專利名稱：真空制程設(shè)備、真空傳輸制程設(shè)備及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及真空制程技術(shù)，特別是涉及一種真空制程設(shè)備、真空傳輸制程設(shè)備以及相應(yīng)的方法。
背景技術(shù)：
新能源是二十一世紀(jì)世界經(jīng)濟(jì)發(fā)展中最具決定力的五大技術(shù)領(lǐng)域之一，太陽(yáng)能便是一種清潔、高效、永不衰竭的新能源。在新世紀(jì)中，各國(guó)政府都將太陽(yáng)能資源利用作為國(guó)家可持續(xù)發(fā)展戰(zhàn)略的重要內(nèi)容，光伏發(fā)電具有安全可靠、無(wú)噪聲、無(wú)污染、制約少、故障率低、維護(hù)簡(jiǎn)便等諸多優(yōu)點(diǎn)。近幾年來(lái)，國(guó)際光伏發(fā)電產(chǎn)業(yè)迅猛發(fā)展，太陽(yáng)能晶片供不應(yīng)求，于是提高太陽(yáng)能晶片的光電轉(zhuǎn)化效率和太陽(yáng)能晶片的生產(chǎn)能力已經(jīng)成為一個(gè)重要的課題。如圖1所示，太陽(yáng)能電池需要在一個(gè)晶片的背面形成各占一半的η+極和ρ+極。根據(jù)常規(guī)的摻雜工藝，需要先在晶片背面一半的區(qū)域上鍍掩膜，然后用熱擴(kuò)散或離子注入的方法對(duì)另一半未鍍膜區(qū)域進(jìn)行摻雜，之后清除所鍍掩膜，并再次在已摻雜區(qū)域鍍膜，然后用熱擴(kuò)散或離子注入的方法對(duì)當(dāng)前未鍍膜區(qū)域進(jìn)行摻雜，最后清除所有的鍍膜，這才完成η+ 極和P+極的制作制程。這樣的工藝不但制程復(fù)雜，摻雜效率低，所需加工時(shí)間較長(zhǎng)，而且由于制程步驟較多，成品率也較低。另外，由于太陽(yáng)能晶片的許多制程都需要在真空條件下完成，所以如何減少太陽(yáng)能晶片進(jìn)出真空的時(shí)間，以及有效利用太陽(yáng)能晶片在真空中的制程時(shí)間對(duì)提高太陽(yáng)能晶片制造設(shè)備的生產(chǎn)效率而言至關(guān)重要?，F(xiàn)有的許多太陽(yáng)能晶片制造方法都具有較高的生產(chǎn)效率，例如美國(guó)專利20080038908所提到的方法，但是基于該方法的設(shè)計(jì)原理，其生產(chǎn)效率仍然會(huì)受到一些天然的限制，諸如，當(dāng)不同批次的工件進(jìn)出真空環(huán)境時(shí)，或是在真空環(huán)境中從已加工工件切換至下批次待加工工件時(shí)，對(duì)工件的加工制程都不得不發(fā)生中斷，在該中斷時(shí)間段內(nèi)，整個(gè)設(shè)備完全處于無(wú)效運(yùn)行狀態(tài)，即浪費(fèi)了加工資源，又浪費(fèi)了加工時(shí)間。由此可以看出，該專利所公開(kāi)的該生產(chǎn)設(shè)備自然不可能實(shí)現(xiàn)最佳的生產(chǎn)效率。而除了該專利所公開(kāi)的該設(shè)備及方法以外，在現(xiàn)有的各種其它真空制程方法中也未見(jiàn)能夠獲得最佳生產(chǎn)效率的模式。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中太陽(yáng)能晶片摻雜步驟復(fù)雜、真空制程方法生產(chǎn)效率較低的缺陷，提供一種摻雜步驟簡(jiǎn)潔、且生產(chǎn)效率極高的真空制程設(shè)備、 真空傳輸制程設(shè)備及相應(yīng)的方法。本發(fā)明是通過(guò)下述技術(shù)方案來(lái)解決上述技術(shù)問(wèn)題的一種真空制程設(shè)備，其包括一真空制程腔，其特點(diǎn)在于，該真空制程設(shè)備還包括至少一可以在該真空制程腔中移動(dòng)的傳輸平臺(tái)，所述傳輸平臺(tái)具有η個(gè)尺寸相同且沿著所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向延伸的用于承載工件的工件承載區(qū)域，η為大于或等于2的自然數(shù)，每個(gè)工件具有η個(gè)待加工區(qū)域；η個(gè)設(shè)于該真空制程腔中的加工裝置，各加工裝置的加工介質(zhì)用于一一對(duì)應(yīng)地對(duì)工件的各待加工區(qū)域進(jìn)行加工，各加工裝置的加工介質(zhì)能夠穿過(guò)所述傳輸平臺(tái)、但無(wú)法穿過(guò)工件；一控制裝置，用于使各加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與所述傳輸平臺(tái)在與所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上發(fā)生相互獨(dú)立的相對(duì)移動(dòng)；所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)以及各加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與所述傳輸平臺(tái)的相對(duì)移動(dòng)，使得每個(gè)加工裝置的加工介質(zhì)對(duì)各工件承載區(qū)域中的各工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行加工。較佳地，該些加工裝置類型不同，或者，該些加工裝置類型相同、但加工介質(zhì)不同。較佳地，η = 2,每個(gè)工件具有兩個(gè)待加工區(qū)域，且放置為該兩個(gè)待加工區(qū)域的分界線沿與所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向；在同一個(gè)工件承載區(qū)域中，工件相互對(duì)齊， 且沿著所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向，相鄰工件的不同待加工區(qū)域相鄰；沿著與所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向，不同工件承載區(qū)域的相鄰工件的不同待加工區(qū)域相鄰；兩個(gè)加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域的尺寸均為在所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上覆蓋一個(gè)工件的相應(yīng)待加工區(qū)域，在與所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上覆蓋一個(gè)工件承載區(qū)域；每個(gè)加工裝置的加工介質(zhì)對(duì)兩個(gè)工件承載區(qū)域中的各工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行交替加工。較佳地，η = 2,每個(gè)工件具有兩個(gè)待加工區(qū)域，且放置為該兩個(gè)待加工區(qū)域的分界線沿與所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向；在同一個(gè)工件承載區(qū)域中，工件相互對(duì)齊， 且沿著所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向，相鄰工件的相同待加工區(qū)域相鄰；沿著與所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向，不同工件承載區(qū)域的相鄰工件的不同待加工區(qū)域相鄰；兩個(gè)加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域的尺寸均為在所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上覆蓋兩個(gè)工件的相應(yīng)待加工區(qū)域，在與所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上覆蓋一個(gè)工件承載區(qū)域；每個(gè)加工裝置的加工介質(zhì)對(duì)兩個(gè)工件承載區(qū)域中的各工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行交替加工。本發(fā)明的另一技術(shù)方案為一種利用上述真空制程設(shè)備實(shí)現(xiàn)的真空制程方法，其特點(diǎn)在于，所述傳輸平臺(tái)承載著工件在該真空制程腔中移動(dòng)，同時(shí)，該控制裝置使各加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與所述傳輸平臺(tái)在與所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上發(fā)生相互獨(dú)立的相對(duì)移動(dòng)，以使得每個(gè)加工裝置的加工介質(zhì)對(duì)各工件承載區(qū)域中的各工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行交替加工。本發(fā)明的又一技術(shù)方案為一種利用上述真空制程設(shè)備實(shí)現(xiàn)的真空制程方法，其特點(diǎn)在于，所述傳輸平臺(tái)承載著工件在該真空制程腔中移動(dòng)，同時(shí)，每個(gè)加工裝置執(zhí)行以下步驟=S1、該加工裝置利用加工介質(zhì)對(duì)一個(gè)工件承載區(qū)域中沿著與所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向的一排工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行加工；S2、該控制裝置使該加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與所述傳輸平臺(tái)在與所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上發(fā)生相對(duì)移動(dòng)，以使得該加工裝置利用加工介質(zhì)對(duì)另一個(gè)工件承載區(qū)域中沿著與所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向的一排工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行加工；s3、該控制裝置使該加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與所述傳輸平臺(tái)在與所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上發(fā)生相對(duì)移動(dòng)，以使得該加工裝置利用加工介質(zhì)對(duì)步驟S1中的該工件承載區(qū)域中沿著與所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向的一排工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行加工；s4、重復(fù)步驟S-S3，直至全部工件加工完畢；其中，步驟S1與步驟&中受到加工的區(qū)域在所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上是相鄰的，步驟&與步驟&中受到加工的區(qū)域在所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上也是相鄰的。較佳地，針對(duì)相應(yīng)待加工區(qū)域小于工件尺寸的一半的加工裝置，在步驟&和步驟&中，在該加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與所述傳輸平臺(tái)發(fā)生相對(duì)移動(dòng)的之前或之后、并在該加工裝置對(duì)工件執(zhí)行加工之前，該加工裝置停止生成加工介質(zhì)或是將加工介質(zhì)作用區(qū)域移出工件承載區(qū)域。本發(fā)明的又一技術(shù)方案為一種利用上述真空制程設(shè)備實(shí)現(xiàn)的真空制程方法，其特點(diǎn)在于，所述傳輸平臺(tái)承載著工件在該真空制程腔中移動(dòng)，同時(shí)，每個(gè)加工裝置執(zhí)行以下步驟=S1、該加工裝置利用加工介質(zhì)對(duì)一個(gè)工件承載區(qū)域中沿著與所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向的兩排工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行加工，該兩排工件在所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上相鄰；S2、該控制裝置使該加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與所述傳輸平臺(tái)在與所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上發(fā)生相對(duì)移動(dòng)，以使得該加工裝置利用加工介質(zhì)對(duì)另一個(gè)工件承載區(qū)域中沿著與所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向的兩排工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行加工，該兩排工件在所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上相鄰；S3、該控制裝置使該加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與所述傳輸平臺(tái)在與所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上發(fā)生相對(duì)移動(dòng)，以使得該加工裝置利用加工介質(zhì)對(duì)步驟S1中的該工件承載區(qū)域中沿著與所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向的兩排工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行加工，該兩排工件在所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上相鄰；S4、重復(fù)步驟S-S3，直至全部工件加工完畢；其中，步驟S1與步驟&中受到加工的區(qū)域在所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上是相鄰的，步驟&與步驟&中受到加工的區(qū)域在所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上也是相鄰的。較佳地，針對(duì)相應(yīng)待加工區(qū)域小于工件尺寸的一半的加工裝置，在步驟&和步驟 &中，在該加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與所述傳輸平臺(tái)發(fā)生相對(duì)移動(dòng)的之前或之后、并在該加工裝置對(duì)工件執(zhí)行加工之前，該加工裝置停止生成加工介質(zhì)或是將加工介質(zhì)作用區(qū)域移出工件承載區(qū)域。本發(fā)明的又一技術(shù)方案為一種真空傳輸制程設(shè)備，其特點(diǎn)在于，其包括一上述真空制程設(shè)備，該真空傳輸制程設(shè)備還包括一個(gè)連接于該真空制程腔一側(cè)的進(jìn)件腔以及一個(gè)連接于該真空制程腔另一側(cè)的出件腔，該進(jìn)件腔和該出件腔均可以在大氣狀態(tài)與真空狀態(tài)之間切換；所述傳輸平臺(tái)的數(shù)量為一個(gè)，該傳輸平臺(tái)可以沿著該進(jìn)件腔、該真空制程腔、 該出件腔的直線路線往復(fù)移動(dòng)；至少一第一機(jī)械手臂，用于從大氣環(huán)境向位于該進(jìn)件腔中的所述傳輸平臺(tái)裝載工件；至少一第二機(jī)械手臂，用于從位于該出件腔中的所述傳輸平臺(tái)向大氣環(huán)境卸載工件；該傳輸平臺(tái)用于在裝載工件后從該進(jìn)件腔移向該出件腔，使各工件接受各加工裝置的加工介質(zhì)的加工，然后在卸載工件后從該出件腔移回該進(jìn)件腔。較佳地，該些加工裝置類型不同，或者，該些加工裝置類型相同、但加工介質(zhì)不同。較佳地，η = 2，每個(gè)工件具有兩個(gè)待加工區(qū)域，且放置為該兩個(gè)待加工區(qū)域的分界線沿與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向；在同一個(gè)工件承載區(qū)域中，工件相互對(duì)齊，且沿著該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向，相鄰工件的不同待加工區(qū)域相鄰；沿著與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向，不同工件承載區(qū)域的相鄰工件的不同待加工區(qū)域相鄰；兩個(gè)加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域的尺寸均為在該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上覆蓋一個(gè)工件的相應(yīng)待加工區(qū)域，在與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上覆蓋一個(gè)工件承載區(qū)域；每個(gè)加工裝置的加工介質(zhì)對(duì)兩個(gè)工件承載區(qū)域中的各工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行交替加工。