專利名稱：一種晶體硅片濕法刻蝕用拋光液的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于太陽能電池技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種晶體硅片濕法刻蝕用拋光液。
背景技術(shù)：
硅材料在晶體硅太陽電池的成本中占有很大比例，為了減少硅材料的用量，硅片厚度越來越薄。硅片變薄，除了要考慮生產(chǎn)中的碎片率，燒結(jié)后的彎曲度，還要關(guān)注電池的長波響應(yīng)特性。目前，晶體硅太陽能電池背面一般由摻鋁背場層、鋁硅合金層鋁漿燒結(jié)層組成。鋁硅合金層與硅體結(jié)合緊密，兩者的界面對光產(chǎn)生反射作用。硅片制絨以后會進行刻蝕，刻蝕所用的拋光液就顯得尤為重要。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種晶體硅片濕法刻蝕用拋光液。本發(fā)明的目的可以通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)
一種晶體硅片濕法刻蝕用拋光液，其特征在于該拋光液由以下重量份的組分組成
硝酸10-48份
氫氟酸15-40份
醋酸2-25份
該拋光液由以下重量份的組分組成
硝酸30份
氫氟酸25份
醋酸15份
甘油10份
還包括添加劑亞硝酸鉀，所述的亞硝酸鉀重量份為2-7份。本發(fā)明的有益效果本發(fā)明制備的晶體硅片濕法刻蝕用拋光液組成簡單，拋光效果好，不損害硅片。
具體實施例方式下面結(jié)合具體實施例對本發(fā)明作進一步說明。實施例1
取重量份數(shù)的各組分，硝酸30份、氫氟酸25份、醋酸15份、甘油10份和亞硝酸鉀5份。本發(fā)明拋光液的制備步驟(1)將氫氟酸緩慢加入到硫酸中，邊混合邊攪拌；(2)待步驟(I)的混合液冷卻后加入醋酸，攪拌均勻；(3)向步驟(2)的混合液中加入添加劑亞硝酸鉀，充分攪拌，即得到本發(fā)明的拋光液。實施例2取重量份數(shù)的各組分，硝酸10份、氫氟酸15份、醋酸2份、甘油7份和亞硝酸鉀7份。本發(fā)明拋光液的制備步驟(1)將氫氟酸緩慢加入到硫酸中，邊混合邊攪拌；(2)待步驟(I)的混合液冷卻后加入醋酸，攪拌均勻；(3)向步驟(2)的混合液中加入添加劑亞硝酸鉀，充分攪拌，即得到本發(fā)明的拋光液。實施例3
取重量份數(shù)的各組分，硝酸48份、氫氟酸40份、醋酸25份、甘油15份和亞硝酸鉀2份。本發(fā)明拋光液的制備步驟(1)將氫氟酸緩慢加入到硫酸中，邊混合邊攪拌；(2)待步驟(I)的混合液冷卻后加入醋酸，攪拌均勻；(3)向步驟(2)的混合液中加入添加劑亞硝酸鉀，充分攪拌，即得到本發(fā)明的拋光液。·
權(quán)利要求
1.一種晶體硅片濕法刻蝕用拋光液，其特征在于該拋光液由以下重量份的組分組成 硝酸10-48份 氫氟酸15-40份 醋酸2-25份 甘油7-15份。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶體硅片濕法刻蝕用拋光液，其特征在于該拋光液由以下重量份的組分組成 硝酸30份 氫氟酸25份 醋酸15份 甘油10份。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的晶體硅片濕法刻蝕用拋光液，其特征在于還包括添加劑亞硝酸鉀，所述的亞硝酸鉀重量份為2-7份。
全文摘要
本發(fā)明公開一種晶體硅片濕法刻蝕用拋光液，其特征在于該拋光液由以下重量份的組分組成硝酸10-48份、氫氟酸15-40份、醋酸2-25份、甘油7-15份。本發(fā)明制備的晶體硅片濕法刻蝕用拋光液組成簡單，拋光效果好，不損害硅片。
文檔編號H01L21/306GK103000510SQ20121040171
公開日2013年3月27日 申請日期2012年10月22日 優(yōu)先權(quán)日2012年10月22日
發(fā)明者張晨, 張森林 申請人:江蘇晨電太陽能光電科技有限公司