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固體攝像裝置的制作方法

文檔序號(hào):6952453閱讀:129來(lái)源:國(guó)知局
專利名稱:固體攝像裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及固體攝像裝置。
技術(shù)背景
作為固體攝像裝置,已知有以CMOS圖像傳感器為代表的CMOS固體攝像裝置、和以 CXD圖像傳感器為代表的CXD固體攝像裝置。CMOS固體攝像裝置有表面入射型(front-side illumination)固體攝像裝置、和背面照射型(back-side illumination)固體攝像裝置。 在表面入射型固體攝像裝置中,入射光入射到半導(dǎo)體基板的表面。在背面入射型固體攝像 裝置中,入射光入射到半導(dǎo)體基板的背面。
背面照射型固體攝像裝置與這樣的表面入射型固體攝像裝置相比,能夠?qū)崿F(xiàn)高畫 質(zhì)化及多像素化,近年來(lái)被廣泛地開發(fā)。在日本特開2005-268643號(hào)公報(bào)中公開了這種背 面照射型固體攝像裝置。
在該專利公報(bào)所示的背面照射型固體攝像裝置中,具有微透鏡、和形成有光電變 換部的硅基板,其中由該微透鏡聚光的光入射到光電變換部。微透鏡是低折射率,由有機(jī)材 料構(gòu)成。硅基板是高折射率。當(dāng)光從微透鏡向光電變換部入射時(shí),因入射光的干涉而發(fā)生 圖像的劣化,入射光的透射率下降。發(fā)明內(nèi)容
需要抑制這樣的入射光的干涉。
根據(jù)一個(gè)實(shí)施方式,提供一種固體攝像裝置。該裝置具有半導(dǎo)體基板。在該半導(dǎo) 體基板的表面區(qū)域中設(shè)有第1至第3光電變換部。藍(lán)色濾色器設(shè)在對(duì)應(yīng)于上述第1光電變 換部的位置,具有帶來(lái)第1光程的膜厚。綠色濾色器設(shè)在對(duì)應(yīng)于上述第2光電變換部的位 置,具有帶來(lái)比上述第1光程長(zhǎng)的第2光程的膜厚。紅色濾色器設(shè)在對(duì)應(yīng)于上述第3光電 變換部的位置,具有帶來(lái)比上述第2光程長(zhǎng)的第3光程的膜厚。
平坦化膜,形成在上述藍(lán)色、綠色及紅色的濾色器(多個(gè))上,使上述濾色器(多 個(gè))的階差平坦化。微透鏡(多個(gè)),分別設(shè)在對(duì)應(yīng)于上述第1至第3光電變換部的位置, 并且設(shè)在上述平坦化膜上。
根據(jù)另一技術(shù)方案,提供一種固體攝像裝置。該裝置具備具有兩個(gè)主面的半導(dǎo)體 基板。在該半導(dǎo)體基板的上述主面(多個(gè))的一個(gè)主面上形成有配線區(qū)域部。
在半導(dǎo)體基板中與上述一個(gè)主面相接的表面區(qū)域中形成有第1至第3光電變換 部。
藍(lán)色濾色器在上述半導(dǎo)體基板的上述主面(多個(gè))中的另一個(gè)主面?zhèn)仍O(shè)在對(duì)應(yīng)于 上述第1光電變換部的位置上,具有帶來(lái)第1光程的膜厚。綠色濾色器在上述半導(dǎo)體基板的 上述主面(多個(gè))中的另一個(gè)主面?zhèn)仍O(shè)在對(duì)應(yīng)于上述第2光電變換部的位置上,具有帶來(lái) 比上述第1光程長(zhǎng)的第2光程的膜厚。紅色濾色器在上述半導(dǎo)體基板的上述主面(多個(gè)) 中的另一個(gè)主面?zhèn)仍O(shè)在對(duì)應(yīng)于上述第3光電變換部的位置上,具有帶來(lái)比上述第2光程長(zhǎng)的第3光程的膜厚。
