改善選擇發(fā)射極輕擴(kuò)區(qū)方阻均勻性結(jié)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種改善選擇發(fā)射極輕擴(kuò)區(qū)方阻均勻性結(jié)構(gòu)，在相鄰的腐蝕藥液噴淋裝置之間設(shè)置有去除殘留在電池片上的腐蝕藥液的組件。本實(shí)用新型在不影響正常工藝的同時(shí)，降低掩膜主電極中的方阻，從而改善輕擴(kuò)區(qū)方阻的均勻性，最終提高了太陽(yáng)能電池的轉(zhuǎn)換效率。
【專利說(shuō)明】改善選擇發(fā)射極輕擴(kuò)區(qū)方阻均勻性結(jié)構(gòu)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種改善選擇發(fā)射極輕擴(kuò)區(qū)方阻均勻性結(jié)構(gòu)，屬于太陽(yáng)能制造領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，太陽(yáng)能電池作為新興的清潔可再生能源，因具有將太能能直接轉(zhuǎn)換成電能，其中轉(zhuǎn)換效率是重點(diǎn)研究方向。選擇性發(fā)射極結(jié)構(gòu)是晶體硅太陽(yáng)能電池生產(chǎn)工藝中實(shí)現(xiàn)高效率的方法之一。選擇發(fā)射極結(jié)構(gòu)有兩個(gè)特點(diǎn):一是在電極柵線下面是重?fù)诫s，降低金屬與硅之間的歐姆接觸，降低了 Rs，提高FF及電池轉(zhuǎn)換效率，二是在非柵線區(qū)域是輕摻雜，解決了死層帶來(lái)的表面復(fù)合，提高了開(kāi)路電壓，短路電流及電池轉(zhuǎn)換效率。
[0003]由于選擇發(fā)射極工藝有明顯的優(yōu)勢(shì)，行業(yè)已經(jīng)研究出很多工藝來(lái)形成選擇發(fā)射極結(jié)構(gòu)。例如，中國(guó)發(fā)明專利200910037425.9選擇發(fā)射極的工藝是:通過(guò)兩次擴(kuò)散形成重?fù)胶洼p摻區(qū)，方阻的均勻性通過(guò)擴(kuò)散的時(shí)間，磷源，溫度等來(lái)控制。本專利中提到的選擇發(fā)射極工藝流程是:擴(kuò)散進(jìn)行重?fù)诫s，之后在重?fù)诫s表面噴上絲網(wǎng)印刷的圖形相同的掩膜，此掩膜有一定的要求，不能被酸腐蝕，但會(huì)易被堿腐蝕。這樣選擇發(fā)射極輕擴(kuò)區(qū)方阻均勻性就由掩膜，酸的濃度，溫度，時(shí)間等影響。由于酸在腐蝕硅時(shí)會(huì)產(chǎn)生NOx氣體，此NOx氣體對(duì)藥液的反應(yīng)有催化作用，需要達(dá)到藥液的活性處于飽和狀態(tài)時(shí)，才可以穩(wěn)定控制方阻。但現(xiàn)有制程和工藝，在輕擴(kuò)形成的槽體是由HF&HN03的混合液進(jìn)行腐蝕，槽體內(nèi)滾輪完全水平，保證片子在行走時(shí)，藥液均勻在硅片表面腐蝕，藥液是通過(guò)三組噴淋，噴淋的距離已經(jīng)固定，第一組與第二組距離最大，此段距離是決定方阻均勻性的關(guān)鍵，且噴淋是由藥液的重力決定流速的大小。在硅片156片源在噴完掩膜時(shí)，掩膜有28.9um的高度，掩膜主電極的方向?yàn)樾羞M(jìn)方向垂直，這樣片子在進(jìn)入第一組噴淋后時(shí)，腐蝕時(shí)間較長(zhǎng)，腐蝕過(guò)程中在電極之間產(chǎn)生NOx氣體的藥液，在進(jìn)入第二組噴淋時(shí)無(wú)法被新藥及時(shí)全部更新，此藥液的活性很強(qiáng)，導(dǎo)致掩膜主電極之間的腐蝕過(guò)多，方阻偏大，最終導(dǎo)致整片片子的輕擴(kuò)區(qū)方阻均勻性差。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種改善選擇發(fā)射極輕擴(kuò)區(qū)方阻均勻性結(jié)構(gòu)，它在不影響正常工藝的同時(shí)，降低掩膜主電極中的方阻，從而改善輕擴(kuò)區(qū)方阻的均勻性，最終提高了太陽(yáng)能電池的轉(zhuǎn)換效率。
[0005]為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是:一種改善選擇發(fā)射極輕擴(kuò)區(qū)方阻均勻性結(jié)構(gòu)，在相鄰的腐蝕藥液噴淋裝置之間設(shè)置有去除殘留在電池片上的腐蝕藥液的組件。
