專利名稱：在載板上導(dǎo)接件的側(cè)面形成抗氧化金屬層的制造工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種在載板上的導(dǎo)接件的側(cè)面形成抗氧化金屬層的制造工藝，特別是涉及一種防止在載板上的導(dǎo)接件發(fā)生氧化的制造工藝。
背景技術(shù)：
請(qǐng)參閱圖1，在現(xiàn)有習(xí)知的凸塊制造工藝中，是會(huì)在一基板100上形成多個(gè)凸塊110，各該凸塊110是具有一頂面111及一側(cè)面112，并且在上述凸塊110的該頂面111上形成一接合層120，其中上述凸塊110是為銅凸塊，該接合層120是為鎳-金層，當(dāng)上述凸塊110的該側(cè)面112接觸水氣后，是會(huì)使上述凸塊110是會(huì)產(chǎn)生膨脹，因而造成微間距的相鄰?fù)箟K110接觸而造成短路，且由于上述凸塊110的該頂面111形成有該接合層120，因此使得上述凸塊110的該頂面111的材質(zhì)與該側(cè)面112的材質(zhì)不同而造成腐蝕效應(yīng)，此外在該基板100薄化制造工藝中，是會(huì)造成該基板100產(chǎn)生翹曲，而影響后續(xù)測(cè)試及切割等制造工藝。由此可見，上述現(xiàn)有的在載板上的導(dǎo)接件的側(cè)面形成抗氧化金屬層的制造工藝在制造方法與使用上，顯然仍存在有不便與缺陷，而亟待加以進(jìn)一步改進(jìn)。為了解決上述存在的問題，相關(guān)廠商莫不費(fèi)盡心思來謀求解決之道，但長(zhǎng)久以來一直未見適用的設(shè)計(jì)被發(fā)展完成，而一般制造方法又沒有適切的制造方法能夠解決上述問題，此顯然是相關(guān)業(yè)者急欲解決的問題。因此如何能創(chuàng)設(shè)一種新的在載板上導(dǎo)接件的側(cè)面形成抗氧化金屬層的制造工藝，實(shí)屬當(dāng)前重要研發(fā)課題之一，亦成為當(dāng)前業(yè)界極需改進(jìn)的目標(biāo)。有鑒于上述現(xiàn)有的在載板上的導(dǎo)接件的側(cè)面形成抗氧化金屬層的制造工藝存在的缺陷，本發(fā)明人基于從事此類產(chǎn)品設(shè)計(jì)制造多年豐富的實(shí)務(wù)經(jīng)驗(yàn)及專業(yè)知識(shí)，并配合學(xué)理的運(yùn)用，積極加以研究創(chuàng)新，以期創(chuàng)設(shè)一種新的在載板上導(dǎo)接件的側(cè)面形成抗氧化金屬層的制造工藝，能夠改進(jìn)一般現(xiàn)有的在載板上的導(dǎo)接件的側(cè)面形成抗氧化金屬層的制造工藝，使其更具有實(shí)用性。經(jīng)過不斷的研究、設(shè)計(jì)，并經(jīng)過反復(fù)試作樣品及改進(jìn)后，終于創(chuàng)設(shè)出確具實(shí)用價(jià)值的本發(fā)明。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的主要目的在于，克服現(xiàn)有的在載板上的導(dǎo)接件的側(cè)面形成氧化的缺陷，而提供一種新的在載板上導(dǎo)接件的側(cè)面形成抗氧化金屬層的制造工藝，所要解決的技術(shù)問題是提供一種在載板上導(dǎo)接件的側(cè)面形成抗氧化金屬層的制造工藝，其步驟包含提供一載體，該載體是具有多個(gè)焊墊及一保護(hù)層；形成一導(dǎo)接金屬層在該載體上；形成一第一光刻膠層在該導(dǎo)接金屬層上；圖案化該第一光刻膠層，以使該第一光刻膠層形成有多個(gè)開口及多個(gè)第一溝槽；在各該開口及各該第一溝槽中形成一導(dǎo)接件，各該導(dǎo)接件是具有一頂面及一側(cè)面；移除該第一光刻膠層，以顯露出各該導(dǎo)接件的該頂面及該側(cè)面；形成一第二光刻膠層在該導(dǎo)接金屬層上，該第二光刻膠層是覆蓋各該導(dǎo)接件；圖案化該第二光刻膠層，以使該第二光刻膠層形成有多個(gè)開口及多個(gè)第二溝槽，各該開口及各該第二溝槽是顯露出各該導(dǎo)接件的該頂面及該側(cè)面以及該導(dǎo)接金屬層；在各該開口及各該第二溝槽形成一抗氧化金屬層，該抗氧化金屬層是包覆各該導(dǎo)接件的該頂面及該側(cè)面及被各該開口及各該第二溝槽顯露該導(dǎo)接金屬層；移除該第二光刻膠層，以顯露出該抗氧化金屬層及該導(dǎo)接金屬層；最后移除各該導(dǎo)接件及該抗氧化金屬層下以外的該導(dǎo)接金屬層。