專利名稱：用于低溫共燒陶瓷印刷的機(jī)械手的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種用于低溫共燒陶瓷印刷的機(jī)械手。
背景技術(shù)：
低溫共燒陶瓷(LT2020)技術(shù)應(yīng)運(yùn)而生，它集中了厚膜技術(shù)和高溫共燒陶瓷技術(shù) 的優(yōu)點，應(yīng)用于多層芯片線路模塊化設(shè)計中，有著非常廣泛的應(yīng)用前景。隨著微電子信息 技術(shù)的迅猛發(fā)展，電子整機(jī)在小型化、便攜式、多功能、數(shù)字化、高性能、高可靠性等方面的 需求，對元器件的小型化、集成化以至模塊化的要求也越來越迫切，由于工作工藝要求的高 速、高精度和高穩(wěn)定性，故急需一種滿足以上要求的機(jī)械手裝置來滿足低溫共燒陶瓷印刷 系統(tǒng)的工藝要求。

實用新型內(nèi)容本實用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種高速、高精度、高穩(wěn)定性以及輕柔特 點的用于低溫共燒陶瓷印刷的機(jī)械手。本實用新型采用如下技術(shù)方案本實用新型包括由上連接板、左右側(cè)板以及電機(jī)板組成的方形殼體、固定在在導(dǎo) 軌板內(nèi)壁的直線導(dǎo)軌、設(shè)置在左側(cè)板內(nèi)側(cè)上端的標(biāo)準(zhǔn)氣缸、設(shè)置在直線導(dǎo)軌右側(cè)的帶有光 柵尺的光柵架以及設(shè)置在右側(cè)板內(nèi)側(cè)下端的讀頭墊板和讀頭固定板，所述的直線導(dǎo)軌上套 裝有可沿直線導(dǎo)軌上下運(yùn)動的滑塊，所述的電機(jī)板內(nèi)壁設(shè)置有直線電機(jī)定子，所述的滑塊 上設(shè)置有滑塊座板，滑塊座板上設(shè)置有帶有直線電機(jī)動子的電機(jī)動子板，所述的直線導(dǎo)軌 上、下兩端分別設(shè)置有限制滑塊運(yùn)動的線卡以及固定限位板，所述的直線動子板下端固定 連接有可隨滑塊上下運(yùn)動的吸盤板，所述的吸盤板上設(shè)置有開關(guān)座、匯流板以及穿透吸盤 板的真空吸頭，所述的真空吸頭與標(biāo)準(zhǔn)氣缸相連通，所述的標(biāo)準(zhǔn)氣缸與吸盤板固定連接，所 述的連接板上端設(shè)置有固定座和上固定板。本實用新型真空吸頭的數(shù)量為1-4個。本實用新型真空吸頭采用型號為ZPT10USK10B5-A10的真空吸頭。本實用新型的積極效果如下本實用新型使用線性電機(jī)驅(qū)動比普通電機(jī)更方便準(zhǔn)確，自動化程度更高，速度更 快，便于實現(xiàn)自動上下片，利用標(biāo)準(zhǔn)型氣缸平衡直線電機(jī)負(fù)載有利于提高工作效率，采用真 空吸盤比用氣爪抓取動作和手工拾片更柔和，不易損傷工件(生陶瓷基片)。

圖1為本實用新型去除導(dǎo)軌板結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖IA-A剖視結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實用新型軸側(cè)結(jié)構(gòu)示意圖。在附圖中1導(dǎo)軌板、2連接板、3固定座、4固定板、5電機(jī)板、6左側(cè)板、7右側(cè)板、8開關(guān)座、9滑塊座板、10電機(jī)動子板、11匯流板、12讀頭墊板、13讀頭固定板、14光柵架、16 固定限位板、17吸盤板、18滑塊、19直線電機(jī)動子、20直線電機(jī)定子、21真空吸頭、22直線 導(dǎo)軌、23標(biāo)準(zhǔn)氣缸。
