專利名稱：開(kāi)關(guān)系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及集成電路工藝裝置，特別涉及一種開(kāi)關(guān)系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體晶圓對(duì)于污染十分敏感，因?yàn)槲廴疚锿鶗?huì)造成晶圓的缺陷，從而降低產(chǎn) 品合格率，提高制造成本。因此，半導(dǎo)體制造工藝中，對(duì)于生產(chǎn)廠區(qū)有嚴(yán)格的潔凈度要求。 但，即便如此，由于潔凈室內(nèi)外空氣、生產(chǎn)工藝、工藝設(shè)備以及化學(xué)品供應(yīng)管道的散發(fā)，生產(chǎn) 區(qū)域和化學(xué)品存放區(qū)域的交叉污染，廠房及建筑材料的揮發(fā)，化學(xué)品的事故濺出，潔凈室內(nèi) 工作人員產(chǎn)生的污染，這些因素都會(huì)增加潔凈室內(nèi)總體的氣體分子污染程度。為此，在半導(dǎo) 體制造過(guò)程中，在向各種處理裝置、檢查裝置等搬送晶圓時(shí)，為了減少對(duì)晶圓的污染，通常 將待搬送晶圓置于前開(kāi)式晶圓盒(Front Open Unit Pod，F(xiàn)0UP)中，通過(guò)搬送前開(kāi)式晶圓盒 來(lái)達(dá)到搬送晶圓的目的。前開(kāi)式晶圓盒作為一種搬送晶圓的裝置，是一個(gè)密閉型的容器，通過(guò)一扇前開(kāi)式 晶圓盒的門(mén)的開(kāi)啟與關(guān)閉來(lái)取放晶圓。通常前開(kāi)式晶圓盒的門(mén)的開(kāi)啟與關(guān)閉通過(guò)人工用鑰 匙來(lái)完成，前開(kāi)式晶圓盒的門(mén)開(kāi)啟后與整個(gè)前開(kāi)式晶圓盒分離，分離后的前開(kāi)式晶圓盒的 門(mén)往往被直接放置在某個(gè)工作臺(tái)上。請(qǐng)參考圖Ia至圖ld，其中，圖Ia是前開(kāi)式晶圓盒的門(mén)開(kāi)啟但未被取下?tīng)顟B(tài)的前開(kāi) 式晶圓盒的示意圖，圖Ib是前開(kāi)式晶圓盒的門(mén)關(guān)閉狀態(tài)的前開(kāi)式晶圓盒的示意圖，圖Ic是 從前開(kāi)式晶圓盒上取下的前開(kāi)式晶圓盒的門(mén)的示意圖，圖Id是開(kāi)啟前開(kāi)式晶圓盒的門(mén)的 鑰匙的示意圖。如圖Ia Id所示，在實(shí)際使用過(guò)程中，操作人員通過(guò)鑰匙4將前開(kāi)式晶圓盒1的 門(mén)2打開(kāi)，打開(kāi)后的前開(kāi)式晶圓盒1的門(mén)2可放置于某個(gè)工作臺(tái)上。由于前開(kāi)式晶圓盒1的 門(mén)2的開(kāi)啟與關(guān)閉都是通過(guò)人工來(lái)完成的，由于人工操作的誤差，往往會(huì)導(dǎo)致在開(kāi)啟與關(guān) 閉前開(kāi)式晶圓盒1的門(mén)2的過(guò)程中，使得前開(kāi)式晶圓盒1的門(mén)2與前開(kāi)式晶圓盒1的門(mén)沿3 產(chǎn)生一定的摩擦，由此會(huì)產(chǎn)生一些碎屑，這些碎屑將導(dǎo)致前開(kāi)式晶圓盒內(nèi)的晶圓遭受污染。 此外，前開(kāi)式晶圓盒1的門(mén)2開(kāi)啟后與整個(gè)前開(kāi)式晶圓盒1分離，分離后的前開(kāi)式晶圓盒1 的門(mén)2往往被直接放置在某個(gè)工作臺(tái)上，在這個(gè)過(guò)程中，將導(dǎo)致前開(kāi)式晶圓盒1的門(mén)2的磨 損或者刮傷。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種開(kāi)關(guān)系統(tǒng)，用于開(kāi)啟與關(guān)閉前開(kāi)式晶圓盒的門(mén)， 以解決現(xiàn)有通過(guò)人工開(kāi)啟與關(guān)閉前開(kāi)式晶圓盒的門(mén)，所帶來(lái)的前開(kāi)式晶圓盒的門(mén)與前開(kāi)式 晶圓盒的門(mén)沿摩擦產(chǎn)生碎屑，從而污染前開(kāi)式晶圓盒內(nèi)的晶圓以及前開(kāi)式晶圓盒的門(mén)發(fā)生 磨損的問(wèn)題。