專利名稱：層疊裝置及層疊裝置用熱板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種層疊裝置用熱板，其中，太陽能電池組件等的被加工物配置于熱板上，熱板將被加工物加熱后，通過熱板及按壓部件對被加工物進(jìn)行夾壓、層疊。
背景技術(shù)：
到目前為止，一般使用層疊裝置(Iaminator)來制造太陽能電池組件(參照專利文獻(xiàn)1)。層疊裝置具有上殼體和下殼體；上殼體中設(shè)置有可向下自由膨脹的層壓片(diaphragm)，下殼體中設(shè)置有熱板。在層疊太陽能電池組件時(shí)，首先，將太陽能電池組件中構(gòu)成部件重疊后、搬運(yùn)入上殼體與下殼體所形成的空間。隨后，層疊裝置使上殼體與下殼體所形成的空間成為真空狀態(tài)，將太陽能電池組件設(shè)置于熱板上，將構(gòu)成部件加熱后，向上殼體的內(nèi)部導(dǎo)入空氣。通過層壓片及熱板的夾壓、層疊，將太陽能電池組件的各構(gòu)成部件通過熔融了的填充材進(jìn)行粘接。在現(xiàn)有的層疊裝置中，專利文獻(xiàn)1提供了使熱板面內(nèi)溫度均一化的技術(shù)。專利文獻(xiàn)1所記載的層疊裝置中，雖然在其熱板中設(shè)置了多個(gè)加熱器和溫度傳感器，然而，為了使熱板面內(nèi)的溫度維持均一，需要將加熱器細(xì)分后設(shè)置在多個(gè)位置、同時(shí)還需要設(shè)置多個(gè)溫度傳感器進(jìn)行控制，從而使熱板的結(jié)構(gòu)變復(fù)雜。在其實(shí)施方式中，提出了將加熱管設(shè)置在熱板的下面、從而均一加熱被加工物。然而，將加熱管設(shè)置在熱板的下面，會(huì)導(dǎo)致加熱管和熱板內(nèi)的加熱器之間的熱傳輸效率不良，從而不能充分發(fā)揮加熱管的效果。另外，將加熱管設(shè)置在熱板的下面，安裝熱板時(shí)還需要設(shè)置額外空間。專利文獻(xiàn)1 特開2008-47766號公報(bào)

實(shí)用新型內(nèi)容鑒于上述問題，本實(shí)用新型的目的在于提供一種層疊裝置用熱板以及使用所述熱板的層疊裝置。所述熱板在層疊加工中溫度維持均一、從而使被加工物的內(nèi)部溫度均一。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，第一實(shí)用新型的層疊裝置用熱板，所述層疊裝置具有通過按壓部件分隔開的上腔室及下腔室，被加工物承載于下腔室中設(shè)置的熱板上，通過所述熱板加熱被加工物，使下腔室成為真空并向上腔室導(dǎo)入空氣后，通過所述熱板及所述按壓部件對被加工物進(jìn)行夾壓、層疊。所述熱板中，設(shè)置有多個(gè)的加熱器或多組成對的加熱器及加熱管；且所述熱板中，在承載于熱板上的被加工物的搬運(yùn)方向上至少3個(gè)位置，還設(shè)置有溫度傳感器；從而控制熱板面內(nèi)的溫度，使其均一分布。根據(jù)第一實(shí)用新型，由于加熱管設(shè)置在熱板內(nèi)、而且熱板溫度控制用的溫度傳感器設(shè)置在上述3個(gè)以上的位置，在層疊加工中，可以使熱板內(nèi)的溫度維持均一，從而使被加工物的溫度均一。另外，由于簡化了使熱板的溫度維持均一而設(shè)置的溫度傳感器的數(shù)量以及配置等，使溫度控制方法更容易實(shí)施。第二實(shí)用新型的層疊裝置用熱板，所述層疊裝置具有通過按壓部件分隔開的上腔室及下腔室，被加工物承載于下腔室中設(shè)置的熱板上，通過所述熱板加熱被加工物，使下腔室成為真空并向上腔室導(dǎo)入空氣后，通過所述熱板及所述按壓部件對被加工物進(jìn)行夾壓、 層疊。