具體實施方式
如附圖1、2、3所示，本實用新型包括由上連接板2、左右側(cè)板6、7以及電機(jī)板5組 成的方形殼體、固定在在導(dǎo)軌板1內(nèi)壁的直線導(dǎo)軌22、設(shè)置在左側(cè)板6內(nèi)側(cè)上端的標(biāo)準(zhǔn)氣缸 23、設(shè)置在直線導(dǎo)軌22右側(cè)的帶有光柵尺的光柵架14以及設(shè)置在右側(cè)板內(nèi)側(cè)下端的讀頭 墊板12和讀頭固定板13，所述的裝置直線電機(jī)的負(fù)載設(shè)置有一個標(biāo)準(zhǔn)型氣缸平衡其重力， 采用標(biāo)準(zhǔn)型氣缸平衡直線電機(jī)負(fù)載有利于提高工作效率，所述的直線導(dǎo)軌22上套裝有可 沿直線導(dǎo)軌22上下運(yùn)動的滑塊18，所述的電機(jī)板5內(nèi)壁設(shè)置有直線電機(jī)定子20，所述的滑 塊18上設(shè)置有滑塊座板9，滑塊座板9上設(shè)置有帶有直線電機(jī)動子19的電機(jī)動子板10，所 述的直線導(dǎo)軌22上、下兩端分別設(shè)置有限制滑塊1 8運(yùn)動的線卡16以及固定限位板15，所 述的直線動子板10下端固定連接有可隨滑塊18上下運(yùn)動的吸盤板17，采用線性電機(jī)驅(qū)動 比普通電機(jī)更方便準(zhǔn)確，自動化程度更高，速度更快，便于實現(xiàn)自動上下片，所述的吸盤板 17上設(shè)置有開關(guān)座8、匯流板11以及穿透吸盤板17的真空吸頭21，所述的真空吸頭21與 標(biāo)準(zhǔn)氣缸23相連通，所述的標(biāo)準(zhǔn)氣缸23與吸盤板17固定連接，以平衡吸盤板17的自重， 所述的連接板2上端設(shè)置有固定座3和上固定板4。真空吸頭21的數(shù)量為1-4個。真空吸 頭21采用型號為ZPT10USK10B5-A10的真空吸頭。采用真空吸盤比用氣爪抓取動作和手工 拾片更柔和，不易損傷工件(生陶瓷基片)機(jī)械手安裝時，先將直線導(dǎo)軌固定在導(dǎo)軌板1上，將直線電機(jī)動子19、電機(jī)動子 板10和導(dǎo)軌座固定板9固定在滑塊上，將左側(cè)板6與右側(cè)板7固定在導(dǎo)軌板1上，把標(biāo)準(zhǔn) 氣缸23 —端固定在其中一個左側(cè)板6上，再把它們與上連接板2相接。把光柵尺等電氣 檢測元件安裝在光柵架14上的相應(yīng)位置后，將光柵架14安裝到右側(cè)板7上，再將氣管和 接頭連接好，注意不能有漏氣現(xiàn)象。將直線電機(jī)定子20固定在電機(jī)板5上，再與左、右側(cè) 板6、7固定連接上，然后將匯流板11、讀頭墊板12、讀頭固定板13、線卡16以及真空吸頭 ZPT10USK10B5-A10的吸盤板17與電機(jī)動子板10和標(biāo)準(zhǔn)氣缸桿23相連。最后固定限位板 16、開關(guān)座8、固定座3、上固定板4等零件。本實用新型使用線性電機(jī)驅(qū)動比普通電機(jī)更方便準(zhǔn)確，自動化程度更高，速度更 快，便于實現(xiàn)自動上下片，利用標(biāo)準(zhǔn)型氣缸平衡直線電機(jī)負(fù)載有利于提高工作效率，采用真 空吸盤比用氣爪抓取動作和手工拾片更柔和，不易損傷工件(生陶瓷基片)。
