專利名稱：基板支承構(gòu)件和基板容納裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在水平狀態(tài)下保持玻璃基板等矩形的板狀工件的基板支承構(gòu)件，該基板支承構(gòu)件被用在制造液晶面板等時(shí)使用的熱處理裝置等基板容納裝置上，特別涉及適于液晶基板的密封硬化處理的基板支承構(gòu)件。另外，本發(fā)明還涉及包括基板支承構(gòu)件的基板容納裝置。
背景技術(shù)：
制造液晶面板等時(shí)，包括針對(duì)矩形的板狀工件即基板的熱處理工序。為提高熱處理的作業(yè)效率，考慮要在熱處理裝置內(nèi)容納多張基板，因而使用將多張基板以規(guī)定間隔設(shè)置并多層裝載的工件裝載裝置。在工件裝載裝置的各基板容納位置上分別配置有基板支承構(gòu)件。基板支承構(gòu)件抵接在水平狀態(tài)的基板的下表面上。例如，制造液晶基板時(shí)，在以一定的間隔設(shè)置了柔軟性間隔件的兩張玻璃基板之間充填液晶，并將兩張玻璃基板用密封劑粘合后，在熱處理裝置內(nèi)加熱一定時(shí)間以使密封劑硬化。液晶基板熱處理時(shí)，如果由于基板支承構(gòu)件對(duì)液晶基板的作用力而使間隔件被壓碎，則兩張玻璃基板的間隙不均，會(huì)發(fā)生顯示不均。因此，作為現(xiàn)有的基板支承構(gòu)件，已知有用聚四氟乙烯等收縮管包覆在矩形斷面的不銹鋼管周圍的構(gòu)件(例如參照專利文獻(xiàn)1一日本專利公開公報(bào)特開2004-108670號(hào))。 通過使矩形斷面的一個(gè)面與液晶基板的底面抵接，加大兩者的接觸面積，以緩和作用在液晶基板上的應(yīng)力，可以防止間隔件的變形。但是近年來，液晶基板的間隔件柔軟性增加，對(duì)于以不銹鋼管為基材、不具備充分彈性的薄壁收縮管與液晶基板抵接的現(xiàn)有基板支承構(gòu)件來說，不能達(dá)到使應(yīng)力減小到能夠防止高柔軟性的間隔件變形的程度。因此，現(xiàn)有的基板支承構(gòu)件往往不適應(yīng)近年來的液晶基板的密封硬化處理。另外，由于現(xiàn)有的基板支承構(gòu)件固定在工件裝載裝置的機(jī)架上，隨著時(shí)間而發(fā)生老化的收縮管破損后，就需要拆卸機(jī)架并更換基板支承構(gòu)件。特別是被使用在因基板的搬入搬出而溫度反復(fù)變化的熱處理裝置等基板容納裝置中的基板支承構(gòu)件，上述問題很容易發(fā)生。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種基板支承構(gòu)件及基板容納裝置，通過具有與基板抵接的可自由拆卸的耐熱樹脂管，可以防止基板內(nèi)高柔軟性的間隔件的變形，以適于液晶基板的密封硬化處理，從而便于進(jìn)行與基板底面的抵接部分的更換作業(yè)。本發(fā)明提供一種基板支承構(gòu)件，沿與相對(duì)基板容納裝置內(nèi)基板容納位置的基板搬入方向垂直的方向，以一定的間隔設(shè)置有多個(gè)基板支承構(gòu)件，所述基板支承構(gòu)件與被搬入到所述基板容納位置上的基板的底面抵接并支承該基板?；逯С袠?gòu)件包括主體部、導(dǎo)向件及耐熱樹脂管。主體部具有長(zhǎng)邊方向與基板的搬入方向平行的安裝面。導(dǎo)向件被固定在安裝面上，并且形成其上表面及其在基板搬入方向上的兩個(gè)面開放的凹部。耐熱樹脂管沿安裝面嵌入凹部?jī)?nèi)，并且其上側(cè)部分從凹部的上方露出。按照所述構(gòu)成，在基板容納裝置內(nèi)的基板容納位置上，基板在其底面與多個(gè)耐熱樹脂管抵接的狀態(tài)下被多個(gè)耐熱樹脂管支承。耐熱樹脂管由于基板的重量而發(fā)生彈性變形，因而不會(huì)對(duì)基板作用較大的應(yīng)力。此外，耐熱樹脂管通過嵌入到凹部?jī)?nèi)的方式而被保持在安裝面上，不必借助固定工具來固定。