專利名稱：層疊裝置及層疊方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是關(guān)于一種對太陽能電池組件等被加工物進行層疊加工時所使用的層疊裝置及使用該裝置的層疊方法。
背景技術(shù)：
目前，例如專利文獻I所公開的層疊裝置，包括:具有能向下方自由膨脹的膜片(diaphragm)的上殼體、及具有熱板的下殼體。在對太陽能電池組件進行層疊時，首先，將太陽能電池組件的構(gòu)成部件重疊后、搬送至上殼體與下殼體處于上下開放狀態(tài)中的下殼體的熱板上。然后，層疊裝置將上殼體與下殼體閉合，而使由上殼體與下殼體形成的空間成為真空狀態(tài)，且在對配置于熱板上的該構(gòu)成部件進行加熱的狀態(tài)下，將大氣壓導入至上殼體的膜片的上部。膜片與熱板夾壓該構(gòu)成部件進行層疊加工，各構(gòu)成部件通過熔融的填充材料進行黏著，從而獲得太陽能電池組件。[專利文獻I]日本專利特開平11-204811號公報[專利文獻2]日本實用新型注冊3017231號公報[專利文獻3]日本專利3759257號公報[專利文獻4]日本專利特開2008-126407號公報在這些現(xiàn)有的層疊裝置中，太陽能電池組件等被加工物通過前處理工序中的搬入用傳送裝置等被搬送到層疊裝置的正前方，然后被移載至在層疊裝置的熱板上循環(huán)移動的搬送帶上，通過搬送帶搬送至層疊裝置中熱板的規(guī)定位置。此時，為了對被加工物進行層疊加工，熱板是處于加熱狀態(tài)下的。
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搬送帶在熱板上移動，當將被加工物載置在該搬送帶上進行搬送時，則作為被加工物的構(gòu)成部件的透明基板(例如玻璃基板)通過搬送帶從熱板受熱，其結(jié)果使透明基板在進行層疊加工前發(fā)生彎曲現(xiàn)象。這種透明基板的彎曲現(xiàn)象在利用I臺層疊裝置來對多塊被加工物同時進行層疊加工時會發(fā)生更大的問題。即，直到多塊被加工物中的最后一塊被搬送完畢、最初的第I個被加工物會一直從熱板受熱，從而會發(fā)生更大的彎曲。目前已知:如果被加工物發(fā)生彎曲，則層疊加工時容易發(fā)生被加工物內(nèi)的溫度分布變得不均一等問題，從而會對層疊加工后的產(chǎn)品品質(zhì)造成不良影響。為了解決透明基板發(fā)生彎曲的問題，專利文獻2至專利文獻4提出以下技術(shù)。專利文獻2至專利文獻4中的結(jié)構(gòu)中設(shè)置有多個支持部件，該支持部件在將被加工物搬入至層疊裝置內(nèi)時，可進行升降動作，使得被加工物能夠與熱板隔開載置。層疊加工以如下方式來進行。在上殼體與下殼體處于上下開放狀態(tài)時，將被加工物載置在支持部件上，通過升降手段使支持部件上升，從而使被加工物與熱板隔開。然后，在上殼體與下殼體閉合后將其內(nèi)部空間抽真空。抽真空后，通過升降手段使支持部件下降，將被加工物載置在熱板上，進行加熱。然后，將大氣壓導入至上殼體的膜片的上部，膜片朝下方膨脹，膜片與熱板夾壓被加工物，進行層疊加工。