本發(fā)明可借此在形成該第一光刻膠層后，圖案化該第一光刻膠層，并在該第一光刻膠層的上述開口或上述溝槽中形成上述導(dǎo)接件(如凸塊、重分配線路、重分配接墊等)，之后，再以該第二光刻膠層覆蓋各該導(dǎo)接件，并圖案化該第二光刻膠層，以顯露出上述導(dǎo)接件的該頂面及該側(cè)面，并在上述導(dǎo)接件的該頂面及該側(cè)面形成該抗氧化金屬層，以使上述導(dǎo)接件具有抗氧化的功效，以避免上述導(dǎo)接件因氧化而體積膨脹，造成短路，且在上述導(dǎo)接件的該頂面及該側(cè)面同時(shí)形成該抗氧化金屬層，是可避免因上述導(dǎo)接件的該頂面或該側(cè)面所包覆材質(zhì)不同而造成腐蝕效應(yīng)，此外，在上述導(dǎo)接件的該頂面及該側(cè)面同時(shí)形成該抗氧化金屬層是可在薄化該載板(如晶圓)時(shí)，避免該載板產(chǎn)生翹曲，而影響后續(xù)測(cè)試及切割等制造工藝，非常適于實(shí)用。本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題是采用以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的。依據(jù)本發(fā)明提出的其包括以下步驟提供一載體，該載體是具有多個(gè)焊墊及一保護(hù)層，該保護(hù)層具有多個(gè)開口，且上述開口是顯露出上述焊墊；形成一導(dǎo)接金屬層在該載體上，該導(dǎo)接金屬層是覆蓋上述焊墊及該保護(hù)層，且該導(dǎo)接金屬層是與上述焊墊電性連接；形成一第一光刻膠層在該導(dǎo)接金屬層上，該第一光刻膠層是覆蓋該導(dǎo)接金屬層；圖案化該第一光刻膠層，以使該第一光刻膠層形成有多個(gè)第一開口、多個(gè)第二開口及多個(gè)第一溝槽，其中上述第一開口是位于上述焊墊上方，且上述第一開口、上述第二開口及上述第一溝槽是顯露出該導(dǎo)接金屬層；在該第一光刻膠層的各該第一開口、各該第二開口及各該第一溝槽中形成一導(dǎo)接件，各該導(dǎo)接件是具有一頂面及一側(cè)面，且各該導(dǎo)接件是電性連接該導(dǎo)接金屬層；移除該第一光刻膠層，以顯露出各該導(dǎo)接件的該頂面及該側(cè)面；形成一第二光刻膠層在該導(dǎo)接金屬層上，該第二光刻膠層是覆蓋各該導(dǎo)接件；圖案化該第二光刻膠層，以使該第二光刻膠層形成有多個(gè)第三開口、多個(gè)第四開口及多個(gè)第二溝槽，其中上述第三開口是位于上述焊墊上方，且各該第三開口、各該第四開口及各該第二溝槽是顯露出各該導(dǎo)接件的該頂面及該側(cè)面；在該第二光刻膠層的各該第三開口、各該第四開口及各該第二溝槽形成一抗氧化金屬層，該抗氧化金屬層是包覆各該導(dǎo)接件的該頂面及該側(cè)面；移除該第二光刻膠層，以顯露出該抗氧化金屬層及該導(dǎo)接金屬層；以及以各該導(dǎo)接件及該抗氧化金屬層為罩幕，移除各該導(dǎo)接件及該抗氧化金屬層下以外的該導(dǎo)接金屬層。本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題還可采用以下技術(shù)措施進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)。前述的在載板上導(dǎo)接件的側(cè)面形成抗氧化金屬層的制造工藝，其中所述的其在形成各該導(dǎo)接件的步驟中，形成于各該第一開口中的各該導(dǎo)接件是為凸塊，形成于在各該第二開口中的各該導(dǎo)接件是為重分布導(dǎo)接墊，形成于各該第一溝槽中的各該導(dǎo)接件是為重分布線路。前述的在載板上導(dǎo)接件的側(cè)面形成抗氧化金屬層的制造工藝，其中所述的其在形成該抗氧化金屬層步驟中，該抗氧化金屬層是覆蓋被各該第三開口、各該第四開口及各該第二溝槽顯露的該導(dǎo)接金屬層。前述的在載板上導(dǎo)接件的側(cè)面形成抗氧化金屬層的制造工藝，其中所述的其在形成該抗氧化金屬層步驟中，該抗氧化金屬層是覆蓋被各該第三開口、各該第四開口及各該第二溝槽顯露的該導(dǎo)接金屬層。前述的在載板上導(dǎo)接件的側(cè)面形成抗氧化金屬層的制造工藝，其中所述的其在形成該抗氧化金屬層的步驟中，該抗氧化金屬層與該抗氧化金屬層下的該導(dǎo)接金屬層是具有一接合界面。本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題還采用以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)。