為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種開(kāi)關(guān)系統(tǒng)，用以開(kāi)啟與關(guān)閉前開(kāi)式晶 圓盒的門(mén)，包括控制器、承載臺(tái)、傳送裝置、以及開(kāi)關(guān)裝置；其中，所述承載臺(tái)用以承載前開(kāi)式晶圓盒；所述開(kāi)關(guān)裝置固定于所述傳送裝置上，所述開(kāi)關(guān)裝置包括用于開(kāi)啟與關(guān)閉門(mén) 的鑰匙裝置、用于吸附門(mén)的吸附裝置、以及用于控制所述鑰匙裝置及吸附裝置動(dòng)作的開(kāi)關(guān) 裝置馬達(dá)；所述控制器控制所述承載臺(tái)及傳送裝置的動(dòng)作?？蛇x的，所述開(kāi)關(guān)系統(tǒng)還包括開(kāi)關(guān)按鈕，所述開(kāi)關(guān)按鈕設(shè)置于所述控制器上，以啟 動(dòng)所述控制器?？蛇x的，所述開(kāi)關(guān)系統(tǒng)還包括承載臺(tái)馬達(dá)，所述控制器通過(guò)所述承載臺(tái)馬達(dá)與所 述承載臺(tái)連接，以控制所述承載臺(tái)的水平轉(zhuǎn)動(dòng)。可選的，所述開(kāi)關(guān)系統(tǒng)還包括傳送裝置馬達(dá)，所述控制器通過(guò)所述傳送裝置馬達(dá) 與所述傳送裝置連接，以控制所述傳送裝置的傳送或停止?？蛇x的，所述傳送裝置包括傳送帶與傳送導(dǎo)軌，所述開(kāi)關(guān)裝置固定在所述傳送帶 上，并沿著所述傳送導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)?？蛇x的，所述開(kāi)關(guān)系統(tǒng)還包括第一傳感器，所述第一傳感器設(shè)置于所述傳送導(dǎo)軌 的兩端，用于偵測(cè)所述開(kāi)關(guān)裝置的位置?？蛇x的，所述開(kāi)關(guān)系統(tǒng)還包括位置參考裝置，所述位置參考裝置設(shè)置于所述承載 臺(tái)上，用以確定承載所述前開(kāi)式晶圓盒的位置?？蛇x的，所述前開(kāi)式晶圓盒的底部設(shè)置有凹陷，所述位置參考裝置包括凸起，所述 凸起與所述凹陷配合。可選的，所述凸起的數(shù)量為三個(gè)。可選的，所述開(kāi)關(guān)系統(tǒng)還包括第二傳感器，所述第二傳感器設(shè)置于所述承載臺(tái)上， 用于偵測(cè)所述前開(kāi)式晶圓盒底部的凹陷與承載臺(tái)上的凸起是否吻合?？蛇x的，所述位置參考裝置還包括凸起條，所述凸起條設(shè)置于所述承載臺(tái)的邊緣 位置?？蛇x的，所述凸起條的數(shù)量為四條，其分別設(shè)置于所述承載臺(tái)的四側(cè)邊緣。可選的，所述吸附裝置為真空吸盤(pán)。本實(shí)用新型提供一種開(kāi)關(guān)系統(tǒng)，所述開(kāi)關(guān)系統(tǒng)通過(guò)控制器控制傳送裝置的動(dòng)作， 從而帶動(dòng)固定于所述傳送裝置上的開(kāi)關(guān)裝置，精確控制開(kāi)關(guān)裝置的動(dòng)作，從而開(kāi)啟或者關(guān) 閉前開(kāi)式晶圓盒的門(mén)。與現(xiàn)有通過(guò)人工方式開(kāi)啟或者關(guān)閉前開(kāi)式晶圓盒的門(mén)相比，本實(shí)用 新型提供的開(kāi)關(guān)系統(tǒng)，通過(guò)精確控制開(kāi)關(guān)裝置的動(dòng)作，在開(kāi)啟或者關(guān)閉前開(kāi)式晶圓盒的門(mén) 的過(guò)程中，不會(huì)使得前開(kāi)式晶圓盒的門(mén)與前開(kāi)式晶圓盒的門(mén)沿產(chǎn)生摩擦，使得置于前開(kāi)式 晶圓盒內(nèi)的晶圓不受污染，降低了制造成本。