用于半導(dǎo)體制作工藝的輸送裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種用于半導(dǎo)體制作工藝的輸送裝置，其包括一輸送鏈帶，及多個(gè)結(jié)合于輸送鏈帶上用以承載半導(dǎo)體的承載組件；該承載組件具有一用于接觸半導(dǎo)體的承載部，承載部的表面設(shè)有一鈦基鍍膜層。本實(shí)用新型所提供的用于半導(dǎo)體制作工藝的輸送裝置，能夠達(dá)到提升耐磨耗機(jī)械特性及延長(zhǎng)使用壽命的功效。
【專利說明】用于半導(dǎo)體制作工藝的輸送裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本實(shí)用新型關(guān)于一種輸送裝置，尤指一種用于半導(dǎo)體制作工藝的輸送裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)今半導(dǎo)體制造流程當(dāng)中，必須使用輸送帶將其轉(zhuǎn)移在各種制作工藝的設(shè)備，而且為了減少輸送帶不接觸到特定部位，以避免磨損或壓損致影響到其合格率，公知的輸送帶構(gòu)造不斷地改進(jìn)，例如由整面承載方式改變?yōu)榫€狀承載模式，例如中國(guó)臺(tái)灣公告第M316248號(hào)的基材輸送設(shè)備,公告第M353923號(hào)的輸送設(shè)備,及公告第404557號(hào)的半導(dǎo)體構(gòu)裝物料輸送模塊等，甚至是通過輸送帶上面結(jié)合承載組件的設(shè)計(jì)，進(jìn)一步提升到點(diǎn)狀承載的輸送方式。
[0003]然而半導(dǎo)體為質(zhì)硬而脆的材料，例如單晶硅太陽能電池的硬度大約為10Gpa?13Gpa，而輸送帶上的承載組件的構(gòu)造設(shè)計(jì)及其材質(zhì)的選用，常不足以抵抗太陽能電池可接觸部位(例如邊緣)的刮磨。尤其是被用于輸送太陽能電池進(jìn)入燒結(jié)爐或干燥爐時(shí)，因承載太陽能電池并耐受制作工藝所需的高溫(約800-900度)，以及極速的溫度變化(10秒內(nèi)通過爐內(nèi)溫度，再回復(fù)到室溫環(huán)境)，能承受這樣劇烈溫度變化的承載組件材料甚少，而且其耐磨耗的機(jī)械特性不佳，將導(dǎo)致承載組件容易受損，進(jìn)而發(fā)生制作工藝當(dāng)中損壞太陽能電池的情況。
[0004]詳言之，如圖1及圖2所示，用于承載太陽能電池30進(jìn)入燒結(jié)爐或干燥爐的輸送帶10，其上面傾斜狀的承載組件20的支撐部位201的構(gòu)造可以構(gòu)成點(diǎn)或線狀承載，但是其支撐部位201的硬度及耐受高溫的機(jī)械特性不佳時(shí)，就容易被太陽能電池30磨耗過深而發(fā)生刻痕202，導(dǎo)致刻痕202能夠接觸到容許以外的部位，因而影響到太陽能電池的質(zhì)量，并縮短輸送帶10的使用壽命。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0005]為了解決現(xiàn)有技術(shù)中的上述問題，本實(shí)用新型提供了一種用于半導(dǎo)體制作工藝的輸送裝置，其借由輸送裝置的承載組件及表面鍍膜的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，提升承載組件表面的硬度，并降低承載組件表面的摩擦系數(shù)，達(dá)到提升耐磨耗機(jī)械特性的目的。
[0006]本實(shí)用新型提供的用于半導(dǎo)體制作工藝的輸送裝置，其包括:一輸送鏈帶，及多個(gè)結(jié)合于該輸送鏈帶上用以承載半導(dǎo)體的承載組件；該承載組件具有一用于接觸該半導(dǎo)體的承載部，該承載部的表面設(shè)有一鈦基鍍膜層。