平坦化膜形成在上述藍(lán)色、綠色及紅色的濾色器(多個(gè))上,使上述濾色器(多 個(gè))的階差平坦化。微透鏡(多個(gè)),在上述平坦化膜上分別設(shè)在對(duì)應(yīng)于上述第1至第3光 電變換部的位置上。


圖1是示意地表示實(shí)施方式的背面照射型固體攝像裝置的剖視圖。
圖2是用來(lái)說(shuō)明由濾色器發(fā)生的入射光的干涉的圖。
圖3是表示光入射到濾色器時(shí)的、其光程與相干性(coherency)的關(guān)系的圖。
圖4是表示帶來(lái)濾色器的膜厚的整數(shù)m與相干性及該膜厚的關(guān)系的圖。
具體實(shí)施方式
以下,參照附圖對(duì)實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。在附圖中,相同的標(biāo)號(hào)表示相同或類似的部 分。
圖1是示意地表示該實(shí)施方式的固體攝像裝置的剖視圖。
如圖1所示,固體攝像裝置80是光入射到硅基板1的背面、即硅基板1的兩個(gè)主 面la、Ib之中與形成配線區(qū)域部的一個(gè)主面Ia相反側(cè)的主面Ib上的背面照射型固體攝像直ο
固體攝像裝置80是CMOS圖像傳感器,具有作為進(jìn)行入射光的光電變換的像素的 光電變換部(多個(gè))2。由光電變換部(多個(gè))2進(jìn)行了光電變換后的信號(hào)通過(guò)信號(hào)處理部 (未圖示)進(jìn)行信號(hào)處理。
固體攝像裝置80在要求高畫質(zhì)化及多像素化的帶有照相機(jī)的便攜電話機(jī)、數(shù)字 照相機(jī)、數(shù)字?jǐn)z像機(jī)等中使用。上述入射光是相干長(zhǎng)度為幾ym左右的自然光(陽(yáng)光)或 相干長(zhǎng)度為約3 μ m左右的熒光燈或電燈的光。
硅基板1面朝下(face down)地配置。具體而言,硅基板1的主面Ia側(cè)配置在圖 1的下方向,主面Ib (背面)側(cè)配置在圖1的上方向。硅基板1的折射率處于例如3. 5 5. 2的范圍中,比濾色器6a 6d及微透鏡(多個(gè))8的折射率大。在硅基板1的表面Ia 上,以二維狀設(shè)有上述光電變換部(多個(gè))2。
光電變換部(多個(gè))2例如由厚度3μπι的硅光電二極管(多個(gè))構(gòu)成。各硅光電 二極管(多個(gè))例如由與主面Ia相接的P型層、以及形成在主面Ib側(cè)以使其與該ρ型層 相接的N型層構(gòu)成。光電變換部(多個(gè))2在波長(zhǎng)400至IlOOnm的范圍中具有靈敏度,將 入射光變換為電信號(hào)。在硅基板1的主面Ia上,設(shè)有配線區(qū)域部20,該配線區(qū)域部20具有 將光電變換部2與未圖示的信號(hào)處理部之間電連接的配線。
在硅基板1上,通過(guò)例如離子注入形成有P型阱區(qū)域加。P型阱區(qū)域加作為元件 分離層而將光電變換部(多個(gè))2之間分離。
在硅基板1的背面Ib上,設(shè)有相對(duì)于可視光區(qū)域——即400至700nm的光線、以 及紅外光區(qū)域——即700至1000 μ m的光線為透明的絕緣膜3。在絕緣膜3上設(shè)有防反射 膜4。防反射膜4例如由氮化硅膜(SiN膜)形成。
