本實用新型涉及一種儲存晶圓的儲存裝置，尤其是一種晶圓烘烤晶周盒。

背景技術(shù)：

晶圓烘烤晶周盒由鋁材料制成，是晶圓烘烤工藝中的常用儲存裝置。圖1示出了現(xiàn)有技術(shù)中的晶圓烘烤晶周盒，其包括相對設(shè)置的第一側(cè)壁1、第二側(cè)壁2及連接所述第一側(cè)壁1及第二側(cè)壁2的第三側(cè)壁3，所述第一側(cè)壁1與所述第二側(cè)壁2的內(nèi)壁上豎直設(shè)有多條用于插放晶圓的插槽，所述第一側(cè)壁1及所述第二側(cè)壁2的內(nèi)壁下端分別設(shè)置有支撐晶圓下端的晶圓擋桿4。所述第三側(cè)壁3的上端設(shè)有把手5。

現(xiàn)有技術(shù)中的晶圓烘烤晶周盒存在如下缺陷：(1)、第一側(cè)壁1及第二側(cè)壁2固定連接在所述第三側(cè)壁3的兩端，第一側(cè)壁1與第二側(cè)壁2之間的距離是固定的，所以只能滿足單一尺寸的晶圓的儲存需求；(2)、第一側(cè)壁1及第二側(cè)壁2下端的晶圓擋桿4為直線結(jié)構(gòu)，晶圓烘烤晶周盒裝滿晶圓后，各個晶圓的上端齊平，從晶圓烘烤晶周盒上取下晶圓時容易觸碰到相鄰位置的晶圓，造成晶圓的劃傷；(3)、只在第三側(cè)壁3上設(shè)有一個把手5，移動晶圓烘烤晶周盒，晶周盒容易傾斜，有導(dǎo)致晶圓滑落的隱患。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

為解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供了一種晶圓烘烤晶周盒，其技術(shù)方案如下：

一種晶圓烘烤晶周盒，其包括相對設(shè)置的第一側(cè)壁、第二側(cè)壁，所述第一側(cè)壁與所述第二側(cè)壁通過可拆卸的第三側(cè)壁連接，所述第一側(cè)壁與所述第二側(cè)壁的內(nèi)壁上豎直設(shè)有多條用于插放晶圓的插槽，所述第一側(cè)壁及所述第二側(cè)壁的內(nèi)壁下端分別設(shè)有支撐晶圓下端的晶圓擋桿，其特征在于：所述第三側(cè)壁的四角上分別設(shè)有用于連接所述第一側(cè)壁及所述第二側(cè)壁的第一安裝孔及第二安裝孔，水平方向的兩個所述第一安裝孔之間形成較大的第一安裝距，水平方向的兩個所述第二安裝孔之間形成較小的第二安裝距。

其技術(shù)效果在于：三個側(cè)壁為可拆卸連接關(guān)系，起連接作用的第三側(cè)壁上設(shè)有第一安裝孔和第二安裝孔，通過四個第一安裝孔連接第一側(cè)壁和第二側(cè)壁后，第一側(cè)壁和第二側(cè)壁之間的安裝距離較大，此時晶周盒可以儲存尺寸較大的晶圓；而通過四個第二安裝孔連接第一側(cè)壁和第二側(cè)壁后，第一側(cè)壁和第二側(cè)壁之間的安裝距離較小，此時晶圓周盒可以儲存尺寸較小的晶圓?？梢?，本實用新型能夠?qū)崿F(xiàn)兩種尺寸的晶圓的儲存，拓展了晶圓周盒的適用場合。

進一步的，所述晶圓擋桿為向上凸起的弧形結(jié)構(gòu)。

其技術(shù)效果在于：晶圓烘烤晶周盒裝滿晶圓后，晶圓的上端呈現(xiàn)中間高兩端低的弧狀形態(tài)，相鄰位置上的兩個晶圓的上端在豎直方向上相互錯開，從晶圓烘烤晶周盒上取下晶圓時不會觸碰到相鄰位置的晶圓，防止了晶圓在取下過程中被刮傷。

進一步的，所述第一側(cè)壁的上端設(shè)有第一把手，所述第二側(cè)壁的上端設(shè)有第二把手。

其技術(shù)效果在于：使得晶圓烘烤晶周盒在移動中保持平穩(wěn)，防止晶圓從晶圓烘烤晶周盒中滑落。

進一步的，其還包括有連接所述第一側(cè)壁的自由端和所述第二側(cè)壁的自由端的連接桿。

其技術(shù)效果在于：使得所述第一側(cè)壁及所述第二側(cè)壁之間的連接更加穩(wěn)定。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例的技術(shù)方案，下面將對實施例中所需要實用的附圖作簡單地介紹、顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。其中，

