多層構(gòu)件以及用于制造多層構(gòu)件的方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種用于制造全活躍疊層或者其綠色前驅(qū)體的方法，所述方法包括：提供已燒結(jié)疊層或未燒結(jié)疊層(1)，其由多個(gè)交替相繼的陶瓷介電層和內(nèi)電極層(2,2')構(gòu)成；使接觸相應(yīng)側(cè)的內(nèi)電極(2,2')或者其未燒結(jié)的前驅(qū)體在B側(cè)或者D側(cè)之一上通過(guò)具有臨時(shí)絕緣區(qū)帶(3)的外接觸部組合并且臨時(shí)接觸；對(duì)可通過(guò)B側(cè)控制的內(nèi)電極進(jìn)行電控制以及在A側(cè)上用涂料至少對(duì)電控制的內(nèi)電極或者其未燒結(jié)的前驅(qū)體進(jìn)行涂層以及使涂料硬化、熔融以及必要時(shí)使涂料顯影；對(duì)于C側(cè)對(duì)應(yīng)的過(guò)程；在A側(cè)和C側(cè)上置放烘烤膏體以及對(duì)烘烤膏體進(jìn)行脫粘和燃燒，在其中涂料被去除；以及將疊層分離成至少一個(gè)具有涂層的內(nèi)電極的全活躍疊層或者其綠色前驅(qū)體或者其在A'側(cè)和C'側(cè)上未燒結(jié)的前驅(qū)體。此外，提供一種用于制造由全活躍疊層構(gòu)成的全活躍多層構(gòu)件的方法以及通過(guò)該方法制造的全活躍多層構(gòu)件。
【專利說(shuō)明】多層構(gòu)件以及用于制造多層構(gòu)件的方法
[0001]本發(fā)明涉及全活躍多層構(gòu)件、用于制造全活躍疊層的方法以及用于制造由全活躍疊層構(gòu)成的全活躍多層構(gòu)件的方法。
[0002]多層構(gòu)件尤其包括電容器和壓電致動(dòng)器，它們包含分別交替的介電層和內(nèi)電極。在壓電致動(dòng)器的情況下，介電層而且是壓電的。因此，壓電致動(dòng)器屬于壓電元件。
[0003]壓電元件尤其用于定位元件、超聲波變換器、傳感器，以及用在噴墨打印機(jī)中，以及用在汽車(chē)技術(shù)中以便控制燃料噴射裝置。壓電元件的工作方式基于壓電陶瓷材料、例如鋯鈦酸鉛在電場(chǎng)作用下的形變。如果有電壓施加到該壓電元件，那么該壓電元件在所產(chǎn)生電場(chǎng)的垂直方向上延展(逆壓電效應(yīng))。
[0004]壓電元件的優(yōu)點(diǎn)尤其在于其比較高的速度、其比較高的效率以及當(dāng)用作壓電致動(dòng)器時(shí)，其比較小的調(diào)節(jié)距離。
[0005]然而，如果要對(duì)于壓電致動(dòng)器達(dá)到相對(duì)而言更大的調(diào)節(jié)距離時(shí)，則對(duì)于壓電致動(dòng)器使用由交替相繼的多個(gè)壓電層和內(nèi)電極層構(gòu)成的壓電疊層，例如在JP 03174783 A中公開(kāi)的那樣。
[0006]在JP 03174783 A中公開(kāi)的壓電致動(dòng)器這樣被實(shí)施，使得這些內(nèi)電極層交替地與布置到壓電疊層的位置相對(duì)的外表面上的外電極電連接。因此，與兩個(gè)外電極之一電連接的內(nèi)電極層直至其上布置該外電極的外側(cè)，以便引起與該外電極的電連接。然而，為了使內(nèi)電極層與其他的外電極電絕緣，這些內(nèi)電極層未達(dá)到壓電疊層的、其上布置另一個(gè)外電極的外側(cè)。這些內(nèi)電極層在這些區(qū)域中從外側(cè)后退。實(shí)現(xiàn)這點(diǎn)的方式是通過(guò)使壓電疊層在這些區(qū)域中設(shè)有充有硅樹(shù)脂的縫隙。