上述構(gòu)成中，導(dǎo)向件可以采用例如通過板金的沖壓加工等形成的專用構(gòu)件，但導(dǎo)向件還可以使用通用的構(gòu)件構(gòu)成多對(duì)突起，在各對(duì)突起之間設(shè)置有規(guī)定的間隙，并且多對(duì)突起固定在安裝面上。另外，優(yōu)選基板支承構(gòu)件還包括芯材，所述芯材的直徑小于耐熱樹脂管的內(nèi)徑，且所述芯材貫穿耐熱樹脂管并以夾持耐熱樹脂管圓周方向的一部分的狀態(tài)被固定在主體部上。這樣，可以確保將耐熱樹脂管固定在主體部上。而且，優(yōu)選僅將芯材的從耐熱樹脂管露出的第1端部固定在主體部上。這樣，可以不必將芯材從主體部卸下，而從芯材的第2端部一側(cè)拆裝耐熱樹脂管，使耐熱樹脂管的更換作業(yè)簡(jiǎn)單易行。按照本發(fā)明，可以防止基板內(nèi)的高柔軟性間隔件的變形，能夠適應(yīng)液晶基板的密封硬化處理，同時(shí)能夠使與基板底面的抵接部分的更換作業(yè)簡(jiǎn)單易行。


圖1是本發(fā)明實(shí)施方式的基板容納裝置的俯視斷面圖。圖2是本發(fā)明第1實(shí)施方式的基板支承構(gòu)件的主視斷面圖。圖3是本發(fā)明第2實(shí)施方式的基板支承構(gòu)件的主視斷面圖。圖4是本發(fā)明第3實(shí)施方式的基板支承構(gòu)件的主視斷面圖。圖5是本發(fā)明第4實(shí)施方式的基板支承構(gòu)件的側(cè)視斷面圖。附圖標(biāo)記說明1，21-主體部1A，21A_ 安裝面2-導(dǎo)向件3-薄壁管(耐熱樹脂管)5-芯材22-螺栓(突起)10，20，30，40-基板支承構(gòu)件100-熱處理裝置(基板容納裝置)200-液晶基板300-搬送裝置
具體實(shí)施例方式以下參照附圖，說明本發(fā)明實(shí)施方式的基板支承構(gòu)件及基板容納裝置。如圖1所示，本發(fā)明第1實(shí)施方式的基板支承構(gòu)件10，借助框架111、112設(shè)置在作為本發(fā)明基板容納裝置一例的熱處理裝置100內(nèi)部的基板容納部110上。作為一例，熱處理裝置100用于液晶面板用的液晶基板200的密封硬化處理。因此，熱處理裝置100包括未圖示的加熱器。熱處理裝置100的內(nèi)部通過空氣循環(huán)裝置102被保持在均勻的溫度上， 并且有時(shí)還會(huì)進(jìn)行去除塵埃及升華物的清潔化處理。在熱處理裝置100內(nèi)，在上下方向上隔開規(guī)定的間隔分多層設(shè)置多個(gè)基板容納部 110。在熱處理裝置100的前表面上，設(shè)置有對(duì)應(yīng)各基板容納部110的、上下方向位置可選擇性自由開閉的擋板101。液晶基板200被承載在搬送裝置300的搬送臂301上，并沿搬入方向X搬入擋板101開放的基板容納部110中。熱處理裝置100的背面設(shè)置有維護(hù)用的可自由開閉的門103、104。在各基板容納部110上，在其長(zhǎng)邊方向平行搬入方向X的狀態(tài)下，沿垂直搬入方向 X的方向等間隔配置例如8根基板支承構(gòu)件10。各基板支承構(gòu)件10被設(shè)置在不會(huì)干涉到插入基板容納部110上的搬送臂301的位置上。如圖2所示，基板支承構(gòu)件10包括主體部1，導(dǎo)向件2，薄壁管3以及臺(tái)座4。作為一例，主體部1由不銹鋼方管構(gòu)成，并被固定于臺(tái)座4的上部。主體部1的上表面成為水平的安裝面1A。作為一例，導(dǎo)向件2通過板金的沖壓加工形成二形斷面，其底面固定在安裝面IA上。導(dǎo)向件2形成為凹部，其上表面和其在液晶基板200搬入方向上的兩個(gè)面開放。薄壁管3相當(dāng)于本發(fā)明的耐熱樹脂管，耐熱樹脂例如以具有可以在250°C下連續(xù)使用的耐熱性的、可注塑成形的熱塑性樹脂PEEK(聚醚醚酮)為原料。薄壁管3可拆裝自由地嵌入導(dǎo)向件2的凹部?jī)?nèi)。此時(shí)，薄壁管3的上側(cè)部分從導(dǎo)向件2的上端向上方露出?；逯С袠?gòu)件10中，薄壁管3的上側(cè)部分位于最上方的位置。所以，被搬入基板容納部110內(nèi)的液晶基板200，以其底面抵接薄壁管3的狀態(tài)被支承。