在防反射膜4上,在對(duì)應(yīng)于各光電變換部2的位置上設(shè)有藍(lán)色濾色器6a、綠色濾色5器6b、紅色濾色器6c、紅外濾色器6d。濾色器6a 6d由無(wú)機(jī)材料、或者添加了顏料的有機(jī) 材料那樣的材料形成。
也可以將濾色器6a 6d通過(guò)單一的無(wú)機(jī)材料構(gòu)成。也可以將折射率較大的無(wú)機(jī) 材料的絕緣膜與折射率較小的無(wú)機(jī)材料的絕緣膜交替地層疊而形成濾色器6a 6d。在防 反射膜4上,為了防止相鄰的濾色器6a 6d的相互干涉而設(shè)有位于濾色器之間的遮光部 件(多個(gè))5。
藍(lán)色濾色器6a例如具有色帶(color band)為400至500nm、色帶的中心波長(zhǎng)為 450nm的光學(xué)特性。綠色濾色器6b例如具有色帶為500至600nm、色帶的中心波長(zhǎng)為540nm 的光學(xué)特性。紅色濾色器6c例如具有色帶為600至700nm、色帶的中心波長(zhǎng)為610nm的光 學(xué)特性。紅外濾色器6d例如具有色帶為700至lOOOnm、色帶的中心波長(zhǎng)為SOOnm的光學(xué)特性。
藍(lán)色濾色器6a具有帶來(lái)光程La的膜厚。綠色濾色器6b具有帶來(lái)光程Lb的膜厚。 紅色濾色器6c具有帶來(lái)光程Lc的膜厚。紅外濾色器6d具有帶來(lái)光程Ld的膜厚。一般, 當(dāng)入射到具有折射率η的濾色器的表面的光在該濾色器中沿著光路行進(jìn)距離d時(shí),將其乘 積nd稱作光程。
這里,光程La Ld的關(guān)系如下式表示這樣。
La < Lb < Lc < Ld ......(1)
分別設(shè)定濾色器6a 6d的膜厚及折射率以滿足式(1)。因而,濾色器6a 6d各 自的表面的高度不同。
在濾色器6a 6d上,設(shè)有將濾色器間的階差(臺(tái)階)平坦化的平坦化膜7。作為 平坦化膜7,可以使用相對(duì)于可視光區(qū)域及紅外光區(qū)域透明的樹脂類薄膜。該樹脂類薄膜可 以是丙烯酸類樹脂(acrylic resin)、聚碳酸酯樹脂(polycarbonate resin)、纖維素類樹 月旨(cellulose group resin)、或降7水片j;?;愗S對(duì)月旨(norbornene group resin)這樣白勺豐對(duì) 脂。
在表面平坦的平坦化膜7上,在對(duì)應(yīng)于各光電變換部2的位置上,設(shè)有將入射光聚 光的微透鏡(多個(gè))8。微透鏡(多個(gè))8例如通過(guò)使熱塑性樹脂在玻璃化轉(zhuǎn)變點(diǎn)以上的溫 度下熱流動(dòng)而形成。微透鏡(多個(gè))8例如具有折射率1. 58。
通過(guò)設(shè)置平坦化膜7,濾色器6a 6d的階差不會(huì)給微透鏡(多個(gè))8的形成帶來(lái) 影響,并且提高微透鏡(多個(gè))8的平坦性。因此,能夠提高固體攝像裝置80的成品率。
接著,參照?qǐng)D2至圖4對(duì)考慮到入射光的相干性的濾色器的折射率及膜厚的設(shè)定 進(jìn)行說(shuō)明。圖2是用來(lái)說(shuō)明由濾色器發(fā)生的干涉的圖。圖3是表示光入射到濾色器時(shí)的光 程與相干性的關(guān)系的圖。圖4是表示帶來(lái)濾色器的膜厚的整數(shù)m與相干性及該膜厚的關(guān)系 的圖。