[0007]通過(guò)后退的內(nèi)電極層，在這些區(qū)域中得到關(guān)聯(lián)的壓電層，即所謂的不活躍區(qū)帶。通常，在分層制造該壓電疊層時(shí)產(chǎn)生不活躍區(qū)帶。通過(guò)在制造具有不活躍區(qū)帶的壓電疊層期間工藝、堆疊、分離、脫粘(Entbindern)和研磨的公差并且基于對(duì)內(nèi)電極層與對(duì)應(yīng)外電極的可靠電絕緣的規(guī)定，得到了比較大的不活躍區(qū)帶，其典型情況下為壓電疊層橫截面的10%。不活躍區(qū)帶在電壓施加到外電極層和/或內(nèi)電極層上的情況下由降低的電場(chǎng)強(qiáng)度來(lái)實(shí)現(xiàn)，并因此在施加電壓的情況下與壓電層的其余的區(qū)帶、所謂的活躍區(qū)帶相比，延展的程度要小。這尤其在壓電層的不活躍區(qū)帶中以及不活躍區(qū)帶的邊緣區(qū)域中導(dǎo)致機(jī)械應(yīng)力，并且在壓電層的不活躍區(qū)帶以及活躍區(qū)帶中以及在外電極中可能導(dǎo)致所謂的極化裂紋。不活躍區(qū)帶越大，出現(xiàn)極化裂紋的風(fēng)險(xiǎn)越大。
[0008]本發(fā)明的任務(wù)是給出多層構(gòu)件及其制造方法，其中運(yùn)行效率得到改進(jìn)。尤其提供如下的壓電致動(dòng)器，其中，在所述壓電致動(dòng)器的運(yùn)行中壓電陶瓷中的機(jī)械應(yīng)力明顯減小。
[0009]本發(fā)明的任務(wù)通過(guò)用于制造全活躍疊層和/或系結(jié)物(riegel)或者其綠色前驅(qū)體的方法來(lái)解決，所述方法包括:
-提供已燒結(jié)疊層或未燒結(jié)疊層，其具有分別在堆疊方向上走向的A側(cè)、B側(cè)、C側(cè)和D側(cè)且由多個(gè)交替相繼的陶瓷介電層和內(nèi)電極層構(gòu)成，其中，這些內(nèi)電極層相關(guān)于A側(cè)和C側(cè)分別連貫地構(gòu)造并且相關(guān)于B側(cè)或者相關(guān)于D側(cè)分別不連貫地構(gòu)造，以至于內(nèi)電極的一部分或者其未燒結(jié)的前驅(qū)體接觸B側(cè)，而不接觸D側(cè)，并且內(nèi)電極的另一部分或者其未燒結(jié)的前驅(qū)體接觸D側(cè)，而不接觸B側(cè)；
-使接觸相應(yīng)側(cè)的內(nèi)電極或者其未燒結(jié)的前驅(qū)體在B側(cè)或者D側(cè)之一上通過(guò)具有臨時(shí)絕緣區(qū)帶(Isozone)的外接觸部組合并且臨時(shí)接觸,使得接觸相應(yīng)側(cè)的內(nèi)電極能夠選擇性地被電控制；
-對(duì)可通過(guò)B側(cè)控制的內(nèi)電極進(jìn)行電控制以及在A側(cè)上用涂料至少對(duì)電控制的內(nèi)電極或者其未燒結(jié)的前驅(qū)體進(jìn)行涂層以及使涂料硬化、熔融以及必要時(shí)對(duì)涂料進(jìn)行顯影，以便在顯影或熔融后，在A側(cè)上用涂料覆蓋可通過(guò)B側(cè)電控制的內(nèi)電極。