所述熱板具有上層熱板和下層熱板的積層構(gòu)造，所述上層熱板中，設(shè)置有多個(gè)的加熱器或多組成對的加熱器及加熱管；且所述上層熱板中，在承載于所述上層熱板上的被加工物的搬運(yùn)方向上至少3個(gè)位置，還設(shè)置有溫度傳感器，所述下層熱板中，在和上層熱板中設(shè)置的加熱器及加熱管垂直的方向上設(shè)置有多個(gè)的加熱器或多組成對的加熱器及加熱管；從而控制所述上層熱板面內(nèi)的溫度，使其均一分布。根據(jù)第二實(shí)用新型，所述熱板具有上層熱板和下層熱板的積層構(gòu)造，加熱管設(shè)置在上層熱板和下層熱板內(nèi)、而且熱板溫度控制用的溫度傳感器設(shè)置在上層熱板上的上述3 個(gè)以上的位置，因此在層疊加工中，和使用第一實(shí)用新型的熱板相比、可以使熱板內(nèi)的溫度更加均一，其結(jié)果可使被加工物的溫度更加均一。另外，由于簡化了使熱板的溫度維持均一而設(shè)置的溫度傳感器的數(shù)量以及配置等，使溫度控制方法更容易實(shí)施。第三實(shí)用新型的層疊裝置用熱板，基于第二實(shí)用新型，其特征在于所述下層熱板中，在承載于所述上層熱板上的被加工物的搬運(yùn)方向垂直的方向上至少3個(gè)位置還設(shè)置有溫度傳感器，從而控制所述上層熱板面內(nèi)的溫度，使其均一分布。根據(jù)第三實(shí)用新型，和第二實(shí)用新型相比，第三實(shí)用新型的熱板還在下層熱板中的上述三個(gè)以上的位置上設(shè)置了溫度控制用的溫度傳感器，因此在層疊加工中，和使用第二實(shí)用新型的熱板相比、可以使熱板內(nèi)的溫度更加均一，其結(jié)果可使被加工物的溫度更加均一。第四實(shí)用新型的層疊裝置用熱板，基于第一至第三實(shí)用新型中任一項(xiàng)，其特征在于所述熱板中各組的加熱管及加熱器呈直線狀且平行配置。根據(jù)第四實(shí)用新型，由于熱板內(nèi)的加熱管及加熱器呈直線狀且平行配置，結(jié)構(gòu)簡單，容易控制熱板面內(nèi)的溫度、使其均一。第五實(shí)用新型的層疊裝置，使用了第一至第四實(shí)用新型中任一項(xiàng)的層疊裝置用熱板。第五實(shí)用新型的層疊裝置由于使用了第一至第四實(shí)用新型中任一項(xiàng)的熱板，在層疊加工中，可以使熱板內(nèi)的溫度維持均一。層疊加工后的被加工物內(nèi)部無氣泡殘留，可提高被加工物的質(zhì)量。

圖1為表示被加工物太陽能電池組件的結(jié)構(gòu)剖面圖；圖2為表示層疊裝置的整體結(jié)構(gòu)圖；圖3為表示層疊裝置的層疊部的側(cè)剖面圖；圖4為表示層疊加工時(shí)層疊部的側(cè)剖面圖；圖5為表示實(shí)施方式1中熱板的結(jié)構(gòu)圖；圖6為詳細(xì)表示實(shí)施方式2中熱板的結(jié)構(gòu)圖；圖7為詳細(xì)表示實(shí)施方式1中熱板的結(jié)構(gòu)圖；圖8為表示實(shí)施方式3中溫度傳感器在下層熱板中的配置圖；圖9為護(hù)套加熱器的說明圖。
具體實(shí)施方式
以下，參照附圖，對本實(shí)用新型的層疊裝置的具體實(shí)施方式