較佳地，η = 2，每個(gè)工件具有兩個(gè)待加工區(qū)域，且放置為該兩個(gè)待加工區(qū)域的分界線沿與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向；在同一個(gè)工件承載區(qū)域中，工件相互對(duì)齊，且沿著該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向，相鄰工件的相同待加工區(qū)域相鄰；沿著與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向，不同工件承載區(qū)域的相鄰工件的不同待加工區(qū)域相鄰；兩個(gè)加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域的尺寸均為在該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上覆蓋兩個(gè)工件的相應(yīng)待加工區(qū)域，在與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上覆蓋一個(gè)工件承載區(qū)域；每個(gè)加工裝置的加工介質(zhì)對(duì)兩個(gè)工件承載區(qū)域中的各工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行交替加工。本發(fā)明的又一技術(shù)方案為一種利用上述真空傳輸制程設(shè)備實(shí)現(xiàn)的真空傳輸制程方法，其特點(diǎn)在于，重復(fù)以下步驟直至全部工件加工完畢該進(jìn)件腔充氣至大氣狀態(tài)、該第一機(jī)械手臂從大氣環(huán)境向位于該進(jìn)件腔中的該傳輸平臺(tái)裝載工件、該進(jìn)件腔抽氣至真空狀態(tài)；該傳輸平臺(tái)從該進(jìn)件腔移向該出件腔，使各工件接受各加工裝置的加工介質(zhì)的加工； 該出件腔充氣至大氣狀態(tài)、該第二機(jī)械手臂從位于該出件腔中的該傳輸平臺(tái)向大氣環(huán)境卸載工件、該出件腔抽氣至真空狀態(tài)；該傳輸平臺(tái)從該出件腔移回該進(jìn)件腔；其中，在該傳輸平臺(tái)從該進(jìn)件腔移向該出件腔的過(guò)程中，該控制裝置使各加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與該傳輸平臺(tái)在與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上發(fā)生相互獨(dú)立的相對(duì)移動(dòng)，以使得每個(gè)加工裝置的加工介質(zhì)對(duì)各工件承載區(qū)域中的各工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行交替加工。本發(fā)明的又一技術(shù)方案為一種利用上述真空傳輸制程設(shè)備實(shí)現(xiàn)的真空傳輸制程方法，其特點(diǎn)在于，重復(fù)以下步驟直至全部工件加工完畢該進(jìn)件腔充氣至大氣狀態(tài)、該第一機(jī)械手臂從大氣環(huán)境向位于該進(jìn)件腔中的該傳輸平臺(tái)裝載工件、該進(jìn)件腔抽氣至真空狀態(tài)；該傳輸平臺(tái)從該進(jìn)件腔移向該出件腔，使各工件接受各加工裝置的加工介質(zhì)的加工； 該出件腔充氣至大氣狀態(tài)、該第二機(jī)械手臂從位于該出件腔中的該傳輸平臺(tái)向大氣環(huán)境卸載工件、該出件腔抽氣至真空狀態(tài)；該傳輸平臺(tái)從該出件腔移回該進(jìn)件腔；其中，在該傳輸平臺(tái)從該進(jìn)件腔移向該出件腔的過(guò)程中，每個(gè)加工裝置執(zhí)行以下步驟=S1、該加工裝置利用加工介質(zhì)對(duì)一個(gè)工件承載區(qū)域中沿著與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向的一排工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行加工；s2、該控制裝置使該加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與該傳輸平臺(tái)在與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上發(fā)生相對(duì)移動(dòng)，以使得該加工裝置利用加工介質(zhì)對(duì)另一個(gè)工件承載區(qū)域中沿著與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向的一排工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行加工；s3、該控制裝置使該加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與該傳輸平臺(tái)在與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上發(fā)生相對(duì)移動(dòng)，以使得該加工裝置利用加工介質(zhì)對(duì)步驟S1中的該工件承載區(qū)域中沿著與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向的一排工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行加工；、、重復(fù)步驟S-S3，直至全部工件加工完畢；其中，步驟S1與步驟& 中受到加工的區(qū)域在該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上是相鄰的，步驟&與步驟&中受到加工的區(qū)域在該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上也是相鄰的。較佳地，針對(duì)相應(yīng)待加工區(qū)域小于工件尺寸的一半的加工裝置，在步驟&和步驟 &中，在該加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與所述傳輸平臺(tái)發(fā)生相對(duì)移動(dòng)的之前或之后、并在該加工裝置對(duì)工件執(zhí)行加工之前，該加工裝置停止生成加工介質(zhì)或是將加工介質(zhì)作用區(qū)域移出工件承載區(qū)域。本發(fā)明的又一技術(shù)方案為一種利用上述真空傳輸制程設(shè)備實(shí)現(xiàn)的真空傳輸制程方法，其特點(diǎn)在于，重復(fù)以下步驟直至全部工件加工完畢該進(jìn)件腔充氣至大氣狀態(tài)、該第一機(jī)械手臂從大氣環(huán)境向位于該進(jìn)件腔中的該傳輸平臺(tái)裝載工件、該進(jìn)件腔抽氣至真空狀態(tài)；該傳輸平臺(tái)從該進(jìn)件腔移向該出件腔，使各工件接受各加工裝置的加工介質(zhì)的加工；該出件腔充氣至大氣狀態(tài)、該第二機(jī)械手臂從位于該出件腔中的該傳輸平臺(tái)向大氣環(huán)境卸載工件、該出件腔抽氣至真空狀態(tài)；該傳輸平臺(tái)從該出件腔移回該進(jìn)件腔；其中，在該傳輸平臺(tái)從該進(jìn)件腔移向該出件腔的過(guò)程中，每個(gè)加工裝置執(zhí)行以下步驟=S1、該加工裝置利用加工介質(zhì)對(duì)一個(gè)工件承載區(qū)域中沿著與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向的兩排工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行加工，該兩排工件在該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上相鄰；S2、該控制裝置使該加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與該傳輸平臺(tái)在與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上發(fā)生相對(duì)移動(dòng)，以使得該加工裝置利用加工介質(zhì)對(duì)另一個(gè)工件承載區(qū)域中沿著與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向的兩排工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行加工，該兩排工件在該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上相鄰；S3、該控制裝置使該加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與該傳輸平臺(tái)在與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上發(fā)生相對(duì)移動(dòng)，以使得該加工裝置利用加工介質(zhì)對(duì)步驟S1中的該工件承載區(qū)域中沿著與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向的兩排工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行加工，該兩排工件在該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上相鄰；S4、重復(fù)步驟S2^3， 直至全部工件加工完畢；其中，步驟S1與步驟&中受到加工的區(qū)域在該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上是相鄰的，步驟&與步驟&中受到加工的區(qū)域在該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上也是相鄰的。較佳地，針對(duì)相應(yīng)待加工區(qū)域小于工件尺寸的一半的加工裝置，在步驟&和步驟 &中，在該加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與所述傳輸平臺(tái)發(fā)生相對(duì)移動(dòng)的之前或之后、并在該加工裝置對(duì)工件執(zhí)行加工之前，該加工裝置停止生成加工介質(zhì)或是將加工介質(zhì)作用區(qū)域移出工件承載區(qū)域。本發(fā)明的又一技術(shù)方案為一種真空傳輸制程設(shè)備，其特點(diǎn)在于，其包括一上述真空制程設(shè)備，該真空傳輸制程設(shè)備還包括至少兩個(gè)連接于該真空制程腔一側(cè)的進(jìn)件腔以及至少兩個(gè)連接于該真空制程腔另一側(cè)的出件腔，各進(jìn)件腔與各出件腔一一對(duì)應(yīng)，并均可以在大氣狀態(tài)與真空狀態(tài)之間切換；所述傳輸平臺(tái)的數(shù)量為至少兩個(gè)，各傳輸平臺(tái)與各對(duì)進(jìn)件腔及出件腔一一對(duì)應(yīng)，各傳輸平臺(tái)均可以沿著進(jìn)件腔、該真空制程腔、出件腔的直線路線往復(fù)移動(dòng)，各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)平面各不相同；至少一第一機(jī)械手臂，用于從大氣環(huán)境向位于進(jìn)件腔中的傳輸平臺(tái)裝載工件；至少一第二機(jī)械手臂，用于從位于出件腔中的傳輸平臺(tái)向大氣環(huán)境卸載工件；各傳輸平臺(tái)用于在裝載工件后依次連續(xù)地從進(jìn)件腔經(jīng)該真空制程腔移向出件腔，使各工件接受各加工裝置的加工介質(zhì)的加工，然后在卸載工件后從出件腔經(jīng)該真空制程腔移回進(jìn)件腔。較佳地，各對(duì)進(jìn)件腔及出件腔的設(shè)置高度不同，各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)平面的高度不同。較佳地，該些加工裝置類型不同，或者，該些加工裝置類型相同、但加工介質(zhì)不同。較佳地，η = 2,每個(gè)工件具有兩個(gè)待加工區(qū)域，且放置為該兩個(gè)待加工區(qū)域的分界線沿與各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向；在同一個(gè)工件承載區(qū)域中，工件相互對(duì)齊，且沿著各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向，相鄰工件的不同待加工區(qū)域相鄰；沿著與各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向，不同工件承載區(qū)域的相鄰工件的不同待加工區(qū)域相鄰；兩個(gè)加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域的尺寸均為在各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上覆蓋一個(gè)工件的相應(yīng)待加工區(qū)域，在與各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上覆蓋一個(gè)工件承載區(qū)域；每個(gè)加工裝置的加工介質(zhì)對(duì)兩個(gè)工件承載區(qū)域中的各工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行交替加工。
較佳地，η = 2,每個(gè)工件具有兩個(gè)待加工區(qū)域，且放置為該兩個(gè)待加工區(qū)域的分界線沿與各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向；在同一個(gè)工件承載區(qū)域中，工件相互對(duì)齊，且沿著各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向，相鄰工件的相同待加工區(qū)域相鄰；沿著與各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向，不同工件承載區(qū)域的相鄰工件的不同待加工區(qū)域相鄰；兩個(gè)加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域的尺寸均為在各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上覆蓋兩個(gè)工件的相應(yīng)待加工區(qū)域，在與各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上覆蓋一個(gè)工件承載區(qū)域；每個(gè)加工裝置的加工介質(zhì)對(duì)兩個(gè)工件承載區(qū)域中的各工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行交替加工。本發(fā)明的又一技術(shù)方案為一種利用上述真空傳輸制程設(shè)備實(shí)現(xiàn)的真空傳輸制程方法，其特點(diǎn)在于，各傳輸平臺(tái)在裝載工件后依次連續(xù)地從進(jìn)件腔經(jīng)該真空制程腔移向出件腔，使各工件接受各加工裝置的加工介質(zhì)的加工；除了正處于從進(jìn)件腔經(jīng)該真空制程腔移向出件腔的過(guò)程中的傳輸平臺(tái)之外，其余各傳輸平臺(tái)或是處于從出件腔經(jīng)該真空制程腔移回進(jìn)件腔的過(guò)程中；或是位于進(jìn)件腔中，且該進(jìn)件腔處于充氣至大氣狀態(tài)、該第一機(jī)械手臂從大氣環(huán)境向位于該進(jìn)件腔中的該傳輸平臺(tái)裝載工件、抽氣至真空狀態(tài)的過(guò)程中或過(guò)程結(jié)束后的等待狀態(tài)；或是位于出件腔中，且該出件腔處于充氣至大氣狀態(tài)、該第二機(jī)械手臂從位于該出件腔中的該傳輸平臺(tái)向大氣環(huán)境卸載工件、抽氣至真空狀態(tài)的過(guò)程中或過(guò)程結(jié)束后的等待狀態(tài)；其中，在各傳輸平臺(tái)從進(jìn)件腔移向出件腔的過(guò)程中，該控制裝置使各加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與該傳輸平臺(tái)在與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上發(fā)生相互獨(dú)立的相對(duì)移動(dòng)，以使得每個(gè)加工裝置的加工介質(zhì)對(duì)各工件承載區(qū)域中的各工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行交替加工。本發(fā)明的又一技術(shù)方案為一種利用上述真空傳輸制程設(shè)備實(shí)現(xiàn)的真空傳輸制程方法，其特點(diǎn)在于，各傳輸平臺(tái)在裝載工件后依次連續(xù)地從進(jìn)件腔經(jīng)該真空制程腔移向出件腔，使各工件接受各加工裝置的加工介質(zhì)的加工；除了正處于從進(jìn)件腔經(jīng)該真空制程腔移向出件腔的過(guò)程中的傳輸平臺(tái)之外，其余各傳輸平臺(tái)或是處于從出件腔經(jīng)該真空制程腔移回進(jìn)件腔的過(guò)程中；或是位于進(jìn)件腔中，且該進(jìn)件腔處于充氣至大氣狀態(tài)、該第一機(jī)械手臂從大氣環(huán)境向位于該進(jìn)件腔中的該傳輸平臺(tái)裝載工件、抽氣至真空狀態(tài)的過(guò)程中或過(guò)程結(jié)束后的等待狀態(tài)；或是位于出件腔中，且該出件腔處于充氣至大氣狀態(tài)、該第二機(jī)械手臂從位于該出件腔中的該傳輸平臺(tái)向大氣環(huán)境卸載工件、抽氣至真空狀態(tài)的過(guò)程中或過(guò)程結(jié)束后的等待狀態(tài)；其中，在各傳輸平臺(tái)從進(jìn)件腔移向出件腔的過(guò)程中，每個(gè)加工裝置執(zhí)行以下步驟=S1、該加工裝置利用加工介質(zhì)對(duì)一個(gè)工件承載區(qū)域中沿著與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向的一排工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行加工；S2、該控制裝置使該加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與該傳輸平臺(tái)在與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上發(fā)生相對(duì)移動(dòng)， 以使得該加工裝置利用加工介質(zhì)對(duì)另一個(gè)工件承載區(qū)域中沿著與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向的一排工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行加工；s3、該控制裝置使該加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與該傳輸平臺(tái)在與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上發(fā)生相對(duì)移動(dòng)，以使得該加工裝置利用加工介質(zhì)對(duì)步驟S1中的該工件承載區(qū)域中沿著與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向的一排工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行加工；、、重復(fù)步驟S-S3，直至全部工件加工完畢；其中，步驟S1與步驟&中受到加工的區(qū)域在該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上是相鄰的，步驟&與步驟&中受到加工的區(qū)域在該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上也是相鄰的。