如圖2所示,入射光從平行平板形狀的濾色器6的表面?zhèn)热肷?,其一部分作為反?光被反射。濾色器6是對(duì)應(yīng)于圖1的濾色器6a 6d的部件。在濾色器6中透射過(guò)的入射 光從背面?zhèn)茸鳛榈?透射光輸出。接著,由背面?zhèn)确瓷浜蟮纳鲜鋈肷涔獗槐砻鎮(zhèn)确瓷?,從?面?zhèn)茸鳛榈?透射光輸出。同樣,依次從背面?zhèn)容敵龅?透射光、從背面?zhèn)容敵龅?透射光、 從背面?zhèn)容敵龅?透射光。
在設(shè)濾色器的膜厚為d、濾色器的折射率為η、入射光的波長(zhǎng)為λ、m為整數(shù)的情況下,當(dāng)下式成立時(shí)透射光相互加強(qiáng)。
2 · nd = ( λ /2) X (2m)......(2)
另一方面,當(dāng)下式成立時(shí),透射光相互減弱。
2 · nd = ( λ /2) X (2m+1)......(3)
如果使濾色器的光程為入射光的半波長(zhǎng)的整數(shù)倍,則濾色器的透射率成為最大。 為此,只要設(shè)定濾色器的膜厚d以使其滿足下式就可以。
d = (λ Xm)/(2n)......(4)
如圖3所示,在入射到濾色器中的入射光是與激光等相比、相干長(zhǎng)度短得多的自 然光(陽(yáng)光)、熒光燈或電燈的光的情況下,如果光程變長(zhǎng),則相干性(相干)急劇地減少。
該相干性定義為為了產(chǎn)生透射光的干涉而需要的條件。在相干性的值較大的情況 下,透射光的干涉變得容易發(fā)生。在相干性的值非常小的情況下,雖然不能完全消除透射光 的干涉,但能夠大幅減少干涉的發(fā)生。
求出紅外濾色器6d的情況下的相干性的值。作為入射光而使用自然光,將其透射 波長(zhǎng)λ設(shè)為作為紅外濾色器6d的色帶的中心波長(zhǎng)的800nm,將紅外濾色器6d的折射率η 設(shè)為1.5。
當(dāng)由式⑷表示的m是1時(shí),相干性為0.5。當(dāng)m是2時(shí),相干性為0. 4。當(dāng)m是 3時(shí),相干性為0.13。當(dāng)m是4時(shí),相干性為0.01。當(dāng)m是5時(shí),相干性大致為0 (零)。在 m為3以上時(shí),能夠充分地抑制相干性。
如圖4所示,在紅外濾色器6d的情況下,通過(guò)選擇將m設(shè)定為5以上計(jì)算出的膜 厚,能夠大幅地減少透射光的干涉,能夠使紅外濾色器6d的透射率成為最大。例如,當(dāng)m是 5時(shí),紅外濾色器6d的膜厚為1333nm(=點(diǎn)A的值)。通過(guò)將紅外濾色器6d的膜厚設(shè)為 1333nm以上,能夠大幅地抑制透射光的干涉。
如以下說(shuō)明的那樣,對(duì)于紅色濾色器6c、綠色濾色器6b、藍(lán)色濾色器6a也可以使 用與上述紅外濾色器6d同樣的方法求出用來(lái)抑制各自的透射光的干涉的膜厚。
在紅色濾色器6c的情況下,作為入射光而使用自然光,將其透射波長(zhǎng)λ設(shè)為作為 紅色濾色器6c的色帶的中心波長(zhǎng)的610nm,將紅色濾色器6c的折射率設(shè)為1.5。在m為3 以上時(shí)能夠充分抑制相干性。通過(guò)選擇將m設(shè)定為5以上計(jì)算出的膜厚,能夠大幅地減少 透射光的干涉,能夠使紅色濾色器6c的透射率成為最大。m為5時(shí)的紅色濾色器6c的膜厚 為1016nm。通過(guò)將紅色濾色器6c的膜厚設(shè)為1016nm以上,能夠大幅地抑制干涉。