進(jìn)行說明。首先，對層疊裝置中進(jìn)行層疊的被加工物10進(jìn)行說明。圖1為表示被用作為被加工物10的太陽能電池組件的結(jié)構(gòu)剖面圖，該太陽能電池組件由結(jié)晶系電池單元構(gòu)成。如圖所示，太陽能電池組件具有如下結(jié)構(gòu)在透明的防護(hù)玻璃 11和背面材12之間，隔著填充材13、14夾有由多列太陽能電池串15和15并列連接后形成的矩陣體而形成的夾層構(gòu)造。背面材12使用的是聚乙烯樹脂等材料。填充材13、14使用的是EVA (乙烯-醋酸乙烯共聚物)樹脂或PVB (聚乙烯醇縮丁醛)樹脂等。太陽能電池串15是通過引線19連接電極16、17之間的作為結(jié)晶系電池單元的太陽能電池單元18而構(gòu)成。被加工物10不僅可以是上述的太陽能電池組件，也可以是一般被稱為薄膜式的太陽能電池組件。薄膜式太陽能電池組件的代表性結(jié)構(gòu)例，是在透明的防護(hù)玻璃(Cover glass)上事先蒸鍍由透明電極、半導(dǎo)體、背電極構(gòu)成的發(fā)電元件。這樣的薄膜式太陽能電池組件，使防護(hù)玻璃朝下配置，在防護(hù)玻璃上的發(fā)電元件上覆蓋填充材，再在填充材上覆蓋背面材。隨后，通過真空加熱、層疊，使薄膜式太陽能電池組件的構(gòu)成部件粘接。換句話說，薄膜式太陽能電池組件，僅僅是將上述太陽能電池組件的結(jié)晶系電池單元替換為蒸鍍的發(fā)電元件而已，就基本封閉結(jié)構(gòu)而言，薄膜式太陽能電池組件與上述太陽能電池組件是相同的。圖2為表示本實(shí)施方式中層疊裝置100的整體結(jié)構(gòu)圖。層疊裝置100具有上殼體110、下殼體120、和搬運(yùn)被加工物10的搬送帶130。搬送帶130將被加工物10搬運(yùn)到上殼體110和下殼體120之間的位置。在層疊裝置100還設(shè)置有搬入用傳送裝置200，搬入用傳送裝置200將疊層前的被加工物10搬運(yùn)到層疊裝置 100。此外，層疊裝置100還設(shè)置有搬出用傳送裝置300，該搬出用傳送裝置300將疊層后的被加工物10從層疊裝置100搬出。搬入用傳送裝置200和搬出用傳送裝置300是連動(dòng)設(shè)置的。被加工物10由搬入用傳送裝置200送交給搬送帶130，再由搬送帶130送交給搬出用傳送裝置300。層疊裝置100設(shè)置有以氣缸及活塞桿等構(gòu)成的升降裝置(未圖示)。升降裝置可將上殼體110維持在水平狀態(tài)下、相對下殼體120進(jìn)行升降。升降裝置通過下降上殼體110， 密閉上殼體110和下殼體120的內(nèi)部空間。下面對本實(shí)施方式中層疊裝置100的層疊部101的結(jié)構(gòu)進(jìn)行具體說明。圖3是層疊裝置100中層疊被加工物10的層疊部101的側(cè)剖面圖。圖4是層疊裝置在疊層加工時(shí)的層疊部101的側(cè)剖面圖。上殼體110中形成有朝下方開口的空間。該空間中設(shè)置有將空間水平隔開的層壓片(diaphragm) 112。層壓片112由硅樹脂系(silicone)的橡膠等耐熱性的橡膠通過成形得到。如后所述，層壓片112起到按壓部件的作用，用來按壓被加工物10。在上殼體110內(nèi)部，形成有以層壓片112隔開的空間(上腔室113)。在上殼體110的上面，設(shè)置有和上腔室113相連通的吸排氣口 114。通過上腔室 113的吸排氣口 114，可將上腔室113內(nèi)部的空氣真空排出使其成為真空狀態(tài)、或?qū)⒋髿鈱?dǎo)入上腔室113內(nèi)部。[0036]下殼體120中形成有向上方開口的空間(下腔室121)。該空間中設(shè)置有熱板122 (平板狀的加熱器)。熱板122通過在下殼體120的底面豎立設(shè)置的支撐部件被保持在水平狀態(tài)。此時(shí)，被支撐著的熱板122的表面與下腔室121的開口面大致在相同高度。