[0010]-對(duì)可通過(guò)D側(cè)控制的內(nèi)電極進(jìn)行電控制以及在C側(cè)上用涂料至少對(duì)電控制的內(nèi)電極或者其未燒結(jié)的前驅(qū)體進(jìn)行涂層以及使涂料硬化、熔融以及必要時(shí)使涂料顯影，以便在顯影或熔融后，在C側(cè)上用涂料覆蓋可通過(guò)D側(cè)電控制的內(nèi)電極。
[0011]-在A側(cè)和C側(cè)上置放烘烤膏體以及對(duì)烘烤膏體進(jìn)行脫粘和燃燒，在其中涂料被去除；
-將疊層分離成至少一個(gè)具有涂層的內(nèi)電極的全活躍疊層或者其綠色前驅(qū)體或者其在A’側(cè)和C’側(cè)上未燒結(jié)的前驅(qū)體。如果要使用該方法產(chǎn)生全活躍的壓電疊層，則將陶瓷壓電層用于陶瓷介電層。所述輸出(疊層)優(yōu)選包括如下區(qū)域，在所述區(qū)域中，這些內(nèi)電極層分別交替接觸B側(cè)和D側(cè)。尤其優(yōu)選的是，在輸出(疊層)中，所有內(nèi)電極層分別交替接觸B側(cè)和D側(cè)。根據(jù)本發(fā)明，全活躍疊層理解為其中內(nèi)電極連貫的疊層，即其中內(nèi)電極在疊層的整個(gè)橫截面之上延伸的疊層。通過(guò)這種實(shí)施方案，所有內(nèi)電極達(dá)到疊層外側(cè)，因此這個(gè)疊層不具有不活躍區(qū)帶。由此，多層構(gòu)件在運(yùn)行時(shí)的效率得到改進(jìn)并且在壓電致動(dòng)器的情況下，壓電陶瓷中機(jī)械應(yīng)力的水平在運(yùn)行期間減少。
[0012]例如，在用于制造全活躍疊層的方法中所提供的(輸出)疊層通過(guò)交替地堆疊至少兩個(gè)部分疊層來(lái)制造，在此，每一個(gè)部分疊層具有介電層和在此之上布置的內(nèi)電極層。在此，所提供的疊層尤其通過(guò)如下方式來(lái)制造:例如使用金屬膏體在絲網(wǎng)印刷法中印制所謂的綠色陶瓷片。該印制在此這樣實(shí)施，使得這些金屬膏體完全覆蓋陶瓷的綠色片，其中，在一側(cè)上留下未被印制的邊緣。這些金屬膏體具有例如銀鈀顆?；蛘咩~顆粒、溶劑以及另外的添加劑。此后，上下相疊地放置典型情況下大約300到600個(gè)設(shè)有所述膏體、由這兩個(gè)部分疊層構(gòu)成的綠色陶瓷片，以便產(chǎn)生堆塊，其中金屬中間層交替接觸兩個(gè)相對(duì)側(cè)并且每第二個(gè)中間層相關(guān)于未印制的邊緣取向相同。所形成的疊層于是通過(guò)按壓而被加工成為所謂的綠色堆塊。接著，對(duì)綠色堆塊進(jìn)行脫粘以便去除有機(jī)組成部分(尤其是粘合劑)并且必要時(shí)燒結(jié)綠色堆塊。必要時(shí)，通過(guò)分成單個(gè)疊層而能夠由綠色堆塊產(chǎn)生多個(gè)(輸出)疊層和/或系結(jié)物。
[0013]陶瓷介電層能夠包括壓電材料，例如，鋯鈦酸鉛(PZT)。
[0014]在用于制造全活躍疊層或者其綠色前驅(qū)體的方法中，在第一步驟中所提供的(輸出)疊層能夠是已燒結(jié)的，或者是綠色的。
[0015]優(yōu)選將光致抗蝕涂料和/或粉狀涂料和/或者能電流結(jié)構(gòu)化的功能涂料(以下簡(jiǎn)稱為“功能涂料”)用作涂料。