依據(jù)本發(fā)明提出的其包括以下步驟提供一載體，該載體是具有多個(gè)焊墊及一保護(hù)層；形成一導(dǎo)接金屬層在該載體上，該導(dǎo)接金屬層是覆蓋上述焊墊及該保護(hù)層，且該導(dǎo)接金屬層是與上述焊墊電性連接；形成一第一光刻膠層在該導(dǎo)接金屬層上，該第一光刻膠層是覆蓋該導(dǎo)接金屬層；圖案化該第一光刻膠層，以使該第一光刻膠層形成有多個(gè)開口，上述開口是位于上述焊墊上方，且上述開口是顯露出該導(dǎo)接金屬層；在該第一光刻膠層的各該開口中形成一導(dǎo)接件，各該導(dǎo)接件是具有一頂面及一側(cè)面，且各該導(dǎo)接件是電性連接該導(dǎo)接金屬層；移除該第一光刻膠層，以顯露出各該導(dǎo)接件的該頂面及該側(cè)面；形成一第二光刻膠層在該導(dǎo)接金屬層上，該第二光刻膠層是覆蓋各該導(dǎo)接件；圖案化該第二光刻膠層，以使該第二光刻膠層形成有多個(gè)開口，上述開口是位于上述焊墊上方，且各該開口是顯露出各該導(dǎo)接件的該頂面及該側(cè)面；在該第二光刻膠層的該開口形成一抗氧化金屬層，該抗氧化金屬層是包覆各該導(dǎo)接件的該頂面及該側(cè)面；移除該第二光刻膠層，以顯露出該抗氧化金屬層及該導(dǎo)接金屬層；以及以各該導(dǎo)接件及該抗氧化金屬層為罩幕，移除各該導(dǎo)接件及該抗氧化金屬層下以外的該導(dǎo)接金屬層。本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題還可采用以下技術(shù)措施進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)。前述的在載板上導(dǎo)接件的側(cè)面形成抗氧化金屬層的制造工藝，其中所述的其在圖案化該第二光刻膠層步驟中，各該開口是顯露該導(dǎo)接金屬層。前述的在載板上導(dǎo)接件的側(cè)面形成抗氧化金屬層的制造工藝，其中所述的其在形成該抗氧化金屬層步驟中，該抗氧化金屬層是覆蓋被各該開口顯露的該導(dǎo)接金屬層。前述的在載板上導(dǎo)接件的側(cè)面形成抗氧化金屬層的制造工藝，其中所述的其在形成該抗氧化金屬層的步驟中，該抗氧化金屬層與該抗氧化金屬層下的該導(dǎo)接金屬層是具有一接合界面。本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題另外再采用以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)。依據(jù)本發(fā)明提出的其包括以下步驟提供一載體，該載體是具有多個(gè)焊墊及一保護(hù)層；形成一導(dǎo)接金屬層在該載體上，該導(dǎo)接金屬層是覆蓋該保護(hù)層；形成一第一光刻膠層在該導(dǎo)接金屬層上，該第一光刻膠層是覆蓋該導(dǎo)接金屬層；圖案化該第一光刻膠層，以使該第一光刻膠層形成有多個(gè)開口及多個(gè)溝槽，且上述開口及上述溝槽是顯露出該導(dǎo)接金屬層；在該第一光刻膠層的各該開口及各該溝槽中形成一導(dǎo)接件，各該導(dǎo)接件是具有一頂面及一側(cè)面，且各該導(dǎo)接件是電性連接該導(dǎo)接金屬層；移除該第一光刻膠層，以顯露出各該導(dǎo)接件的該頂面及該側(cè)面；形成一第二光刻膠層在各該導(dǎo)接件上，該第二光刻膠層是覆蓋各該導(dǎo)接件；圖案化該第二光刻膠層，以使該第二光刻膠層形成有多個(gè)開口及多個(gè)溝槽，且各該開口及各該溝槽是顯露出各該導(dǎo)接件的該頂面及該側(cè)面；在該第二光刻膠層的各該開口及各該溝槽形成一抗氧化金屬層，該抗氧化金屬層是包覆各該導(dǎo)接件的該頂面及該側(cè)面；移除該第二光刻膠層，以顯露出該抗氧化金屬層及該導(dǎo)接金屬層；以及以各該導(dǎo)接件及該抗氧化金屬層為罩幕，移除各該導(dǎo)接件及該抗氧化金屬層下以外的該導(dǎo)接金屬層。
本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題還可采用以下技術(shù)措施進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)。前述的在載板上導(dǎo)接件的側(cè)面形成抗氧化金屬層的制造工藝，其中所述的其在圖案化該第二光刻膠層步驟中，各該開口及各該溝槽是顯露該導(dǎo)接金屬層。前述的在載板上導(dǎo)接件的側(cè)面形成抗氧化金屬層的制造工藝，其中所述的其在形成該抗氧化金屬層步驟中，該抗氧化金屬層是覆蓋被各該開口及各該溝槽顯露的該導(dǎo)接金屬層。前述的在載板上導(dǎo)接件的側(cè)面形成抗氧化金屬層的制造工藝，其中所述的其在形成該抗氧化金屬層的步驟中，該抗氧化金屬層與該抗氧化金屬層下的該導(dǎo)接金屬層是具有一接合界面。