在下殼體120的底部，設(shè)置有和下腔室121相連通的吸排氣口 123。通過下腔室121的吸排氣口 123，可將下腔室121內(nèi)部的空氣真空排出使其成為真空狀態(tài)、或?qū)⒋髿鈱?dǎo)入到下腔室121內(nèi)部。搬送帶130設(shè)置在上殼體110和下殼體120之間且位于熱板122的上方，移動(dòng)自如。搬送帶130從圖2的搬入用傳送裝置200接收層疊前的被加工物10后、將其準(zhǔn)確搬送到在層疊部101的中央位置，即熱板122的中央部位。搬送帶130還將層疊后的被加工物10送交給圖2的搬出用傳送裝置300。在上殼體110和下殼體120之間且在搬送帶130上方設(shè)置有剝離薄片140。在被加工物10的填充材13、14 (參照圖1)熔融時(shí)，剝離薄片140防止填充材13、14附著到層壓片112上。下面對本實(shí)施方式中層疊裝置100的層疊工序進(jìn)行具體說明。首先，如圖3所示，搬送帶130將被加工物10搬送到在層疊部101的中央位置。此外，也可以通過使下腔室121上升，或使配置在熱板122中的可上下移動(dòng)的保持銷(未圖示)等上升，將被加工物10保持在離開熱板122上方一定距離的位置。其次，升降裝置使上殼體110下降。如圖4所示，上殼體110下降后，密閉上殼體110和下殼體120的內(nèi)部空間。換而言之，在上殼體110和下殼體120的內(nèi)部，上腔室113及下腔室121各自保持為密閉狀態(tài)。層疊裝置100，通過上殼體110的吸排氣口 114真空排出上腔室113內(nèi)部的空氣使其成為真空狀態(tài)。同樣，層疊裝置100，通過下殼體120的吸排氣口 123真空排出下腔室121內(nèi)部的空氣使其成為真空狀態(tài)(真空工序)。通過下腔室121的真空排氣，將被加工物10中所含的氣泡排出到被加工物10的外部。此時(shí)，如果被加工物10是通過熱板122中的可上下移動(dòng)的保持銷(未圖示)保持在離開熱板122上方一定距離的位置時(shí)，大約在真空工序的后半部分，將保持銷下降，使被加工物10載置于熱板122上。通過后述溫度控制裝置的溫度控制加熱后的熱板122加熱被加工物10，從而加熱被加工物10內(nèi)部的填充材13、14。層疊裝置100將下腔室121保持在真空狀態(tài)下，通過上殼體110的吸排氣口 114向上腔室113導(dǎo)入空氣，從而在上腔室113和下腔室121之間產(chǎn)生氣壓差，使層壓片112膨脹。如圖4所示，層壓片112被向下方壓出(加壓工序)。被向下方壓出的層壓片112和熱板122夾壓被加工物10、通過加熱熔融的填充材13、14將各構(gòu)成部件粘接在一起。本實(shí)施方式的層疊裝置100，使填充材13、14完全熔融后來粘接各構(gòu)成部件，即屬于完全交聯(lián)式的層疊裝置。此時(shí)，有時(shí)會(huì)發(fā)生填充材13、14從防護(hù)玻璃11和背面材12之間外露的情況，而外露的填充材13、14可能會(huì)附著到剝離薄片140上。通過剝離薄片140的介在，可以防止外露的填充材13、14附著到層壓片112上。因此，剝離薄片140防止著填充材13、14通過層壓片112附著到進(jìn)行層疊的被加工物10上。如果外露的填充材13、14附著到搬送帶130上，可通過未圖示的清除機(jī)構(gòu)除去所附著的填充材13、14。[0047]層疊工序結(jié)束后，層疊裝置100通過下殼體120的吸排氣口 123向下腔室121導(dǎo)入空氣。升降裝置使上殼體110上升。如圖3所示，上殼體110的上升，可使搬送帶130發(fā)生移動(dòng)。