[0007]優(yōu)選地，其中該承載部為一直傾斜桿，該直傾斜桿具有一直傾斜面，該鈦基鍍膜層形成于該直傾斜面。
[0008]優(yōu)選地，其中該承載部由鎳基合金線材構(gòu)成，且該承載部的兩端分別一體成型有一連接部，該連接部結(jié)合于該輸送鏈帶。
[0009]優(yōu)選地，其中該鈦基鍍膜層的厚度為0.1 μ m?10 μ m。
[0010]優(yōu)選地，其中該承載部為一彎曲桿，該彎曲桿具有一凹弧面，該鈦基鍍膜層形成于該凹弧面。
[0011]優(yōu)選地，其中該承載部由鎳基合金線材構(gòu)成，且該承載部的兩端分別一體成型有一連接部，該連接部結(jié)合于該輸送鏈帶。
[0012]優(yōu)選地，其中該鈦基鍍膜層的厚度為0.1 μ m?10 μ m。
[0013]本實(shí)用新型的有益效果:通過鈦基鍍膜層增進(jìn)承載組件的承載部表面硬度，并降低承載部表面的摩擦系數(shù)，使承載組件的承載部具有較佳的耐磨特性，也能承受高溫?zé)Y(jié)設(shè)備及高溫干燥設(shè)備劇烈的溫度變化，因而適于反復(fù)承載太陽能電池，防止承載部被太陽能電池磨損而影響承載質(zhì)量，同時(shí)可以提升輸送裝置的使用壽命。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]圖1為公知的輸送帶及承載組件的局部示意圖；
[0015]圖2為公知的承載組件磨耗過深的局部放大示意圖；
[0016]圖3為本實(shí)用新型輸送裝置的局部立體示意圖；
[0017]圖4為本實(shí)用新型輸送裝置的局部主視示意圖；
[0018]圖5為本實(shí)用新型輸送裝置的局部剖視示意圖；
[0019]圖6為本實(shí)用新型鈦基鍍膜層的剖面放大示意圖；
[0020]圖7為本實(shí)用新型承載部另一實(shí)施例的局部主視示意圖。
[0021]部件名稱:
[0022]1-輸送鏈帶；10-輸送帶；
[0023]2-承載組件；20_承載組件；201_支撐部位；202_刻痕；21_承載部；211_直傾斜面；212-凹弧面；22_鈦基鍍膜層；23_連接部；
[0024]3-太陽能電池；30-太陽能電池。
【具體實(shí)施方式】
[0025]以下配合附圖詳細(xì)說明本實(shí)用新型的特征及優(yōu)點(diǎn)。
[0026]參閱圖3、圖4及圖5所示，以輸送太陽能電池3為例，本實(shí)用新型用于半導(dǎo)體制作工藝的輸送裝置，其較佳的實(shí)施例包括一輸送鏈帶1，及多個(gè)結(jié)合于輸送鏈帶I上用以承載太陽能電池3的承載組件2，其中:
[0027]該輸送鏈帶I為多個(gè)金屬鏈條并排編織而成的可撓性長(zhǎng)條，用于將太陽能電池3輸送到高溫?zé)Y(jié)設(shè)備及高溫干燥設(shè)備。
[0028]該承載組件2為由鎳基合金線材(例如鎳鉻合金)沖壓構(gòu)成的支撐定位組件,其具有一用于接觸支撐在太陽能電池3邊緣的承載部21，并在承載部21的表面設(shè)有一鈦基鍍膜層22 (如圖6所示)，鈦基鍍膜層22較佳的厚度為0.1 μ m?10 μ m，而且該鈦基鍍膜層22可為單層或多層膜，借此組成本實(shí)用新型用于半導(dǎo)體制作工藝的輸送裝置。
[0029]再如圖3至圖5所示，本實(shí)用新型該承載組件2的承載部21可以是鎳基合金線材沖壓形成的具有一直傾斜面211的直傾斜桿，而鈦基鍍膜層22形成于直傾斜面211及其周圍。或如圖7所示，本實(shí)用新型該承載組件2的承載部22亦可為鎳基合金線材沖壓形成的具有一凹弧面212的彎曲桿，而鈦基鍍膜層22形成于凹弧面212及其周圍。如此，通過直傾斜面211或凹弧面212的設(shè)計(jì)，能夠以較少的面積接觸于太陽能電池3的邊緣。同理，本實(shí)用新型該承載部21亦可以構(gòu)成其它形狀，例如以鎳基合金線材沖壓成其它規(guī)則或不規(guī)則的桿狀，并在其頂面設(shè)置鈦基鍍膜層22，用以接觸于太陽能電池3的邊緣。
