專利名稱：一種新型石英器件清洗結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及太陽能電池技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種新型石英器件清洗結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
硼擴散工序是太陽能電池制造過程中的重要一環(huán)。擴散尾氣排出裝置的工作原理如圖1所示，擴散工藝產(chǎn)生的尾氣經(jīng)尾氣管01和S彎頭03進入廢液罐04，再經(jīng)和廢液罐04相連的排風(fēng)管路排出去。廢液罐04的上端有一路氮氣補償，這路補償?shù)獨馄鸬淖饔镁褪瞧胶鉅t管內(nèi)氣壓，保證爐管內(nèi)的壓力為電腦監(jiān)控的設(shè)定值；尾氣和補償?shù)獨馐窃诩氶L的管路05內(nèi)匯合的，然后經(jīng)過排風(fēng)管路抽走。尾氣的排出是一個持續(xù)的過程，補償?shù)獨獾耐ㄈ胍彩且粋€持續(xù)的過程。在太陽能電池領(lǐng)域的硼擴散工序中，由于硼擴散工藝的特殊性，工藝過程中會產(chǎn)生氧化硼粉末。在擴散尾氣排出的過程中，氧化硼粉末會被尾氣帶出一部分，并會遇冷附著在尾氣管末端內(nèi)壁02以及S彎頭03的內(nèi)壁上，造成尾氣排不出去，從而造成管路堵塞，如果長時間不清理的話，就會對工藝造成影響。目前，只是對補償?shù)獨獾耐饪谶M行清洗，不對S彎頭03和尾氣管02末端部分進行清洗。如果清洗S彎頭03和尾氣管02末端的話，由于兩者均為石英材質(zhì)，一般清理氧化硼粉末的方法為采用冷的純水進行沖洗，但是由于冷熱溫差大，驟冷會造成石英器件的斷裂，造成成本浪費；并且由于長時間的積累，S彎頭03和尾氣管02末端的氧化硼粉末清理難度比較大。因此，針對上述情況，如何改進擴散尾氣排出裝置的結(jié)構(gòu)，在保證不損傷石英器件的前提下，對其尾氣管和S彎頭部位進行清洗，防止被氧化硼粉末堵住，從而保證擴散工藝的正常運行，成為本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的重要技術(shù)問題。

實用新型內(nèi)容有鑒于此，本實用新型提供了一種新型石英器件清洗結(jié)構(gòu)，在保證不損傷石英器件的前提下，對尾氣管和S彎頭部位進行清洗，防止被氧化硼粉末堵住，從而保證擴散工藝的正常運行。為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案:一種新型石英器件清洗結(jié)構(gòu)，應(yīng)用于太陽能電池硼擴散工序后的擴散尾氣排出裝置，包括依次連通的尾氣管末段、S彎頭和廢液罐，所述尾氣管末段的輸入端還連通有氮氣補償管路。優(yōu)選的，所述氮氣補償管路內(nèi)的補償?shù)獨饨?jīng)過加熱器加熱。優(yōu)選的，所述加熱器具體為設(shè)置在所述氮氣補償管路內(nèi)的水浴加熱器。優(yōu)選的，所述廢液罐上端的氮氣補償管路設(shè)計為密封。從上述的技術(shù)方案可以看出，本實用新型提供的新型石英器件清洗結(jié)構(gòu)，通過在尾氣管通入補償?shù)獨猓脷饬鞯臎_刷帶走更多雜質(zhì)，對尾氣管和S彎頭部位進行清洗，防止被氧化硼粉末堵住，從而保證擴散工藝的正常運行。與現(xiàn)有技術(shù)中采用冷的純水進行沖洗，引起驟冷造成石英器件斷裂相比，不會損傷尾氣管和S彎頭，避免了生產(chǎn)成本的浪費。本實用新型提供的新型石英器件清洗結(jié)構(gòu)，保證了硼擴散工藝的穩(wěn)定性；同時，在設(shè)備運行的過程中就可以實現(xiàn)清洗，減少了維護次數(shù)，降低了成本，提高了 N型電池的成本競爭優(yōu)勢。

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為現(xiàn)有技術(shù)中的擴散尾氣排出裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實用新型實施例提供的新型石英器件清洗結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。其中，01尾氣管，02為尾氣管末端內(nèi)壁，03為S彎頭，04為廢液罐，05為細長的管路；11為尾氣管末段，12為尾氣管末段內(nèi)壁，13為S彎頭，14為S彎頭和廢液罐的銜接部分，15為氣體在廢液罐內(nèi)的流動方向，16為廢液罐，17為水浴加熱器，18為原氮氣補償管路。
具體實施方式
本實用新型公開了一種新型石英器件清洗結(jié)構(gòu)，在保證不損傷石英器件的前提下，對尾氣管和S彎頭部位進行清洗，防止被氧化硼粉末堵住，從而保證擴散工藝的正常運行。為了便于理解，現(xiàn)將本實用新型中出現(xiàn)的技術(shù)名詞解釋如下:尾氣管:太陽能電池領(lǐng)域擴散工序中用于抽取反應(yīng)產(chǎn)生的尾氣的石英管。S彎頭:太陽能電池領(lǐng)域擴散工序中和尾氣管相連的石英器件，呈S型。氧化硼粉末:擴散工藝中的附加產(chǎn)物，為一種白色粉末。廢液罐:擴散工藝中儲存少量反應(yīng)產(chǎn)物(硼擴散為氧化硼粉末)的石英器件。下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。請參閱圖2，圖2為本實用新型實施例提供的新型石英器件清洗結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。