專利文獻2至專利文獻4中，在抽真空結(jié)束之前，被加工物均通過支持部件而與熱板隔開。因此，被加工物的加熱是在抽真空結(jié)束后、被加工物與熱板接觸才開始的，因而難以縮短層疊加工的時間。專利文獻2以及專利文獻3存在以下的問題。當被加工物被搬送到層疊裝置內(nèi)時支持銷上升到熱板的上方，因此搬入的被加工物被載置在叉形狀(fork)的工作臺上，使該工作臺移動至裝置內(nèi)而將被加工物載置在支持銷上。因此，在通過I臺層疊裝置對多塊被加工物同時進行層疊加工時，裝置結(jié)構(gòu)變得復(fù)雜。而且，專利文獻4存在如下的問題。將被加工物搬入至層疊裝置內(nèi)的方法使用了搬送帶。其構(gòu)成為:使多個矩形狀的板上升到熱板上方、與熱板隔開，將被加工物搬入至裝置內(nèi)。因此，在抽真空結(jié)束后、將被加工物載置在熱板上并對被加工物進行加熱時，被加工物與熱板的接觸面積減少了相當于多個矩形狀板的面積量。因此，僅利用熱板則加熱不足，需要從膜片的上部吹熱風，從而使層疊裝置的構(gòu)成變得復(fù)雜且價格昂貴。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于上述問題，本發(fā)明的目的在于提供一種即使在一塊以上的被加工物被同時搬入一臺層疊裝置進行層疊加工時、也能夠減少構(gòu)成被加工物的透明基板發(fā)生彎曲等現(xiàn)象、縮短層疊加工時間、將產(chǎn)品質(zhì)量維持在規(guī)定水平以上的層疊裝置及層疊方法。為了達到上述目的，第I發(fā)明的層疊裝置，包括通過膜片而分隔的上腔室與下腔室，下腔室中設(shè)置有熱板，通過在該熱板上方移動的搬送帶搬入被加工物并進行層疊加工，該層疊裝置的特征在于:包括升降部件，在將上述被加工物載置在搬送帶上且向?qū)盈B裝置搬入時，該升降部件從上述熱板提升該搬送帶進行搬送；上述升降部件構(gòu)成為如下:在將上述被加工物向上述層疊裝置內(nèi)搬入時上升，而將載置上述被加工物的搬送帶在從熱板提升的狀態(tài)下移動，在上述被加工物搬送到熱板上的規(guī)定位置時下降，從而將上述被加工物通過搬送帶載置在熱板上。第2發(fā)明的層疊裝置，基于第I發(fā)明，其特征在于:上述升降部件包含通過驅(qū)動手段使提升銷(lift pin)進行升降動作的銷提升機構(gòu)。第3發(fā)明的層疊裝置，基于第2發(fā)明，其特征在于:作為上述升降部件的銷提升機構(gòu)包括多個提升銷；所述多個提升銷排列設(shè)置，從下表面平衡支撐載置被加工物并移動的搬送帶，從而可將被加工物維持在水平狀態(tài)進行支持。第4發(fā)明的層疊裝置，基于第2發(fā)明或第3發(fā)明，其特征在于:上述提升銷的前端部的形狀平坦。第5發(fā)明的層疊裝置，基于第2發(fā)明至第4發(fā)明中的任一發(fā)明，其特征在于:構(gòu)成上述升降部件的提升銷的前端設(shè)置有低摩擦部，該低摩擦部與載置被加工物的搬送帶之間的滑動摩擦阻力小。第6發(fā)明的層疊裝置，基于第I發(fā)明至第5發(fā)明中的任一發(fā)明，其特征在于:上述被加工物為太陽能電池組件。為了達到上述目的，第7發(fā)明的層疊方法使用層疊裝置，該層疊裝置包括通過膜片而分隔的上腔室與下腔室，下腔室中設(shè)置有熱板，通過在該熱板上方移動的搬送帶來搬入被加工物并進行層疊加工，該層疊方法的特征在于:在將被加工物搬入至層疊裝置時，使升降部件上升，從而使載置有上述被加工物、向?qū)盈B裝置搬送的搬送帶從上述熱板提升進行搬送；在將載置有被加工物的搬送帶從熱板提升的狀態(tài)下、使搬送帶移動而將被加工物搬入至層疊裝置內(nèi)；在將該被加工物搬送到熱板上的規(guī)定位置后、使升降部件下降，從而將被加工物通過搬送帶載置在熱板上；之后進行層疊加工。[發(fā)明效果]如以上所述，根據(jù)第I發(fā)明的層疊裝置或第7發(fā)明的層疊方法，因其具有如下結(jié)構(gòu):設(shè)置有升降部件，該升降部件在將被加工物向該裝置搬入時將搬送被加工物的搬送帶提升，使升降部件提升，搬入載置在該搬送帶上的被加工物，在被加工物到達熱板上的規(guī)定部位后使升降部件下降，將該被加工物通過搬送帶載置在熱板上，從而進行層疊加工。