[0030]另外，再如圖3至圖5所示，本實(shí)用新型該承載組件2必須固定在輸送鏈帶I上，用以承載太陽能電池3，其較佳的實(shí)施例可以在承載部21的兩端分別一體成型有一連接部23，連接部23的形狀不拘限，使連接部23以焊接或其它方式結(jié)合于輸送鏈帶I。
[0031]直接影響承載組件2的磨耗特性因素有硬度、表面粗糙度與摩擦系數(shù)等，其中硬度越高及摩擦系數(shù)越低，相對(duì)的耐磨耗的機(jī)械特性越良好。而本實(shí)用新型用于半導(dǎo)體制作工藝的輸送裝置，通過承載組件2的鈦基鍍膜層22的構(gòu)造，可以增進(jìn)承載部21表面的硬度(鈦基鍍膜層22的硬度可以達(dá)到30GPa以上)，并降低承載部21表面的摩擦系數(shù)(鈦基鍍膜層22的摩擦系數(shù)可以達(dá)到0.8以下)。因此，本實(shí)用新型能夠使承載組件2的承載部21具有較佳的耐磨特性，而且鈦基鍍膜層22也能承受高溫?zé)Y(jié)設(shè)備及高溫干燥設(shè)備內(nèi)外劇烈的溫度變化，因而適于反復(fù)承載太陽能電池3，防止承載部21被太陽能電池3磨損，同時(shí)也可以提升輸送裝置的使用壽命。
[0032]以上實(shí)施例僅是為充分說明本實(shí)用新型而所舉的較佳的實(shí)施例，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍不限于此。本【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員在本實(shí)用新型基礎(chǔ)上所作的等同替代或變換，均在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。本實(shí)用新型的保護(hù)范圍以權(quán)利要求書為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種用于半導(dǎo)體制作工藝的輸送裝置，其特征在于，其包括:一輸送鏈帶，及多個(gè)結(jié)合于該輸送鏈帶上用以承載半導(dǎo)體的承載組件；該承載組件具有一用于接觸該半導(dǎo)體的承載部，該承載部的表面設(shè)有一鈦基鍍膜層。
2.如權(quán)利要求1所述用于半導(dǎo)體制作工藝的輸送裝置，其特征在于，該承載部為一直傾斜桿，該直傾斜桿具有一直傾斜面，該鈦基鍍膜層形成于該直傾斜面。
3.如權(quán)利要求2所述用于半導(dǎo)體制作工藝的輸送裝置，其特征在于，該承載部由鎳基合金線材構(gòu)成，且該承載部的兩端分別一體成型有一連接部，該連接部結(jié)合于該輸送鏈帶。
4.如權(quán)利要求3所述用于半導(dǎo)體制作工藝的輸送裝置，其特征在于，該鈦基鍍膜層的厚度為0.1 μ m?10 μ m。
5.如權(quán)利要求1所述用于半導(dǎo)體制作工藝的輸送裝置，其特征在于，該承載部為一彎曲桿，該彎曲桿具有一凹弧面，該鈦基鍍膜層形成于該凹弧面。
6.如權(quán)利要求5所述用于半導(dǎo)體制作工藝的輸送裝置，其特征在于，該承載部由鎳基合金線材構(gòu)成，且該承載部的兩端分別一體成型有一連接部，該連接部結(jié)合于該輸送鏈帶。
7.如權(quán)利要求6所述用于半導(dǎo)體制作工藝的輸送裝置，其特征在于，該鈦基鍍膜層的厚度為0.1 μ m?10 μ m。
【文檔編號(hào)】H01L21/677GK203415559SQ201320309738
【公開日】2014年1月29日 申請(qǐng)日期:2013年5月31日 優(yōu)先權(quán)日:2013年5月31日
【發(fā)明者】朱賢明 申請(qǐng)人:朱賢明