由于液晶基板200的重量，薄壁管3產(chǎn)生彈性變形。以被搬入各基板容納部110的液晶基板200的底面與薄壁管3抵接的方式，液晶基板200被基板支承構(gòu)件10支承。接受密封硬化處理的液晶基板200中，在通過間隔件 203設(shè)定了相互間隔的上下玻璃基板201、202之間充填液晶204。PEEK等耐熱樹脂制的薄壁管3，由于外力的作用容易發(fā)生彈性變形。因此如圖2 所示，即使當(dāng)薄壁管3與液晶基板200的底面上的間隔件203的設(shè)置位置抵接時(shí)，薄壁管3 也發(fā)生充分彈性變形，間隔件203上不會(huì)作用較大的應(yīng)力。間隔件203由高柔軟性材料構(gòu)成時(shí)，間隔件203也不會(huì)發(fā)生較大塑性變形，所以處理后的液晶基板200上不會(huì)產(chǎn)生顯示不均。因?yàn)楸”诠?可拆裝自由地嵌入導(dǎo)向件2內(nèi)，所以即使在隨著時(shí)間而發(fā)生硬化及破損時(shí)，也容易更換。導(dǎo)向件2的長(zhǎng)度可以與薄壁管3的軸向全長(zhǎng)相當(dāng)，同時(shí)也可以沿薄壁管3的軸向設(shè)置在多個(gè)位置上。如圖3所示，本發(fā)明第2實(shí)施方式的基板支承構(gòu)件20，使用多對(duì)螺栓22代替基板支承構(gòu)件10的導(dǎo)向件2。作為一例，在由金屬方管構(gòu)成的主體部21上表面的安裝面21A 上，各對(duì)螺栓22相互間以規(guī)定間隔設(shè)置，并與安裝面21A螺紋連接。螺栓22的頭部相當(dāng)于本發(fā)明的突起。通過基于薄壁管3的外徑而設(shè)定各對(duì)螺栓22的頭部的間隔，可以不必準(zhǔn)備專用的導(dǎo)向件2而使用通用的零件。另外，還可以使用銷或鉚釘作為本發(fā)明的突起，以替代螺栓22。
如圖4所示，本發(fā)明第3實(shí)施方式的基板支承構(gòu)件30，在基板支承構(gòu)件20的構(gòu)成基礎(chǔ)上還包括芯材5。芯材5貫穿薄壁管3，并且芯材5是直徑小于薄壁管3內(nèi)徑的金屬線材。芯材5在橫跨薄壁管3軸向全長(zhǎng)并夾持薄壁管3圓周方向的一部分的狀態(tài)下，被固定在主體部21的安裝面2IA上。薄壁管3通過芯材5被固定在安裝面21A上，在相對(duì)基板容納部110搬入搬出液晶基板200時(shí)，可以防止薄壁管3從安裝面2IA脫落。另外，在通過芯材5確保薄壁管3被固定在安裝面21A的前提下，也可以省略2個(gè)螺栓22。并且，在圖2所示構(gòu)成上也可以使用芯材5。如圖5所示，本發(fā)明第4實(shí)施方式的基板支承構(gòu)件40，是在基板支承構(gòu)件30的構(gòu)成中，僅將芯材5的第1端部一側(cè)借助安裝板6固定在主體部21的安裝面21A上。芯材5 的第2端部在熱處理裝置100的背面一側(cè)上開放。更換薄壁管3時(shí)，開放熱處理裝置100的門103、104，將老化的薄壁管3從安裝面 21A向熱處理裝置100的背面一側(cè)拔出，并將新的薄壁管3向前面一側(cè)推壓以使芯材5貫穿其內(nèi)部。此時(shí)，可以在芯材5的彈性變形范圍內(nèi)將芯材5在背面一側(cè)的端部向上方抬起，以便于薄壁管3的拔出操作。據(jù)此，可以使薄壁管3的更換作業(yè)變得極為容易。在不使用芯材5的情況下，通過從熱處理裝置100的背面一側(cè)進(jìn)行薄壁管3的更換作業(yè)，與由于存在擋板101而從上下方向敞開范圍較小的熱處理裝置100前面一側(cè)進(jìn)行更換作業(yè)的情況相比， 作業(yè)性得到提高。上述實(shí)施方式的說明全部為示例說明，而并非限制性說明。本發(fā)明的范圍不限于上述實(shí)施方式，而是通過權(quán)利要求來表示。并且，本發(fā)明的范圍還包括與權(quán)利要求等同的方式，以及在本發(fā)明范圍內(nèi)的所有變形方式。例如，本發(fā)明的基板容納裝置不限于對(duì)液晶基板200進(jìn)行加熱處理的熱處理裝置 100。例如對(duì)液晶基板200以外的基板進(jìn)行加熱或冷卻處理的熱處理裝置，以及保存熱處理后的基板的箱體等，也屬于本發(fā)明的基板容納裝置，也可以適用本發(fā)明實(shí)施方式的基板支承構(gòu)件。