此外，打開(kāi)前開(kāi)式晶圓盒的門(mén)后，與前開(kāi)式晶 圓盒脫離的前開(kāi)式晶圓盒的門(mén)可通過(guò)開(kāi)關(guān)系統(tǒng)的吸附裝置吸附住，由此，前開(kāi)式晶圓盒的 門(mén)是一種懸空的狀態(tài)，避免了其放置于某個(gè)工作臺(tái)上而產(chǎn)生的磨損或者刮傷。開(kāi)關(guān)系統(tǒng)將 操作人員從繁重的開(kāi)啟與關(guān)閉前開(kāi)式晶圓盒的門(mén)中解放出來(lái)，降低了人力成本，提高了生 產(chǎn)效率。

圖Ia是前開(kāi)式晶圓盒的門(mén)開(kāi)啟但未被取下?tīng)顟B(tài)的前開(kāi)式晶圓盒的示意圖；圖Ib是前開(kāi)式晶圓盒的門(mén)關(guān)閉狀態(tài)的前開(kāi)式晶圓盒的示意圖；圖Ic是與前開(kāi)式晶圓盒分離的前開(kāi)式晶圓盒的門(mén)的示意圖；[0024]圖Id是開(kāi)啟前開(kāi)式晶圓盒的門(mén)的鑰匙的示意圖；圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例的開(kāi)關(guān)系統(tǒng)的側(cè)視圖；圖3是利用本實(shí)用新型實(shí)施例的開(kāi)關(guān)系統(tǒng)開(kāi)啟或關(guān)閉前開(kāi)式晶圓盒的門(mén)的狀態(tài) 之一的俯視圖；圖4是利用本實(shí)用新型實(shí)施例的開(kāi)關(guān)系統(tǒng)開(kāi)啟或關(guān)閉前開(kāi)式晶圓盒的門(mén)的狀態(tài) 之二的俯視圖；圖5是本實(shí)用新型實(shí)施例的開(kāi)關(guān)裝置的后視圖；圖6a是本實(shí)用新型實(shí)施例的開(kāi)關(guān)裝置開(kāi)啟前開(kāi)式晶圓盒的門(mén)前的側(cè)視圖；圖6b是本實(shí)用新型實(shí)施例的開(kāi)關(guān)裝置開(kāi)啟前開(kāi)式晶圓盒的門(mén)后的側(cè)視具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明提出的開(kāi)關(guān)系統(tǒng)作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。根據(jù)下 面說(shuō)明和權(quán)利要求書(shū)，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說(shuō)明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的 形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例的目的。請(qǐng)參考圖2，其為本實(shí)用新型實(shí)施例的開(kāi)關(guān)系統(tǒng)的側(cè)視圖。如圖2所示，本實(shí)用新 型實(shí)施例提供的開(kāi)關(guān)系統(tǒng)用于開(kāi)啟與關(guān)閉前開(kāi)式晶圓盒30的門(mén)20，所述開(kāi)關(guān)系統(tǒng)包括控 制器10、承載臺(tái)11、傳送裝置12、開(kāi)關(guān)裝置13 ；其中，所述承載臺(tái)11用以承載前開(kāi)式晶圓盒 (Front Open Unit Pod，F(xiàn)OUP) 30 ；所述開(kāi)關(guān)裝置13固定于所述傳送裝置12上，所述開(kāi)關(guān)裝 置13包括用于開(kāi)啟與關(guān)閉門(mén)20的鑰匙裝置132、用于吸附門(mén)20的吸附裝置131、以及用于 控制所述鑰匙裝置132及吸附裝置131動(dòng)作的開(kāi)關(guān)裝置馬達(dá)(圖2中未示出)；所述控制器 10控制所述承載臺(tái)11及所述傳送裝置12的動(dòng)作。