權(quán)利要求一種用于低溫共燒陶瓷印刷的機(jī)械手，其特征在于其包括由上連接板(2)、左右側(cè)板(6、7)以及電機(jī)板(5)組成的方形殼體、固定在在導(dǎo)軌板(1)內(nèi)壁的直線導(dǎo)軌(22)、設(shè)置在左側(cè)板(6)內(nèi)側(cè)上端的標(biāo)準(zhǔn)氣缸(23)、設(shè)置在直線導(dǎo)軌(22)右側(cè)的帶有光柵尺的光柵架(14)以及設(shè)置在右側(cè)板內(nèi)側(cè)下端的讀頭墊板(12)和讀頭固定板(13)，所述的直線導(dǎo)軌(22)上套裝有可沿直線導(dǎo)軌(22)上下運(yùn)動的滑塊(18)，所述的電機(jī)板(5)內(nèi)壁設(shè)置有直線電機(jī)定子(20)，所述的滑塊(18)上設(shè)置有滑塊座板(9)，滑塊座板(9)上設(shè)置有帶有直線電機(jī)動子(19)的電機(jī)動子板(10)，所述的直線導(dǎo)軌(22)上、下兩端分別設(shè)置有限制滑塊(18)運(yùn)動的線卡(16)以及固定限位板(15)，所述的直線動子板(10)下端固定連接有可隨滑塊(18)上下運(yùn)動的吸盤板(17)，所述的吸盤板(17)上設(shè)置有開關(guān)座(8)、匯流板(11)以及穿透吸盤板(17)的真空吸頭(21)，所述的真空吸頭(21)與標(biāo)準(zhǔn)氣缸(23)相連通，所述的標(biāo)準(zhǔn)氣缸(23)與吸盤板(17)固定連接，所述的連接板(2)上端設(shè)置有固定座(3)和上固定板(4)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述用于低溫共燒陶瓷印刷的機(jī)械手，其特征在于所述的真空吸頭 (21)的數(shù)量為1-4個。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述用于低溫共燒陶瓷印刷的機(jī)械手，其特征在于所述的真空吸頭 (21)采用型號為ZPT10USK10B5-A10的真空吸頭。
專利摘要本實用新型涉及一種用于低溫共燒陶瓷印刷的機(jī)械手，其技術(shù)特征包括固定在導(dǎo)軌板內(nèi)壁的直線導(dǎo)軌、設(shè)置在左側(cè)板內(nèi)側(cè)上端的標(biāo)準(zhǔn)氣缸，直線導(dǎo)軌上套裝有可沿直線導(dǎo)軌上下運(yùn)動的滑塊，電機(jī)板內(nèi)壁設(shè)置有直線電機(jī)定子，所述的滑塊上設(shè)置有滑塊座板，滑塊座板上設(shè)置有帶有直線電機(jī)動子的電機(jī)動子板，直線動子板下端固定連接有可隨滑塊上下運(yùn)動的吸盤板，吸盤板上設(shè)置有開關(guān)座、匯流板以及穿透吸盤板的真空吸頭，真空吸頭與標(biāo)準(zhǔn)氣缸相連通。使用線性電機(jī)驅(qū)動比普通電機(jī)更方便準(zhǔn)確，自動化程度更高，速度更快，利用標(biāo)準(zhǔn)型氣缸平衡直線電機(jī)負(fù)載有利于提高工作效率，采用真空吸盤比用氣爪抓取動作和手工拾片更柔和，不易損傷工件(生陶瓷基片)。
文檔編號H01L21/48GK201633023SQ20102010441
公開日2010年11月17日 申請日期2010年2月1日 優(yōu)先權(quán)日2010年2月1日
發(fā)明者張世強(qiáng), 張建亮, 陳煜 申請人:中國電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所