因此，可實現(xiàn)如下所述的各種優(yōu)異的效果。即，為了對一 塊以上的被加工物進行層疊加工而將其搬入層疊裝置時，利用升降部件將搬送帶提升后進行搬入，在搬入結(jié)束后使升降部件下降、將被加工物通過搬送帶載置在熱板上，因而層疊加工前被加工物不會從熱板受到多余的熱。因此，作為被加工物的構(gòu)成部件的透明基板不會產(chǎn)生彎曲，從而被加工物內(nèi)的溫度分布均一、提高層疊加工產(chǎn)品的品質(zhì)。而且，利用層疊裝置同時進行層疊加工，可消除多個產(chǎn)品的品質(zhì)偏差。此外，層疊加工后的產(chǎn)品不僅品質(zhì)穩(wěn)定，而且不會在層疊加工時發(fā)生透明基板彎曲，和現(xiàn)有技術(shù)相比，被加工物的各部位提前達到目標溫度、因而可縮短層疊加工時間。根據(jù)第2發(fā)明的層疊裝置，將升降部件設(shè)為提升銷，簡化了升降機構(gòu)；另外，相對于熱板的整體面積，銷提升部的面積非常小，不會對被加工物的加熱造成影響，從而無需因加熱不足而增設(shè)熱板以外的其他加熱手段。根據(jù)第3發(fā)明的層疊裝置，將作為升降部件的提升銷配置成從下表面平衡地支撐搬送帶，因而即使搬送帶在提升銷上移動，也可使搬送帶順利移動、將被加工物搬送至層疊
>J-U ρ α裝直。根據(jù)第4發(fā)明的層疊裝置，作為升降部件的提升銷的前端部為平坦面，因此可以在不磨損搬送帶的情況下將被加工物搬送至層疊裝置。根據(jù)第5發(fā)明的層疊裝置，在搬入被加工物時，使作為升降部件的提升銷上升，SP使搬送帶在提升銷上移動，因提升銷上形成有低摩擦部，因此可以在不磨損搬送帶的情況下將被加工物搬送至層疊裝置。根據(jù)第6發(fā)明的層疊裝置，可提高作為被加工物的太陽能電池組件的品質(zhì)，并且可縮短太陽能電池組件的加工時間。


圖1是將作為本發(fā)明的層疊裝置的被加工物的太陽能電池組件分解后進行表示的剖面圖。圖2是表示適用本發(fā)明的層疊裝置的整體結(jié)構(gòu)的概略剖面圖。圖3是表示圖2中層疊裝置的層疊部的剖面圖。圖4是表示在圖2中層疊裝置的層疊部中進行層疊加工時的狀態(tài)圖。圖5 (a)、圖5 (b)是對在圖2的層疊裝置中使用的現(xiàn)有技術(shù)的提升銷的動作進行說明的說明圖。圖6(a)、圖6(b)是表示本發(fā)明的層疊裝置的一實施方式，對發(fā)明特徵的升降部件、即提升銷機構(gòu)的提升銷的動作進行說明的說明圖。圖7(a)、圖7(b)是表示本發(fā)明的層疊裝置的一實施方式，通過作為要部的提升銷將被加工物搬入至層疊部時的動作進行說明的說明圖。圖8 (a)、圖8 (b)是表示本發(fā)明的層疊裝置的一實施方式，通過作為要部的提升銷將被加工物搬入至層疊部時的動作進行說明的說明圖。圖9 (a)、圖9 (b)、圖9 (c)是表示本發(fā)明的層疊裝置的一實施方式，通過作為要部的提升銷將被加工物搬入至層疊部時的動作進行說明的說明圖。圖10是對本發(fā)明的層疊裝置的其他實施方式的提升銷進行說明的說明圖。圖11(a)、圖11(b)是在本發(fā)明的層疊裝置中，在提升銷的前端部設(shè)置有低摩擦部的其他實施方式的說明圖。圖12(a)、圖12(b)是在本發(fā)明的層疊裝置中，在提升銷的前端部設(shè)置有低摩擦部的其他實施方式的說明圖。符號說明10:被加工物(太陽能電池組件)11:蓋玻璃(透明基板)12:背面材料13、14:填充材料15:電池串16、17:電極18:太陽能電池單元19:導線100:層疊裝置101:層疊部110:上殼體112:膜片113:上腔室114、123:吸排氣口120:下殼體121:下腔室122:熱板(板狀加熱器)130:搬送帶200:搬入用傳送裝置300:搬出用傳送裝置400,401,402,403:提升銷(升降部件)406:圓柱狀部件407:低摩擦材料層408:圓筒狀輥