在綠色濾色器6b的情況下,作為入射光而使用自然光,將其透射波長(zhǎng)λ設(shè)為作為 綠色濾色器6b的色帶的中心波長(zhǎng)的540nm,將綠色濾色器6b的折射率設(shè)為1.5。在m為3 以上時(shí)能夠充分抑制相干性。通過(guò)選擇將m設(shè)定為5以上計(jì)算出的膜厚,能夠大幅地減少 透射光的干涉,能夠使綠色濾色器6b的透射率成為最大。m為5時(shí)的綠色濾色器6b的膜厚 為900nm。通過(guò)將綠色濾色器6b的膜厚設(shè)為900nm以上,能夠大幅地抑制干涉。
在藍(lán)色濾色器6a的情況下,作為入射光而使用自然光,將其透射波長(zhǎng)λ設(shè)為作為 藍(lán)色濾色器6a的色帶的中心波長(zhǎng)的450nm,將藍(lán)色濾色器6a的折射率設(shè)為1.5。在m為3 以上時(shí)能夠充分抑制相干性。通過(guò)選擇將m設(shè)定為5以上計(jì)算出的膜厚,能夠大幅地減少 透射光的干涉,能夠使藍(lán)色濾色器6a的透射率成為最大。m為5時(shí)的藍(lán)色濾色器6a的膜厚 為750nm。通過(guò)將藍(lán)色濾色器6a的膜厚設(shè)為750nm以上,能夠大幅地抑制干涉。
在上述設(shè)定中,假設(shè)在濾色器6a 6d中不發(fā)生波長(zhǎng)分散 (wavelengthdispersion),沒(méi)有依存于波長(zhǎng)的折射率分散。
在濾色器6a 6d中發(fā)生波長(zhǎng)分散、發(fā)生依存于波長(zhǎng)的折射率分散的情況下,濾色 器6a 6d的折射率的值不能為相同的值。將發(fā)生了折射率分散時(shí)的折射率代入到式(4) 中能夠求出濾色器的膜厚。在此情況下,不一定為以下的關(guān)系。
藍(lán)色濾色器6a的膜厚 < 綠色濾色器6b的膜厚
綠色濾色器6b的膜厚 < 紅色濾色器6c的膜厚
紅色濾色器6c的膜厚 < 紅外濾色器6d的膜厚
上述實(shí)施方式是應(yīng)用到背面照射型固體攝像裝置中的例子,但也可以應(yīng)用到表面 照射型的固體攝像裝置中。此外,為了對(duì)應(yīng)于夜間那樣的環(huán)境而設(shè)置了紅外濾色器6d,但紅 外濾色器6d也可以省略。本實(shí)施方式是應(yīng)用到CMOS固體攝像裝置中的例子,但也可以應(yīng) 用到C⑶固體攝像裝置中。
如上所述,在本實(shí)施方式中,設(shè)濾色器6a 6d的光程La Ld的關(guān)系為L(zhǎng)a < Lb < Lc < Ld。因此,能夠充分降低濾色器6a 6d的透射光的干涉,能夠防止圖像的劣化。
將濾色器6a 6d的膜厚d設(shè)定為,使其滿足d = (λ Xm)/2η以上。其中,將m 設(shè)定為3以上的整數(shù)。因而,能夠提高入射光的透射率,能夠?qū)崿F(xiàn)固體攝像裝置80的高畫 質(zhì)化。特別是,通過(guò)將m設(shè)定為5以上的整數(shù),能夠大幅減少透射光的干涉、提高入射光的 透射率。
在本實(shí)施方式中,將濾色器6a 6d間的階差通過(guò)平坦化膜7平坦化,在其上形成 微透鏡(多個(gè))8。因而,能夠提高固體攝像裝置80的成品率。
在以上敘述了幾個(gè)實(shí)施方式,但這些實(shí)施方式只是作為例子表示的,并不意味著 限定本發(fā)明的范圍。實(shí)際上,這里所述的新的裝置也可以具體化為各種其他的形態(tài),進(jìn)而, 在不脫離本發(fā)明的主旨或技術(shù)范圍的情況下也可以進(jìn)行這里所述的裝置的形態(tài)的各種省 略、替換及變更。附帶的權(quán)利要求及其等價(jià)物包括在本發(fā)明的技術(shù)范圍及主旨內(nèi)的這樣的 形態(tài)或變形。