本開(kāi)關(guān)系統(tǒng)通過(guò)精確控制開(kāi)關(guān)裝置13 的動(dòng)作，在開(kāi)啟或者關(guān)閉前開(kāi)式晶圓盒30的門(mén)20的過(guò)程中，不會(huì)使得前開(kāi)式晶圓盒30的 門(mén)20與前開(kāi)式晶圓盒30的門(mén)沿產(chǎn)生摩擦，使得置于前開(kāi)式晶圓盒30內(nèi)的晶圓不受污染， 降低了制造成本。此外，打開(kāi)前開(kāi)式晶圓盒30的門(mén)20后，與前開(kāi)式晶圓盒30脫離的前開(kāi) 式晶圓盒30的門(mén)20可通過(guò)開(kāi)關(guān)系統(tǒng)的吸附裝置131吸附住，由此，前開(kāi)式晶圓盒30的門(mén) 20是一種懸空的狀態(tài)，避免了其放置于某個(gè)工作臺(tái)上而產(chǎn)生的磨損或者刮傷。開(kāi)關(guān)系統(tǒng)也 將操作人員從繁重的開(kāi)啟與關(guān)閉前開(kāi)式晶圓盒30的門(mén)20中解放出來(lái)，降低了人力成本，提 高了生產(chǎn)效率。通過(guò)本實(shí)用新型實(shí)施例提供的開(kāi)關(guān)系統(tǒng)，開(kāi)啟或者關(guān)閉前開(kāi)式晶圓盒30的門(mén)20 的具體過(guò)程如下首先，將前開(kāi)式晶圓盒30置于承載臺(tái)11上。請(qǐng)參考圖3，其為利用本實(shí)用新型實(shí) 施例的開(kāi)關(guān)系統(tǒng)開(kāi)啟或關(guān)閉前開(kāi)式晶圓盒的門(mén)的狀態(tài)之一的俯視圖。如圖3所示，將前開(kāi) 式晶圓盒30置于承載臺(tái)11上時(shí)，前開(kāi)式晶圓盒30的門(mén)20可不正對(duì)著開(kāi)關(guān)裝置13，可通過(guò) 控制器10(圖3中未示出)控制承載臺(tái)11旋轉(zhuǎn)一定角度，再使得前開(kāi)式晶圓盒30的門(mén)20 正對(duì)著開(kāi)關(guān)裝置13。如圖2所示，在本實(shí)施例中，所述開(kāi)關(guān)系統(tǒng)還包括開(kāi)關(guān)按鈕(圖2中未示出)，所述 開(kāi)關(guān)按鈕設(shè)置于所述控制器10上，以啟動(dòng)所述控制器10。在將前開(kāi)式晶圓盒30置于承載 臺(tái)11上以后，可按下控制器10上設(shè)置的開(kāi)按鈕，由此，即啟動(dòng)了一個(gè)開(kāi)啟前開(kāi)式晶圓盒30 的門(mén)20的過(guò)程。通過(guò)控制器10上設(shè)置的開(kāi)關(guān)按鈕可方便的啟動(dòng)一個(gè)開(kāi)啟或關(guān)閉前開(kāi)式晶圓盒30的門(mén)20的過(guò)程。請(qǐng)繼續(xù)參考圖2，在本實(shí)施例中，所述開(kāi)關(guān)系統(tǒng)還包括承載臺(tái)馬達(dá)101，所述控制 器10可通過(guò)所述承載臺(tái)馬達(dá)101與所述承載臺(tái)11連接，以控制所述承載臺(tái)11的水平轉(zhuǎn)動(dòng)。 通過(guò)所述承載臺(tái)馬達(dá)101控制所述承載臺(tái)11的水平轉(zhuǎn)動(dòng)，可方便工作人員取放前開(kāi)式晶圓 盒30內(nèi)的晶圓。如圖2和圖3所示，可通過(guò)承載臺(tái)馬達(dá)101使承載臺(tái)11順時(shí)針旋轉(zhuǎn)90度，便可使 得前開(kāi)式晶圓盒30的門(mén)20正對(duì)著開(kāi)關(guān)裝置13。