搬送帶130，將層疊后的被加工物10送交到搬出用傳送裝置300。下面對本實(shí)施方式中的層疊裝置100的熱板122的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。[實(shí)施方式1]首先，對實(shí)施方式1中的層疊裝置用熱板進(jìn)行說明。圖5為表示實(shí)施方式1中熱板的結(jié)構(gòu)圖。圖5中的熱板20，等同于圖3及圖4中層疊裝置100的熱板122。圖5 (a)為熱板20的平面圖；圖5(b)為熱板20的正面圖；圖5(c)為圖5(b)中沿C-C線箭頭的平視圖。熱板20，其總體尺寸形成為可以收納在下殼體120內(nèi)、且大于圖5中二點(diǎn)鏈線所表示的太陽能電池組件10的尺寸。在本實(shí)施方式中，熱板20的尺寸為寬度Wh約1500mm、進(jìn)深Dh約1200mm。通過所述熱板20加熱的太陽能電池組件10的尺寸為進(jìn)深d約1100mm、 寬度w約1400mm，平面視圖為長方形。上述熱板20的尺寸僅為參考，并非限定于所述尺寸。圖5中，熱板本體201由鋁或鋁合金等形成為板狀，且具有可載置被加工物10的承載面SF。熱板本體的材質(zhì)也可使用不銹鋼等鋼鐵類材料。為了埋設(shè)加熱器203及加熱管204，在熱板本體201的進(jìn)深方向上加工設(shè)置了收容溝208。在收容溝208內(nèi)，平行配置有多個(gè)U字形加熱器203。加熱器也可選用護(hù)套加熱器SH。如圖9所示，護(hù)套加熱器SH具有位于中心且形成為線圈狀的鎳鉻合金線SH1、填充在鎳鉻合金線SHl周圍的氧化鎂等絕緣材SH2，以及包覆絕緣材SH2整個(gè)圓周的護(hù)套SH3(成為外周的外皮)。加熱器203可以不是U字形、而是直線狀的加熱器。加熱管204可采用現(xiàn)有技術(shù)的結(jié)構(gòu)。加熱管管內(nèi)的工作液體是在飽和蒸氣壓的狀態(tài)下被密封的，如果在加熱管的長度方向有溫度差，則從高溫部位向低溫部位產(chǎn)生蒸氣對流。工作液體從高溫部位帶走蒸發(fā)熱，而在低溫部位賦予凝結(jié)熱。在本實(shí)施方式中，加熱管204埋設(shè)在U字形加熱器203的大約中央位置、且與加熱器203保持平行。埋設(shè)結(jié)構(gòu)參照圖5(b)中A部位放大圖進(jìn)行說明。加熱器203及加熱管 204經(jīng)緩沖材205緩沖埋設(shè)在收容溝208內(nèi)、用與熱板本體201具有大致相同尺寸的背面板 206通過螺栓等和熱板本體201固定在一起。因此，加熱器的外周及加熱管的外周和溝的底面緊密接觸。加熱器203和加熱管204形成一組的加熱部202，熱板20內(nèi)配置有多組加熱部202。圖5中，加熱部202是用二點(diǎn)鏈線包圍的區(qū)域；如圖5 (c)所示，共配置了從202A 至202E共五組。熱板20中可設(shè)置三個(gè)以上熱電隅等的溫度傳感器207。在本實(shí)施方式中，溫度傳感器207A、207B以及207C分別設(shè)置在圖5(a)中X記號的位置，即承載在熱板20上的被加工物的搬運(yùn)方向上的兩端和中央位置。設(shè)置在兩端位置的溫度傳感器為207A和207C， 設(shè)置在中央位置的溫度傳感器為207B。圖中以兩點(diǎn)鏈線包圍的各加熱部202中的加熱器 203，全部與溫度控制裝置CL相連接。通過加熱管的作用，各加熱部202可產(chǎn)生均一溫度。 溫度傳感器207的測定結(jié)果輸入至溫度控制裝置CL、從而對各加熱部的加熱器所產(chǎn)生的發(fā)熱量進(jìn)行控制，可對熱板的整體溫度進(jìn)行均一控制。