[0016]光致抗蝕涂料(英語(yǔ):“光致抗蝕劑”)對(duì)于來(lái)自照相平版印刷結(jié)構(gòu)化的專業(yè)人員而言是已知的。光致抗蝕涂料尤其是在微電子學(xué)和微系統(tǒng)技術(shù)中用于在微米范圍以及亞微米范圍產(chǎn)生結(jié)構(gòu)以及用于在制造印刷電路板時(shí)產(chǎn)生結(jié)構(gòu)。光致抗蝕涂料的最重要的原材料是聚合物(例如聚甲基丙烯酸甲酯、聚二甲基戊二酰乙胺)和/或環(huán)氧樹(shù)脂(例如SU-8)、溶劑(例如環(huán)戊酮或者伽馬-丁內(nèi)酯)以及光敏組分。負(fù)性抗蝕涂料和正性抗蝕涂料是已知的。負(fù)性抗蝕涂料通過(guò)曝光和/或硬化而聚合，這就是說(shuō)，在顯影(通過(guò)溶劑去除未聚合區(qū)域)后保留曝光和/或硬化的區(qū)域。對(duì)于正性抗蝕涂料，已經(jīng)固化的涂料通過(guò)曝光再次對(duì)于對(duì)應(yīng)的顯影溶液可溶解，這就是說(shuō)，顯影后只保留如下的區(qū)域，其受到掩膜保護(hù)以免受到照射的影響，并且因此不曝光。根據(jù)本發(fā)明，不僅能使用正性抗蝕涂料，而且能使用負(fù)性抗蝕涂料。
[0017]粉狀涂料是大多熱固化且具有100%的固體成分的有機(jī)涂層粉末。具有粉末涂料的涂層與所有其它涂層技術(shù)相反不需要溶劑。為了生產(chǎn)粉末涂料，使用例如擠壓成形和磨碎等加工方法。粉狀涂料包括粘合劑、添加劑、著色劑和填料。粉狀涂料的特點(diǎn)是沒(méi)有溶劑。用在粉狀涂料和常規(guī)涂料中的原料之間的化學(xué)差異不大。粉狀涂料膜的交聯(lián)機(jī)制類似于烘烤涂料的交聯(lián)機(jī)制，在此，在溫度影響下，兩個(gè)共反應(yīng)物通過(guò)形成有機(jī)網(wǎng)絡(luò)進(jìn)入化學(xué)接合。
[0018]根據(jù)本發(fā)明，名稱“功能涂料”理解為如下涂料:通過(guò)在先的局部電控制(電流流經(jīng))來(lái)對(duì)其進(jìn)行交聯(lián)和硬化。這些功能涂料選自包括如下的組:用在電子射線平版印刷中的涂料(例如PMMA)、具有通過(guò)通電而引起的熱硬化的涂料、間接通過(guò)電流交聯(lián)的涂料(例如由帶有光敏物質(zhì)的電致發(fā)光聚合物構(gòu)成的混合物)和它們的混合物。
[0019]在根據(jù)本發(fā)明的一種實(shí)施方式中，功能涂料包括用在電子射線平版印刷中的涂料(例如PMMA)。它們也稱作電子射線抗蝕劑。利用能量充足的電子對(duì)電子射線抗蝕劑進(jìn)行“曝光”的機(jī)制在電子射線平版印刷中用于結(jié)構(gòu)化。類似于光致抗蝕涂料，該化學(xué)變化通過(guò)局部電子流來(lái)進(jìn)行。為了生成對(duì)于利用電子對(duì)涂料進(jìn)行“曝光”(對(duì)涂料通電流)所需的電子動(dòng)能，涂料優(yōu)選擁有高的照射敏感性以及足夠大以便能夠運(yùn)輸電荷并且避免涂料帶靜電的導(dǎo)電性。電控制優(yōu)選通過(guò)脈沖式的高電壓來(lái)進(jìn)行。在根據(jù)本發(fā)明的一種特別優(yōu)選的實(shí)施方式中，在陰極(電子發(fā)射極)的側(cè)上與涂料保持幾微米大的間隙。通過(guò)場(chǎng)發(fā)射而來(lái)自陰極的電子經(jīng)過(guò)該間隙加速并且然后以較高的能量擊中涂料。陰極/涂料的間隙能夠或者在涂料表面的、背向介電層的側(cè)上朝外電極實(shí)現(xiàn)，以及在(后退的)內(nèi)電極和所應(yīng)用涂料之間實(shí)現(xiàn)。