較佳地，針對(duì)相應(yīng)待加工區(qū)域小于工件尺寸的一半的加工裝置，在步驟&和步驟&中，在該加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與所述傳輸平臺(tái)發(fā)生相對(duì)移動(dòng)的之前或之后、并在該加工裝置對(duì)工件執(zhí)行加工之前，該加工裝置停止生成加工介質(zhì)或是將加工介質(zhì)作用區(qū)域移出工件承載區(qū)域。本發(fā)明的又一技術(shù)方案為一種利用上述真空傳輸制程設(shè)備實(shí)現(xiàn)的真空傳輸制程方法，其特點(diǎn)在于，各傳輸平臺(tái)在裝載工件后依次連續(xù)地從進(jìn)件腔經(jīng)該真空制程腔移向出件腔，使各工件接受各加工裝置的加工介質(zhì)的加工；除了正處于從進(jìn)件腔經(jīng)該真空制程腔移向出件腔的過(guò)程中的傳輸平臺(tái)之外，其余各傳輸平臺(tái)或是處于從出件腔經(jīng)該真空制程腔移回進(jìn)件腔的過(guò)程中；或是位于進(jìn)件腔中，且該進(jìn)件腔處于充氣至大氣狀態(tài)、該第一機(jī)械手臂從大氣環(huán)境向位于該進(jìn)件腔中的該傳輸平臺(tái)裝載工件、抽氣至真空狀態(tài)的過(guò)程中或過(guò)程結(jié)束后的等待狀態(tài)；或是位于出件腔中，且該出件腔處于充氣至大氣狀態(tài)、該第二機(jī)械手臂從位于該出件腔中的該傳輸平臺(tái)向大氣環(huán)境卸載工件、抽氣至真空狀態(tài)的過(guò)程中或過(guò)程結(jié)束后的等待狀態(tài)；其中，在各傳輸平臺(tái)從進(jìn)件腔移向出件腔的過(guò)程中，每個(gè)加工裝置執(zhí)行以下步驟=S1、該加工裝置利用加工介質(zhì)對(duì)一個(gè)工件承載區(qū)域中沿著與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向的兩排工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行加工，該兩排工件在該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上相鄰；S2、該控制裝置使該加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與該傳輸平臺(tái)在與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上發(fā)生相對(duì)移動(dòng)，以使得該加工裝置利用加工介質(zhì)對(duì)另一個(gè)工件承載區(qū)域中沿著與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向的兩排工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行加工，該兩排工件在該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上相鄰；S3、該控制裝置使該加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與該傳輸平臺(tái)在與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上發(fā)生相對(duì)移動(dòng)，以使得該加工裝置利用加工介質(zhì)對(duì)步驟S1中的該工件承載區(qū)域中沿著與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向的兩排工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行加工，該兩排工件在該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上相鄰；s4、重復(fù)步驟S-S3，直至全部工件加工完畢；其中，步驟S1與步驟&中受到加工的區(qū)域在該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上是相鄰的，步驟&與步驟&中受到加工的區(qū)域在該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上也是相鄰的。較佳地，針對(duì)相應(yīng)待加工區(qū)域小于工件尺寸的一半的加工裝置，在步驟&和步驟 &中，在該加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與所述傳輸平臺(tái)發(fā)生相對(duì)移動(dòng)的之前或之后、并在該加工裝置對(duì)工件執(zhí)行加工之前，該加工裝置停止生成加工介質(zhì)或是將加工介質(zhì)作用區(qū)域移出工件承載區(qū)域。本發(fā)明的又一技術(shù)方案為一種真空傳輸制程設(shè)備，其特點(diǎn)在于，其包括一上述真空制程設(shè)備，該真空傳輸制程設(shè)備還包括至少兩個(gè)連接于該真空制程腔一側(cè)的進(jìn)件腔以及至少兩個(gè)連接于該真空制程腔另一側(cè)的出件腔，各進(jìn)件腔與各出件腔一一對(duì)應(yīng)，并均可以在大氣狀態(tài)與真空狀態(tài)之間切換；所述傳輸平臺(tái)的數(shù)量為至少兩個(gè)，各傳輸平臺(tái)與各對(duì)進(jìn)件腔及出件腔一一對(duì)應(yīng)，各傳輸平臺(tái)均可以沿著進(jìn)件腔、該真空制程腔、出件腔、大氣環(huán)境、進(jìn)件腔的環(huán)形路線單方向移動(dòng)，各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)平面各不相同；至少一機(jī)械手臂，用于從大氣環(huán)境向位于進(jìn)件腔中的傳輸平臺(tái)裝載工件以及從位于出件腔中的傳輸平臺(tái)向大氣環(huán)境卸載工件；各傳輸平臺(tái)用于在裝載工件后依次連續(xù)地從進(jìn)件腔經(jīng)該真空制程腔移向出件腔，使各工件接受各加工裝置的加工介質(zhì)的加工，然后在卸載工件后從出件腔經(jīng)大氣環(huán)境移回進(jìn)件腔。較佳地，各對(duì)進(jìn)件腔及出件腔的設(shè)置高度不同，各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)平面的高度不同。較佳地，該些加工裝置類型不同，或者，該些加工裝置類型相同、但加工介質(zhì)不同。較佳地，η = 2,每個(gè)工件具有兩個(gè)待加工區(qū)域，且放置為該兩個(gè)待加工區(qū)域的分界線沿與各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向；在同一個(gè)工件承載區(qū)域中，工件相互對(duì)齊，且沿著各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向，相鄰工件的不同待加工區(qū)域相鄰；沿著與各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向，不同工件承載區(qū)域的相鄰工件的不同待加工區(qū)域相鄰；兩個(gè)加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域的尺寸均為在各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上覆蓋一個(gè)工件的相應(yīng)待加工區(qū)域，在與各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上覆蓋一個(gè)工件承載區(qū)域；每個(gè)加工裝置的加工介質(zhì)對(duì)兩個(gè)工件承載區(qū)域中的各工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行交替加工。較佳地，η = 2,每個(gè)工件具有兩個(gè)待加工區(qū)域，且放置為該兩個(gè)待加工區(qū)域的分界線沿與各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向；在同一個(gè)工件承載區(qū)域中，工件相互對(duì)齊，且沿著各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向，相鄰工件的相同待加工區(qū)域相鄰；沿著與各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向，不同工件承載區(qū)域的相鄰工件的不同待加工區(qū)域相鄰；兩個(gè)加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域的尺寸均為在各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上覆蓋兩個(gè)工件的相應(yīng)待加工區(qū)域，在與各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上覆蓋一個(gè)工件承載區(qū)域；每個(gè)加工裝置的加工介質(zhì)對(duì)兩個(gè)工件承載區(qū)域中的各工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行交替加工。本發(fā)明的又一技術(shù)方案為一種利用上述真空傳輸制程設(shè)備實(shí)現(xiàn)的真空傳輸制程方法，其特點(diǎn)在于，各傳輸平臺(tái)在裝載工件后依次連續(xù)地從進(jìn)件腔經(jīng)該真空制程腔移向出件腔，使各工件接受各加工裝置的加工介質(zhì)的加工；除了正處于從進(jìn)件腔經(jīng)該真空制程腔移向出件腔的過(guò)程中的傳輸平臺(tái)之外，其余各傳輸平臺(tái)或是處于從出件腔經(jīng)大氣環(huán)境移回進(jìn)件腔的過(guò)程中；或是位于進(jìn)件腔中，且該進(jìn)件腔處于充氣至大氣狀態(tài)、該機(jī)械手臂從大氣環(huán)境向位于該進(jìn)件腔中的該傳輸平臺(tái)裝載工件、抽氣至真空狀態(tài)的過(guò)程中或過(guò)程結(jié)束后的等待狀態(tài)；或是位于出件腔中，且該出件腔處于充氣至大氣狀態(tài)、該機(jī)械手臂從位于該出件腔中的該傳輸平臺(tái)向大氣環(huán)境卸載工件、抽氣至真空狀態(tài)的過(guò)程中或過(guò)程結(jié)束后的等待狀態(tài)；其中，在各傳輸平臺(tái)從進(jìn)件腔移向出件腔的過(guò)程中，該控制裝置使各加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與該傳輸平臺(tái)在與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上發(fā)生相互獨(dú)立的相對(duì)移動(dòng)，以使得每個(gè)加工裝置的加工介質(zhì)對(duì)各工件承載區(qū)域中的各工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行交替加工。本發(fā)明的又一技術(shù)方案為一種利用上述真空傳輸制程設(shè)備實(shí)現(xiàn)的真空傳輸制程方法，其特點(diǎn)在于，各傳輸平臺(tái)在裝載工件后依次連續(xù)地從進(jìn)件腔經(jīng)該真空制程腔移向出件腔，使各工件接受各加工裝置的加工介質(zhì)的加工；除了正處于從進(jìn)件腔經(jīng)該真空制程腔移向出件腔的過(guò)程中的傳輸平臺(tái)之外，其余各傳輸平臺(tái)或是處于從出件腔經(jīng)大氣環(huán)境移回進(jìn)件腔的過(guò)程中；或是位于進(jìn)件腔中，且該進(jìn)件腔處于充氣至大氣狀態(tài)、該機(jī)械手臂從大氣環(huán)境向位于該進(jìn)件腔中的該傳輸平臺(tái)裝載工件、抽氣至真空狀態(tài)的過(guò)程中或過(guò)程結(jié)束后的等待狀態(tài)；或是位于出件腔中，且該出件腔處于充氣至大氣狀態(tài)、該機(jī)械手臂從位于該出件腔中的該傳輸平臺(tái)向大氣環(huán)境卸載工件、抽氣至真空狀態(tài)的過(guò)程中或過(guò)程結(jié)束后的等待狀態(tài)；其中，在各傳輸平臺(tái)從進(jìn)件腔移向出件腔的過(guò)程中，每個(gè)加工裝置執(zhí)行以下步驟 S1、該加工裝置利用加工介質(zhì)對(duì)一個(gè)工件承載區(qū)域中沿著與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向的一排工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行加工；S2、該控制裝置使該加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與該傳輸平臺(tái)在與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上發(fā)生相對(duì)移動(dòng)，以使得該加工裝置利用加工介質(zhì)對(duì)另一個(gè)工件承載區(qū)域中沿著與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向的一排工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行加工；S3、該控制裝置使該加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與該傳輸平臺(tái)在與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上發(fā)生相對(duì)移動(dòng)，以使得該加工裝置利用加工介質(zhì)對(duì)步驟S1中的該工件承載區(qū)域中沿著與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向的一排工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行加工；S4、重復(fù)步驟，直至全部工件加工完畢；其中，步驟S1與步驟&中受到加工的區(qū)域在該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上是相鄰的，步驟&與步驟&中受到加工的區(qū)域在該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上也是相鄰的。較佳地，針對(duì)相應(yīng)待加工區(qū)域小于工件尺寸的一半的加工裝置，在步驟&和步驟 &中，在該加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與所述傳輸平臺(tái)發(fā)生相對(duì)移動(dòng)的之前或之后、并在該加工裝置對(duì)工件執(zhí)行加工之前，該加工裝置停止生成加工介質(zhì)或是將加工介質(zhì)作用區(qū)域移出工件承載區(qū)域。本發(fā)明的又一技術(shù)方案為一種利用上述真空傳輸制程設(shè)備實(shí)現(xiàn)的真空傳輸制程方法，其特點(diǎn)在于，各傳輸平臺(tái)在裝載工件后依次連續(xù)地從進(jìn)件腔經(jīng)該真空制程腔移向出件腔，使各工件接受各加工裝置的加工介質(zhì)的加工；除了正處于從進(jìn)件腔經(jīng)該真空制程腔移向出件腔的過(guò)程中的傳輸平臺(tái)之外，其余各傳輸平臺(tái)或是處于從出件腔經(jīng)大氣環(huán)境移回進(jìn)件腔的過(guò)程中；或是位于進(jìn)件腔中，且該進(jìn)件腔處于充氣至大氣狀態(tài)、該機(jī)械手臂從大氣環(huán)境向位于該進(jìn)件腔中的該傳輸平臺(tái)裝載工件、抽氣至真空狀態(tài)的過(guò)程中或過(guò)程結(jié)束后的等待狀態(tài)；或是位于出件腔中，且該出件腔處于充氣至大氣狀態(tài)、該機(jī)械手臂從位于該出件腔中的該傳輸平臺(tái)向大氣環(huán)境卸載工件、抽氣至真空狀態(tài)的過(guò)程中或過(guò)程結(jié)束后的等待狀態(tài)；其中，在各傳輸平臺(tái)從進(jìn)件腔移向出件腔的過(guò)程中，每個(gè)加工裝置執(zhí)行以下步驟=Sp 該加工裝置利用加工介質(zhì)對(duì)一個(gè)工件承載區(qū)域中沿著與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向的兩排工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行加工，該兩排工件在該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上相鄰； &、該控制裝置使該加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與該傳輸平臺(tái)在與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上發(fā)生相對(duì)移動(dòng)，以使得該加工裝置利用加工介質(zhì)對(duì)另一個(gè)工件承載區(qū)域中沿著與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向的兩排工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行加工，該兩排工件在該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上相鄰；S3、該控制裝置使該加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與該傳輸平臺(tái)在與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上發(fā)生相對(duì)移動(dòng)，以使得該加工裝置利用加工介質(zhì)對(duì)步驟S1中的該工件承載區(qū)域中沿著與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向的兩排工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行加工，該兩排工件在該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上相鄰 ’S4、 重復(fù)步驟S-S3，直至全部工件加工完畢；其中，步驟S1與步驟&中受到加工的區(qū)域在該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上是相鄰的，步驟&與步驟&中受到加工的區(qū)域在該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上也是相鄰的。