進(jìn)一步的，在本實(shí)用新型的其它實(shí)施例中， 也可在放置前開(kāi)式晶圓盒30的時(shí)候，直接使得前開(kāi)式晶圓盒30的門(mén)20正對(duì)著開(kāi)關(guān)裝置 13 ；或者在放置前開(kāi)式晶圓盒30的時(shí)候，前開(kāi)式晶圓盒30的門(mén)20不正對(duì)著開(kāi)關(guān)裝置13， 通過(guò)控制器10控制承載臺(tái)馬達(dá)101使得承載臺(tái)11順時(shí)針或者逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)一定角度后，使 前開(kāi)式晶圓盒30的門(mén)20正對(duì)著開(kāi)關(guān)裝置13。請(qǐng)繼續(xù)參考圖2和圖3所示，為使得前開(kāi)式晶圓盒30放置于承載臺(tái)11的位置為 一個(gè)預(yù)設(shè)的位置，以使鑰匙裝置132可對(duì)準(zhǔn)前開(kāi)式晶圓盒30的門(mén)20的鎖(圖中未示出) 位置，以方便地開(kāi)啟前開(kāi)式晶圓盒30的門(mén)20，可在承載臺(tái)11上設(shè)置位置參考裝置，通過(guò)所 述位置參考裝置，可方便而精確地將前開(kāi)式晶圓盒30置于承載臺(tái)11的一個(gè)預(yù)設(shè)位置。在 本實(shí)施例中，所述位置參考裝置可包括與前開(kāi)式晶圓盒30底部的凹陷配合的凸起111，通 過(guò)將前開(kāi)式晶圓盒30置于承載臺(tái)11上時(shí)，所述前開(kāi)式晶圓盒30底部的凹陷與承載臺(tái)11 上的凸起111配合，從而使得前開(kāi)式晶圓盒30置于承載臺(tái)11的一個(gè)預(yù)設(shè)位置。現(xiàn)有的前 開(kāi)式晶圓盒30的底部有三個(gè)凹陷，為了與所述三個(gè)凹陷配合，可在承載臺(tái)11上設(shè)置三個(gè)凸 起111。所述三個(gè)凸起111之間的距離與角度與所述三個(gè)凹陷間的距離與角度相吻合。為 了更精確起見(jiàn)，可在承載臺(tái)11上設(shè)置更多個(gè)凸起111，但此時(shí)需對(duì)前開(kāi)式晶圓盒30的底部 做出修改，以使得前開(kāi)式晶圓盒30的底部具有與所述承載臺(tái)上的凸起111的數(shù)量、所述凸 起111間距離及角度配合的凹陷。如圖3所示，進(jìn)一步的，可在承載臺(tái)11上設(shè)置第二傳感器112，用于偵測(cè)所述前開(kāi) 式晶圓盒30底部的凹陷與承載臺(tái)11上的凸起111是否吻合。如果所述前開(kāi)式晶圓盒30 底部的凹陷與所述凸起111不吻合，則所述前開(kāi)式晶圓盒30與承載臺(tái)11之間會(huì)留有一定 的空隙，不會(huì)壓到所述第二傳感器112，則所述第二傳感器112將不會(huì)發(fā)出任何信號(hào)。所述 第二傳感器112可與控制器10連接，當(dāng)所述第二傳感器112未發(fā)出任何信號(hào)的時(shí)候，將不 能按下所述控制器10上的開(kāi)按鈕，由此，可防止誤操作。通過(guò)所述第二傳感器112也可將 開(kāi)關(guān)系統(tǒng)變成一個(gè)全自動(dòng)的開(kāi)關(guān)系統(tǒng)，即當(dāng)所述第二傳感器112被前開(kāi)式晶圓盒30壓到以 后，發(fā)出一個(gè)控制信號(hào)，啟動(dòng)控制器10，由此，便不需要任何人工操作，便可啟動(dòng)開(kāi)關(guān)系統(tǒng)， 完成對(duì)前開(kāi)式晶圓盒30的門(mén)20的開(kāi)啟或關(guān)閉。請(qǐng)繼續(xù)參考圖3，進(jìn)一步的，可在承載臺(tái)11的邊緣位置設(shè)置凸起條113，用于放置 前開(kāi)式晶圓盒30時(shí)做位置參考，在放置前開(kāi)式晶圓盒30時(shí)，可將前開(kāi)式晶圓盒30的底邊 貼緊所述凸起條113。所述凸起條113可分別在承載臺(tái)11的四個(gè)邊緣各設(shè)置一條。