鋁質(zhì)壓環(huán)的制作方法
【專利摘要】本實用新型提供了一種鋁質(zhì)壓環(huán)，其包括鋁環(huán)主體，鋁環(huán)主體的正、反面互相平行，所述鋁環(huán)主體內(nèi)圈向下形變形成一圈凹陷部，凹陷部正面的形狀為一個圓環(huán)，所述圓環(huán)內(nèi)圓有一段為直線，該段直線位于圓環(huán)內(nèi)圓65度弧范圍內(nèi)；所述鋁環(huán)主體向外具有六個延伸部，每個延伸部上具有一個螺孔。所述六個延伸部圍繞鋁環(huán)主體一周分布，夾角分別為60度、60度、60度、60度、65度和55度，所述圓環(huán)內(nèi)圓的一段直線位于夾角65度的兩個延伸部與鋁環(huán)主體圓心連線的夾角內(nèi)。其優(yōu)點是：當晶片在腔體反應(yīng)時將晶片壓住，防止晶片滑動，提高生產(chǎn)效率。采用這種結(jié)構(gòu)節(jié)省材料，節(jié)約生產(chǎn)成本。
【專利說明】
鋁質(zhì)壓環(huán)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種鋁質(zhì)壓環(huán)，用于半導(dǎo)體制造業(yè)中晶片的固定。

【背景技術(shù)】
[0002]鋁質(zhì)壓環(huán)用于壓住晶片固定晶片位置。晶片在腔體中反應(yīng)有時會發(fā)生滑動，當反應(yīng)完后由于滑動，會導(dǎo)致無法將晶片傳送出來。用鋁質(zhì)壓環(huán)將晶片壓住，當反應(yīng)完成后就可以順利的將晶片傳送出來。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實用新型的目的是提供一種鋁質(zhì)壓環(huán)，能夠配合特定腔體，將晶片在反應(yīng)過程中壓住固定。
[0004]按照本實用新型提供的技術(shù)方案，所述的鋁質(zhì)壓環(huán)包括鋁環(huán)主體，鋁環(huán)主體的正、反面互相平行，所述鋁環(huán)主體內(nèi)圈向下形變形成一圈凹陷部，凹陷部正面的形狀為一個圓環(huán)，所述圓環(huán)內(nèi)圓有一段為直線，該段直線位于圓環(huán)內(nèi)圓65度弧范圍內(nèi)；所述鋁環(huán)主體向外具有六個延伸部，每個延伸部上具有一個螺孔。
[0005]所述六個延伸部圍繞鋁環(huán)主體一周分布，夾角分別為60度、60度、60度、60度、65度和55度，所述圓環(huán)內(nèi)圓的一段直線位于夾角65度的兩個延伸部與鋁環(huán)主體圓心連線的夾角內(nèi)。
[0006]本實用新型的優(yōu)點是:當晶片在腔體反應(yīng)時將晶片壓住，防止晶片滑動，提高生產(chǎn)效率。采用這種結(jié)構(gòu)節(jié)省材料，節(jié)約生產(chǎn)成本。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0007]圖1是本實用新型的主視圖。
[0008]圖2是本實用新型的剖視圖。

【具體實施方式】
[0009]下面結(jié)合附圖和實施例對本實用新型作進一步說明。
[0010]如圖1，2所示，本實用新型包括鋁環(huán)主體1，鋁環(huán)主體I的正、反面互相平行，所述鋁環(huán)主體I內(nèi)圈向下形變形成一圈凹陷部2，凹陷部2正面的形狀為一個圓環(huán)，即為鋁質(zhì)壓環(huán)的平邊。所述圓環(huán)內(nèi)圓有一段為直線，該段直線位于圓環(huán)內(nèi)圓65度弧范圍內(nèi)。鋁環(huán)主體I的厚度為3.2mm,招質(zhì)壓環(huán)的整體厚度為6.3mm。
[0011]如圖1所示，所述鋁環(huán)主體I向外具有六個延伸部3，每個延伸部3上具有一個螺孔4。所述六個延伸部3圍繞鋁環(huán)主體I 一周分布，夾角分別為60度、60度、60度、60度、65度和55度,所述圓環(huán)內(nèi)圓的一段直線位于夾角65度的兩個延伸部3與招環(huán)主體I圓心連線的夾角內(nèi)。
[0012]該鋁質(zhì)壓環(huán)通過螺孔4固定在反應(yīng)腔體的陶瓷環(huán)上，然后晶片的平邊與鋁質(zhì)壓環(huán)的平邊相重疊后將晶片壓住。當晶片在腔體反應(yīng)時防止晶片滑動，這樣晶片完成反應(yīng)后就可以順利的從腔體里傳送出來。
【權(quán)利要求】
1.鋁質(zhì)壓環(huán)，包括鋁環(huán)主體(1)，鋁環(huán)主體(I)的正、反面互相平行，其特征是:所述鋁環(huán)主體(I)內(nèi)圈向下形變形成一圈凹陷部(2)，凹陷部(2)正面的形狀為一個圓環(huán)，所述圓環(huán)內(nèi)圓有一段為直線，該段直線位于圓環(huán)內(nèi)圓65度弧范圍內(nèi)；所述鋁環(huán)主體(I)向外具有六個延伸部(3 )，每個延伸部(3 )上具有一個螺孔(4 )。
2.如權(quán)利要求1所述鋁質(zhì)壓環(huán)，其特征是，所述六個延伸部(3)圍繞鋁環(huán)主體(I)一周分布，夾角分別為60度、60度、60度、60度、65度和55度，所述圓環(huán)內(nèi)圓的一段直線位于夾角65度的兩個延伸部(3)與鋁環(huán)主體(I)圓心連線的夾角內(nèi)。
【文檔編號】H01L21/687GK204088289SQ201420597620
【公開日】2015年1月7日 申請日期:2014年10月15日 優(yōu)先權(quán)日:2014年10月15日
【發(fā)明者】沈笑, 廖海濤, 繆海兵 申請人:無錫邑文電子科技有限公司