較佳地，針對(duì)相應(yīng)待加工區(qū)域小于工件尺寸的一半的加工裝置，在步驟&和步驟 &中，在該加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與所述傳輸平臺(tái)發(fā)生相對(duì)移動(dòng)的之前或之后、并在該加工裝置對(duì)工件執(zhí)行加工之前，該加工裝置停止生成加工介質(zhì)或是將加工介質(zhì)作用區(qū)域移出工件承載區(qū)域。本發(fā)明的積極進(jìn)步效果在于本發(fā)明的該真空制程設(shè)備不但能夠連續(xù)有效地對(duì)晶片進(jìn)行加工，而且可以在晶片依次通過(guò)兩個(gè)加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域后，就一次性地完成晶片背面的η+極和ρ+極的制作制程，因此具有極高的摻雜效率；在針對(duì)其它種類的工件時(shí)，也同樣能夠在單一設(shè)備中實(shí)現(xiàn)對(duì)工件上的多個(gè)待加工區(qū)域的加工制程，從而實(shí)現(xiàn)極高的加工效率。另外，本發(fā)明的該真空傳輸制程設(shè)備不但能夠連續(xù)地對(duì)同一個(gè)傳輸平臺(tái)上的各工件進(jìn)行加工，對(duì)于相繼動(dòng)作的傳輸平臺(tái)而言，當(dāng)前一傳輸平臺(tái)上的最后一個(gè)工件即將移出每個(gè)加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域時(shí)，后一傳輸平臺(tái)上的第一個(gè)工件同時(shí)也即將移進(jìn)同一個(gè)加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域，因此當(dāng)傳輸平臺(tái)發(fā)生切換時(shí)，相繼動(dòng)作的傳輸平臺(tái)上的各工件同樣能夠連續(xù)有效地受到各加工介質(zhì)的加工，從而保證整個(gè)加工過(guò)程的連續(xù)有效進(jìn)行，實(shí)現(xiàn)極高的生產(chǎn)效率。


圖1為一太陽(yáng)能晶片的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本發(fā)明的該真空制程方法的第一實(shí)施例的示意圖。圖3為本發(fā)明的該真空制程方法的第二實(shí)施例的示意圖。圖4為本發(fā)明的該真空制程方法的第三實(shí)施例的示意圖。圖5為本發(fā)明的該真空制程方法的第四實(shí)施例的示意圖。圖6為本發(fā)明的該真空傳輸制程設(shè)備的第一實(shí)施例的側(cè)視圖。圖7為本發(fā)明的該真空傳輸制程設(shè)備的第二實(shí)施例的側(cè)視圖。圖8為本發(fā)明的該真空傳輸制程設(shè)備的第三實(shí)施例的原理示意圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖給出本發(fā)明較佳實(shí)施例，以詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)方案。參考圖2-8，本發(fā)明的真空制程設(shè)備包括一真空制程腔1、至少一傳輸平臺(tái)2、至少兩個(gè)加工裝置以及一控制裝置。傳輸平臺(tái)2可以承載著工件在該真空制程腔1中移動(dòng)，并在移動(dòng)過(guò)程中通過(guò)各加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)工件的加工。此處的工件可以為各種類型，例如太陽(yáng)能晶片。每個(gè)工件具有η個(gè)待加工區(qū)域，η為大于或等于2的自然數(shù)，相應(yīng)地，傳輸平臺(tái)2 具有η個(gè)尺寸相同的工件承載區(qū)域(例如圖2-5中的工件承載區(qū)域A-C)，且該些工件承載區(qū)域均沿著傳輸平臺(tái)2的移動(dòng)方向延伸。各加工裝置均設(shè)于該真空制程腔1中，各加工裝置與工件的各待加工區(qū)域一一對(duì)應(yīng)，即每個(gè)加工裝置專用于利用其加工介質(zhì)對(duì)工件的某一相應(yīng)待加工區(qū)域?qū)嵤┘庸?，因此加工裝置的數(shù)量也為η個(gè)。此處的加工裝置可以為例如利用離子束或等離子體加工工件的裝置、對(duì)工件進(jìn)行熱處理或退火處理的裝置等等，并且該些加工裝置既可以類型不同，例如一些利用離子束加工工件，而另一些對(duì)工件進(jìn)行退火處理，或者該些加工裝置也可以均為同一類型，例如均利用離子束加工工件，但是各加工裝置的離子束性質(zhì)各不相同。在本發(fā)明中，傳輸平臺(tái)2為中空結(jié)構(gòu)，當(dāng)其上未承載工件時(shí)，各加工裝置的加工介質(zhì)均能夠穿過(guò)該傳輸平臺(tái)，而當(dāng)其上承載有工件時(shí)，則各加工介質(zhì)將被工件阻擋、并對(duì)工件實(shí)施加工。該控制裝置用于使各加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與傳輸平臺(tái)2在與傳輸平臺(tái) 2的移動(dòng)方向垂直的方向上發(fā)生相互獨(dú)立的相對(duì)移動(dòng)，該些相對(duì)移動(dòng)可以通過(guò)各種方法實(shí)現(xiàn)，例如使傳輸平臺(tái)2發(fā)生機(jī)械移動(dòng)和/或利用電磁效應(yīng)分別地調(diào)節(jié)各加工裝置的加工介質(zhì)傳輸方向等等。由于一方面?zhèn)鬏斊脚_(tái)2在移動(dòng)，另一方面，每個(gè)加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域又在與傳輸平臺(tái)2的移動(dòng)方向垂直的方向上與傳輸平臺(tái)2發(fā)生可控的相對(duì)移動(dòng)，因此當(dāng)工件在傳輸平臺(tái)2上規(guī)律排列，并且上述兩種移動(dòng)的速度互相匹配時(shí)，便可以實(shí)現(xiàn)沿著傳輸平臺(tái)2的移動(dòng)方向觀察，每個(gè)加工裝置都在連續(xù)地或非連續(xù)地對(duì)各工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行加工，而沿著與傳輸平臺(tái)2的移動(dòng)方向垂直的方向觀察，受到每個(gè)加工裝置的加工的區(qū)域則交替地分布在各工件承載區(qū)域中。以下將通過(guò)四個(gè)實(shí)施例對(duì)此進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。真空制程設(shè)備的實(shí)施例1如圖2所示，本實(shí)施例以通過(guò)離子注入摻雜來(lái)制作太陽(yáng)能晶片背面的η+極和P+ 極的情況為例，對(duì)本發(fā)明的真空制程設(shè)備及方法進(jìn)行說(shuō)明。在該實(shí)施例中，顯然η = 2，即每個(gè)晶片背面具有兩個(gè)各占一半的待加工區(qū)域，分別用于形成η+極和ρ+極，在圖2中則分別以方格填充和斜線填充加以區(qū)分；設(shè)有兩個(gè)加工裝置3a和北，此時(shí)該兩個(gè)加工裝置均為離子注入裝置，但加工裝置3a用于向晶片背面的一半?yún)^(qū)域注入η+極性離子，例如P+或As+離子，而加工裝置北則用于向晶片背面的一半?yún)^(qū)域注入P+極性離子，例如B+離子；相應(yīng)地，將傳輸平臺(tái)2劃分為兩個(gè)尺寸相同的工件承載區(qū)域Α、Β，該兩個(gè)工件承載區(qū)域均沿著傳輸平臺(tái)2的移動(dòng)方向(即圖2中的橫向)延伸，在每個(gè)工件承載區(qū)域中，沿著傳輸平臺(tái)2的移動(dòng)方向整齊地排列至少一排晶片，圖2中的每個(gè)工件承載區(qū)域中沿著橫向整齊地排列著兩排晶片。在該實(shí)施例中，傳輸平臺(tái)2上的晶片需要按照一定的規(guī)律排列1)每個(gè)晶片的放置方向均為使得η+極與ρ+極的對(duì)稱軸沿著與傳輸平臺(tái)2的移動(dòng)方向垂直的方向，即該對(duì)稱軸沿著圖2中的縱向；幻在同一個(gè)工件承載區(qū)域中，所有的晶片均相互對(duì)齊，且沿著傳輸平臺(tái)2的移動(dòng)方向觀察時(shí)，每對(duì)相鄰晶片的不同待加工區(qū)域相鄰，即用于形成η+極的區(qū)域與用于形成P+極的區(qū)域相鄰，也就是說(shuō)，每個(gè)工件承載區(qū)域中的全部晶片的η+極和P+極的朝向均是相同的；幻沿著與傳輸平臺(tái)2的移動(dòng)方向垂直的方向觀察時(shí)，分屬工件承載區(qū)域A和工件承載區(qū)域B的每對(duì)相鄰晶片的不同待加工區(qū)域相鄰，也就是說(shuō)，不同工件承載區(qū)域中的晶片的η+極和ρ+極的朝向恰好相反。調(diào)整加工裝置3a和北的運(yùn)行參數(shù)，使其離子束作用區(qū)域的尺寸均為在傳輸平臺(tái) 2的移動(dòng)方向上恰好覆蓋一個(gè)η+極區(qū)域或一個(gè)P+極區(qū)域；在與傳輸平臺(tái)2的移動(dòng)方向垂直的方向上足以覆蓋整個(gè)工件承載區(qū)域A或B。由此，加工裝置3a和北每次可以對(duì)一個(gè)工件承載區(qū)域中沿著圖2中縱向排列的一整排晶片的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行加工。在該真空制程設(shè)備實(shí)際運(yùn)行時(shí)，傳輸平臺(tái)2承載著晶片沿著圖2中的橫向以一恒定速度移動(dòng)，與此同時(shí)，加工裝置3a和北則執(zhí)行以下動(dòng)作(此處僅以加工裝置3a的動(dòng)作為例進(jìn)行說(shuō)明，加工裝置北除了加工對(duì)象區(qū)域從方格填充區(qū)域改變?yōu)樾本€填充區(qū)域之外， 其動(dòng)作方式與加工裝置3a完全相同)S1、加工裝置3a向工件承載區(qū)域B中沿著圖2中縱向排列的第一排晶片的用于形成η+極的區(qū)域Dl注入η+極性離子；&、該控制裝置使加工裝置3a的η+極性離子作用區(qū)域與傳輸平臺(tái)2在與傳輸平臺(tái) 2的移動(dòng)方向垂直的方向上發(fā)生一非常迅速的相對(duì)移動(dòng)，以使得η+極性離子的作用區(qū)域瞬間從瞄準(zhǔn)區(qū)域Dl切換至瞄準(zhǔn)區(qū)域D2，區(qū)域D2為工件承載區(qū)域A中沿著圖2中縱向排列的第一排晶片的用于形成η+極的區(qū)域，隨即加工裝置3a完成對(duì)區(qū)域D2的離子注入；&、該控制裝置使加工裝置3a的η+極性離子作用區(qū)域與傳輸平臺(tái)2在與傳輸平臺(tái) 2的移動(dòng)方向垂直的方向上再次發(fā)生一非常迅速的相對(duì)移動(dòng)，以使得η+極性離子的作用區(qū)域瞬間從瞄準(zhǔn)區(qū)域D2切換至瞄準(zhǔn)區(qū)域D3，區(qū)域D3為工件承載區(qū)域B中沿著圖2中縱向排列的第二排晶片的用于形成η+極的區(qū)域，隨即加工裝置3a完成對(duì)區(qū)域D3的離子注入；、、按照步驟的方式，對(duì)圖2中的工件從右至左地依次進(jìn)行加工，直到該傳輸平臺(tái)上的全部工件加工完畢，或是后續(xù)的多個(gè)傳輸平臺(tái)上的全部工件加工完畢。其中，沿著傳輸平臺(tái)2的移動(dòng)方向觀察時(shí)，受到加工裝置3a的加工的各個(gè)區(qū)域 (例如區(qū)域Dl、D2、D3)均是依次相鄰的，由此可以看出，加工裝置3a始終在對(duì)晶片進(jìn)行有效的連續(xù)加工，因此加工效率極高。假設(shè)傳輸平臺(tái)2先通過(guò)加工裝置3a的作用區(qū)域，而后才通過(guò)加工裝置北的作用區(qū)域，則晶片在通過(guò)加工裝置3a之后，其背面的η+極便已經(jīng)制造完成，而當(dāng)晶片接著再通過(guò)加工裝置北時(shí)，加工裝置北也將按照上述的動(dòng)作方式對(duì)晶片背面的用于形成ρ+極的區(qū)域進(jìn)行加工，從而將其背面的P+極也制作完成。由此，該真空制程設(shè)備便實(shí)現(xiàn)了在一個(gè)單一設(shè)備中一次性地將晶片背面的兩種電極制作完成，這相較于現(xiàn)有的復(fù)雜制作工藝而言， 其效率的提高無(wú)疑是非常顯著的，并且制得的太陽(yáng)能晶片的成品率也將能夠隨之提高。通過(guò)對(duì)加工裝置3a和北的離子束注入強(qiáng)度以及對(duì)傳輸平臺(tái)2沿圖2中橫向移動(dòng)的速度進(jìn)行合適的設(shè)定，便足以保證在離子束作用區(qū)域與晶片之間存在著一定相對(duì)運(yùn)動(dòng)的情況下在晶片背面制作出質(zhì)量良好的η+極和P+極；而通過(guò)對(duì)該控制裝置的運(yùn)行參數(shù)進(jìn)行合適的設(shè)定，便能夠使得離子束作用區(qū)域與傳輸平臺(tái)2之間每次發(fā)生沿圖2中縱向的相對(duì)移動(dòng)的速度遠(yuǎn)高于傳輸平臺(tái)2沿圖2中橫向移動(dòng)的速度，從而保證離子束在對(duì)前一排晶片的待加工區(qū)域完成注入之后，便能夠瞬間切換至對(duì)后一排晶片的待加工區(qū)域進(jìn)行注入的運(yùn)行位置；對(duì)上述的離子束注入強(qiáng)度、各種移動(dòng)速度的合適設(shè)定，對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言均較為容易，故在此不做贅述。另外，對(duì)于太陽(yáng)能晶片而言，由于在制作背面的η+極和ρ+極之前，其結(jié)構(gòu)是完全對(duì)稱的，因此其背面上并不具有確定的用于形成η+極的待加工區(qū)域以及用于形成P+極的待加工區(qū)域。出于這樣的原因，對(duì)太陽(yáng)能晶片的實(shí)際加工過(guò)程相較于上述的普適性方案而言要更加簡(jiǎn)易，只要設(shè)置好傳輸平臺(tái)、加工裝置和控制裝置的運(yùn)行參數(shù)，并且將晶片相互對(duì)齊地整齊排列在傳輸平臺(tái)上即可，而無(wú)需嚴(yán)格區(qū)分它們的放置方向，在完成加工之后各晶片背面的η+極和ρ+極的位置自然便會(huì)形成圖2所示的分布狀態(tài)。但是對(duì)于其它的普通工件而言，在先后通過(guò)各加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域之前，每個(gè)工件上便已經(jīng)具有確定的各待加工區(qū)域，此時(shí)晶片在傳輸平臺(tái)上的排列方式則必須按照上述的放置方向進(jìn)行，因此該實(shí)施例雖然是以太陽(yáng)能晶片為例，但仍然對(duì)工件在傳輸平臺(tái)2上的排列方式進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明，以便于在將本實(shí)施例中的真空制程設(shè)備用于其它工件的加工時(shí)提供足夠詳盡的參考。真空制程設(shè)備的實(shí)施例2如圖3所示，本實(shí)施例的真空制程設(shè)備與真空制程設(shè)備的實(shí)施例1之間的區(qū)別僅在于1)晶片在傳輸平臺(tái)2上的排列方式不同；2)加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域的尺寸不同。在本實(shí)施例中，1)在同一個(gè)工件承載區(qū)域中，晶片相互對(duì)齊，且沿著傳輸平臺(tái)2的移動(dòng)方向觀察，每對(duì)相鄰晶片的相同待加工區(qū)域相鄰，即用于形成η+極的區(qū)域與用于形成 P+極的區(qū)域相鄰，也就是說(shuō)，沿著傳輸平臺(tái)2的移動(dòng)方向觀察時(shí)，每個(gè)工件承載區(qū)域中的每對(duì)相鄰晶片的η+極和ρ+極的朝向均是相反的；2)沿著與傳輸平臺(tái)2的移動(dòng)方向垂直的方向觀察時(shí)，分屬工件承載區(qū)域A和工件承載區(qū)域B的每對(duì)相鄰晶片的不同待加工區(qū)域相鄰。在本實(shí)施例中，加工裝置3a和北的離子束作用區(qū)域的尺寸均為在傳輸平臺(tái)2的移動(dòng)方向上覆蓋兩個(gè)用于形成P+極的區(qū)域或兩個(gè)用于形成η+極的區(qū)域；在與傳輸平臺(tái)2 的移動(dòng)方向垂直的方向上覆蓋工件承載區(qū)域A或B。