤，便于操作過程中工作人員雙手的協(xié)調(diào)，減少不必要的人力和時間的浪費，提高工作效率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0009]圖1為刻蝕機臺反應(yīng)腔的壓力控制裝置的局部側(cè)視圖。
[0010]圖2為壓力控制盤的俯視圖。
[0011]圖3為本實用新型的托盤部分的立體結(jié)構(gòu)示意圖。
[0012]圖4為本實用新型的安裝工具的整體側(cè)視圖?！揪唧w實施方式】
[0013]以下結(jié)合附圖對本實用新型的原理和特征進行描述，所舉實施例只用于解釋本實用新型，并非用于限定本實用新型的范圍。
[0014]結(jié)合圖1-2，如圖3-4所示，一種刻蝕機臺反應(yīng)腔的壓力控制盤的安裝工具，包括托盤3和升降臺4。優(yōu)選的，升降臺選用搖桿式升降機構(gòu)。所述托盤3包括圓形托盤31和連接柄32。所述圓形托盤31包括盤壁311，并在所述盤壁311開定位口 33。所述托盤3水平設(shè)置，并通過連接柄32和升降臺4連接。托盤3垂直于所述升降臺4的升降軸，隨著升降臺的起落水平升降。所述圓形托盤31的直徑大于壓力控制盤的圓環(huán)主體20的外直徑。這樣，在安裝壓力控制盤的時候可以適當(dāng)調(diào)整壓力控制盤的位置，便于導(dǎo)向槽21與導(dǎo)向銷11的對準(zhǔn)。調(diào)整方法為在垂直方向上，可以通過調(diào)整升降臺4的高低，帶動托盤3上下調(diào)整高度，從而調(diào)整壓力控制盤的高度。在水平方向上，可以適當(dāng)移動和旋轉(zhuǎn)刻蝕機臺反應(yīng)腔的壓力控制盤的安裝工具整體，從而調(diào)整壓力控制盤的位置，使壓力控制盤的導(dǎo)向槽21與壓力控制器的導(dǎo)向銷11逐漸對齊。便于導(dǎo)向銷11卡合至鎖口端24。
[0015]在實際操作中，將壓力控制盤放置于刻蝕機臺反應(yīng)腔的壓力控制盤的安裝工具的托盤3中，其中把柄22置于定位口 33中。然后使托盤3置于壓力控制器下面，開始結(jié)合上述方法調(diào)整壓力控制盤的位置，使導(dǎo)向槽21與導(dǎo)向銷11對齊。進而升降臺上升，壓力控制盤上升，使導(dǎo)向銷11進入導(dǎo)向槽21。最后旋轉(zhuǎn)把柄22，壓力控制盤得到緊固。
[0016]以上所述僅為本實用新型的較佳實施例，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應(yīng)包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種刻蝕機臺反應(yīng)腔的壓力控制盤的安裝工具，包括托盤和升降臺，所述托盤包括圓形托盤和連接柄，所述圓形托盤包括盤壁，并在所述盤壁開設(shè)定位口，所述托盤通過連接柄和升降臺連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的刻蝕機臺反應(yīng)腔的壓力控制盤的安裝工具，其特征在于:所述圓形托盤的直徑大于壓力控制盤的圓環(huán)的外直徑。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的刻蝕機臺反應(yīng)腔的壓力控制盤的安裝工具，其特征在于:所述托盤為不銹鋼材質(zhì)。
【文檔編號】H01L21/67GK203466171SQ201320614633
【公開日】2014年3月5日 申請日期:2013年9月30日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月30日
【發(fā)明者】林東榕, 劉志攀, 陸飛 申請人:武漢新芯集成電路制造有限公司