[0020]在根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施方式中，功能涂料包括基于如下的涂料:通過(guò)通電流進(jìn)行熱硬化。對(duì)于這些功能涂料，電子動(dòng)能轉(zhuǎn)變成熱能，所述熱能引起涂料的局部硬化。此夕卜，該涂料擁有合適的導(dǎo)電性，導(dǎo)電性足夠大，以便避免在通電流時(shí)涂料帶靜電。為了將熱硬化的效果局部地限制在所控制電極的區(qū)域，優(yōu)選抵抗熱傳導(dǎo)，也就是說(shuō)，該控制優(yōu)選通過(guò)短的高電壓脈沖來(lái)進(jìn)行。
[0021]在根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施方式中，功能涂料包括可以間接通過(guò)電流交聯(lián)的涂料。這些功能涂料包括例如(包含電致發(fā)光聚合物的)電致發(fā)光涂料與(包含光敏組分的)光致抗蝕涂料的組合。在使用合適的金屬接觸部時(shí)，形成如同OLED(有機(jī)發(fā)光二極管)那樣的作用機(jī)制。在該配置中，包含在電致發(fā)光涂料中的通電電致發(fā)光聚合物承擔(dān)對(duì)包括光敏組分的光致抗蝕涂料進(jìn)行局部曝光的功能。
[0022]上述的功能涂料可以作為正性抗蝕涂料或者負(fù)性抗蝕涂料來(lái)實(shí)施。對(duì)于負(fù)性抗蝕涂料，在硬化和顯影(通過(guò)溶劑去除涂料的非聚合區(qū)域)后保留電控制內(nèi)電極之上的區(qū)域，而其余的區(qū)域在顯影時(shí)被溶解掉。在使用正性抗蝕涂料時(shí)，情況是相反的。
[0023]例如可以將玻璃膏體用作烘烤膏體。于是，在脫粘時(shí)，玻璃膏體的粘合劑也被去除。所烘烤的玻璃的厚度優(yōu)選為20微米到80微米。
[0024]在根據(jù)本發(fā)明的一種實(shí)施方式中，為了對(duì)能夠電流結(jié)構(gòu)化的功能涂料進(jìn)行曝光和/或硬化，將反電極定位于功能涂料上并且施加電壓，優(yōu)選施加脈沖式的高電壓。交聯(lián)和/或硬化通過(guò)涂料的與電流相聯(lián)系的放熱和/或化學(xué)變化(如上所述)來(lái)進(jìn)行。例如，能夠?qū)⒒赑MMA (聚甲基丙烯酸甲酯)的厚層涂料(典型情況下50微米厚)用作功能涂料。電流硬化功能涂料能夠與另外的組分混合，以調(diào)準(zhǔn)定義的電阻。如果所謂的負(fù)性抗蝕涂料用作功能涂料，則在硬化和顯影(通過(guò)溶劑去除功能涂料的非聚合區(qū)域)后，保留功能涂料在電控制內(nèi)電極之上的區(qū)域，而其余的區(qū)域在顯影時(shí)被溶解掉。在使用正性抗蝕涂料時(shí)，情況是相反的。
[0025]在根據(jù)本發(fā)明的一種實(shí)施方式中，代替功能涂料，使用粉狀涂料。此外，粉狀涂料以靜電方式涂敷到電控制內(nèi)電極上以及被熔融。
[0026]在根據(jù)本發(fā)明的一種實(shí)施方式中，除了光致抗蝕涂料之外還使用粉狀涂料。此外，以靜電方式將粉狀涂料涂敷在由光致抗蝕涂料構(gòu)成的層上，其中，由電控制的內(nèi)電極吸附粉狀涂料。熔融的粉狀涂料于是能夠用作掩膜并且光致抗蝕涂料正常曝光。如果將負(fù)性抗蝕涂料用作光致抗蝕涂料，則在硬化和顯影(通過(guò)溶劑去除光致抗蝕涂料的非聚合區(qū)域)后保留光致抗蝕涂料在非電控制內(nèi)電極之上的區(qū)域，而其余的區(qū)域在顯影時(shí)溶解掉。在使用正性抗蝕涂料時(shí)，情況是相反的。