在該真空制程設(shè)備實(shí)際運(yùn)行時(shí)，傳輸平臺(tái)2承載著晶片沿著圖3中的橫向以一恒定速度移動(dòng)，與此同時(shí)，加工裝置3a和北則執(zhí)行以下動(dòng)作(僅以加工裝置3a的動(dòng)作為例進(jìn)行說(shuō)明，加工裝置北除了加工對(duì)象區(qū)域從方格填充區(qū)域改變?yōu)樾本€填充區(qū)域之外，其動(dòng)作方式與加工裝置3a完全相同)S1、加工裝置3a向工件承載區(qū)域B中沿著圖3中縱向排列的第一、二排晶片的用于形成η+極的區(qū)域El注入η+極性離子；&、該控制裝置使加工裝置3a的η+極性離子作用區(qū)域與傳輸平臺(tái)2在與傳輸平臺(tái) 2的移動(dòng)方向垂直的方向上發(fā)生一非常迅速的相對(duì)移動(dòng)，以使得η+極性離子的作用區(qū)域瞬間從瞄準(zhǔn)區(qū)域El切換至瞄準(zhǔn)區(qū)域Ε2，區(qū)域Ε2為工件承載區(qū)域A中沿著圖3中縱向排列的第二、三排晶片的用于形成η+極的區(qū)域，隨即加工裝置3a完成對(duì)區(qū)域E2的離子注入；S3、該控制裝置使加工裝置3a的η+極性離子作用區(qū)域與傳輸平臺(tái)2在與傳輸平臺(tái)2的移動(dòng)方向垂直的方向上再次發(fā)生一非常迅速的相對(duì)移動(dòng)，以使得η+極性離子的作用區(qū)域瞬間從瞄準(zhǔn)區(qū)域Ε2切換至瞄準(zhǔn)區(qū)域Ε3，區(qū)域Ε3為工件承載區(qū)域B中沿著圖3中縱向排列的第三、四排晶片的用于形成η+極的區(qū)域，隨即加工裝置3a完成對(duì)區(qū)域E3的離子注入；、、按照步驟的方式，對(duì)圖3中的工件從右至左地依次進(jìn)行加工，直到該傳輸平臺(tái)上的全部工件加工完畢，或是后續(xù)的多個(gè)傳輸平臺(tái)上的全部工件加工完畢。其中，沿著傳輸平臺(tái)2的移動(dòng)方向觀察時(shí)，受到加工裝置3a的加工的各個(gè)區(qū)域 (例如區(qū)域El、E2、E3)均是依次相鄰的，由此可以看出，加工裝置3a始終在對(duì)晶片進(jìn)行有效的連續(xù)加工，因此加工效率極高。與真空制程設(shè)備的實(shí)施例1類似地，本實(shí)施例在用于太陽(yáng)能晶片時(shí)，同樣只需將全部晶片在傳輸平臺(tái)上相互對(duì)齊地整齊排列即可，而無(wú)需考慮每個(gè)工件的放置方向，但是為了便于將本實(shí)施例的該真空制程設(shè)備用于其它的普通工件，本實(shí)施例仍然對(duì)工件在傳輸平臺(tái)上的排列方式進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明。本實(shí)施例相較于真空制程設(shè)備的實(shí)施例1而言，由于每個(gè)加工裝置每次可以對(duì)兩排工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行加工，因此加工效率將進(jìn)一步地提高。真空制程設(shè)備的實(shí)施例3以上兩個(gè)實(shí)施例針對(duì)的均是工件上具有兩個(gè)尺寸相同的待加工區(qū)域、且該兩個(gè)待加工區(qū)域的面積各占工件尺寸的一半的情況，以下將以圖4為例，對(duì)工件上具有兩個(gè)待加工區(qū)域、且該兩個(gè)待加工區(qū)域中有一個(gè)的面積小于工件尺寸的一半或是該兩個(gè)待加工區(qū)域的面積均小于工件尺寸的一半的情況進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。如圖4所示，此時(shí)與加工裝置3a相應(yīng)的待加工區(qū)域(方格填充區(qū)域)的面積小于工件尺寸的一半，與加工裝置北相應(yīng)的待加工區(qū)域(斜線填充區(qū)域)的面積則仍為工件尺寸的一半；而傳輸平臺(tái)2上全部工件的排列方式則與真空制程設(shè)備的實(shí)施例2中的工件排列方式完全相同。在本實(shí)施例中，加工裝置3a的加工介質(zhì)作用區(qū)域的尺寸為在傳輸平臺(tái)2的移動(dòng)方向上覆蓋兩個(gè)方格填充區(qū)域；在與傳輸平臺(tái)2的移動(dòng)方向垂直的方向上覆蓋工件承載區(qū)域A或B ；加工裝置北的加工介質(zhì)作用區(qū)域的尺寸為在傳輸平臺(tái)2的移動(dòng)方向上覆蓋兩個(gè)斜線填充區(qū)域；在與傳輸平臺(tái)2的移動(dòng)方向垂直的方向上覆蓋工件承載區(qū)域A或B。在該真空制程設(shè)備實(shí)際運(yùn)行時(shí)，傳輸平臺(tái)2承載著工件沿著圖4中的橫向以一恒定速度移動(dòng)，與此同時(shí)，加工裝置3a則執(zhí)行以下動(dòng)作(加工裝置北的動(dòng)作方式與真空制程設(shè)備的實(shí)施例2中加工裝置北的動(dòng)作方式完全相同，故在此不做贅述)S1、加工裝置3a對(duì)工件承載區(qū)域B中沿著圖4中縱向排列的第一、二排工件的相應(yīng)待加工區(qū)域Fl進(jìn)行加工；S2、該控制裝置使加工裝置3a的加工介質(zhì)作用區(qū)域與傳輸平臺(tái)2在與傳輸平臺(tái)2 的移動(dòng)方向垂直的方向上發(fā)生一非常迅速的相對(duì)移動(dòng)，以使得加工裝置3a的加工介質(zhì)作用區(qū)域瞬間從瞄準(zhǔn)工件承載區(qū)域B切換至瞄準(zhǔn)工件承載區(qū)域A，并且為了避免加工裝置3a 對(duì)工件上不應(yīng)由加工裝置3a進(jìn)行加工的區(qū)域產(chǎn)生誤加工，在加工裝置3a的加工介質(zhì)作用區(qū)域與傳輸平臺(tái)2發(fā)生該相對(duì)移動(dòng)的之前或之后，加工裝置3a會(huì)暫時(shí)停止生成加工介質(zhì)或是暫時(shí)將其加工介質(zhì)作用區(qū)域移出工件承載區(qū)域A和B，此后隨著傳輸平臺(tái)2沿著圖4中橫向的逐漸移動(dòng)，直至加工裝置3a的加工介質(zhì)作用區(qū)域能夠瞄準(zhǔn)區(qū)域F2時(shí)，加工裝置3a才再次開(kāi)始有效運(yùn)行，隨即完成對(duì)區(qū)域F2的加工，其中區(qū)域F2為工件承載區(qū)域A中沿著圖4 中縱向排列的第二、三排工件的相應(yīng)待加工區(qū)域；S3、該控制裝置使加工裝置3a的加工介質(zhì)作用區(qū)域與傳輸平臺(tái)2在與傳輸平臺(tái)2 的移動(dòng)方向垂直的方向上發(fā)生一非常迅速的相對(duì)移動(dòng)，以使得加工裝置3a的加工介質(zhì)作用區(qū)域瞬間從瞄準(zhǔn)工件承載區(qū)域A切換至瞄準(zhǔn)工件承載區(qū)域B，并且為了避免加工裝置3a 對(duì)工件上不應(yīng)由加工裝置3a進(jìn)行加工的區(qū)域產(chǎn)生誤加工，在加工裝置3a的加工介質(zhì)作用區(qū)域與傳輸平臺(tái)2發(fā)生該相對(duì)移動(dòng)的之前或之后，加工裝置3a會(huì)暫時(shí)停止生成加工介質(zhì)或是暫時(shí)將其加工介質(zhì)作用區(qū)域移出工件承載區(qū)域A和B，此后隨著傳輸平臺(tái)2沿著圖4中橫向的逐漸移動(dòng)，直至加工裝置3a的加工介質(zhì)作用區(qū)域能夠瞄準(zhǔn)區(qū)域F3時(shí)，加工裝置3a才再次開(kāi)始有效運(yùn)行，隨即完成對(duì)區(qū)域F3的加工，其中區(qū)域F3為工件承載區(qū)域B中沿著圖4 中縱向排列的第三、四排工件的相應(yīng)待加工區(qū)域；、、按照步驟的方式，對(duì)圖4中的工件從右至左地依次進(jìn)行加工，直到該傳輸平臺(tái)上的全部工件加工完畢，或是后續(xù)的多個(gè)傳輸平臺(tái)上的全部工件加工完畢。其中，沿著傳輸平臺(tái)2的移動(dòng)方向觀察時(shí)，受到加工裝置3a的加工的各個(gè)區(qū)域 (例如區(qū)域Fl、F2、F3)均是依次相鄰的(即其間可以間隔有無(wú)需進(jìn)行任何加工的區(qū)域，但是不夾雜有與其它加工裝置相應(yīng)的待加工區(qū)域)，由此可以看出，加工裝置3a除了需要間歇性地停止生成加工介質(zhì)或是將其加工介質(zhì)作用區(qū)域移出工件承載區(qū)域A和B以外，在其余的時(shí)段中則均能夠?qū)ぜM(jìn)行有效加工，因此加工效率較高。
以上僅對(duì)與加工裝置3a相應(yīng)的待加工區(qū)域的面積小于工件尺寸的一半的情況進(jìn)行了詳細(xì)說(shuō)明，而當(dāng)與加工裝置3a和北相應(yīng)的待加工區(qū)域的面積均小于工件尺寸的一半時(shí)，則它們的動(dòng)作方式將均與圖4所示的實(shí)施例中加工裝置3a的動(dòng)作方式相同，即當(dāng)傳輸平臺(tái)2上承載的工件的非相應(yīng)待加工區(qū)域通過(guò)時(shí)，暫停生成加工介質(zhì)或是暫時(shí)將其加工介質(zhì)移出工件承載區(qū)域，而當(dāng)傳輸平臺(tái)2上承載的工件的相應(yīng)待加工區(qū)域通過(guò)時(shí)，則對(duì)工件進(jìn)行有效加工。本實(shí)施例相較于真空制程設(shè)備的實(shí)施例1而言，由于每個(gè)加工裝置每次可以對(duì)兩排工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行加工，因此加工效率將進(jìn)一步地提高。真空制程設(shè)備的實(shí)施例4如圖5所示，當(dāng)工件上具有三個(gè)尺寸相同的待加工區(qū)域時(shí)，仍然可以采用與前面三個(gè)實(shí)施例類似的方式在一個(gè)單一設(shè)備中一次性地完成對(duì)整個(gè)工件的加工制程。在圖5中，分別以方格填充、斜線填充和圓點(diǎn)填充表示每個(gè)工件上的三個(gè)待加工區(qū)域，并在傳輸平臺(tái)2上劃分三個(gè)工件承載區(qū)域A、B和C，只需將全部工件按照?qǐng)D5所示的方式進(jìn)行排列，便同樣能夠保證對(duì)于每個(gè)加工裝置而言，沿著傳輸平臺(tái)2的移動(dòng)方向觀察，受到該加工裝置的加工的各區(qū)域是依次相鄰的，因此每個(gè)加工裝置均可以實(shí)現(xiàn)有效的連續(xù)運(yùn)行，從而實(shí)現(xiàn)極高的生產(chǎn)效率。以上的實(shí)施例僅針對(duì)工件上具有兩個(gè)待加工區(qū)域的情況，詳盡地例舉了三種可行的加工方案，并針對(duì)工件上具有三個(gè)尺寸相同的待加工區(qū)域的情況，大致地說(shuō)明了一種可行的加工方案，但是本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，對(duì)于以上情況，可行的加工方案并不僅限于上文所述，例如針對(duì)工件上具有兩個(gè)尺寸相同的待加工區(qū)域的情況，當(dāng)工件承載區(qū)域A和B 中的全部工件的放置位置分別與真空制程設(shè)備的實(shí)施例1中相同，但工件承載區(qū)域A中的全部工件的放置位置整體與工件承載區(qū)域B中的全部工件的放置位置錯(cuò)開(kāi)一半的工件尺寸時(shí)，同樣能夠保證各加工裝置的連續(xù)有效運(yùn)行。另外，當(dāng)工件上的待加工區(qū)域的數(shù)量大于或等于三個(gè)、并且各待加工區(qū)域的尺寸相同或不相同時(shí)，本領(lǐng)域技術(shù)人員仍然應(yīng)當(dāng)能夠比較容易地按照本發(fā)明的思路設(shè)計(jì)出可行的加工方案，故在此不做贅述。真空傳輸制程設(shè)備的實(shí)施例1如圖6所示，本實(shí)施例的真空傳輸制程設(shè)備中便應(yīng)用了本發(fā)明提出的該真空制程設(shè)備，并且該真空制程設(shè)備的運(yùn)行方式與上文中所述的完全相同。除了該真空制程設(shè)備之外，該真空傳輸制程設(shè)備還包括一個(gè)連接于該真空制程腔1 一側(cè)的進(jìn)件腔4以及一個(gè)連接于該真空制程腔1另一側(cè)的出件腔5。該進(jìn)件腔4和該出件腔5可以選用體積相較于該真空制程腔1較小的真空盒，它們?cè)谂c該真空制程腔1相連的一側(cè)均具有一密封閥門，而在遠(yuǎn)離該真空制程腔1的另一側(cè)均具有另一密封閥門，該進(jìn)件腔和該出件腔均可以快速地在大氣狀態(tài)與真空狀態(tài)之間切換，從而使得工件能夠通過(guò)它們?cè)谠撜婵罩瞥糖?與大氣環(huán)境之間快速傳遞，而不對(duì)該真空制程腔1的真空狀態(tài)產(chǎn)生影響。在該真空傳輸制程設(shè)備中上述的傳輸平臺(tái)2的數(shù)量為一個(gè)，該傳輸平臺(tái)2可以沿著該進(jìn)件腔4、該真空制程腔1、該出件腔5的直線路線往復(fù)移動(dòng)。在不同的制程步驟中，該傳輸平臺(tái)2可能位于該進(jìn)件腔4中或該出件腔5中，也可能處于從該進(jìn)件腔4經(jīng)該真空制程腔1移向該出件腔5的過(guò)程中，也可能處于從該出件腔5經(jīng)該真空制程腔1移回該進(jìn)件腔4的過(guò)程中。該真空傳輸制程設(shè)備還包括至少一第一機(jī)械手臂6，用于從大氣環(huán)境中的一待加工工件堆放區(qū)向位于該進(jìn)件腔4中的該傳輸平臺(tái)2裝載工件；以及，至少一第二機(jī)械手臂7，用于從位于該出件腔5中的該傳輸平臺(tái)2向大氣環(huán)境中的一已加工工件堆放區(qū)卸載工件。在該真空傳輸制程設(shè)備的實(shí)際運(yùn)行中，重復(fù)以下步驟直至全部工件加工完畢該進(jìn)件腔充氣至大氣狀態(tài)、該第一機(jī)械手臂從大氣環(huán)境向位于該進(jìn)件腔中的該傳輸平臺(tái)裝載工件、該進(jìn)件腔抽氣至真空狀態(tài)；該傳輸平臺(tái)從該進(jìn)件腔移出，在該真空制程腔中使各工件接受各加工裝置的加工介質(zhì)的依次加工(該加工制程的實(shí)現(xiàn)參見(jiàn)本文中關(guān)于真空制程設(shè)備及方法的相關(guān)內(nèi)容)，然后進(jìn)入該出件腔；該出件腔充氣至大氣狀態(tài)、該第二機(jī)械手臂從位于該出件腔中的該傳輸平臺(tái)向大氣環(huán)境卸載工件、該出件腔抽氣至真空狀態(tài)；該傳輸平臺(tái)從該出件腔經(jīng)該真空制程腔移回該進(jìn)件腔。通過(guò)將本發(fā)明的該真空制程設(shè)備應(yīng)用在該真空傳輸制程設(shè)備中，由于該真空制程設(shè)備可以連續(xù)有效地對(duì)各工件進(jìn)行加工，從而在一個(gè)單一設(shè)備中一次性地完成工件制程， 因此該真空傳輸制程設(shè)備也將隨之具有極高的生產(chǎn)效率。真空傳輸制程設(shè)備的實(shí)施例2如圖7所示，本實(shí)施例的真空傳輸制程設(shè)備中便應(yīng)用了本發(fā)明提出的該真空制程設(shè)備，并且該真空制程設(shè)備的運(yùn)行方式與上文中所述的完全相同。除了該真空制程設(shè)備之外，該真空傳輸制程設(shè)備還包括至少兩個(gè)連接于該真空制程腔1 一側(cè)的進(jìn)件腔，以及至少兩個(gè)連接于該真空制程腔1另一側(cè)的出件腔，例如圖7中的進(jìn)件腔如_4d以及出件腔fe_5d，各進(jìn)件腔與各出件腔一一對(duì)應(yīng)。該些進(jìn)件腔與出件腔的結(jié)構(gòu)與真空傳輸制程設(shè)備的實(shí)施例1中的進(jìn)件腔與出件腔完全相同。在該真空傳輸制程設(shè)備中上述的傳輸平臺(tái)的數(shù)量為至少兩個(gè)，例如圖7中的傳輸平臺(tái)h-2d。各傳輸平臺(tái)與各對(duì)進(jìn)件腔及出件腔一一對(duì)應(yīng)，并且可以沿著相應(yīng)進(jìn)件腔、該真空制程腔1、相應(yīng)出件腔的直線路線往復(fù)移動(dòng)。在不同的制程步驟中，一傳輸平臺(tái)可能位于相應(yīng)的進(jìn)件腔中或相應(yīng)的出件腔中，也可能處于從該進(jìn)件腔經(jīng)該真空制程腔移向該出件腔的過(guò)程中，也可能處于從該出件腔經(jīng)該真空制程腔移回該進(jìn)件腔的過(guò)程中。該真空傳輸制程設(shè)備還包括至少一位于各進(jìn)件腔的大氣側(cè)的第一機(jī)械手臂6， 用于從大氣環(huán)境中的待加工工件堆放區(qū)向位于進(jìn)件腔中的傳輸平臺(tái)裝載待加工工件；以及至少一位于各出件腔的大氣側(cè)的第二機(jī)械手臂7，用于從位于出件腔中的傳輸平臺(tái)向大氣環(huán)境中的已加工工件堆放區(qū)卸載已加工工件。在該實(shí)施例中，特別地，各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)平面各不相同。圖7所示便為該真空傳輸制程設(shè)備的一種可選結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖，其中采用了四對(duì)進(jìn)件腔及出件腔以及四個(gè)相應(yīng)的傳輸平臺(tái)，各對(duì)進(jìn)件腔及出件腔相互疊設(shè)，即僅僅設(shè)置高度不同，從而各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)平面也僅僅高度不同。在本實(shí)施例的真空傳輸制程方法中，特別地，已經(jīng)完成工件裝載的各傳輸平臺(tái)從相應(yīng)的進(jìn)件腔移向相應(yīng)的出件腔的動(dòng)作是依次連續(xù)地進(jìn)行的。