所述凸 起條113除了在放置前開(kāi)式晶圓盒30時(shí)做位置參考用，也可防止承載臺(tái)11在水平轉(zhuǎn)動(dòng)的 過(guò)程中，前開(kāi)式晶圓盒30由于轉(zhuǎn)動(dòng)慣性而發(fā)生位置偏移。請(qǐng)參考圖4，其為利用本實(shí)用新型實(shí)施例的開(kāi)關(guān)系統(tǒng)開(kāi)啟或關(guān)閉前開(kāi)式晶圓盒的 門(mén)的狀態(tài)之二的俯視圖。通過(guò)承載臺(tái)11的水平轉(zhuǎn)動(dòng)使前開(kāi)式晶圓盒30的門(mén)20正對(duì)著開(kāi)關(guān)裝置13 ；或者，在初始放置時(shí)，即使前開(kāi)式晶圓盒30的門(mén)20正對(duì)著開(kāi)關(guān)裝置13。請(qǐng)同時(shí)參考圖2、圖3及圖4，開(kāi)關(guān)裝置13通過(guò)傳送裝置12，由一個(gè)距離承載臺(tái)11 比較遠(yuǎn)的位置，靠近承載臺(tái)11，并到達(dá)開(kāi)關(guān)裝置13可進(jìn)行開(kāi)啟或關(guān)閉前開(kāi)式晶圓盒30的門(mén) 20的位置，如圖4所示，即為開(kāi)關(guān)裝置13到達(dá)該開(kāi)啟或關(guān)閉前開(kāi)式晶圓盒30的門(mén)20的位 置。所述開(kāi)關(guān)系統(tǒng)還可包括傳送裝置馬達(dá)102，所述傳送裝置12可通過(guò)所述傳送裝置馬達(dá) 102與控制器10連接，所述控制器10通過(guò)所述傳送裝置馬達(dá)102控制所述傳送裝置12的 傳送或停止。所述傳送裝置12可包括傳送帶123以及傳送導(dǎo)軌122，所述開(kāi)關(guān)裝置13固定 在所述傳送帶123上，并沿著所述傳送導(dǎo)軌122運(yùn)動(dòng)。所述傳送帶123起傳動(dòng)的作用，而所 述導(dǎo)軌122可使得開(kāi)關(guān)裝置13保持一個(gè)豎直的位置。結(jié)合圖2和圖3所示，在本實(shí)施例中，所述開(kāi)關(guān)系統(tǒng)還包括第一傳感器121，所述第 一傳感器121設(shè)置于所述傳送導(dǎo)軌122的兩端，用于偵測(cè)所述開(kāi)關(guān)裝置13的位置。通過(guò)設(shè) 置所述第一傳感器121，可保證開(kāi)關(guān)裝置13在傳送裝置12上所停的位置為預(yù)設(shè)位置。當(dāng)傳 送帶123將開(kāi)關(guān)裝置13運(yùn)送到碰到第一傳感器121的位置時(shí)，所述第一傳感器121發(fā)出一 個(gè)控制信號(hào)，從而使得傳送帶123停止運(yùn)動(dòng)。當(dāng)然，所述開(kāi)關(guān)裝置13的運(yùn)動(dòng)步進(jìn)也可通過(guò) 在控制器10中預(yù)設(shè)一定距離的步進(jìn)來(lái)實(shí)現(xiàn)所述開(kāi)關(guān)裝置13停于預(yù)設(shè)位置。請(qǐng)參考圖5，其為本實(shí)用新型實(shí)施例的開(kāi)關(guān)裝置的后視圖。開(kāi)關(guān)裝置13包括吸 附裝置131、鑰匙裝置132、開(kāi)關(guān)裝置馬達(dá)133，通過(guò)所述開(kāi)關(guān)裝置馬達(dá)133轉(zhuǎn)動(dòng)一定角度，帶 動(dòng)吸附裝置131及鑰匙裝置132的轉(zhuǎn)動(dòng)。從而，所述鑰匙裝置132可將前開(kāi)式晶圓盒30的 門(mén)20打開(kāi)，吸附裝置131可將打開(kāi)后的前開(kāi)式晶圓盒30的門(mén)20吸附住。由此，前開(kāi)式晶 圓盒30的門(mén)20是一種懸空的狀態(tài)，避免了其放置于某個(gè)工作臺(tái)上而產(chǎn)生的磨損或者刮傷。 進(jìn)一步的，所述吸附裝置131可以是真空吸盤(pán)，可以在開(kāi)關(guān)裝置13上設(shè)置多個(gè)所述真空吸