借由上述技術(shù)方案，本發(fā)明在載板上導(dǎo)接件的側(cè)面形成抗氧化金屬層的制造工藝至少具有下列優(yōu)點(diǎn)及有益效果1、可避免導(dǎo)接件的側(cè)面接觸水氣，而產(chǎn)生凸塊膨脹，因而造成微間距的相鄰導(dǎo)接件接觸而發(fā)生短路。2、在導(dǎo)接件的側(cè)面及頂面形成抗氧化金屬層避免因?qū)Ы蛹膫?cè)面及頂面材料不同而造成腐蝕效應(yīng)。3、當(dāng)薄化載板時(shí)，可避免產(chǎn)生翹曲，而影響后續(xù)測(cè)試及切割等制造工藝。綜上所述，本發(fā)明其步驟包含提供一載體，該載體是具有多個(gè)焊墊及一保護(hù)層；形成一導(dǎo)接金屬層在該載體上；形成一第一光刻膠層在該導(dǎo)接金屬層上；圖案化該第一光刻膠層，以使該第一光刻膠層形成有多個(gè)開口 ；在各該開口中形成一導(dǎo)接件，各該導(dǎo)接件是具有一頂面及一側(cè)面；移除該第一光刻膠層，以顯露出各該導(dǎo)接件的該頂面及該側(cè)面；形成一第二光刻膠層在該導(dǎo)接金屬層上，該第二光刻膠層是覆蓋各該導(dǎo)接件；圖案化該第二光刻膠層，以使該第二光刻膠層形成有多個(gè)開口，各該開口是顯露出各該導(dǎo)接件的該頂面及該側(cè)面；在各該開口形成一抗氧化金屬層，該抗氧化金屬層是包覆各該導(dǎo)接件的該頂面及該側(cè)面；移除該第二光刻膠層，以顯露出該抗氧化金屬層及該導(dǎo)接金屬層；最后移除各該導(dǎo)接件及該抗氧化金屬層下以外的該導(dǎo)接金屬層。本發(fā)明在技術(shù)上有顯著的進(jìn)步，具有明顯的積極效果，誠(chéng)為一新穎、進(jìn)步、實(shí)用的新設(shè)計(jì)。上述說明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術(shù)手段，而可依照說明書的內(nèi)容予以實(shí)施，并且為了讓本發(fā)明的上述和其它目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實(shí)施例，并配合附圖，詳細(xì)說明如下。


圖1 現(xiàn)有習(xí)知的在一基板上形成多個(gè)凸塊的示意圖。圖2A 依據(jù)本發(fā)明在載板上導(dǎo)接件的側(cè)面形成抗氧化金屬層的制造工藝的一較佳實(shí)施例，提供一載體的示意圖。圖2B 依據(jù)本發(fā)明在載板上導(dǎo)接件的側(cè)面形成抗氧化金屬層的制造工藝的一較佳實(shí)施例，形成一導(dǎo)接金屬層在該載體的示意圖。圖2C 依據(jù)本發(fā)明在載板上導(dǎo)接件的側(cè)面形成抗氧化金屬層的制造工藝的一較佳實(shí)施例，形成一第一光刻膠層在導(dǎo)接金屬層上的示意圖。圖2D 依據(jù)本發(fā)明在載板上導(dǎo)接件的側(cè)面形成抗氧化金屬層的制造工藝的一較佳實(shí)施例，進(jìn)行圖案化第一光刻膠層的示意圖。圖2E 依據(jù)本發(fā)明在載板上導(dǎo)接件的側(cè)面形成抗氧化金屬層的制造工藝的一較佳實(shí)施例，在第一光刻膠層的第一開口、第二開口及第一溝槽中形成導(dǎo)接件的示意圖。圖2F 依據(jù)本發(fā)明在載板上導(dǎo)接件的側(cè)面形成抗氧化金屬層的制造工藝的一較佳實(shí)施例，移除第一光刻膠層的示意圖。圖2G 依據(jù)本發(fā)明在載板上導(dǎo)接件的側(cè)面形成抗氧化金屬層的制造工藝的一較佳實(shí)施例，形成一第二光刻膠層在該導(dǎo)接金屬層上的示意圖。圖2H 依據(jù)本發(fā)明在載板上導(dǎo)接件的側(cè)面形成抗氧化金屬層的制造工藝的另一較佳實(shí)施例，形成一第二光刻膠層在該導(dǎo)接金屬層上的示意圖。圖21 依據(jù)本發(fā)明在載板上導(dǎo)接件的側(cè)面形成抗氧化金屬層的制造工藝的一較佳實(shí)施例，進(jìn)行圖案化該第二光刻膠層的示意圖。圖2J 依據(jù)本發(fā)明在載板上導(dǎo)接件的側(cè)面形成抗氧化金屬層的制造工藝的另一較佳實(shí)施例，進(jìn)行圖案化該第二光刻膠層的示意圖。圖I圖依據(jù)本發(fā)明在載板上導(dǎo)接件的側(cè)面形成抗氧化金屬層的制造工藝的一較佳實(shí)施例，在第二光刻膠層的第三開口、第四開口及第二溝槽中形成一抗氧化金屬層的示意圖。圖2L 依據(jù)本發(fā)明在載板上導(dǎo)接件的側(cè)面形成抗氧化金屬層的制造工藝的另一較佳實(shí)施例，在第二光刻膠層的第三開口、第四開口及第二溝槽中形成一抗氧化金屬層的示意圖。圖2M 依據(jù)本發(fā)明在載板上導(dǎo)接件的側(cè)面形成抗氧化金屬層的制造工藝的一較佳實(shí)施例，移除第二光刻膠層的示意圖。圖2N 依據(jù)本發(fā)明在載板上導(dǎo)接件的側(cè)面形成抗氧化金屬層的制造工藝的一較佳實(shí)施例，移除導(dǎo)接件及抗氧化金屬層下以外的導(dǎo)接金屬層的示意圖。10 載體11焊墊