權(quán)利要求
1.一種固體攝像裝置,其特征在于,具備 半導(dǎo)體基板;第1至第3光電變換部,設(shè)在該半導(dǎo)體基板的表面區(qū)域中; 藍(lán)色濾色器,設(shè)在對(duì)應(yīng)于上述第1光電變換部的位置,具有帶來(lái)第1光程的膜厚; 綠色濾色器,設(shè)在對(duì)應(yīng)于上述第2光電變換部的位置,具有帶來(lái)比上述第1光程長(zhǎng)的第 2光程的膜厚;紅色濾色器,設(shè)在對(duì)應(yīng)于上述第3光電變換部的位置,具有帶來(lái)比上述第2光程長(zhǎng)的第 3光程的膜厚;平坦化膜,形成在上述藍(lán)色、綠色及紅色的濾色器(多個(gè))上,使上述濾色器(多個(gè)) 的階差平坦化;以及微透鏡(多個(gè)),分別設(shè)在對(duì)應(yīng)于上述第1至第3光電變換部的位置,并且設(shè)在上述平 坦化膜上。
2.如權(quán)利要求1所述的固體攝像裝置,其特征在于, 上述固體攝像裝置是背面照射型。
3.如權(quán)利要求1所述的固體攝像裝置,其特征在于,上述濾色器(多個(gè))的各自的膜厚d設(shè)定為在大致d= (λ Xm)/(2Xn)以上,其中,m 是3以上的整數(shù),λ是上述濾色器(多個(gè))的各自的色帶的中心波長(zhǎng),η是上述濾色器(多 個(gè))的各自的折射率。
4.如權(quán)利要求3所述的固體攝像裝置,其特征在于, m是5以上的整數(shù)。
5.如權(quán)利要求1所述的固體攝像裝置,其特征在于, 還具備第4光電變換部,設(shè)在半導(dǎo)體基板的表面區(qū)域中;紅外濾色器,設(shè)在對(duì)應(yīng)于上述光電變換部的位置,具有帶來(lái)比上述第3光程長(zhǎng)的第4光 程的膜厚;以及微透鏡,配置在對(duì)應(yīng)于該紅外濾色器的位置;上述平坦化膜設(shè)置在上述藍(lán)色、綠色、紅色及紅外的濾色器(多個(gè))和設(shè)在對(duì)應(yīng)于這些 濾色器的位置的上述微透鏡(多個(gè))之間,將上述濾色器的階差平坦化。
6.如權(quán)利要求5所述的固體攝像裝置,其特征在于, 上述固體攝像裝置是背面照射型。
7.如權(quán)利要求5所述的固體攝像裝置,其特征在于,上述濾色器(多個(gè))的各自的膜厚d設(shè)定為在大致d= (λ Xm)/(2Xn)以上,其中,m 是3以上的整數(shù),λ是上述濾色器(多個(gè))的各自的色帶的中心波長(zhǎng),η是上述濾色器(多 個(gè))的各自的折射率。
8.如權(quán)利要求7所述的固體攝像裝置,其特征在于, m是5以上的整數(shù)。
9.一種固體攝像裝置,其特征在于,具備 半導(dǎo)體基板,具有兩個(gè)主面;配線區(qū)域部,形成在該半導(dǎo)體基板的上述主面(多個(gè))中的一個(gè)主面上;第1至第3光電變換部,形成在半導(dǎo)體基板中與上述一個(gè)主面相接的表面區(qū)域中; 藍(lán)色濾色器,在上述半導(dǎo)體基板的上述主面(多個(gè))中的另一個(gè)主面?zhèn)仍O(shè)在對(duì)應(yīng)于上 述第1光電變換部的位置,具有帶來(lái)第1光程的膜厚;綠色濾色器,在上述半導(dǎo)體基板的上述另一個(gè)主面?zhèn)仍O(shè)在對(duì)應(yīng)于上述第2光電變換部 的位置,具有帶來(lái)比上述第1光程長(zhǎng)的第2光程的膜厚;紅色濾色器,在上述半導(dǎo)體基板的上述另一個(gè)主面?zhèn)仍O(shè)在對(duì)應(yīng)于上述第3光電變換部 的位置,具有帶來(lái)比上述第2光程長(zhǎng)的第3光程的膜厚;平坦化膜,形成在上述藍(lán)色、綠色及紅色的濾色器(多個(gè))上,使上述濾色器(多個(gè)) 的階差平坦化;以及微透鏡(多個(gè)),在上述平坦化膜上分別設(shè)在對(duì)應(yīng)于上述第1至第3光電變換部的位置。