所謂的依次連續(xù)進(jìn)行意味著當(dāng)一個(gè)已經(jīng)完成工件裝載的傳輸平臺(tái)(例如圖7中的傳輸平臺(tái)2b)開(kāi)始承載著工件從進(jìn)件腔移向出件腔時(shí)，其上的各工件將受到各加工裝置的加工介質(zhì)的依次加工(該加工制程的實(shí)現(xiàn)參見(jiàn)本文中關(guān)于真空制程設(shè)備及方法的相關(guān)內(nèi)容)，稍晚一些，另一個(gè)同樣完成了工件裝載的傳輸平臺(tái)(例如圖7中的傳輸平臺(tái)2c)也將承載著工件從進(jìn)件腔開(kāi)始移向出件腔，但是該后一個(gè)傳輸平臺(tái)的移動(dòng)平面與該前一個(gè)傳輸平臺(tái)的移動(dòng)平面不同，并且該后一個(gè)傳輸平臺(tái)的移動(dòng)進(jìn)度緊隨在該前一個(gè)傳輸平臺(tái)的移動(dòng)進(jìn)度之后，從而當(dāng)該前一個(gè)傳輸平臺(tái)上的最后一個(gè)工件即將移出每個(gè)加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域時(shí)，該后一個(gè)傳輸平臺(tái)上的第一個(gè)工件便即將移進(jìn)同一個(gè)加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域開(kāi)始接受加工，這樣一來(lái)在傳輸平臺(tái)發(fā)生切換時(shí)，仍然能夠確保對(duì)工件的有效加工制程連續(xù)進(jìn)行。而在該前一個(gè)傳輸平臺(tái)以及該后一個(gè)傳輸平臺(tái)先后從進(jìn)件腔移向出件腔的過(guò)程中，其余的各傳輸平臺(tái)的狀態(tài)為1)處于從出件腔經(jīng)該真空制程腔移回進(jìn)件腔的過(guò)程中；或者2)位于相應(yīng)的進(jìn)件腔中 (例如圖7中的傳輸平臺(tái)2d)，并且該進(jìn)件腔正處于充氣至大氣狀態(tài)、該第一機(jī)械手臂6從大氣環(huán)境向位于該進(jìn)件腔中的該傳輸平臺(tái)裝載工件、抽氣至真空狀態(tài)的過(guò)程中或過(guò)程結(jié)束后的等待狀態(tài)；或者3)位于相應(yīng)的出件腔中(例如圖7中的傳輸平臺(tái)加)，并且該出件腔正處于充氣至大氣狀態(tài)、該第二機(jī)械手臂7從位于該出件腔中的該傳輸平臺(tái)向大氣環(huán)境卸載工件、抽氣至真空狀態(tài)的過(guò)程中或過(guò)程結(jié)束后的等待狀態(tài)。在本實(shí)施例的真空傳輸制程設(shè)備中，首先得益于各傳輸平臺(tái)依次連續(xù)地承載著工件通過(guò)各加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域，使得不但同一個(gè)傳輸平臺(tái)上的各工件能夠獲得連續(xù)有效的加工，并且即使在傳輸平臺(tái)發(fā)生切換時(shí)，相繼動(dòng)作的前后兩個(gè)傳輸平臺(tái)上的各工件也能夠獲得連續(xù)有效的加工，從而使得該真空傳輸制程設(shè)備具有極高的生產(chǎn)效率；另外， 由于該真空傳輸制程設(shè)備中還采用了本發(fā)明提出的該真空制程設(shè)備，因此在該真空制程腔 1內(nèi)，各加工裝置均能夠連續(xù)有效地對(duì)工件進(jìn)行加工，并且每個(gè)工件在依次通過(guò)各加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域之后，便能夠一次性地完成對(duì)其上所有待加工區(qū)域的完整制程，這將使得該真空傳輸制程設(shè)備的生產(chǎn)效率獲得進(jìn)一步的提高。真空傳輸制程設(shè)備的實(shí)施例3如圖8所示，本實(shí)施例的真空傳輸制程設(shè)備與真空傳輸制程設(shè)備的實(shí)施例2之間的區(qū)別僅在于在實(shí)施例2中，進(jìn)件腔-真空制程腔1-出件腔形成直線路線，傳輸平臺(tái)沿著該直線路線往復(fù)移動(dòng)；而在該實(shí)施例中，如圖8所示，進(jìn)件腔_>真空制程腔1- >出件腔- >大氣環(huán)境- >進(jìn)件腔形成環(huán)形路線，傳輸平臺(tái)沿著圖8中箭頭所示的方向沿著該環(huán)形路線單方向移動(dòng)；另外，由于此時(shí)針對(duì)各進(jìn)件腔及出件腔的工件裝載以及工件卸載動(dòng)作均可以在大氣環(huán)境中的同一個(gè)區(qū)域中執(zhí)行，因此相應(yīng)地，在本實(shí)施例中無(wú)需再設(shè)置兩個(gè)機(jī)械手臂，而是僅需設(shè)置至少一個(gè)機(jī)械手臂8即可，該機(jī)械手臂8既負(fù)責(zé)從大氣環(huán)境中的待加工工件堆放區(qū)向位于進(jìn)件腔中的傳輸平臺(tái)裝載工件，也負(fù)責(zé)從位于出件腔中的傳輸平臺(tái)向大氣環(huán)境中的已加工工件堆放區(qū)卸載工件。這樣一來(lái)，相較于實(shí)施例2，本實(shí)施例中的該真空傳輸制程設(shè)備結(jié)構(gòu)更加緊湊，運(yùn)轉(zhuǎn)步驟也更加緊湊，因此可以進(jìn)一步地節(jié)省空間和成本， 提高加工效率。在實(shí)際運(yùn)行時(shí)，本實(shí)施例中的真空傳輸制程方法與真空傳輸制程設(shè)備的實(shí)施例2 之間的區(qū)別僅在于各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)路徑由沿直線路線的往復(fù)移動(dòng)變?yōu)檠丨h(huán)形路線的單方向移動(dòng)，特別地各傳輸平臺(tái)在從出件腔移回進(jìn)件腔時(shí)，將不再經(jīng)過(guò)該真空制程腔1，而是改為經(jīng)過(guò)大氣環(huán)境；全部的裝卸工件的動(dòng)作將完全由機(jī)械手臂8執(zhí)行。
綜上所述，本發(fā)明的該真空制程設(shè)備不但能夠連續(xù)有效地對(duì)晶片進(jìn)行加工，而且可以一次性地完成晶片背面的η+極和P+極的制作制程，因此具有極高的摻雜效率；在針對(duì)其它種類的工件時(shí)，也同樣能夠在單一設(shè)備中實(shí)現(xiàn)對(duì)工件上的多個(gè)待加工區(qū)域的加工制程，從而實(shí)現(xiàn)極高的加工效率。另外，本發(fā)明的該真空傳輸制程設(shè)備不但能夠連續(xù)地對(duì)同一個(gè)傳輸平臺(tái)上的各工件進(jìn)行加工，當(dāng)傳輸平臺(tái)發(fā)生切換時(shí)，相繼動(dòng)作的傳輸平臺(tái)上的各工件同樣能夠連續(xù)有效地受到各加工介質(zhì)的加工，從而保證整個(gè)加工過(guò)程的連續(xù)有效進(jìn)行， 實(shí)現(xiàn)極高的生產(chǎn)效率。雖然以上描述了本發(fā)明的具體實(shí)施方式
，但是本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，這些僅是舉例說(shuō)明，本發(fā)明的保護(hù)范圍是由所附權(quán)利要求書(shū)限定的。本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不背離本發(fā)明的原理和實(shí)質(zhì)的前提下，可以對(duì)這些實(shí)施方式做出多種變更或修改，但這些變更和修改均落入本發(fā)明的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種真空制程設(shè)備，其包括一真空制程腔，其特征在于，該真空制程設(shè)備還包括至少一可以在該真空制程腔中移動(dòng)的傳輸平臺(tái)，所述傳輸平臺(tái)具有η個(gè)尺寸相同且沿著所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向延伸的用于承載工件的工件承載區(qū)域，η為大于或等于2的自然數(shù)，每個(gè)工件具有η個(gè)待加工區(qū)域；η個(gè)設(shè)于該真空制程腔中的加工裝置，各加工裝置的加工介質(zhì)用于一一對(duì)應(yīng)地對(duì)工件的各待加工區(qū)域進(jìn)行加工，各加工裝置的加工介質(zhì)能夠穿過(guò)所述傳輸平臺(tái)、但無(wú)法穿過(guò)工件；一控制裝置，用于使各加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與所述傳輸平臺(tái)在與所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上發(fā)生相互獨(dú)立的相對(duì)移動(dòng)；所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)以及各加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與所述傳輸平臺(tái)的相對(duì)移動(dòng)，使得每個(gè)加工裝置的加工介質(zhì)對(duì)各工件承載區(qū)域中的各工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行加工。
2.如權(quán)利要求1所述的真空制程設(shè)備，其特征在于，該些加工裝置類型不同，或者，該些加工裝置類型相同、但加工介質(zhì)不同。
3.如權(quán)利要求1或2所述的真空制程設(shè)備，其特征在于，η= 2，每個(gè)工件具有兩個(gè)待加工區(qū)域，且放置為該兩個(gè)待加工區(qū)域的分界線沿與所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向； 在同一個(gè)工件承載區(qū)域中，工件相互對(duì)齊，且沿著所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向，相鄰工件的不同待加工區(qū)域相鄰；沿著與所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向，不同工件承載區(qū)域的相鄰工件的不同待加工區(qū)域相鄰；兩個(gè)加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域的尺寸均為在所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上覆蓋一個(gè)工件的相應(yīng)待加工區(qū)域，在與所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上覆蓋一個(gè)工件承載區(qū)域；每個(gè)加工裝置的加工介質(zhì)對(duì)兩個(gè)工件承載區(qū)域中的各工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行交替加工。
4.如權(quán)利要求1或2所述的真空制程設(shè)備，其特征在于，η= 2，每個(gè)工件具有兩個(gè)待加工區(qū)域，且放置為該兩個(gè)待加工區(qū)域的分界線沿與所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向； 在同一個(gè)工件承載區(qū)域中，工件相互對(duì)齊，且沿著所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向，相鄰工件的相同待加工區(qū)域相鄰；沿著與所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向，不同工件承載區(qū)域的相鄰工件的不同待加工區(qū)域相鄰；兩個(gè)加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域的尺寸均為在所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上覆蓋兩個(gè)工件的相應(yīng)待加工區(qū)域，在與所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上覆蓋一個(gè)工件承載區(qū)域；每個(gè)加工裝置的加工介質(zhì)對(duì)兩個(gè)工件承載區(qū)域中的各工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行交替加工。
5.一種利用權(quán)利要求1的真空制程設(shè)備實(shí)現(xiàn)的真空制程方法，其特征在于，所述傳輸平臺(tái)承載著工件在該真空制程腔中移動(dòng)，同時(shí)，該控制裝置使各加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與所述傳輸平臺(tái)在與所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上發(fā)生相互獨(dú)立的相對(duì)移動(dòng)，以使得每個(gè)加工裝置的加工介質(zhì)對(duì)各工件承載區(qū)域中的各工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行交替加工。
6.一種利用權(quán)利要求3的真空制程設(shè)備實(shí)現(xiàn)的真空制程方法，其特征在于，所述傳輸平臺(tái)承載著工件在該真空制程腔中移動(dòng)，同時(shí)，每個(gè)加工裝置執(zhí)行以下步驟S1、該加工裝置利用加工介質(zhì)對(duì)一個(gè)工件承載區(qū)域中沿著與所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向的一排工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行加工；·52、該控制裝置使該加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與所述傳輸平臺(tái)在與所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上發(fā)生相對(duì)移動(dòng)，以使得該加工裝置利用加工介質(zhì)對(duì)另一個(gè)工件承載區(qū)域中沿著與所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向的一排工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行加工；·53、該控制裝置使該加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與所述傳輸平臺(tái)在與所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上發(fā)生相對(duì)移動(dòng)，以使得該加工裝置利用加工介質(zhì)對(duì)步驟S1中的該工件承載區(qū)域中沿著與所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向的一排工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行加工；·54、重復(fù)步驟S-S3，直至全部工件加工完畢；其中，步驟S1與步驟&中受到加工的區(qū)域在所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上是相鄰的，步驟&與步驟&中受到加工的區(qū)域在所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上也是相鄰的。
7.如權(quán)利要求6所述的真空制程方法，其特征在于，針對(duì)相應(yīng)待加工區(qū)域小于工件尺寸的一半的加工裝置，在步驟&和步驟&中，在該加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與所述傳輸平臺(tái)發(fā)生相對(duì)移動(dòng)的之前或之后、并在該加工裝置對(duì)工件執(zhí)行加工之前，該加工裝置停止生成加工介質(zhì)或是將加工介質(zhì)作用區(qū)域移出工件承載區(qū)域。
8.一種利用權(quán)利要求4的真空制程設(shè)備實(shí)現(xiàn)的真空制程方法，其特征在于，所述傳輸平臺(tái)承載著工件在該真空制程腔中移動(dòng)，同時(shí)，每個(gè)加工裝置執(zhí)行以下步驟·51、該加工裝置利用加工介質(zhì)對(duì)一個(gè)工件承載區(qū)域中沿著與所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向的兩排工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行加工，該兩排工件在所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上相鄰；·52、該控制裝置使該加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與所述傳輸平臺(tái)在與所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上發(fā)生相對(duì)移動(dòng)，以使得該加工裝置利用加工介質(zhì)對(duì)另一個(gè)工件承載區(qū)域中沿著與所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向的兩排工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行加工，該兩排工件在所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上相鄰；·53、該控制裝置使該加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與所述傳輸平臺(tái)在與所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上發(fā)生相對(duì)移動(dòng)，以使得該加工裝置利用加工介質(zhì)對(duì)步驟S1中的該工件承載區(qū)域中沿著與所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向的兩排工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行加工，該兩排工件在所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上相鄰；·54、重復(fù)步驟，直至全部工件加工完畢；其中，步驟S1與步驟&中受到加工的區(qū)域在所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上是相鄰的，步驟&與步驟&中受到加工的區(qū)域在所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上也是相鄰的。