[0027]在根據(jù)本發(fā)明的一種特殊實(shí)施方式中，光致抗蝕涂料和/或電流硬化功能涂料配備有玻璃成分。由此獲得利用光或者電流能結(jié)構(gòu)化的玻璃膏體，其可以用于直接使通過(guò)B側(cè)和D側(cè)上的外接觸部控制的電極絕緣。
[0028]在本發(fā)明的另一個(gè)方面，提供用于制造全活躍多層元件的方法。詳細(xì)地說(shuō)，該方法包括如前面描述的那樣制造全活躍疊層，以及必要時(shí)對(duì)全活躍疊層的燒結(jié)或者對(duì)其綠色前驅(qū)體的燒結(jié)；以及在全活躍疊層的A’側(cè)和C’側(cè)上置放外電極并且接觸未涂層的內(nèi)電極，以便于這兩個(gè)外電極與未涂層的內(nèi)電極層電連接。
[0029]在本發(fā)明的另一個(gè)方面，提供全活躍多層元件。詳細(xì)地說(shuō)，全活躍多層元件包括由多個(gè)介電層和內(nèi)電極層以及兩個(gè)布置在疊層的位置相對(duì)的側(cè)上的外電極構(gòu)成的全活躍疊層，其中這些內(nèi)電極層的至少一部分涂有烘烤膏體，其中，這兩個(gè)外電極分別與未涂層的內(nèi)電極電連接。多層元件能夠例如設(shè)計(jì)為致動(dòng)器或者電容器。
[0030]本發(fā)明的實(shí)施在所附的示意性附圖中示例性地示出。
[0031]圖1示出沿堆疊方向具有A側(cè)、B側(cè)、C側(cè)和D側(cè)的壓電疊層的透視側(cè)視圖，
圖2示出在A側(cè)之上帶有功能涂料層的壓電疊層，
圖3A以橫截面示出來(lái)自圖2、安置有電極板的壓電疊層，
圖3B示出對(duì)于圖3A替換的實(shí)施方式，其帶有在光致抗蝕涂料層上以靜電方式涂層且熔融的粉末涂料以及隨后的曝光，
圖4示出顯影后按照實(shí)施方式3A或者3B之一硬化的光致抗蝕涂料層和/或功能涂料層，
圖5示出來(lái)自圖4、在干燥和烘烤之后在置放無(wú)金屬成分的烘烤膏體之后的壓電疊層， 圖6示出來(lái)自圖5、置放金屬化膏體之后的壓電疊層， 圖7示出沿堆疊方向具有A’側(cè)、B’側(cè)、C’側(cè)和D’側(cè)的單獨(dú)全活躍壓電疊層。
[0032]在一種實(shí)施例中，工藝流程如下:
a)提供已燒結(jié)壓電疊層(1)，其沿著堆疊方向具有A側(cè)、B側(cè)、C側(cè)和D側(cè)。該壓電疊層擁有(臨時(shí))絕緣區(qū)帶和外接觸部(3)，使得能夠在B側(cè)上通過(guò)外接觸部(3)電控制每第二個(gè)內(nèi)電極(2)以及在D側(cè)上通過(guò)對(duì)應(yīng)的外接觸部(3’，未示出)電控制每第二個(gè)內(nèi)電極(2’)(參見(jiàn)圖1)。
[0033]b)壓電疊層(I)在A側(cè)上設(shè)有功能涂料層(4)，在該例子中是負(fù)性抗蝕涂料(參見(jiàn)圖2)。例如，使用PMMA厚層涂料，典型情況下為50微米，其電阻通過(guò)附加組分以合適的方式來(lái)調(diào)準(zhǔn)。