根據(jù)本實(shí)施方式的熱板，可將圖5中的熱板的整體溫度偏差控制在士 1.5°C以內(nèi)。與此相比，未使用加熱管的現(xiàn)有技術(shù)的熱板， 其溫度偏差在士4°C以內(nèi)。[0056]在本實(shí)施方式中，加熱部202中的加熱器及加熱管全部是成對的；但也可以是部分的加熱部僅由加熱器構(gòu)成。使熱板面內(nèi)的溫度維持均一的功能，是通過加熱器203、加熱管204、溫度傳感器 207以及溫度控制裝置CL協(xié)調(diào)實(shí)現(xiàn)的。根據(jù)本實(shí)用新型，可以使作為被加工物的太陽能電池組件10的內(nèi)部溫度均一，充填物開始熔融的時(shí)間也大致相同。因此，熱板的溫度即使急速上升，也能控制溫度使其均一，因此可容易縮短制造內(nèi)部無氣泡、品質(zhì)優(yōu)良的太陽能電池組件的時(shí)間。此外，為了使熱板面內(nèi)的溫度維持均一，熱板內(nèi)設(shè)置的溫度傳感器只需要3個(gè)位置以上即可，從而可以簡化其數(shù)量和設(shè)置，沒有必要如同專利文獻(xiàn)1所記載的那樣在多個(gè)位置設(shè)置多個(gè)溫度傳感器。因此，可以更加簡化溫度控制裝置的結(jié)構(gòu)，以更便宜的價(jià)格提供
層疊裝置。[實(shí)施方式2]下面，對實(shí)施方式2中的層疊裝置用熱板進(jìn)行說明。本實(shí)施方式中的熱板80具有如圖6所示的結(jié)構(gòu)。圖6 (a)是熱板80的平面圖，圖6(b)是熱板80的正面圖；圖6 (c)是圖6(b)中沿F箭頭的平視圖，圖7(d)是圖6(b)中沿C-C箭頭的平視圖，圖7(e)是圖6(b) 中沿E-E箭頭的平視圖。本實(shí)施方式的熱板具有上層熱板和下層熱板的層疊結(jié)構(gòu)。上層熱板81等同于實(shí)施方式1中的熱板。如圖6 (b)中A部位放大圖所示，加熱器813和加熱管814經(jīng)緩沖材815 緩沖埋設(shè)在收容溝818內(nèi)、用熱板本體811的下面819替代實(shí)施方式1中的背面板206，通過螺栓等將下層熱板82和上層熱板81固定在一起。下層熱板82中，在與上層熱板81設(shè)置的多組(多個(gè)加熱部)成對的加熱器813和加熱管814呈直角方向上，設(shè)置有多組成對的加熱器823和加熱管824。實(shí)施方式2中的加熱部如圖7(d)和圖7(e)所示。在上層熱板81中，共有812A、 812B、812C、812D以及812E五組加熱部。在下層熱板82中，共有822A、822B以及822C三組加熱部。如圖6(a)所示，各加熱部中設(shè)置有溫度傳感器。在上層熱板81中，設(shè)置有817A、 817B以及817C三個(gè)溫度傳感器。實(shí)施方式1中也是同樣的。下層熱板82中，沒有設(shè)置溫度傳感器。在本實(shí)施方式中，加熱部822中的加熱器及加熱管全部是成對的；但也可以是部分的加熱部僅由加熱器構(gòu)成。如圖6 (c)中下層熱板82的B部位放大圖所示，在熱板本體821中，與上層熱板的下面819接觸的下層熱板的上面擬9上設(shè)置有用于埋設(shè)加熱器823和加熱管824的收容溝 828。將加熱器823和加熱管擬4埋設(shè)在收容溝828內(nèi)，通過上層熱板81和螺栓等進(jìn)行固定。將上層熱板和下層熱板進(jìn)行固定時(shí)，最好能將收容溝中的縫隙用導(dǎo)熱性能良好的緩沖材825等填充。圖中以兩點(diǎn)鏈線包圍的各加熱部812和822中的加熱器813和823，全部與溫度控制裝置CL相連接。