500:熱板保護片材600:現(xiàn)有的提升銷
具體實施例方式圖1至圖12 (a)、圖12(b)是說明本發(fā)明的層疊裝置的實施方式的附圖，以下通過附圖對本發(fā)明的層疊裝置及使用該裝置的層疊方法進行說明?！?>太陽能電池組件首先，對本發(fā)明的層疊裝置以及使用該裝置的層疊方法所處理的對象、即被加工物10進行說明。圖1是表示作為被加工物10的太陽能電池組件結(jié)構(gòu)的剖面圖。如圖所示，太陽能電池組件(10)，具有如下結(jié)構(gòu):在配置于下側(cè)的透明的蓋玻璃11與配置于上側(cè)的背面材料12之間，隔著填充材料13、14夾有由多列電池串(string) 15。背面材料12例如使用的是聚乙烯樹脂等的不透明的材料。填充材料13、14例如使用的是乙烯醋酸乙烯酯(ethylene vinylacetate, EVA)樹脂等。在電極16、17之間,將太陽能電池單元18通過導線19連接后構(gòu)成多列電池串15。被加工物10，也可以是一般被稱為薄膜式太陽能電池。該薄膜式太陽能電池的代表結(jié)構(gòu)中，在配置在下側(cè)的透明蓋玻璃上事先蒸鍍由透明電極、半導體、背面電極構(gòu)成的發(fā)電兀件。使玻璃朝下配置，在玻璃上的發(fā)電兀件上覆蓋填充材，再在填充材上覆蓋背面材。隨后，通過真空加熱、層疊，制造薄膜式太陽能電池組件。作為被加工物10的薄膜式太陽能電池組件，僅僅是將上述太陽能電池組件的結(jié)晶系電池單元替換為蒸鍍的發(fā)電元件而已，就基本封閉結(jié)構(gòu)而言，薄膜式太陽能電池組件與上述太陽能電池組件是相同的。本發(fā)明的層疊裝置中所使用的被加工物10、即太陽能電池組件具有邊長為Im 2m左右的矩形板狀，重量為40Kg左右?！?>整體構(gòu)成圖2是適用本發(fā)明的層疊裝置100的主視圖。在圖2所示的層疊裝置100的左側(cè)，設(shè)置有搬入用傳送裝置200，在右側(cè)設(shè)置有搬出用傳送裝置300。搬入用傳送裝置200將層疊加工前的被加工物10、即太陽能電池組件供給至層疊部，搬出用傳送裝置300將層疊加工后的被加工物10搬出。被加工物10按照搬入用傳送裝置200、層疊裝置100及搬出用傳送裝置300的順序不斷向圖2的右側(cè)搬送，進行層疊部的搬入和搬出。層疊裝置100中還設(shè)置有搬送帶130，該搬送帶130從搬入用傳送裝置200接受被加工物10，并移交至搬出用傳送裝置300。<3>層疊部下面根據(jù)圖3對本發(fā)明的層疊裝置的層疊部進行說明。利用本發(fā)明的層疊裝置100同時進行層疊加工的被加工物10、即太陽能電池組件可以是一塊或多塊，為了簡化說明，僅圖不了一塊。圖3是表示層疊部101的剖面圖。以將上殼體110的內(nèi)部水平分隔的方式安裝有膜片112，由該膜片112與上殼體110的內(nèi)壁面包圍的空間成為上腔室113。膜片112使用的是氟橡膠等耐熱性的橡膠等。在上殼體110的上面，設(shè)置有和上腔室113相連通的吸排氣口 114。將吸排氣口114與未圖示的真空泵連接、可將上腔室113內(nèi)抽真空，或與外部氣體連通、可向上腔室113內(nèi)導入大氣壓。在作為下殼體120內(nèi)部空間的下腔室121內(nèi)配置有熱板(板狀加熱器)122。如圖3或圖4所示，熱板122通過在下腔室121底部上設(shè)置的支撐部件等被支持。在下殼體120的下面，設(shè)置有和下腔室121相連通的吸排氣口 123。下腔室121構(gòu)成為:上方通過上殼體Iio進行密封，從吸排氣口 123可將下腔室121內(nèi)抽真空，或從該吸排氣口 123可向下腔室121內(nèi)導入大氣壓。<4>層疊加工工序被加工物10的層疊加工根據(jù)如下方式來進行。首先，驅(qū)動搬送帶130使其移動搬送被加工物10，當?shù)竭_進行層疊加工的位置時