12 線路13保護(hù)層
13a 開口20導(dǎo)接金屬層
20A:凸塊下金屬層21鈦層
22 銅層30第一光刻膠層
31 第一開口32第二開口
33 第一溝槽40導(dǎo)接件
40a 凸塊40fc！重分布導(dǎo)接墊 40c:重分布線路 41 頂面42 側(cè)面50 第二光刻膠層
51 第三開口52 第四開口
53 第三溝槽60 抗氧化金屬層
61 鎳層62 金層
100基板110 凸塊
111頂面112 側(cè)面
120接合層A 接合界面
具體實(shí)施例方式為更進(jìn)一步闡述本發(fā)明為達(dá)成預(yù)定發(fā)明目的所采取的技術(shù)手段及功效，以下結(jié)合附圖及較佳實(shí)施例，對(duì)依據(jù)本發(fā)明提出的在載板上導(dǎo)接件的側(cè)面形成抗氧化金屬層的制造工藝其具體實(shí)施方式
、制造方法、步驟、特征及其功效，詳細(xì)說明如后。請(qǐng)參閱圖2A至圖2N，其是為一種在載板上導(dǎo)接件的側(cè)面形成抗氧化金屬層的制造工藝示意圖，首先，請(qǐng)參閱圖2A，提供一載體10，該載體是具有多個(gè)焊墊11、多個(gè)線路12及一保護(hù)層13，該保護(hù)層13具有多個(gè)開口 13a，該保護(hù)層13是覆蓋上述線路12，且上述開口 13a是顯露出上述焊墊11，在本實(shí)施例中，該載體10是為晶圓，該保護(hù)層13的材質(zhì)可選自于無機(jī)化合物(如氧硅化合物、氮硅化合物或磷硅玻璃)或有機(jī)化合物(如是聚酰亞胺)。接著，請(qǐng)參閱圖2B，形成一導(dǎo)接金屬層20在該載體10上，該導(dǎo)接金屬層20是覆蓋上述焊墊11及該保護(hù)層13，且該導(dǎo)接金屬層20是與上述焊墊11電性連接，該導(dǎo)接金屬層20是可以濺鍍方法形成于該載體10上，該導(dǎo)接金屬層20可包含有一鈦層21及一銅層22，該鈦層21是位于該載體10與該銅層22之間。之后，請(qǐng)參閱圖2C，形成一第一光刻膠層30在該導(dǎo)接金屬層20上，該第一光刻膠層30是覆蓋該導(dǎo)接金屬層20，該第一光刻膠層30是可選自于正型光刻膠。接著，請(qǐng)參閱圖2D，進(jìn)行圖案化該第一光刻膠層30步驟，其是借此一光罩(圖未繪出)并經(jīng)曝光及顯影等制造工藝，以使該第一光刻膠層30形成有多個(gè)第一開口31、多個(gè)第二開口 32及多個(gè)第一溝槽33，其中上述第一開口 31是位于上述焊墊11上方，且上述第一開口 31、上述第二開口 32及上述第一溝槽33是顯露出該導(dǎo)接金屬層20。之后，請(qǐng)參閱圖2E，在該第一光刻膠層30的各該第一開口 31、各該第二開口 32及各該第一溝槽33中形成一導(dǎo)接件40，在本實(shí)施例中各該導(dǎo)接件40的材質(zhì)是為銅，各該導(dǎo)接件40是電性連接該導(dǎo)接金屬層20，在本實(shí)施例中，形成于各該第一開口 31中的該導(dǎo)接件40是為凸塊40a，形成于各該第二開口 32中的各該導(dǎo)接件40是為重分布導(dǎo)接墊40b，形成于各該第一溝槽33中的各該導(dǎo)接件40是為重分布線路40c，各該導(dǎo)接件是具有一頂面41及一側(cè)面42，各該導(dǎo)接件40 (凸塊40a、重分布導(dǎo)接墊40b及重分布線路40c)是可以電鍍方法形成于各該第一開口 31、各該第二開口 32及各該第一溝槽33。接著，請(qǐng)參閱圖2F，進(jìn)行移除該第一光刻膠層30的步驟，以顯露出各該導(dǎo)接件40 (凸塊40a、重分布導(dǎo)接墊40b及重分布線路40c)的該頂面41及該側(cè)面42。之后，請(qǐng)參閱圖2G及圖2H，形成一第二光刻膠層50在該導(dǎo)接金屬層20上，請(qǐng)參閱圖2G，該第二光刻膠層50的形成方法是可為旋轉(zhuǎn)涂布(SPIN COATING),該第二光刻膠層50是覆蓋各該導(dǎo)接件40，或者，請(qǐng)參閱圖2H，該第二光刻膠層50的形成方法是可為噴霧披覆(SPRAY COATING)，該第二光刻膠層50是覆蓋各該導(dǎo)接件40，該第二光刻膠層50是可選自于正型光刻膠。