通過加熱管的作用，各加熱部822可產(chǎn)生均一溫度。上層熱板812中設(shè)置的溫度傳感器817的測定結(jié)果輸入至溫度控制裝置CL、從而對各加熱部的加熱器所產(chǎn)生的發(fā)熱量進(jìn)行控制，可對熱板的面內(nèi)溫度進(jìn)行均一控制。根據(jù)本實(shí)施方式的熱板，可將圖6 中的熱板面內(nèi)的溫度控制得比實(shí)施方式1中的熱板更加均一。[0066][實(shí)施方式3]在實(shí)施方式2中，下層熱板82中沒有設(shè)置溫度傳感器；然而在本實(shí)施方式中，如圖 8所示，也可以在下層熱板中設(shè)置溫度傳感器。在本實(shí)施方式中的下層熱板82中，在和實(shí)施方式1以及實(shí)施方式2呈直角的方向(即和被加工物呈直角的方向)上設(shè)置了溫度傳感器。除此之外，全部和實(shí)施方式2相同。在圖8中，設(shè)置有溫度傳感器827A、827B、827C以及827D。溫度傳感器827A和827D設(shè)置在熱板的兩端、和被加工物呈直角方向，而溫度傳感器827B和827C設(shè)置在熱板的中間部位。溫度傳感器827的測定結(jié)果輸入至溫度控制裝置CL、從而對各加熱部的加熱器所產(chǎn)生的發(fā)熱量進(jìn)行控制，可對熱板的面內(nèi)溫度進(jìn)行均一控制。根據(jù)本實(shí)施方式的熱板，可將熱板面內(nèi)的溫度控制得比實(shí)施方式1和實(shí)施方式2中的熱板更加均一。[實(shí)施方式4]實(shí)施方式1至實(shí)施方式3的說明中，熱板20和熱板80中埋設(shè)的加熱器采用的是圖9所示的護(hù)套加熱器SH，然而并非局限于此；例如，加熱器也可以采用未圖示的熱管等。 所述的熱管由中空的管狀部件和管狀部件中流動(dòng)的加熱后油類等導(dǎo)熱媒體構(gòu)成。所述熱管可以埋設(shè)到實(shí)施方式1至實(shí)施方式3的熱板20和熱板80中。將所述熱管和溫度控制裝置CL相連接，利用溫度控制裝置CL對管狀部件中流動(dòng)的導(dǎo)熱媒體進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)，從而控制熱板20和熱板80的溫度。熱管中不僅可以使用已加熱的導(dǎo)熱媒體，也可以使用已冷卻的導(dǎo)熱媒體。利用溫度控制裝置CL對管狀部件中流動(dòng)的導(dǎo)熱媒體進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)，也可以控制熱板20和熱板80 的溫度。本實(shí)用新型的熱板，可以用于大約在真空工序的前半部分通過保持銷將被加工物 10保持在離開熱板上方一定距離的這類層疊裝置中，然而并非局限于這種層疊裝置；也可以用于從最初就將太陽能電池組件10承載于熱板122上的層疊裝置中。產(chǎn)業(yè)上的利用可能性實(shí)施方式1至實(shí)施方式4中的熱板使用在層疊裝置100中，有以下效果。如上所述，本實(shí)用新型的層疊裝置用熱板，其內(nèi)部設(shè)置有加熱管；另外，在被加工物的搬運(yùn)方向上，熱板中至少3個(gè)位置上設(shè)置有溫度傳感器，因此，可以使熱板面內(nèi)的溫度維持均一，從而可以提供內(nèi)部無氣泡、品質(zhì)優(yōu)良的太陽能電池組件10。符號說明10 被加工物(太陽能電池組件)11 防護(hù)玻璃13、14:填充材100 層疊裝置101 層疊部110:上殼體112:層壓片113:上腔室120 下殼體121 下腔室[0086]122 熱板20、80 熱板201 熱板本體202 加熱部203 加熱器204:加熱管205 緩沖材206 背面板207 溫度傳感器208 收容溝2O9:安裝面(下面)CL 溫度控制裝置SH 護(hù)套加熱器SF :承載面。
