專利名稱：石墨舟陶瓷圈的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種陶瓷圈，特別涉及一種石墨舟陶瓷圈。
背景技術：
太陽能硅片的生產加工中有一道程序叫做PECVD鍍膜，其作用是提高硅片的太陽能轉化率。這個工序就用到石墨舟。把硅片放到石墨舟中，經(jīng)過一定的條件產生化學反映，在娃片表面鍍上一層膜。石墨舟作為太陽能電池片鍍減反射膜時的一種載體，其結構和大小直接影響硅片的轉換效率和生產效率，現(xiàn)有石墨舟包括石墨舟片、陶瓷套、陶瓷桿、石墨桿、石墨隔塊等石墨配件。其工作原理為將未鍍膜的硅片放在石墨舟片的卡點上，每個舟片上可放固定數(shù)量的硅片，然后，將石墨舟放置在PECVD真空鍍膜設備的墻體內，采用PECVD工藝進行放·電鍍膜。鍍膜結束后，取出石墨舟，將硅片從石墨舟上卸取下來。石墨舟上固定有不同數(shù)量的石墨舟片，石墨舟片是用陶瓷桿穿套起來的，石墨舟片之間依靠同樣穿套在陶瓷桿上的陶瓷圈來控制距離。硅片非常輕薄，厚度為18絲，且易碎。在將硅片放入石墨舟中時，現(xiàn)有陶瓷圈形狀不便，尺寸過大，常因為硅片碰到陶瓷圈發(fā)生碎裂，且陶瓷圈取出和放置時不方便，且清洗時清洗的強酸不易排出，容易腐蝕陶瓷圈。

實用新型內容本實用新型的目的是解決上述不足，提供一種形狀及大小合適，方便硅片放入，易排出清洗強酸的陶瓷圈。實現(xiàn)本實用新型目的技術方案是一種石墨舟陶瓷圈，其主體為圓環(huán)狀結構，包括外表面，內表面，內表面上開設導流槽；所述外表面直徑為8mm ;內表面直徑為6. 3 mm。上述石墨舟陶瓷圈,在主體圓環(huán)狀結構上末端有一個半圓形缺口。本實用新型具有積極的效果(1)結構簡單，實用；(2)形狀尺寸合適，便于放入硅片，不易發(fā)生硅片因碰撞陶瓷圈而碎裂；(3)直徑小，輕便節(jié)能環(huán)保。

為了使本實用新型的內容更容易被清楚地理解，下面根據(jù)具體實施例并結合附圖，對本實用新型作進一步詳細的說明，其中圖I為本實用新型結構示意圖。其中1外表面，2內表面，3導流槽。
具體實施方式
實施例(I)見圖1，本實用新型石墨舟陶瓷圈，其為圓環(huán)狀結構，包括外表面1，內表面2，外表面直徑為8mm ;內表面直徑為6. 3mm ;內表面上開設導流槽,在主體圓環(huán)狀結構上末端有一個半圓形缺口。以上所述的具體實施例，對本實用新型的目的、技術方案和有益效果進行了進一步詳細說明，所應理解的是，以上所述僅為本實用新型的具體實施例而已，并不用于限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內，所做的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之 內。
權利要求1.一種石墨舟陶瓷圈，其主體為圓環(huán)狀結構，包括外表面(1)，內表面(2)，其特征在于內表面(2)上開設導流槽(3);所述外表面(I)直徑為8mm ;內表面(2)直徑為6. 3 mm。
2.根據(jù)權利要求I所述石墨舟陶瓷圈，其特征在于在主體圓環(huán)狀結構上末端有一個半圓形缺口。
專利摘要本實用新型涉及一種石墨舟陶瓷圈，其主體為圓環(huán)狀結構，包括外表面，內表面，內表面上開設導流槽；所述外表面直徑為8mm；內表面直徑為 6.3 mm。本實用新型結構簡單，實用；形狀尺寸合適，便于放入硅片，不易發(fā)生硅片因碰撞陶瓷圈而碎裂；直徑小，輕便，節(jié)能環(huán)保。
文檔編號H01L21/673GK202796888SQ20122040603
公開日2013年3月13日 申請日期2012年8月15日 優(yōu)先權日2012年8月15日
發(fā)明者吳建洪 申請人:常州市立新石墨有限公司