停止移動。關(guān)閉上殼體110、使其和下殼體120重疊，將吸排氣口 114、123與真空泵連接，對上腔室113與下腔室121內(nèi)的空間進行減壓。由于熱板122處于加熱狀態(tài)，被加工物10通過搬送帶130從熱板122獲取熱量。當上腔室113與下腔室121內(nèi)的空間達到規(guī)定的真空度后，向上腔室113內(nèi)導入大氣。因此，如圖4所示，膜片112朝下方膨脹，將被加工物10強力地按壓到熱板122上。被加工物10被熱板122加熱后，被加工物10內(nèi)的填充材料13、14熔融、產(chǎn)生交聯(lián)
反應(yīng)，進行層疊加工。層疊加工結(jié)束后，向下腔室121內(nèi)導入大氣，打開上殼體110。驅(qū)動搬送帶130使其移動，被加工物10向圖2的右方前進、到達搬出位置，移交給搬出用傳送裝置300后被搬出。被加工物的搬出結(jié)束后，從搬入用傳送裝置200接受下一個被加工物10，并重復(fù)上述工序。〈5>透明基板的翹曲問題具有上述結(jié)構(gòu)的層疊裝置100中，也有采用以下方法向?qū)盈B部101內(nèi)搬入被加工物10的。即，當向?qū)盈B裝置內(nèi)搬入被加工物10時，使搬送帶130在熱板上移動、搬送被加工物，在到達熱板122上的規(guī)定位置后，通過圖5 (a)、圖5 (b)所示的多個提升銷600將被加工物10提升、從而與熱板122隔開，經(jīng)過一定的時間后，使提升銷600再次下降，將被加工物10通過搬送帶130載置在熱板上，利用〈4>中所述方法進行層疊加工。然而，采用這種方法時，在熱板122上使搬送帶130移動、將被加工物10搬送至熱板上的規(guī)定位置的期間內(nèi)，被加工物10從熱板受熱，透明基板發(fā)生彎曲。因為透明基板的彎曲，使被加工物10面方向上的溫度分布不均，對層疊加工后的產(chǎn)品品質(zhì)造成不良影響。此外，如果采用上述方法，則在搬入多個加工物10并同時進行層疊加工時，最先搬入的被加工物會產(chǎn)生更大的彎曲。從而在搬入的多塊被加工物之間產(chǎn)生產(chǎn)品品質(zhì)的差異的問題。<6>提升銷的構(gòu)成(實施例1)根據(jù)本發(fā)明，在上述構(gòu)成的層疊裝置100中，如圖6 (a)、圖6 (b)所示，設(shè)置有多個提升銷400、構(gòu)成等同于升降部件的銷提升機構(gòu)。在向?qū)盈B部101內(nèi)搬入被加工物10時，提升銷400使載置有該被加工物10的搬送帶130在從熱板122提升的狀態(tài)下移動。這種提升銷400只需利用設(shè)置在例如熱板122下方的升降式氣缸等即可進行升降動作。所述多個提升銷400的個數(shù)或配置、氣缸等的驅(qū)動手段的個數(shù)或配置等可適當設(shè)定。設(shè)置多個提升銷400，使提升銷400上升，使搬送帶在該提升銷上移動、將被加工物10向?qū)盈B部101搬送。當被加工物10到達層疊部101內(nèi)的熱板122上方的規(guī)定位置時，使提升銷400下降，將被加工物10載置在熱板上。