接著，請(qǐng)參閱圖21及圖2J，進(jìn)行圖案化該第二光刻膠層50步驟，請(qǐng)參閱圖21，其是借此一光罩(圖未繪出)并經(jīng)曝光及顯影等制造工藝，以使該第二光刻膠層50形成有多個(gè)第三開口 51、多個(gè)第四開口 52及多個(gè)第二溝槽53，其中上述第三開口 51是位于上述焊墊11上方，且各該第三開口 51、各該第四開口 52及各該第二溝槽53是顯露出各該導(dǎo)接件40的該頂面41及該側(cè)面42，此外，各該第三開口 51、各該第四開口 52及各該第二溝槽53也顯露出在各該第三開口 51、各該第四開口 52及各該第二溝槽53中的該導(dǎo)接金屬層20，在本實(shí)例該各該第三開口 51是顯露出各該凸塊40a的頂面及側(cè)面，各該第四開口 52是顯露出各該重分布導(dǎo)接墊40b的頂面及側(cè)面，各該第二溝槽53是顯露出各該重分布線路40c的頂面及側(cè)面，或者，請(qǐng)參閱圖2J，各該第三開口 51、各該第四開口 52及各該第二溝槽53是顯露出各該導(dǎo)接件40的該頂面41及該側(cè)面42，且各該第三開口 51、各該第四開口 52及各該第二溝槽53也顯露出在各該第三開口 51、各該第四開口52及各該第二溝槽53中的該導(dǎo)接金屬層20。接著，請(qǐng)參閱圖I及圖2L，在該第二光刻膠層50的各該第三開口 51、各該第四開口 52及各該第二溝槽53中形成一抗氧化金屬層60，該抗氧化金屬層60是包覆各該導(dǎo)接件40的該頂面41及該側(cè)面42，在本實(shí)施例中，該抗氧化金屬層30也覆蓋被各該第三開口 51、各該第四開口 52及各該第二溝槽53顯露的該導(dǎo)接金屬層20，使得該抗氧化金屬層30與在該抗氧化金屬層30下的該導(dǎo)接金屬層20是具有一接合界面A，該抗氧化金屬層60是可以電鍍方法形成于各該導(dǎo)接件40的該頂面41及該側(cè)面42，在本實(shí)施例中，該抗氧化金屬層60是包含有一鎳層61及一金層62，該鎳層61是位于各該導(dǎo)接件40與該金層62之間。之后，請(qǐng)參閱圖2M，進(jìn)行移除該第二光刻膠層步驟，以顯露出該抗氧化金屬層60及該導(dǎo)接金屬層20。最后，請(qǐng)參閱圖2N，以各該導(dǎo)接件40及該抗氧化金屬層60為罩幕，移除各該導(dǎo)接件40及該抗氧化金屬層60下以外的該導(dǎo)接金屬層20，以使上述焊墊11上的該導(dǎo)接金屬層20形成為一凸塊下金屬層20A，在本實(shí)施例中是以蝕刻方法移除該導(dǎo)接金屬層20。本發(fā)明是在該載板10上的上述導(dǎo)接件40的該頂面41及該側(cè)面42形成該抗氧化金屬60，以使上述導(dǎo)接件40具有抗氧化的功效，其是可避免上述導(dǎo)接件40因氧化而體積膨脹，而造成相鄰的導(dǎo)接件40接觸形成短路，且在上述導(dǎo)接件40的該頂面41及該側(cè)面42同時(shí)形成該抗氧化金屬層60，是可避免如現(xiàn)有習(xí)知的技術(shù)所揭露僅在上述導(dǎo)接件的該頂面形成導(dǎo)接層而造成，上述導(dǎo)接件的頂部與側(cè)部材質(zhì)不同，因氧化還原電位差造成電池腐蝕效應(yīng)，此外，本發(fā)明在上述導(dǎo)接件40的該頂面41及該側(cè)面42同時(shí)形成該抗氧化金屬層60是可在薄化該載板10 (如晶圓)時(shí)，避免該載板10產(chǎn)生翹曲，而影響后續(xù)測(cè)試及切割等制造工藝ο此外在形成該抗氧化金屬層60的步驟中，由于該抗氧化金屬層30是包覆該各該導(dǎo)接件40的該頂面41、該側(cè)面42及覆蓋該抗氧化金屬層60下的該導(dǎo)接金屬層20，因此使得該抗氧化金屬層30與該抗氧化金屬層60下的該導(dǎo)接金屬層20具有該接合界面A，而該接合界面A是使得水氣無法滲透入各該導(dǎo)接件40，以避免各該導(dǎo)接件40與該抗氧化金屬層60間產(chǎn)生氧化。以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并非對(duì)本發(fā)明作任何形式上的限制，雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭露如上，然而并非用以限定本發(fā)明，任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍內(nèi)，當(dāng)可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容作出些許更動(dòng)或修飾為等同變化的等效實(shí)施例，但凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
1權(quán)利要求