[0006]進(jìn)一步，所述的腐蝕藥液噴淋裝置具有三組，并且成并列狀布置，在兩個(gè)相鄰的腐蝕藥液噴淋裝置之間所形成的區(qū)間內(nèi)，其中至少一個(gè)區(qū)間設(shè)置有所述的組件。
[0007]進(jìn)一步，所述的組件為風(fēng)刀組件或由彈性材料制成的滾輪組件。
[0008]進(jìn)一步，所述的滾輪組件為竹節(jié)狀或長(zhǎng)條狀。[0009]更進(jìn)一步，所述的滾輪組件由海綿制成。
[0010]采用了上述技術(shù)方案后，在現(xiàn)有生產(chǎn)的工藝的基礎(chǔ)上，不更改原有的工藝流程，只需稍微對(duì)輕擴(kuò)槽進(jìn)行改造，在相鄰的腐蝕藥液噴淋裝置之間增加去除殘留在電池片上的腐蝕藥液的組件，電池片在進(jìn)入下一次的腐蝕藥液噴淋裝置之前，采用這種組件將上一次的腐蝕藥液噴淋裝置噴淋后殘留在電池片上的腐蝕藥液，在電池片的行進(jìn)過(guò)程中給去除，這樣在進(jìn)入下一次的的腐蝕藥液噴淋裝置時(shí)就能得到全新的腐蝕藥液，從而避免了由于腐蝕時(shí)間較長(zhǎng)導(dǎo)致的掩膜主電極之間的腐蝕過(guò)多，方阻偏大的現(xiàn)象，通過(guò)改善輕擴(kuò)區(qū)方阻均勻性，增加了與絲網(wǎng)印刷電極和燒結(jié)匹配窗口，最終提高了硅太陽(yáng)能電池的轉(zhuǎn)換效率。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0011]圖1為本實(shí)用新型的改善選擇發(fā)射極輕擴(kuò)區(qū)方阻均勻性結(jié)構(gòu)的第一種結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0012]圖2為本實(shí)用新型的改善選擇發(fā)射極輕擴(kuò)區(qū)方阻均勻性結(jié)構(gòu)的第二種結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013]圖3為本實(shí)用新型的改善選擇發(fā)射極輕擴(kuò)區(qū)方阻均勻性結(jié)構(gòu)的第三種結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0014]為了使本實(shí)用新型的內(nèi)容更容易被清楚地理解，下面根據(jù)具體實(shí)施例并結(jié)合附圖，對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明。
[0015]實(shí)施例一
[0016]如圖1所示，一種改善選擇發(fā)射極輕擴(kuò)區(qū)方阻均勻性結(jié)構(gòu)，腐蝕藥液噴淋裝置I具有三組，并且成并列狀布置，在第一個(gè)腐蝕藥液噴淋裝置I和第二個(gè)腐蝕藥液噴淋裝置I之間設(shè)置有去除殘留在電池片上的腐蝕藥液的組件，該組件為由彈性材料制成的滾輪組件3，并且滾輪組件3為竹節(jié)狀。該滾輪組件3不破壞掩膜，避免有高度的掩膜被此結(jié)構(gòu)擠壓變形。
[0017]實(shí)施例二
[0018]如圖2所示，一種改善選擇發(fā)射極輕擴(kuò)區(qū)方阻均勻性結(jié)構(gòu)，腐蝕藥液噴淋裝置I具有三組，并且成并列狀布置，在第一個(gè)腐蝕藥液噴淋裝置I和第二個(gè)腐蝕藥液噴淋裝置I之間設(shè)置有去除殘留在電池片上的腐蝕藥液的組件，組件為由彈性材料制成的滾輪組件3，滾輪組件3為長(zhǎng)條狀，并且滾輪組件3由海綿制成。該滾輪組件3不破壞掩膜，避免有高度的掩膜被此結(jié)構(gòu)擠壓變形。
[0019]實(shí)施例三
[0020]如圖3所示，一種改善選擇發(fā)射極輕擴(kuò)區(qū)方阻均勻性結(jié)構(gòu)，腐蝕藥液噴淋裝置I具有三組，并且成并列狀布置，在第一個(gè)腐蝕藥液噴淋裝置I和第二個(gè)腐蝕藥液噴淋裝置I之間設(shè)置有去除殘留在電池片上的腐蝕藥液的組件，組件為風(fēng)刀組件2，風(fēng)刀組件2的風(fēng)刀方向:一是不能影響第二個(gè)腐蝕藥液噴淋裝置I的腐蝕藥液的流速，二是風(fēng)量需要可以將殘留的腐蝕藥液全部從電池片上吹落。