[0034]c)在功能涂料層⑷上安置電極(5)。然后，向B側(cè)上的外接觸部(3)和電極(5)施加脈沖式的高電壓，以便于每第二個(gè)內(nèi)電極(2)之上的區(qū)域通過(guò)熱輸入被硬化。替代地，粉狀涂料能夠在電控制的內(nèi)電極(2)之上被置放于所述一個(gè)光致抗蝕涂料層上，其方式是以相反極性來(lái)對(duì)粉狀涂料顆粒充電。粉狀涂料然后被熔融并用作用于曝光(6)的掩膜。
[0035]d)在圖4中看到顯影(即，溶解掉未硬化和/或聚合的組成部分)后硬化的光致抗蝕涂料和/或功能涂料(8)。
[0036]e)在圖5中，無(wú)金屬成分的烘烤膏體(9)被置放、脫粘和烘烤。剩余的粉狀涂料在脫粘時(shí)煅燒并且因而去除。
[0037]f)圖6示出來(lái)自圖5、在對(duì)用于外接觸部的金屬化膏體進(jìn)行置放、干燥、烘烤后的壓電疊層。
[0038]g)在圖7中示出全活躍壓電疊層分離成具有A’側(cè)、B’側(cè)、C’側(cè)和D’側(cè)的單個(gè)致動(dòng)器。如根據(jù)圖6所解釋的那樣，金屬化膏體(10)的置放能夠在分離成單個(gè)致動(dòng)器(11)之前或者之后進(jìn)行。
[0039]參考標(biāo)記列表
A, B, C，D 壓電疊層在堆疊方向上的側(cè) I壓電疊層 2，2’內(nèi)電極
3具有臨時(shí)絕緣區(qū)帶的外接觸部 4未硬化的光致抗蝕涂料層 5反電極 6光
7以靜電方式置放且熔融的粉狀涂料
8顯影(也就是說(shuō)，溶解掉或者煅燒未硬化區(qū)域)后硬化的光致抗蝕涂料 9在置放、脫粘以及烘烤后無(wú)金屬成分的烘烤膏體 10在置放、干燥和烘烤后的金屬化膏體 11具有A’側(cè)、B’側(cè)、C’側(cè)和D’側(cè)的單個(gè)致動(dòng)器。
【權(quán)利要求】
1.一種用于制造全活躍疊層或者其綠色前驅(qū)體的方法，所述方法包括: -提供已燒結(jié)疊層或未燒結(jié)疊層(1)，其具有分別在堆疊方向上走向的A側(cè)、B偵彳、C側(cè)和D側(cè)且由多個(gè)交替相繼的陶瓷介電層和內(nèi)電極層(2，2’)構(gòu)成，其中，所述內(nèi)電極層(2，2’)相關(guān)于A側(cè)和C側(cè)分別連貫地構(gòu)造并且相關(guān)于B側(cè)或者相關(guān)于D側(cè)分別不連貫地構(gòu)造； -使接觸相應(yīng)側(cè)的內(nèi)電極(2，2’)或者其未燒結(jié)的前驅(qū)體在B側(cè)或者D側(cè)之一上通過(guò)具有臨時(shí)絕緣區(qū)帶的外接觸部(3)組合并且臨時(shí)接觸； -對(duì)可通過(guò)B側(cè)控制的內(nèi)電極進(jìn)行電控制以及在A側(cè)上用涂料至少對(duì)電控制的內(nèi)電極或者其未燒結(jié)的前驅(qū)體進(jìn)行涂層以及使涂料硬化、熔融以及必要時(shí)使涂料顯影； -對(duì)可通過(guò)D側(cè)控制的內(nèi)電極進(jìn)行電控制以及在C側(cè)上用涂料至少對(duì)電控制的內(nèi)電極或者其未燒結(jié)的前驅(qū)體進(jìn)行涂層以及使涂料硬化、熔融以及必要時(shí)使涂料顯影； -在A側(cè)和C側(cè)上置放烘烤膏體以及對(duì)烘烤膏體進(jìn)行脫粘和燃燒，在其中涂料被去除；以及 -將疊層分離成至少一個(gè)具有涂層的內(nèi)電極的全活躍疊層(11)或者其綠色前驅(qū)體或者其在A’側(cè)和C’側(cè)上未燒結(jié)的前驅(qū)體。