1.一種在載板上導(dǎo)接件的側(cè)面形成抗氧化金屬層的制造工藝，其特征在于其包括以下步驟提供一載體，該載體是具有多個(gè)焊墊及一保護(hù)層，該保護(hù)層具有多個(gè)開口，且上述開口是顯露出上述焊墊；形成一導(dǎo)接金屬層在該載體上，該導(dǎo)接金屬層是覆蓋上述焊墊及該保護(hù)層，且該導(dǎo)接金屬層是與上述焊墊電性連接；形成一第一光刻膠層在該導(dǎo)接金屬層上，該第一光刻膠層是覆蓋該導(dǎo)接金屬層；圖案化該第一光刻膠層，以使該第一光刻膠層形成有多個(gè)第一開口、多個(gè)第二開口及多個(gè)第一溝槽，其中上述第一開口是位于上述焊墊上方，且上述第一開口、上述第二開口及上述第一溝槽是顯露出該導(dǎo)接金屬層；在該第一光刻膠層的各該第一開口、各該第二開口及各該第一溝槽中形成一導(dǎo)接件，各該導(dǎo)接件是具有一頂面及一側(cè)面，且各該導(dǎo)接件是電性連接該導(dǎo)接金屬層；移除該第一光刻膠層，以顯露出各該導(dǎo)接件的該頂面及該側(cè)面；形成一第二光刻膠層在該導(dǎo)接金屬層上，該第二光刻膠層是覆蓋各該導(dǎo)接件；圖案化該第二光刻膠層，以使該第二光刻膠層形成有多個(gè)第三開口、多個(gè)第四開口及多個(gè)第二溝槽，其中上述第三開口是位于上述焊墊上方，且各該第三開口、各該第四開口及各該第二溝槽是顯露出各該導(dǎo)接件的該頂面及該側(cè)面；在該第二光刻膠層的各該第三開口、各該第四開口及各該第二溝槽形成一抗氧化金屬層，該抗氧化金屬層是包覆各該導(dǎo)接件的該頂面及該側(cè)面；移除該第二光刻膠層，以顯露出該抗氧化金屬層及該導(dǎo)接金屬層；以及以各該導(dǎo)接件及該抗氧化金屬層為罩幕，移除各該導(dǎo)接件及該抗氧化金屬層下以外的該導(dǎo)接金屬層。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的在載板上導(dǎo)接件的側(cè)面形成抗氧化金屬層的制造工藝，其特征在于其在形成各該導(dǎo)接件的步驟中，形成于各該第一開口中的各該導(dǎo)接件是為凸塊，形成于在各該第二開口中的各該導(dǎo)接件是為重分布導(dǎo)接墊，形成于各該第一溝槽中的各該導(dǎo)接件是為重分布線路。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的在載板上導(dǎo)接件的側(cè)面形成抗氧化金屬層的制造工藝，其特征在于其在圖案化該第二光刻膠層步驟中，各該第三開口、各該第四開口及各該第二溝槽是顯露該導(dǎo)接金屬層。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的在載板上導(dǎo)接件的側(cè)面形成抗氧化金屬層的制造工藝，其特征在于其在形成該抗氧化金屬層步驟中，該抗氧化金屬層是覆蓋被各該第三開口、各該第四開口及各該第二溝槽顯露的該導(dǎo)接金屬層。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的在載板上導(dǎo)接件的側(cè)面形成抗氧化金屬層的制造工藝，其特征在于其在形成該抗氧化金屬層的步驟中，該抗氧化金屬層與該抗氧化金屬層下的該導(dǎo)接金屬層是具有一接合界面。
6.一種在載板上導(dǎo)接件的側(cè)面形成抗氧化金屬層的制造工藝，其特征在于其包括以下步驟提供一載體，該載體是具有多個(gè)焊墊及一保護(hù)層；形成一導(dǎo)接金屬層在該載體上，該導(dǎo)接金屬層是覆蓋上述焊墊及該保護(hù)層，且該導(dǎo)接金屬層是與上述焊墊電性連接；形成一第一光刻膠層在該導(dǎo)接金屬層上，該第一光刻膠層是覆蓋該導(dǎo)接金屬層；圖案化該第一光刻膠層，以使該第一光刻膠層形成有多個(gè)開口，上述開口是位于上述焊墊上方，且上述開口是顯露出該導(dǎo)接金屬層；在該第一光刻膠層的各該開口中形成一導(dǎo)接件，各該導(dǎo)接件是具有一頂面及一側(cè)面，且各該導(dǎo)接件是電性連接該導(dǎo)接金屬層；移除該第一光刻膠層，以顯露出各該導(dǎo)接件的該頂面及該側(cè)面；形成一第二光刻膠層在該導(dǎo)接金屬層上，該第二光刻膠層是覆蓋各該導(dǎo)接件；圖案化該第二光刻膠層，以使該第二光刻膠層形成有多個(gè)開口，上述開口是位于上述焊墊上方，且各該開口是顯露出各該導(dǎo)接件的該頂面及該側(cè)面；在該第二光刻膠層的該開口形成一抗氧化金屬層，該抗氧化金屬層是包覆各該導(dǎo)接件的該頂面及該側(cè)面；移除該第二光刻膠層，以顯露出該抗氧化金屬層及該導(dǎo)接金屬層；以及以各該導(dǎo)接件及該抗氧化金屬層為罩幕，移除各該導(dǎo)接件及該抗氧化金屬層下以外的該導(dǎo)接金屬層。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的在載板上導(dǎo)接件的側(cè)面形成抗氧化金屬層的制造工藝，其特征在于其在圖案化該第二光刻膠層步驟中，各該開口是顯露該導(dǎo)接金屬層。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的在載板上導(dǎo)接件的側(cè)面形成抗氧化金屬層的制造工藝，其特征在于其在形成該抗氧化金屬層步驟中，該抗氧化金屬層是覆蓋被各該開口顯露的該導(dǎo)接 金屬層 ο