10.如權(quán)利要求9所述的固體攝像裝置,其特征在于, 上述固體攝像裝置是背面照射型。
11.如權(quán)利要求9所述的固體攝像裝置,其特征在于,上述濾色器(多個(gè))的各自的膜厚d設(shè)定為在大致d= (λ Xm)/(2Xn)以上,其中,m 是3以上的整數(shù),λ是上述濾色器(多個(gè))的各自的色帶的中心波長(zhǎng),η是上述濾色器(多 個(gè))的各自的折射率。
12.如權(quán)利要求11所述的固體攝像裝置,其特征在于, m是5以上的整數(shù)。
13.如權(quán)利要求9所述的固體攝像裝置,其特征在于, 還具備第4光電變換部,形成在上述半導(dǎo)體基板中與上述一個(gè)主面相接的表面區(qū)域中; 紅外濾色器,在上述半導(dǎo)體基板的上述另一個(gè)主面?zhèn)仍O(shè)在對(duì)應(yīng)于上述第4光電變換部 的位置,具有帶來(lái)比上述第3光程長(zhǎng)的第4光程的膜厚;以及 微透鏡,配置在對(duì)應(yīng)于該紅外濾色器的位置;上述平坦化膜設(shè)置在上述藍(lán)色、綠色、紅色及紅外的濾色器(多個(gè))和設(shè)在對(duì)應(yīng)于這些 濾色器的位置的上述微透鏡(多個(gè))之間,將上述濾色器的階差平坦化。
14.如權(quán)利要求13所述的固體攝像裝置,其特征在于, 上述固體攝像裝置是背面照射型。
15.如權(quán)利要求13所述的固體攝像裝置,其特征在于,上述濾色器(多個(gè))的各自的膜厚d設(shè)定為在大致d= (λ Xm)/(2Xn)以上,其中,m 是3以上的整數(shù),λ是上述濾色器(多個(gè))的各自的色帶的中心波長(zhǎng),η是上述濾色器(多 個(gè))的各自的折射率。
16.如權(quán)利要求15所述的固體攝像裝置,其特征在于, m是5以上的整數(shù)。
全文摘要
根據(jù)一實(shí)施方式,固體攝像裝置具有半導(dǎo)體基板。在該半導(dǎo)體基板的表面區(qū)域中設(shè)有第1至第3光電變換部。藍(lán)色濾色器具有帶來(lái)第1光程的膜厚。綠色濾色器具有帶來(lái)比上述第1光程長(zhǎng)的第2光程的膜厚。紅色濾色器具有帶來(lái)比上述第2光程長(zhǎng)的第3光程的膜厚。平坦化膜形成在上述藍(lán)色、綠色及紅色的濾色器上,將上述濾色器的階差平坦化。微透鏡分別設(shè)在對(duì)應(yīng)于上述第1至第3光電變換部的位置上,并且設(shè)在上述平坦化膜上。
文檔編號(hào)H01L27/146GK102034836SQ201010283600
公開日2011年4月27日 申請(qǐng)日期2010年9月10日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月30日
發(fā)明者永田一博 申請(qǐng)人:株式會(huì)社東芝
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