ο在完成上述將前開(kāi)式晶圓盒30的門(mén)20開(kāi)啟后，所述傳動(dòng)裝置12將帶動(dòng)開(kāi)關(guān)裝置 13遠(yuǎn)離承載臺(tái)11，回到開(kāi)關(guān)裝置13的初始位置，此時(shí)，控制器10控制承載臺(tái)11轉(zhuǎn)動(dòng)一定 角度，所述角度可為順時(shí)針或逆時(shí)針大于90度，小于270度的任意角度?？蛇x取逆時(shí)針轉(zhuǎn) 動(dòng)90度，在承載臺(tái)11逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)90度后，前開(kāi)式晶圓盒30的門(mén)20不再面對(duì)開(kāi)關(guān)裝置13， 由此可方便工作人員取放前開(kāi)式晶圓盒30內(nèi)的晶圓。在完成取放前開(kāi)式晶圓盒30內(nèi)的晶 圓后，工作人員可按下控制器10上的關(guān)按鈕，由此開(kāi)啟一個(gè)關(guān)閉前開(kāi)式晶圓盒30的門(mén)20 的過(guò)程。在全自動(dòng)開(kāi)關(guān)系統(tǒng)中，也可通過(guò)設(shè)置一定的時(shí)間間隔后，控制器10自動(dòng)開(kāi)啟一個(gè) 關(guān)閉前開(kāi)式晶圓盒30的門(mén)20的過(guò)程。關(guān)閉前開(kāi)式晶圓盒30的門(mén)20的過(guò)程與開(kāi)啟前開(kāi)式晶圓盒30的門(mén)20的過(guò)程相似， 只是所述開(kāi)關(guān)裝置馬達(dá)133轉(zhuǎn)動(dòng)的角度與開(kāi)啟前開(kāi)式晶圓盒30的門(mén)20時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)的角度大小 相等、方向相反，在此不再贅述。上述描述僅是對(duì)本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的描述，并非對(duì)本實(shí)用新型范圍的任何限 定，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員根據(jù)上述揭示內(nèi)容做的任何變更、修飾，均屬于權(quán)利要求書(shū)的保 護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種開(kāi)關(guān)系統(tǒng)，用于開(kāi)啟與關(guān)閉前開(kāi)式晶圓盒的門(mén)，其特征在于，包括控制器、承 載臺(tái)、傳送裝置、以及開(kāi)關(guān)裝置；其中，所述承載臺(tái)用以承載前開(kāi)式晶圓盒；所述開(kāi)關(guān)裝置 固定于所述傳送裝置上，所述開(kāi)關(guān)裝置包括用于開(kāi)啟與關(guān)閉門(mén)的鑰匙裝置、用于吸附門(mén)的 吸附裝置、以及用于控制所述鑰匙裝置及吸附裝置動(dòng)作的開(kāi)關(guān)裝置馬達(dá)；所述控制器控制 所述承載臺(tái)及傳送裝置的動(dòng)作。
2.如權(quán)利要求1所述的開(kāi)關(guān)系統(tǒng)，其特征在于，所述開(kāi)關(guān)系統(tǒng)還包括開(kāi)關(guān)按鈕，所述開(kāi) 關(guān)按鈕設(shè)置于所述控制器上，以啟動(dòng)所述控制器。
3.如權(quán)利要求1所述的開(kāi)關(guān)系統(tǒng)，其特征在于，所述開(kāi)關(guān)系統(tǒng)還包括承載臺(tái)馬達(dá)，所述 控制器通過(guò)所述承載臺(tái)馬達(dá)與所述承載臺(tái)連接，以控制所述承載臺(tái)的水平轉(zhuǎn)動(dòng)。
4.如權(quán)利要求1所述的開(kāi)關(guān)系統(tǒng)，其特征在于，所述開(kāi)關(guān)系統(tǒng)還包括傳送裝置馬達(dá)， 所述控制器通過(guò)所述傳送裝置馬達(dá)與所述傳送裝置連接，以控制所述傳送裝置的傳送或停 止。