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的在載板上導(dǎo)接件的側(cè)面形成抗氧化金屬層的制造工藝，其特征在于其在形成該抗氧化金屬層的步驟中，該抗氧化金屬層與該抗氧化金屬層下的該導(dǎo)接金屬層是具有一接合界面。
10.一種在載板上導(dǎo)接件的側(cè)面形成抗氧化金屬層的制造工藝，其特征在于其包括以下步驟提供一載體，該載體是具有多個(gè)焊墊及一保護(hù)層；形成一導(dǎo)接金屬層在該載體上，該導(dǎo)接金屬層是覆蓋該保護(hù)層；形成一第一光刻膠層在該導(dǎo)接金屬層上，該第一光刻膠層是覆蓋該導(dǎo)接金屬層；圖案化該第一光刻膠層，以使該第一光刻膠層形成有多個(gè)開口及多個(gè)溝槽，且上述開口及上述溝槽是顯露出該導(dǎo)接金屬層；在該第一光刻膠層的各該開口及各該溝槽中形成一導(dǎo)接件，各該導(dǎo)接件是具有一頂面及一側(cè)面，且各該導(dǎo)接件是電性連接該導(dǎo)接金屬層；移除該第一光刻膠層，以顯露出各該導(dǎo)接件的該頂面及該側(cè)面；形成一第二光刻膠層在各該導(dǎo)接件上，該第二光刻膠層是覆蓋各該導(dǎo)接件；圖案化該第二光刻膠層，以使該第二光刻膠層形成有多個(gè)開口及多個(gè)溝槽，且各該開口及各該溝槽是顯露出各該導(dǎo)接件的該頂面及該側(cè)面；在該第二光刻膠層的各該開口及各該溝槽形成一抗氧化金屬層，該抗氧化金屬層是包覆各該導(dǎo)接件的該頂面及該側(cè)面；移除該第二光刻膠層，以顯露出該抗氧化金屬層及該導(dǎo)接金屬層；以及以各該導(dǎo)接件及該抗氧化金屬層為罩幕，移除各該導(dǎo)接件及該抗氧化金屬層下以外的該導(dǎo)接金屬層。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的在載板上導(dǎo)接件的側(cè)面形成抗氧化金屬層的制造工藝，其特征在于其在圖案化該第二光刻膠層步驟中，各該開口及各該溝槽是顯露該導(dǎo)接金屬層。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的在載板上導(dǎo)接件的側(cè)面形成抗氧化金屬層的制造工藝，其特征在于其在形成該抗氧化金屬層步驟中，該抗氧化金屬層是覆蓋被各該開口及各該溝槽顯露的該導(dǎo)接金屬層。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的在載板上導(dǎo)接件的側(cè)面形成抗氧化金屬層的制造工藝，其特征在于其在形成該抗氧化金屬層的步驟中，該抗氧化金屬層與該抗氧化金屬層下的該導(dǎo)接金屬層是具有一接合界面。
全文摘要
一種在載板上導(dǎo)接件的側(cè)面形成抗氧化金屬層的制造工藝，其包含一載體，其具有多個(gè)焊墊及保護(hù)層；形成導(dǎo)接金屬層在該載體上；形成第一光刻膠層在導(dǎo)接金屬層上；圖案化第一光刻膠層，使第一光刻膠層形成多個(gè)開口；在各開口中形成導(dǎo)接件，各導(dǎo)接件具有一頂面及一側(cè)面；移除第一光刻膠層，以顯露出各導(dǎo)接件的頂面及側(cè)面；形成第二光刻膠層在該導(dǎo)接金屬層上，第二光刻膠層覆蓋各導(dǎo)接件；圖案化第二光刻膠層，使第二光刻膠層形成多個(gè)開口，各開口顯露出各導(dǎo)接件的頂面及側(cè)面；在各開口形成抗氧化金屬層，其包覆各導(dǎo)接件的頂面及側(cè)面；移除第二光刻膠層，以顯露抗氧化金屬層及導(dǎo)接金屬層；最后移除各導(dǎo)接件及抗氧化金屬層下以外的導(dǎo)接金屬層。
文檔編號(hào)H01L21/60GK102593017SQ201110009700
公開日2012年7月18日 申請(qǐng)日期2011年1月12日 優(yōu)先權(quán)日2011年1月12日
發(fā)明者何榮華, 施政宏, 邱奕釧, 郭志明 申請(qǐng)人:頎邦科技股份有限公司