9.如權(quán)利要求8所述的真空制程方法，其特征在于，針對(duì)相應(yīng)待加工區(qū)域小于工件尺寸的一半的加工裝置，在步驟&和步驟&中，在該加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與所述傳輸平臺(tái)發(fā)生相對(duì)移動(dòng)的之前或之后、并在該加工裝置對(duì)工件執(zhí)行加工之前，該加工裝置停止生成加工介質(zhì)或是將加工介質(zhì)作用區(qū)域移出工件承載區(qū)域。
10.一種真空傳輸制程設(shè)備，其特征在于，其包括一權(quán)利要求1所述的真空制程設(shè)備， 該真空傳輸制程設(shè)備還包括一個(gè)連接于該真空制程腔一側(cè)的進(jìn)件腔以及一個(gè)連接于該真空制程腔另一側(cè)的出件腔，該進(jìn)件腔和該出件腔均可以在大氣狀態(tài)與真空狀態(tài)之間切換；所述傳輸平臺(tái)的數(shù)量為一個(gè)，該傳輸平臺(tái)可以沿著該進(jìn)件腔、該真空制程腔、該出件腔的直線路線往復(fù)移動(dòng)；至少一第一機(jī)械手臂，用于從大氣環(huán)境向位于該進(jìn)件腔中的所述傳輸平臺(tái)裝載工件；至少一第二機(jī)械手臂，用于從位于該出件腔中的所述傳輸平臺(tái)向大氣環(huán)境卸載工件；該傳輸平臺(tái)用于在裝載工件后從該進(jìn)件腔移向該出件腔，使各工件接受各加工裝置的加工介質(zhì)的加工，然后在卸載工件后從該出件腔移回該進(jìn)件腔。
11.如權(quán)利要求10所述的真空傳輸制程設(shè)備，其特征在于，該些加工裝置類型不同，或者，該些加工裝置類型相同、但加工介質(zhì)不同。
12.如權(quán)利要求10或11所述的真空傳輸制程設(shè)備，其特征在于，η= 2，每個(gè)工件具有兩個(gè)待加工區(qū)域，且放置為該兩個(gè)待加工區(qū)域的分界線沿與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向；在同一個(gè)工件承載區(qū)域中，工件相互對(duì)齊，且沿著該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向，相鄰工件的不同待加工區(qū)域相鄰；沿著與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向，不同工件承載區(qū)域的相鄰工件的不同待加工區(qū)域相鄰；兩個(gè)加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域的尺寸均為在該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上覆蓋一個(gè)工件的相應(yīng)待加工區(qū)域，在與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上覆蓋一個(gè)工件承載區(qū)域；每個(gè)加工裝置的加工介質(zhì)對(duì)兩個(gè)工件承載區(qū)域中的各工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行交替加工。
13.如權(quán)利要求10或11所述的真空傳輸制程設(shè)備，其特征在于，η= 2，每個(gè)工件具有兩個(gè)待加工區(qū)域，且放置為該兩個(gè)待加工區(qū)域的分界線沿與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向；在同一個(gè)工件承載區(qū)域中，工件相互對(duì)齊，且沿著該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向，相鄰工件的相同待加工區(qū)域相鄰；沿著與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向，不同工件承載區(qū)域的相鄰工件的不同待加工區(qū)域相鄰；兩個(gè)加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域的尺寸均為在該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上覆蓋兩個(gè)工件的相應(yīng)待加工區(qū)域，在與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上覆蓋一個(gè)工件承載區(qū)域；每個(gè)加工裝置的加工介質(zhì)對(duì)兩個(gè)工件承載區(qū)域中的各工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行交替加工。
14.一種利用權(quán)利要求10所述的真空傳輸制程設(shè)備實(shí)現(xiàn)的真空傳輸制程方法，其特征在于，重復(fù)以下步驟直至全部工件加工完畢該進(jìn)件腔充氣至大氣狀態(tài)、該第一機(jī)械手臂從大氣環(huán)境向位于該進(jìn)件腔中的該傳輸平臺(tái)裝載工件、該進(jìn)件腔抽氣至真空狀態(tài)；該傳輸平臺(tái)從該進(jìn)件腔移向該出件腔，使各工件接受各加工裝置的加工介質(zhì)的加工；該出件腔充氣至大氣狀態(tài)、該第二機(jī)械手臂從位于該出件腔中的該傳輸平臺(tái)向大氣環(huán)境卸載工件、該出件腔抽氣至真空狀態(tài)；該傳輸平臺(tái)從該出件腔移回該進(jìn)件腔；其中，在該傳輸平臺(tái)從該進(jìn)件腔移向該出件腔的過(guò)程中，該控制裝置使各加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與該傳輸平臺(tái)在與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上發(fā)生相互獨(dú)立的相對(duì)移動(dòng)，以使得每個(gè)加工裝置的加工介質(zhì)對(duì)各工件承載區(qū)域中的各工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行交替加工。
15.一種利用權(quán)利要求12所述的真空傳輸制程設(shè)備實(shí)現(xiàn)的真空傳輸制程方法，其特征在于，重復(fù)以下步驟直至全部工件加工完畢該進(jìn)件腔充氣至大氣狀態(tài)、該第一機(jī)械手臂從大氣環(huán)境向位于該進(jìn)件腔中的該傳輸平臺(tái)裝載工件、該進(jìn)件腔抽氣至真空狀態(tài)；該傳輸平臺(tái)從該進(jìn)件腔移向該出件腔，使各工件接受各加工裝置的加工介質(zhì)的加工；該出件腔充氣至大氣狀態(tài)、該第二機(jī)械手臂從位于該出件腔中的該傳輸平臺(tái)向大氣環(huán)境卸載工件、該出件腔抽氣至真空狀態(tài)；該傳輸平臺(tái)從該出件腔移回該進(jìn)件腔；其中，在該傳輸平臺(tái)從該進(jìn)件腔移向該出件腔的過(guò)程中，每個(gè)加工裝置執(zhí)行以下步驟S1、該加工裝置利用加工介質(zhì)對(duì)一個(gè)工件承載區(qū)域中沿著與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向的一排工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行加工；&、該控制裝置使該加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與該傳輸平臺(tái)在與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上發(fā)生相對(duì)移動(dòng)，以使得該加工裝置利用加工介質(zhì)對(duì)另一個(gè)工件承載區(qū)域中沿著與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向的一排工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行加工；·53、該控制裝置使該加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與該傳輸平臺(tái)在與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上發(fā)生相對(duì)移動(dòng)，以使得該加工裝置利用加工介質(zhì)對(duì)步驟S1中的該工件承載區(qū)域中沿著與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向的一排工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行加工；·54、重復(fù)步驟S-S3，直至全部工件加工完畢；其中，步驟S1與步驟&中受到加工的區(qū)域在該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上是相鄰的，步驟 S2與步驟&中受到加工的區(qū)域在該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上也是相鄰的。
16.如權(quán)利要求15所述的真空傳輸制程方法，其特征在于，針對(duì)相應(yīng)待加工區(qū)域小于工件尺寸的一半的加工裝置，在步驟&和步驟&中，在該加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與所述傳輸平臺(tái)發(fā)生相對(duì)移動(dòng)的之前或之后、并在該加工裝置對(duì)工件執(zhí)行加工之前，該加工裝置停止生成加工介質(zhì)或是將加工介質(zhì)作用區(qū)域移出工件承載區(qū)域。
17.一種利用權(quán)利要求13所述的真空傳輸制程設(shè)備實(shí)現(xiàn)的真空傳輸制程方法，其特征在于，重復(fù)以下步驟直至全部工件加工完畢該進(jìn)件腔充氣至大氣狀態(tài)、該第一機(jī)械手臂從大氣環(huán)境向位于該進(jìn)件腔中的該傳輸平臺(tái)裝載工件、該進(jìn)件腔抽氣至真空狀態(tài)；該傳輸平臺(tái)從該進(jìn)件腔移向該出件腔，使各工件接受各加工裝置的加工介質(zhì)的加工；該出件腔充氣至大氣狀態(tài)、該第二機(jī)械手臂從位于該出件腔中的該傳輸平臺(tái)向大氣環(huán)境卸載工件、該出件腔抽氣至真空狀態(tài)；該傳輸平臺(tái)從該出件腔移回該進(jìn)件腔；其中，在該傳輸平臺(tái)從該進(jìn)件腔移向該出件腔的過(guò)程中，每個(gè)加工裝置執(zhí)行以下步驟·51、該加工裝置利用加工介質(zhì)對(duì)一個(gè)工件承載區(qū)域中沿著與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向的兩排工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行加工，該兩排工件在該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上相鄰；·52、該控制裝置使該加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與該傳輸平臺(tái)在與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上發(fā)生相對(duì)移動(dòng)，以使得該加工裝置利用加工介質(zhì)對(duì)另一個(gè)工件承載區(qū)域中沿著與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向的兩排工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行加工，該兩排工件在該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上相鄰；·53、該控制裝置使該加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與該傳輸平臺(tái)在與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上發(fā)生相對(duì)移動(dòng)，以使得該加工裝置利用加工介質(zhì)對(duì)步驟S1中的該工件承載區(qū)域中沿著與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向的兩排工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行加工，該兩排工件在該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上相鄰；·54、重復(fù)步驟，直至全部工件加工完畢；·其中，步驟S1與步驟&中受到加工的區(qū)域在該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上是相鄰的，步驟 S2與步驟&中受到加工的區(qū)域在該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上也是相鄰的。
18.如權(quán)利要求17所述的真空傳輸制程方法，其特征在于，針對(duì)相應(yīng)待加工區(qū)域小于工件尺寸的一半的加工裝置，在步驟&和步驟&中，在該加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與所述傳輸平臺(tái)發(fā)生相對(duì)移動(dòng)的之前或之后、并在該加工裝置對(duì)工件執(zhí)行加工之前，該加工裝置停止生成加工介質(zhì)或是將加工介質(zhì)作用區(qū)域移出工件承載區(qū)域。
19.一種真空傳輸制程設(shè)備，其特征在于，其包括一權(quán)利要求1所述的真空制程設(shè)備， 該真空傳輸制程設(shè)備還包括至少兩個(gè)連接于該真空制程腔一側(cè)的進(jìn)件腔以及至少兩個(gè)連接于該真空制程腔另一側(cè)的出件腔，各進(jìn)件腔與各出件腔一一對(duì)應(yīng)，并均可以在大氣狀態(tài)與真空狀態(tài)之間切換；所述傳輸平臺(tái)的數(shù)量為至少兩個(gè)，各傳輸平臺(tái)與各對(duì)進(jìn)件腔及出件腔一一對(duì)應(yīng)，各傳輸平臺(tái)均可以沿著進(jìn)件腔、該真空制程腔、出件腔的直線路線往復(fù)移動(dòng)，各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)平面各不相同；至少一第一機(jī)械手臂，用于從大氣環(huán)境向位于進(jìn)件腔中的傳輸平臺(tái)裝載工件；至少一第二機(jī)械手臂，用于從位于出件腔中的傳輸平臺(tái)向大氣環(huán)境卸載工件；各傳輸平臺(tái)用于在裝載工件后依次連續(xù)地從進(jìn)件腔經(jīng)該真空制程腔移向出件腔，使各工件接受各加工裝置的加工介質(zhì)的加工，然后在卸載工件后從出件腔經(jīng)該真空制程腔移回進(jìn)件腔。
20.如權(quán)利要求19所述的真空傳輸制程設(shè)備，其特征在于，各對(duì)進(jìn)件腔及出件腔的設(shè)置高度不同，各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)平面的高度不同。
21.如權(quán)利要求20所述的真空傳輸制程設(shè)備，其特征在于，該些加工裝置類型不同，或者，該些加工裝置類型相同、但加工介質(zhì)不同。
22.如權(quán)利要求19-21中任意一項(xiàng)所述的真空傳輸制程設(shè)備，其特征在于，η= 2，每個(gè)工件具有兩個(gè)待加工區(qū)域，且放置為該兩個(gè)待加工區(qū)域的分界線沿與各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向；在同一個(gè)工件承載區(qū)域中，工件相互對(duì)齊，且沿著各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向，相鄰工件的不同待加工區(qū)域相鄰；沿著與各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向，不同工件承載區(qū)域的相鄰工件的不同待加工區(qū)域相鄰；兩個(gè)加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域的尺寸均為在各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上覆蓋一個(gè)工件的相應(yīng)待加工區(qū)域，在與各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上覆蓋一個(gè)工件承載區(qū)域；每個(gè)加工裝置的加工介質(zhì)對(duì)兩個(gè)工件承載區(qū)域中的各工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行交替加工。
23.如權(quán)利要求19-21中任意一項(xiàng)所述的真空傳輸制程設(shè)備，其特征在于，η= 2，每個(gè)工件具有兩個(gè)待加工區(qū)域，且放置為該兩個(gè)待加工區(qū)域的分界線沿與各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向；在同一個(gè)工件承載區(qū)域中，工件相互對(duì)齊，且沿著各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向，相鄰工件的相同待加工區(qū)域相鄰；沿著與各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向，不同工件承載區(qū)域的相鄰工件的不同待加工區(qū)域相鄰；兩個(gè)加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域的尺寸均為在各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上覆蓋兩個(gè)工件的相應(yīng)待加工區(qū)域，在與各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上覆蓋一個(gè)工件承載區(qū)域；每個(gè)加工裝置的加工介質(zhì)對(duì)兩個(gè)工件承載區(qū)域中的各工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行交替加工。