權(quán)利要求1.一種層疊裝置用熱板，所述層疊裝置具有通過按壓部件分隔開的上腔室及下腔室， 被加工物承載于下腔室中設(shè)置的熱板上，通過所述熱板加熱被加工物，使下腔室成為真空并向上腔室導(dǎo)入空氣后，通過所述熱板及所述按壓部件對被加工物進(jìn)行夾壓、層疊，所述熱板中，設(shè)置有多個(gè)的加熱器或多組成對的加熱器及加熱管，且所述熱板中，在承載于熱板上的被加工物的搬運(yùn)方向上至少3個(gè)位置還設(shè)置有溫度傳感器，從而控制熱板面內(nèi)的溫度，使其均一分布。
2.一種層疊裝置用熱板，所述層疊裝置具有通過按壓部件分隔開的上腔室及下腔室， 被加工物承載于下腔室中設(shè)置的熱板上，通過所述熱板加熱被加工物，使下腔室成為真空并向上腔室導(dǎo)入空氣后，通過所述熱板及所述按壓部件對被加工物進(jìn)行夾壓、層疊，所述熱板具有上層熱板和下層熱板的積層構(gòu)造，所述上層熱板中，設(shè)置有多個(gè)的加熱器或多組成對的加熱器及加熱管，且所述上層熱板中，在承載于所述上層熱板上的被加工物的搬運(yùn)方向上至少3個(gè)位置還設(shè)置有溫度傳感器，所述下層熱板中，在和上層熱板中設(shè)置的加熱器及加熱管垂直的方向上設(shè)置有多個(gè)的加熱器或多組成對的加熱器及加熱管，從而控制所述上層熱板面內(nèi)的溫度，使其均一分布。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的層疊裝置用熱板，其特征在于所述下層熱板中，在承載于所述上層熱板上的被加工物的搬運(yùn)方向垂直的方向上至少 3個(gè)位置還設(shè)置有溫度傳感器，從而控制所述上層熱板面內(nèi)的溫度，使其均一分布。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的層疊裝置用熱板，其特征在于所述熱板中各組的加熱管及加熱器呈直線狀且平行配置。
5.一種層疊裝置，使用了權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的層疊裝置用熱板。
專利摘要本實(shí)用新型的目的在于提供一種層疊加工中可使熱板面內(nèi)溫度維持均一的熱板以及使用所述熱板的層疊裝置。用于具有通過按壓部件分隔開的上腔室及下腔室，被加工物(10)承載于下腔室中設(shè)置的熱板(20)上，通過熱板(20)加熱被加工物(10)，使下腔室成為真空并向上腔室導(dǎo)入空氣后，通過熱板(20)及按壓部件對被加工物(10)進(jìn)行夾壓、層疊的層疊裝置中的本實(shí)用新型的熱板；熱板(20)中設(shè)置有多個(gè)的加熱器(203)或多組成對的加熱器(203)及加熱管(204)；此外，在承載于熱板(20)上的被加工物的搬運(yùn)方向上至少3個(gè)位置還設(shè)置有溫度傳感器(207)；而控制熱板面內(nèi)的溫度，使其均一分布。
文檔編號H01L21/67GK202332801SQ20112035251
公開日2012年7月11日 申請日期2011年9月20日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月30日
發(fā)明者中村真規(guī), 筱田隆志 申請人:日清紡精密機(jī)器株式會(huì)社