因此，和現(xiàn)有技術(shù)不同，在將被加工物搬入至層疊裝置時，蓋玻璃11不會接觸到熱板122，從而可抑制蓋玻璃11的彎曲。同時，可使被加工物10面方向 上的溫度分布均一，短縮層疊加工時間，且可提高產(chǎn)品品質(zhì)。根據(jù)本發(fā)明，將提升銷400的前端形狀如圖6 (a)、圖6 (b)等所示變更為的平坦面形狀與搬送帶130等發(fā)生面接觸、且銷直徑也比圖5所示的現(xiàn)有銷直徑粗。例如將銷直徑設(shè)為6mm 12mm,較佳的是設(shè)為8mm 10mm。銷的直徑或個數(shù)也可根據(jù)被加工物10的蓋玻璃11等的重量或搬送帶的耐久性進行設(shè)定。如果將上述提升銷與搬送帶130接觸的前端部形成為如圖5 (a)、圖5 (b)所示的尖狀，再適用本發(fā)明的被加工物的搬送方法，則會產(chǎn)生以下問題。將被加工物10提升后、使搬送帶在該提升銷600上移動來搬送時，由于提升銷600的前端形狀是尖狀的，容易損傷搬送帶、或縮短其壽命。例如有數(shù)據(jù)顯示:在連續(xù)運轉(zhuǎn)I週左右后，搬送帶發(fā)生斷裂。如果將提升銷的形狀設(shè)為圖6 (a)、圖6 (b)所示的形狀，即使搭載有被加工物10的搬送帶130在上升的提升銷400上移動，也能夠盡可能地防止搬送帶的損傷，從而延長其壽命O〈7>被加工物的搬送方法。將被加工物10搬入具有上述構(gòu)成的層疊裝置100內(nèi)的方法，參照圖7(a)、圖7(b)、圖8(a)、圖8(b)、圖9(a)以及圖9(c)進行說明。這些圖是用于說明利用I臺層疊裝置來對3個被加工物進行層疊加工時、在提升銷400上升的狀態(tài)下使搬送帶移動而從第I塊被加工物開始依序搬入至層疊裝置內(nèi)的狀況。另外，圖中提升銷400的配設(shè)位置針對各被加工物10而示意性地設(shè)為9個。圖中，〇標記、X標記的位置為提升銷位置。X標記位置表示提升銷位在被加工物的下側(cè)。〇標記位置表示提升銷未由被加工物遮住。當然提升銷的個數(shù)并不限于此，其個數(shù)可適當設(shè)定。圖7(a)、圖7(b)表示將第I塊被加工物搬入至層疊裝置的狀態(tài)，圖8 (a)、圖8 (b)表示將第2塊被加工物搬入至層疊裝置的狀態(tài)，圖9(a)至圖9(c)表示將第3塊被加工物搬入至層疊裝置的狀態(tài)。圖7(a)、圖8(a)以及圖9(a)是已搬入被加工物的狀態(tài)的平面圖。圖7(b)、圖8(b)以及圖9(b)是已搬入被加工物的狀態(tài)的側(cè)面圖。圖9(c)表示提升銷400下降，所有的被加工物10通過搬送帶130被載置在熱板122上的狀態(tài)。根據(jù)本發(fā)明，當被加工物10按照第I塊、第2塊、第3塊的順序載置在搬送帶130上、被搬入至層疊部101內(nèi)時，提升銷400全部上升，且維持在提升的狀態(tài)。因此，所有的被加工物10處在熱板122上方、以規(guī)定間隔和熱板隔開的狀態(tài)下，被搬送至該熱板122上方的規(guī)定位置。該狀態(tài)下，提升銷400下降，被加工物10載置在熱板122上。因此，在各被加工物10被載置在熱板122上之前，太陽能電池組件內(nèi)的蓋玻璃11 (透明基板)不會產(chǎn)生彎曲，通過熱板122以所需要的狀態(tài)加熱，并進行層疊加工。另外，在圖7(a)、圖7(b)、圖8(a)、圖8(b)、圖9(a)至圖9(c)的例子中，表示在層疊裝置100中，向?qū)盈B部101內(nèi)搬入3塊被加工物10，同時進行層疊加工的情況。當然不限定于此，被加工物10的塊數(shù)可適當設(shè)定。