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中的晶圓烘烤晶周盒的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實用新型的晶圓烘烤晶周盒的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為圖2中的第三側(cè)板的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

為使本實用新型的上述目的、特征和優(yōu)點、能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖和具體實施方式對本實用新型作進一步詳細的說明。

如圖2及圖3所示，本實用新型包括相對設(shè)置的第一側(cè)壁21、第二側(cè)壁22及連接所述第一側(cè)壁21和所述第二側(cè)壁22的第三側(cè)壁23，所述第三側(cè)壁23的四個角上分別設(shè)有用于連接所述第一側(cè)壁21及所述第二側(cè)壁22的第一安裝孔23a及第二安裝孔23b，水平方向的兩個所述第一安裝孔23a之間形成較大的第一安裝距a，水平方向的兩個所述第二安裝孔23b之間形成較小的第二安裝距b。所述第一側(cè)壁21與所述第二側(cè)壁22的內(nèi)壁上豎直設(shè)有多條用于插放晶圓的插槽。

本實用新型不對所述第一安裝距a及所述第二安裝距b的具體尺寸作限定，在具體應(yīng)用中可以進行靈活設(shè)置。

例如，在一個具體實施例中，所述第一安裝距a設(shè)為約26.7cm(適合于8寸晶圓的儲存)，所述第二安裝距b設(shè)為約20cm(適合于6寸晶圓的儲存)。當(dāng)需要對8寸的晶圓進行烘烤時，只需要通過四個第一安裝孔23a將所述第一側(cè)壁21和所述第二側(cè)壁22安裝至所述第三側(cè)壁23的兩端即可，此時所述第一側(cè)壁21與所述第二側(cè)壁22之間的安裝距約為26.7cm，8寸晶圓能順利地插入晶圓烘烤晶周盒的晶圓插槽中。當(dāng)需要對6寸的晶圓進行烘烤時，只需要通過四個第二安裝孔23b將所述第一側(cè)壁21和所述第二側(cè)壁22安裝至所述第三側(cè)壁23的兩端即可，此時所述第一側(cè)壁21與所述第二側(cè)壁22之間的安裝距約為20cm，6寸晶圓能順利地插入晶圓烘烤晶周盒的晶圓插槽中。

可見，本實用新型能夠?qū)崿F(xiàn)兩種不同尺寸的晶圓的儲存，有效地提升了晶圓周盒的適用性。

所述第一側(cè)壁21及所述第二側(cè)壁22的內(nèi)壁下端分別設(shè)有支撐晶圓下端的晶圓擋桿24，防止晶圓從晶圓烘烤晶周盒的下端滑漏。

在一個具體實施例中，所述晶圓擋桿24為向上凸起的弧形結(jié)構(gòu)。晶圓烘烤晶周盒放滿晶圓時，晶周盒中的各個晶圓的上端不再齊平，而是呈現(xiàn)出中間高兩邊低的弧狀形態(tài)，每兩個相鄰的晶圓在豎直方向上都相互錯開，使用夾具能夠方便地取出晶圓，并能有效防止夾具觸碰到相鄰位置的晶圓，造成相鄰位置的晶圓被刮傷。

所述第一側(cè)壁21的上端設(shè)有第一把手25，所述第二側(cè)壁22的上端設(shè)有第二把手26。左右兩側(cè)分別設(shè)置一個把手，使得晶圓烘烤晶周盒在移動中保持平很，防止晶圓烘烤晶周盒在移動過程中發(fā)生傾斜造成晶圓滑落破碎。

所述第一側(cè)壁21與所述第二側(cè)壁22的自由端(遠離所述第三側(cè)壁23的一端)之間設(shè)有連接桿27。所述連接桿27使得所述第一側(cè)壁21及所述第二側(cè)壁22之間的連接更加穩(wěn)定、牢固。

上文對本實用新型進行了足夠詳細的具有一定特殊性的描述。所屬領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員應(yīng)該理解，實施例中的描述僅僅是示例性的，在不偏離本實用新型的真實精神和范圍的前提下做出所有改變都應(yīng)該屬于本實用新型的保護范圍。本實用新型所要求保護的范圍是由所述的權(quán)利要求書進行限定的，而不是由實施例中的上述描述來限定的。