5.如權(quán)利要求1所述的開(kāi)關(guān)系統(tǒng)，其特征在于，所述傳送裝置包括傳送帶與傳送導(dǎo)軌， 所述開(kāi)關(guān)裝置固定在所述傳送帶上，并沿著所述傳送導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)。
6.如權(quán)利要求5所述的開(kāi)關(guān)系統(tǒng)，其特征在于，所述開(kāi)關(guān)系統(tǒng)還包括第一傳感器，所述 第一傳感器設(shè)置于所述傳送導(dǎo)軌的兩端，用于偵測(cè)所述開(kāi)關(guān)裝置的位置。
7.如權(quán)利要求1所述的開(kāi)關(guān)系統(tǒng)，其特征在于，所述開(kāi)關(guān)系統(tǒng)還包括位置參考裝置，所 述位置參考裝置設(shè)置于所述承載臺(tái)上，用以確定承載所述前開(kāi)式晶圓盒的位置。
8.如權(quán)利要求7所述的開(kāi)關(guān)系統(tǒng)，其特征在于，所述前開(kāi)式晶圓盒的底部設(shè)置有凹陷， 所述位置參考裝置包括凸起，所述凸起與所述凹陷配合。
9.如權(quán)利要求8所述的開(kāi)關(guān)系統(tǒng)，其特征在于，所述凸起的數(shù)量為三個(gè)。
10.如權(quán)利要求8或9所述的開(kāi)關(guān)系統(tǒng)，其特征在于，所述開(kāi)關(guān)系統(tǒng)還包括第二傳感器， 所述第二傳感器設(shè)置于所述承載臺(tái)上，用于偵測(cè)所述前開(kāi)式晶圓盒底部的凹陷與承載臺(tái)上 的凸起是否吻合。
11.如權(quán)利要求7所述的開(kāi)關(guān)系統(tǒng)，其特征在于，所述位置參考裝置還包括凸起條，所 述凸起條設(shè)置于所述承載臺(tái)的邊緣位置。
12.如權(quán)利要求11所述的開(kāi)關(guān)系統(tǒng)，其特征在于，所述凸起條的數(shù)量為四條，其分別設(shè) 置于所述承載臺(tái)的四側(cè)邊緣。
13.如權(quán)利要求1所述的開(kāi)關(guān)系統(tǒng)，其特征在于，所述吸附裝置為真空吸盤(pán)。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種開(kāi)關(guān)系統(tǒng)，用以開(kāi)啟與關(guān)閉前開(kāi)式晶圓盒的門(mén)，所述開(kāi)關(guān)系統(tǒng)包括控制器、承載臺(tái)、傳送裝置、以及開(kāi)關(guān)裝置；其中，所述承載臺(tái)用以承載前開(kāi)式晶圓盒；所述開(kāi)關(guān)裝置固定于所述傳送裝置上，所述開(kāi)關(guān)裝置包括用于開(kāi)啟與關(guān)閉門(mén)的鑰匙裝置、用于吸附門(mén)的吸附裝置、以及用于控制所述鑰匙裝置及吸附裝置動(dòng)作的開(kāi)關(guān)裝置馬達(dá)；所述控制器控制所述承載臺(tái)及傳送裝置的動(dòng)作。通過(guò)本實(shí)用新型提供的開(kāi)關(guān)系統(tǒng)，不會(huì)使得前開(kāi)式晶圓盒門(mén)與前開(kāi)式晶圓盒的門(mén)沿產(chǎn)生摩擦，使得置于前開(kāi)式晶圓盒內(nèi)的晶圓不受污染，降低了制造成本。
文檔編號(hào)H01L21/67GK201845745SQ201020565099
公開(kāi)日2011年5月25日 申請(qǐng)日期2010年10月16日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月16日
發(fā)明者何顯雙, 吳良輝, 朱小凡, 金小斗 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司, 武漢新芯集成電路制造有限公司