[0021]實(shí)施例四[0022]在實(shí)施例一的方案的基礎(chǔ)上，在第二個(gè)腐蝕藥液噴淋裝置I和第三個(gè)腐蝕藥液噴淋裝置I之間也設(shè)置有由彈性材料制成的滾輪組件3，該滾輪組件3為竹節(jié)狀或長(zhǎng)條狀，并且滾輪組件3由海綿制成。
[0023]實(shí)施例五
[0024]在實(shí)施例三的方案的基礎(chǔ)上，在第二個(gè)腐蝕藥液噴淋裝置I和第三個(gè)腐蝕藥液噴淋裝置I之間設(shè)置有風(fēng)刀組件2。
[0025]實(shí)施例六
[0026]在實(shí)施例一或?qū)嵤├幕A(chǔ)上，在第二個(gè)腐蝕藥液噴淋裝置I和第三個(gè)腐蝕藥液噴淋裝置I之間設(shè)置有風(fēng)刀組件2。
[0027]本實(shí)用新型的工作原理如下:
[0028]在現(xiàn)有生產(chǎn)的工藝的基礎(chǔ)上，不更改原有的工藝流程，只需稍微對(duì)輕擴(kuò)槽進(jìn)行改造，在相鄰的腐蝕藥液噴淋裝置I之間增加去除殘留在電池片上的腐蝕藥液的組件，電池片在進(jìn)入下一次的腐蝕藥液噴淋裝置I之前，采用這種組件將上一次的腐蝕藥液噴淋裝置I噴淋后殘留在電池片上的腐蝕藥液，在電池片的行進(jìn)過(guò)程中給去除，這樣在進(jìn)入下一次的的腐蝕藥液噴淋裝置I時(shí)就能得到全新的腐蝕藥液，從而避免了由于腐蝕時(shí)間較長(zhǎng)導(dǎo)致的掩膜主電極之間的腐蝕過(guò)多，方阻偏大的現(xiàn)象，通過(guò)改善輕擴(kuò)區(qū)方阻均勻性，增加了與絲網(wǎng)印刷電極和燒結(jié)匹配窗口，最終提高了硅太陽(yáng)能電池的轉(zhuǎn)換效率。
[0029]以上所述的具體實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型解決的技術(shù)問(wèn)題、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本實(shí)用新型的具體實(shí)施例而已，并不用于限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種改善選擇發(fā)射極輕擴(kuò)區(qū)方阻均勻性結(jié)構(gòu)，其特征在于:在相鄰的腐蝕藥液噴淋裝置(I)之間設(shè)置有去除殘留在電池片上的腐蝕藥液的組件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的改善選擇發(fā)射極輕擴(kuò)區(qū)方阻均勻性結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述的腐蝕藥液噴淋裝置(I)具有三組，并且成并列狀布置，在兩個(gè)相鄰的腐蝕藥液噴淋裝置(I)之間所形成的區(qū)間內(nèi)，其中至少一個(gè)區(qū)間設(shè)置有所述的組件。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的改善選擇發(fā)射極輕擴(kuò)區(qū)方阻均勻性結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述的組件為風(fēng)刀組件(2 )或由彈性材料制成的滾輪組件(3 )。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的改善選擇發(fā)射極輕擴(kuò)區(qū)方阻均勻性結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述的滾輪組件(3)為竹節(jié)狀或長(zhǎng)條狀。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的改善選擇發(fā)射極輕擴(kuò)區(qū)方阻均勻性結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述的滾輪組件(3)由海綿制成。
【文檔編號(hào)】H01L31/18GK203812897SQ201420191998
【公開(kāi)日】2014年9月3日 申請(qǐng)日期:2014年4月21日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月21日
【發(fā)明者】李艷 申請(qǐng)人:常州天合光能有限公司