<8>具備熱板保護片材的熱板的實施方式(實施例2)圖10表示在熱板122上設(shè)置有熱板保護片材500的情況。因在熱板122上設(shè)置有熱板保護片材500，從而在適用本發(fā)明時，如果作為升降部件的提升銷400上升，則熱板保護片材500也上升到和提升銷400上升相同的高度。因此，當將被加工物10搬入至層疊裝置100 (層疊部101)內(nèi)時，搬送帶130載置被加工物10、在熱板保護片材500上方移動。熱板保護片材僅需被載置在熱板122上、通過螺栓等固定4角，即可簡單地使其隨提升銷400的上升而升高。在具有上述構(gòu)成時，當搬送帶載置有被加工物移動時，則熱板保護片材500與搬送帶130之間產(chǎn)生摩擦、使搬送帶受損從而導致斷裂。因此、需要設(shè)法減少熱板保護片材500與搬送帶130之間的摩擦。例如，可將作為熱板保護片材的芯材的玻璃布浸潰在氟樹脂中、從而減少熱板保護片材500與搬送帶130之間的摩擦，在升高提升銷搬送被加工物時，減少兩片材(搬送帶130和熱板保護片材500)的損傷，延長其壽命。<9>設(shè)置有低摩擦部的提升銷的實施方式(實施例3)構(gòu)成上述升降部件的提升銷400，其前端可形成平坦面、從而發(fā)生面接觸，也可在提升銷的前端部設(shè)置低摩擦材料，即便在載置有被加工物10的搬送帶130在提升銷400的前端部移動時，該低摩擦材料也具有很小的滑動摩擦阻力。圖11 (a)表示在提升銷401的前端設(shè)置有低摩擦樹脂部件時的剖面圖?？墒褂梅鷺渲茸鳛榈湍Σ翗渲?。以氟樹脂制成的圓柱狀部件406以可替換的形式安裝在提升銷401的前端部。圖11 (b)是在提升銷402的前端部設(shè)置有低摩擦材料層407的實施例?？刹捎没鹧鎳娡胯€涂層或涂敷氟樹脂層等形成低摩擦材料層407。圖12的結(jié)構(gòu)中，為了減小提升銷與搬送帶之間的滑動摩擦阻力，在提升銷的前端設(shè)置了輥等滾動體。圖12(a)是表示從搬送帶的移動方向觀察本實施例的提升銷的圖。圖12(b)是圖12(a)的側(cè)面圖。如圖所示，在提升銷403的前端部分，沿搬送帶的移動方向設(shè)置的矩形狀溝槽。該溝槽中設(shè)置有通過銷旋轉(zhuǎn)支持的圓筒狀輥408。也可使用圓筒狀軸承或球形狀軸承作為滾動體。具有上述結(jié)構(gòu)時，即使載置有被加工物的搬送帶130在提升銷上方移動，搬送帶和輥408接觸，輥408發(fā)生旋轉(zhuǎn)、減少與搬送帶之間的摩擦，降低搬送帶的損傷，從而延長其壽命。本發(fā)明不限定于上述實施方式中所說明的結(jié)構(gòu)，構(gòu)成層疊裝置100的各部件的形狀和結(jié)構(gòu)等可以進行適當變形、變更。例如，在上述實施方式中，作為被加工物10的太陽能電池組件，例示的太陽能電池組件是具有一邊為Im至2m左右的矩形板狀，但本發(fā)明并不限定于此，被加工物10可以具有所需形狀的任何適當尺寸。層疊裝置100不限定于層疊上述太陽能電池組件等，只要是與此類似的被加工物10均可適用，發(fā)揮效果。 構(gòu)成作為升降部件的銷提升機構(gòu)的提升銷400的升降驅(qū)動源，可使用已知的驅(qū)動手段。例如可使用氣壓、油壓等的流體氣缸裝置，但不限定于此，也可采用各種結(jié)構(gòu)的驅(qū)動手段，例如使用滾珠絲桿、齒條齒輪(rack and pinion)等的機械驅(qū)動裝置，或?qū)㈦妱玉R達等組合在該機械驅(qū)動裝置中而構(gòu)成的裝置等。
權(quán)利要求