本實用新型實施例提供的新型石英器件清洗結(jié)構(gòu)，應(yīng)用于太陽能電池硼擴散工序后的擴散尾氣排出裝置，包括依次連通的尾氣管末段11、S彎頭13和廢液罐16，其核心改進點在于，尾氣管末段11的輸入端還連通有氮氣補償管路。本方案對尾氣管末端11進行了改造，改造方法為:對尾氣管末端進行重新設(shè)計，增加了一路可以通補償?shù)獨獾墓苈?，此管路直接和尾氣管末?1的內(nèi)部管路相通，作用為:保證新加的補償?shù)獨饪梢詮倪@條管路通入尾氣管尾氣排出管路。從上述的技術(shù)方案可以看出，本實用新型實施例提供的新型石英器件清洗結(jié)構(gòu)，通過在尾氣管通入補償?shù)獨?，利用氣流的沖刷帶走更多雜質(zhì)，對尾氣管和S彎頭13部位進行清洗，防止被氧化硼粉末堵住，從而保證擴散工藝的正常運行。與現(xiàn)有技術(shù)中采用冷的純水進行沖洗，引起驟冷造成石英器件斷裂相比，不會損傷尾氣管和S彎頭13，避免了生產(chǎn)成本的浪費。本實用新型提供的新型石英器件清洗結(jié)構(gòu)，保證了硼擴散工藝的穩(wěn)定性；同時，在設(shè)備運行的過程中就可以實現(xiàn)清洗，減少了維護次數(shù)，降低了成本，提高了 N型電池的成本競爭優(yōu)勢。為了進一步優(yōu)化上述的技術(shù)方案，氮氣補償管路內(nèi)的補償?shù)獨饨?jīng)過加熱器加熱，從而降低了了冷熱溫差對于石英器件的影響，保證了尾氣管末端11和S彎頭13不會由于驟冷而發(fā)生斷裂，避免了生產(chǎn)成本的浪費。作為優(yōu)選，加熱器具體為設(shè)置在氮氣補償管路內(nèi)的水浴加熱器17。如圖2所示，補償?shù)獨庀冉?jīng)過水浴，攜帶著水蒸氣的濕潤的氮氣從改造后新的氮氣補償管路進入尾氣排出管路，經(jīng)過尾氣管末端11和S彎頭13銜接的部位進入S彎頭13管路，然后進入和S彎頭13銜接的廢液罐16，經(jīng)過15的箭頭方向向上走，最后經(jīng)過排風(fēng)管路抽走。由于補償?shù)獨鉃闈駶櫟模诘獨馔ㄈ氲倪^程中可以溶解尾氣管末端內(nèi)壁12和S彎頭13內(nèi)壁附著的氧化硼粉末，對尾氣管末端內(nèi)壁12和S彎頭13內(nèi)壁起到更好的清洗作用。鑒于已經(jīng)在尾氣管末段11通入了補償?shù)獨猓獨庋a償管路18已經(jīng)不再是必要的。因此，在進一步的方案中，廢液罐16上端的原氮氣補償管路18封閉。請參閱圖2，通過對廢液罐16進行改造，把廢液罐16上端的通補償?shù)獨獾墓苈?8設(shè)計成密封的，其他部位不發(fā)生變化。本說明書中各個實施例采用遞進的方式描述，每個實施例重點說明的都是與其他實施例的不同之處，各個實施例之間相同相似部分互相參見即可。對所公開的實施例的上述說明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實用新型。對這些實施例的多種修改對本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實用新型的精神或范圍的情況下，在其它實施例中實現(xiàn)。因此，本實用新型將不會被限制于本文所示的這些實施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點相一致的最寬的范圍。
權(quán)利要求1.一種新型石英器件清洗結(jié)構(gòu)，應(yīng)用于太陽能電池硼擴散工序后的擴散尾氣排出裝置，包括依次連通的尾氣管末段(11 )、S彎頭(13)和廢液罐(16)，其特征在于，所述尾氣管末段(11)的輸入端還連通有氮氣補償管路。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型石英器件清洗結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述氮氣補償管路內(nèi)的補償?shù)獨饨?jīng)過加熱器加熱。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的 新型石英器件清洗結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述加熱器具體為設(shè)置在所述氮氣補償管路內(nèi)的水浴加熱器(17)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任意一項所述的新型石英器件清洗結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述廢液罐(16)上端的原氮氣補償管路(18)封閉。
專利摘要本實用新型公開了一種新型石英器件清洗結(jié)構(gòu)，通過在尾氣管通入經(jīng)過水浴加熱的補償?shù)獨?，對尾氣管和S彎頭部位進行清洗，防止被氧化硼粉末堵住，從而保證擴散工藝的正常運行。與現(xiàn)有技術(shù)中采用冷的純水進行沖洗，引起驟冷造成石英器件斷裂相比，不會損傷尾氣管和S彎頭，避免了生產(chǎn)成本的浪費。本實用新型提供的新型石英器件清洗結(jié)構(gòu)，保證了硼擴散工藝的穩(wěn)定性；同時，在設(shè)備運行的過程中就可以實現(xiàn)清洗，減少了維護次數(shù)，降低了成本，提高了N型電池的成本競爭優(yōu)勢。
文檔編號H01L31/18GK203076288SQ20132007448
公開日2013年7月24日 申請日期2013年2月17日 優(yōu)先權(quán)日2013年2月17日
發(fā)明者戎帥 申請人:英利能源(中國)有限公司