權(quán)利要求
1.一種基板支承構(gòu)件，在與相對(duì)基板容納裝置內(nèi)基板容納位置的基板搬入方向垂直的方向上，以一定的間隔設(shè)置有多個(gè)所述基板支承構(gòu)件，所述基板支承構(gòu)件與被搬入到所述基板容納位置上的基板的底面抵接并支承該基板，其特征在于，包括主體部，具有長(zhǎng)邊方向與所述基板搬入方向平行的安裝面；導(dǎo)向件，固定在所述安裝面上，并且所述導(dǎo)向件形成其上表面及其在所述基板搬入方向上的兩個(gè)面開放的凹部；以及耐熱樹脂管，沿所述安裝面插入到所述凹部?jī)?nèi)，并且所述耐熱樹脂管的上側(cè)部分從所述凹部的上方露出。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板支承構(gòu)件，其特征在于，所述導(dǎo)向件由多對(duì)突起構(gòu)成，在各對(duì)突起之間設(shè)置有規(guī)定的間隙，并且所述多對(duì)突起固定在所述安裝面上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板支承構(gòu)件，其特征在于，所述基板支承構(gòu)件還包括芯材， 所述芯材的直徑小于所述耐熱樹脂管的內(nèi)徑，且所述芯材貫穿所述耐熱樹脂管并以夾持所述耐熱樹脂管圓周方向的一部分的狀態(tài)被固定在主體部上。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板支承構(gòu)件，其特征在于，所述基板支承構(gòu)件還包括芯材， 所述芯材的直徑小于所述耐熱樹脂管的內(nèi)徑，且所述芯材貫穿所述耐熱樹脂管并以夾持所述耐熱樹脂管圓周方向的一部分的狀態(tài)被固定在主體部上。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板支承構(gòu)件，其特征在于，僅將所述芯材的從所述耐熱樹脂管露出的一端固定在所述主體部上。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板支承構(gòu)件，其特征在于，僅將所述芯材的從所述耐熱樹脂管露出的一端固定在所述主體部上。
7.一種基板容納裝置，其特征在于，包括權(quán)利要求1-6中任意一項(xiàng)所述的基板支承構(gòu)件，以及設(shè)置在所述基板容納裝置背面的可開閉的門，并且所述芯材只有前面一側(cè)被固定在所述主體部上。
全文摘要
本發(fā)明提供基板支承構(gòu)件和基板容納裝置。基板支承構(gòu)件(10)包括主體部(1)、導(dǎo)向件(2)和薄壁管(3)。主體部(1)的上表面成為水平的安裝面(1A)。導(dǎo)向件(2)形成其上表面及其在液晶基板(200)搬入方向上的兩個(gè)面開放的凹部。薄壁管(3)以可注塑成形的耐熱樹脂為原料。薄壁管(3)可拆裝自由地嵌入導(dǎo)向件(2)的凹部?jī)?nèi)。并且，薄壁管(3)的上側(cè)部分從導(dǎo)向件(2)的上端向上方露出。搬入到基板容納部(110)的液晶基板(200)，以其底面抵接薄壁管(3)的狀態(tài)被支承。由于液晶基板(200)的重量，薄壁管(3)產(chǎn)生充分的彈性變形，從而不會(huì)在液晶基板(200)內(nèi)的間隔件(203)上作用會(huì)引起塑性變形程度的較大應(yīng)力。
文檔編號(hào)H01L21/00GK102446798SQ201110179649
公開日2012年5月9日 申請(qǐng)日期2011年6月28日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月8日
發(fā)明者吉原賢一 申請(qǐng)人:光洋熱系統(tǒng)株式會(huì)社