1.一種層疊裝置，包括通過膜片而分隔的上腔室與下腔室，下腔室中設(shè)置有熱板，通過在該熱板上方移動的搬送帶搬入被加工物并進行層疊加工，該層疊裝置的特征在于: 包括升降部件，在將上述被加工物載置在搬送帶上且向?qū)盈B裝置搬入時，該升降部件從上述熱板提升該搬送帶而進行搬送； 上述升降部件構(gòu)成為:在將上述被加工物向上述層疊裝置內(nèi)搬入時上升，而將載置上述被加工物的搬送帶在從熱板提升的狀態(tài)下移動，在上述被加工物被搬送到熱板上的規(guī)定位置時下降，從而將上述被加工物通過搬送帶載置在熱板上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的層疊裝置，其特征在于: 上述升降部件包含通過驅(qū)動手段使提升銷進行升降動作的銷提升機構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的層疊裝置，其特征在于: 作為上述升降部件的銷提升機構(gòu)包括多個提升銷； 所述多個提升銷排列設(shè)置，從下表面平衡支撐載置有被加工物并處于移動中的搬送帶，從而可將被加工物維持在水平狀態(tài)進行支持。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的層疊裝置，其特征在于: 上述提升銷的前端部的形狀平坦。
5.根據(jù)權(quán)利要求2至4中任一項所述的層疊裝置，其特征在于: 構(gòu)成上述升降部件的提升銷的前端設(shè)置有低摩擦部，該低摩擦部與載置有被加工物的搬送帶之間的滑動摩擦阻力小。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項所述的層疊裝置，其特征在于: 上述被加工物為太陽能電池組件。
7.一種層疊方法，其使用層疊裝置，該層疊裝置包括通過膜片而分隔的上腔室與下腔室，下腔室中設(shè)置有熱板，通過在該熱板上方移動的搬送帶搬入被加工物并進行層疊加工，該層疊方法的特征在于: 在將被加工物搬入至層疊裝置時，使升降部件上升，從而使載置有上述被加工物、向?qū)盈B裝置搬送上述被加工物的搬送帶從上述熱板提升而進行搬送； 在將載置有被加工物的搬送帶從熱板提升的狀態(tài)下、使搬送帶移動而將被加工物搬入至層疊裝置內(nèi)； 在將該被加工物搬送到熱板上的規(guī)定位置后、使升降部件下降，從而將被加工物通過搬送帶載置在熱板上； 之后進行層疊加工。
全文摘要
本發(fā)明提供一種即使在一塊以上的被加工物被同時搬入一臺層疊裝置進行層疊加工時、也能夠減少作為被加工物的透明基板發(fā)生彎曲等現(xiàn)象、縮短層疊加工時間、將產(chǎn)品質(zhì)量維持在規(guī)定水平以上的層疊裝置及層疊方法。本發(fā)明的層疊裝置(100)包括通過膜片(112)而分隔的上腔室(113)與設(shè)置有熱板(122)的下腔室(121)，通過在該熱板上方移動的搬送帶(130)搬入被加工物(10)并進行層疊加工，在熱板上設(shè)置有升降部件(400)。該層疊裝置(100)的構(gòu)成為在將被加工物向?qū)盈B部(101)內(nèi)搬入時使升降部件(400)上升，而使搬送帶在從熱板提升的狀態(tài)下移動，當搬送帶上的被加工物被搬到熱板上的規(guī)定位置時、使升降部件(400)下降，將被加工物載置于熱板上進行層疊加工。
文檔編號H01L31/042GK103180124SQ20118005230
公開日2013年6月26日 申請日期2011年7月28日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月3日
發(fā)明者油布淳, 筱田隆志, 榊原活之, 高木靖史 申請人:日清紡精密機器株式會社