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，光致抗蝕涂料和/或粉狀涂料和/或者功能涂料用作涂料。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中，所述功能涂料選自包括如下的組:用在電子射線平版印刷中的涂料、具有通過(guò)通電而引起的熱硬化的涂料、間接通過(guò)電流交聯(lián)的涂料和它們的混合物。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其中，將光致抗蝕涂料與電致發(fā)光涂料的組合用作間接通過(guò)電流交聯(lián)的涂料。
5.根據(jù)權(quán)利要求2至4中任一項(xiàng)所述的方法，其中，為了使所述功能涂料硬化而在A側(cè)和C側(cè)上放置反電極并且通過(guò)在施加電壓時(shí)由電流感應(yīng)的熱輸入來(lái)硬化和/或交聯(lián)所述功能涂料。
6.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法，其中，在內(nèi)電極層與涂料之間或者在涂料表面與反電極之間設(shè)置間隙。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中，所述粉狀涂料以靜電方式涂敷到電控制的內(nèi)電極上以及被熔融。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其中，將所述粉狀涂料涂敷在由光致抗蝕涂料構(gòu)成的層上。
9.根據(jù)權(quán)利要求2或8所述的方法，其中，所述光致抗蝕涂料通過(guò)曝光被硬化。
10.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法，其中，所述介電層是壓電層。
11.一種用于制造全活躍多層元件的方法，所述方法包括: -根據(jù)權(quán)利要求1至10中任一項(xiàng)所述制造全活躍疊層(12)以及必要時(shí)燒結(jié)所述全活躍疊層或者其綠色前驅(qū)體； -在所述全活躍疊層(12)的A’側(cè)和C’側(cè)上置放外電極并且接觸未涂層的內(nèi)電極，以便于這兩個(gè)外電極(11)與未涂層的內(nèi)電極層(2，2’)電連接。
12.—種全活躍多層構(gòu)件，其包括由多個(gè)介電層和內(nèi)電極層(2，2’)以及兩個(gè)布置在所述疊層的位置相對(duì)的側(cè)上的外電極(11)構(gòu)成的全活躍疊層(12)，其中，所述內(nèi)電極層(2，2’ )的至少一部分涂有烘烤膏體，其中，這兩個(gè)外電極(11)分別與未涂層的內(nèi)電極(2，2’ )電連接。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的全活躍多層構(gòu)件，其設(shè)計(jì)為致動(dòng)器。
14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的全活躍多層構(gòu)件，其設(shè)計(jì)為電容器。
【文檔編號(hào)】H01L41/047GK104350559SQ201380029372
【公開(kāi)日】2015年2月11日 申請(qǐng)日期:2013年5月22日 優(yōu)先權(quán)日:2012年6月4日
【發(fā)明者】F.里納, D.佐米奇 申請(qǐng)人:埃普科斯股份有限公司