24.一種利用權(quán)利要求19所述的真空傳輸制程設(shè)備實(shí)現(xiàn)的真空傳輸制程方法，其特征在于，各傳輸平臺(tái)在裝載工件后依次連續(xù)地從進(jìn)件腔經(jīng)該真空制程腔移向出件腔，使各工件接受各加工裝置的加工介質(zhì)的加工；除了正處于從進(jìn)件腔經(jīng)該真空制程腔移向出件腔的過(guò)程中的傳輸平臺(tái)之外，其余各傳輸平臺(tái)或是處于從出件腔經(jīng)該真空制程腔移回進(jìn)件腔的過(guò)程中；或是位于進(jìn)件腔中，且該進(jìn)件腔處于充氣至大氣狀態(tài)、該第一機(jī)械手臂從大氣環(huán)境向位于該進(jìn)件腔中的該傳輸平臺(tái)裝載工件、抽氣至真空狀態(tài)的過(guò)程中或過(guò)程結(jié)束后的等待狀態(tài)；或是位于出件腔中，且該出件腔處于充氣至大氣狀態(tài)、該第二機(jī)械手臂從位于該出件腔中的該傳輸平臺(tái)向大氣環(huán)境卸載工件、抽氣至真空狀態(tài)的過(guò)程中或過(guò)程結(jié)束后的等待狀態(tài)；其中，在各傳輸平臺(tái)從進(jìn)件腔移向出件腔的過(guò)程中，該控制裝置使各加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與該傳輸平臺(tái)在與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上發(fā)生相互獨(dú)立的相對(duì)移動(dòng)，以使得每個(gè)加工裝置的加工介質(zhì)對(duì)各工件承載區(qū)域中的各工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行交替加工。
25.一種利用權(quán)利要求22所述的真空傳輸制程設(shè)備實(shí)現(xiàn)的真空傳輸制程方法，其特征在于，各傳輸平臺(tái)在裝載工件后依次連續(xù)地從進(jìn)件腔經(jīng)該真空制程腔移向出件腔，使各工件接受各加工裝置的加工介質(zhì)的加工；除了正處于從進(jìn)件腔經(jīng)該真空制程腔移向出件腔的過(guò)程中的傳輸平臺(tái)之外，其余各傳輸平臺(tái)或是處于從出件腔經(jīng)該真空制程腔移回進(jìn)件腔的過(guò)程中；或是位于進(jìn)件腔中，且該進(jìn)件腔處于充氣至大氣狀態(tài)、該第一機(jī)械手臂從大氣環(huán)境向位于該進(jìn)件腔中的該傳輸平臺(tái)裝載工件、抽氣至真空狀態(tài)的過(guò)程中或過(guò)程結(jié)束后的等待狀態(tài)；或是位于出件腔中，且該出件腔處于充氣至大氣狀態(tài)、該第二機(jī)械手臂從位于該出件腔中的該傳輸平臺(tái)向大氣環(huán)境卸載工件、抽氣至真空狀態(tài)的過(guò)程中或過(guò)程結(jié)束后的等待狀態(tài)；其中，在各傳輸平臺(tái)從進(jìn)件腔移向出件腔的過(guò)程中，每個(gè)加工裝置執(zhí)行以下步驟·51、該加工裝置利用加工介質(zhì)對(duì)一個(gè)工件承載區(qū)域中沿著與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向的一排工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行加工；·52、該控制裝置使該加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與該傳輸平臺(tái)在與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上發(fā)生相對(duì)移動(dòng)，以使得該加工裝置利用加工介質(zhì)對(duì)另一個(gè)工件承載區(qū)域中沿著與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向的一排工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行加工；·53、該控制裝置使該加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與該傳輸平臺(tái)在與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上發(fā)生相對(duì)移動(dòng)，以使得該加工裝置利用加工介質(zhì)對(duì)步驟S1中的該工件承載區(qū)域中沿著與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向的一排工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行加工；·54、重復(fù)步驟S-S3，直至全部工件加工完畢；其中，步驟S1與步驟&中受到加工的區(qū)域在該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上是相鄰的，步驟 S2與步驟&中受到加工的區(qū)域在該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上也是相鄰的。
26.如權(quán)利要求25所述的真空傳輸制程方法，其特征在于，針對(duì)相應(yīng)待加工區(qū)域小于工件尺寸的一半的加工裝置，在步驟&和步驟&中，在該加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與所述傳輸平臺(tái)發(fā)生相對(duì)移動(dòng)的之前或之后、并在該加工裝置對(duì)工件執(zhí)行加工之前，該加工裝置停止生成加工介質(zhì)或是將加工介質(zhì)作用區(qū)域移出工件承載區(qū)域。
27.一種利用權(quán)利要求23所述的真空傳輸制程設(shè)備實(shí)現(xiàn)的真空傳輸制程方法，其特征在于，各傳輸平臺(tái)在裝載工件后依次連續(xù)地從進(jìn)件腔經(jīng)該真空制程腔移向出件腔，使各工件接受各加工裝置的加工介質(zhì)的加工；除了正處于從進(jìn)件腔經(jīng)該真空制程腔移向出件腔的過(guò)程中的傳輸平臺(tái)之外，其余各傳輸平臺(tái)或是處于從出件腔經(jīng)該真空制程腔移回進(jìn)件腔的過(guò)程中；或是位于進(jìn)件腔中，且該進(jìn)件腔處于充氣至大氣狀態(tài)、該第一機(jī)械手臂從大氣環(huán)境向位于該進(jìn)件腔中的該傳輸平臺(tái)裝載工件、抽氣至真空狀態(tài)的過(guò)程中或過(guò)程結(jié)束后的等待狀態(tài)；或是位于出件腔中，且該出件腔處于充氣至大氣狀態(tài)、該第二機(jī)械手臂從位于該出件腔中的該傳輸平臺(tái)向大氣環(huán)境卸載工件、抽氣至真空狀態(tài)的過(guò)程中或過(guò)程結(jié)束后的等待狀態(tài)；其中，在各傳輸平臺(tái)從進(jìn)件腔移向出件腔的過(guò)程中，每個(gè)加工裝置執(zhí)行以下步驟·51、該加工裝置利用加工介質(zhì)對(duì)一個(gè)工件承載區(qū)域中沿著與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向的兩排工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行加工，該兩排工件在該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上相鄰；·52、該控制裝置使該加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與該傳輸平臺(tái)在與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上發(fā)生相對(duì)移動(dòng)，以使得該加工裝置利用加工介質(zhì)對(duì)另一個(gè)工件承載區(qū)域中沿著與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向的兩排工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行加工，該兩排工件在該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上相鄰；·53、該控制裝置使該加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與該傳輸平臺(tái)在與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上發(fā)生相對(duì)移動(dòng)，以使得該加工裝置利用加工介質(zhì)對(duì)步驟S1中的該工件承載區(qū)域中沿著與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向的兩排工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行加工，該兩排工件在該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上相鄰；·54、重復(fù)步驟S-S3，直至全部工件加工完畢；其中，步驟S1與步驟&中受到加工的區(qū)域在該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上是相鄰的，步驟 S2與步驟&中受到加工的區(qū)域在該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上也是相鄰的。
28.如權(quán)利要求27所述的真空傳輸制程方法，其特征在于，針對(duì)相應(yīng)待加工區(qū)域小于工件尺寸的一半的加工裝置，在步驟&和步驟&中，在該加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與所述傳輸平臺(tái)發(fā)生相對(duì)移動(dòng)的之前或之后、并在該加工裝置對(duì)工件執(zhí)行加工之前，該加工裝置停止生成加工介質(zhì)或是將加工介質(zhì)作用區(qū)域移出工件承載區(qū)域。
29.一種真空傳輸制程設(shè)備，其特征在于，其包括一權(quán)利要求1所述的真空制程設(shè)備， 該真空傳輸制程設(shè)備還包括至少兩個(gè)連接于該真空制程腔一側(cè)的進(jìn)件腔以及至少兩個(gè)連接于該真空制程腔另一側(cè)的出件腔，各進(jìn)件腔與各出件腔一一對(duì)應(yīng)，并均可以在大氣狀態(tài)與真空狀態(tài)之間切換；所述傳輸平臺(tái)的數(shù)量為至少兩個(gè)，各傳輸平臺(tái)與各對(duì)進(jìn)件腔及出件腔一一對(duì)應(yīng)，各傳輸平臺(tái)均可以沿著進(jìn)件腔、該真空制程腔、出件腔、大氣環(huán)境、進(jìn)件腔的環(huán)形路線單方向移動(dòng)，各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)平面各不相同；至少一機(jī)械手臂，用于從大氣環(huán)境向位于進(jìn)件腔中的傳輸平臺(tái)裝載工件以及從位于出件腔中的傳輸平臺(tái)向大氣環(huán)境卸載工件；各傳輸平臺(tái)用于在裝載工件后依次連續(xù)地從進(jìn)件腔經(jīng)該真空制程腔移向出件腔，使各工件接受各加工裝置的加工介質(zhì)的加工，然后在卸載工件后從出件腔經(jīng)大氣環(huán)境移回進(jìn)件腔。
30.如權(quán)利要求四所述的真空傳輸制程設(shè)備，其特征在于，各對(duì)進(jìn)件腔及出件腔的設(shè)置高度不同，各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)平面的高度不同。
31.如權(quán)利要求30所述的真空傳輸制程設(shè)備，其特征在于，該些加工裝置類型不同，或者，該些加工裝置類型相同、但加工介質(zhì)不同。
32.如權(quán)利要求四-31中任意一項(xiàng)所述的真空傳輸制程設(shè)備，其特征在于，η= 2，每個(gè)工件具有兩個(gè)待加工區(qū)域，且放置為該兩個(gè)待加工區(qū)域的分界線沿與各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向；在同一個(gè)工件承載區(qū)域中，工件相互對(duì)齊，且沿著各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向，相鄰工件的不同待加工區(qū)域相鄰；沿著與各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向，不同工件承載區(qū)域的相鄰工件的不同待加工區(qū)域相鄰；兩個(gè)加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域的尺寸均為在各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上覆蓋一個(gè)工件的相應(yīng)待加工區(qū)域，在與各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上覆蓋一個(gè)工件承載區(qū)域；每個(gè)加工裝置的加工介質(zhì)對(duì)兩個(gè)工件承載區(qū)域中的各工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行交替加工。
33.如權(quán)利要求四-31中任意一項(xiàng)所述的真空傳輸制程設(shè)備，其特征在于，η= 2，每個(gè)工件具有兩個(gè)待加工區(qū)域，且放置為該兩個(gè)待加工區(qū)域的分界線沿與各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向；在同一個(gè)工件承載區(qū)域中，工件相互對(duì)齊，且沿著各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向，相鄰工件的相同待加工區(qū)域相鄰；沿著與各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向，不同工件承載區(qū)域的相鄰工件的不同待加工區(qū)域相鄰；兩個(gè)加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域的尺寸均為在各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上覆蓋兩個(gè)工件的相應(yīng)待加工區(qū)域，在與各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上覆蓋一個(gè)工件承載區(qū)域；每個(gè)加工裝置的加工介質(zhì)對(duì)兩個(gè)工件承載區(qū)域中的各工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行交替加工。
34.一種利用權(quán)利要求四所述的真空傳輸制程設(shè)備實(shí)現(xiàn)的真空傳輸制程方法，其特征在于，各傳輸平臺(tái)在裝載工件后依次連續(xù)地從進(jìn)件腔經(jīng)該真空制程腔移向出件腔，使各工件接受各加工裝置的加工介質(zhì)的加工；除了正處于從進(jìn)件腔經(jīng)該真空制程腔移向出件腔的過(guò)程中的傳輸平臺(tái)之外，其余各傳輸平臺(tái)或是處于從出件腔經(jīng)大氣環(huán)境移回進(jìn)件腔的過(guò)程中；或是位于進(jìn)件腔中，且該進(jìn)件腔處于充氣至大氣狀態(tài)、該機(jī)械手臂從大氣環(huán)境向位于該進(jìn)件腔中的該傳輸平臺(tái)裝載工件、抽氣至真空狀態(tài)的過(guò)程中或過(guò)程結(jié)束后的等待狀態(tài)； 或是位于出件腔中，且該出件腔處于充氣至大氣狀態(tài)、該機(jī)械手臂從位于該出件腔中的該傳輸平臺(tái)向大氣環(huán)境卸載工件、抽氣至真空狀態(tài)的過(guò)程中或過(guò)程結(jié)束后的等待狀態(tài)；其中，在各傳輸平臺(tái)從進(jìn)件腔移向出件腔的過(guò)程中，該控制裝置使各加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與該傳輸平臺(tái)在與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上發(fā)生相互獨(dú)立的相對(duì)移動(dòng)，以使得每個(gè)加工裝置的加工介質(zhì)對(duì)各工件承載區(qū)域中的各工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行交替加工。
35.一種利用權(quán)利要求32所述的真空傳輸制程設(shè)備實(shí)現(xiàn)的真空傳輸制程方法，其特征在于，各傳輸平臺(tái)在裝載工件后依次連續(xù)地從進(jìn)件腔經(jīng)該真空制程腔移向出件腔，使各工件接受各加工裝置的加工介質(zhì)的加工；除了正處于從進(jìn)件腔經(jīng)該真空制程腔移向出件腔的過(guò)程中的傳輸平臺(tái)之外，其余各傳輸平臺(tái)或是處于從出件腔經(jīng)大氣環(huán)境移回進(jìn)件腔的過(guò)程中；或是位于進(jìn)件腔中，且該進(jìn)件腔處于充氣至大氣狀態(tài)、該機(jī)械手臂從大氣環(huán)境向位于該進(jìn)件腔中的該傳輸平臺(tái)裝載工件、抽氣至真空狀態(tài)的過(guò)程中或過(guò)程結(jié)束后的等待狀態(tài)； 或是位于出件腔中，且該出件腔處于充氣至大氣狀態(tài)、該機(jī)械手臂從位于該出件腔中的該傳輸平臺(tái)向大氣環(huán)境卸載工件、抽氣至真空狀態(tài)的過(guò)程中或過(guò)程結(jié)束后的等待狀態(tài)；其中，在各傳輸平臺(tái)從進(jìn)件腔移向出件腔的過(guò)程中，每個(gè)加工裝置執(zhí)行以下步驟S1、該加工裝置利用加工介質(zhì)對(duì)一個(gè)工件承載區(qū)域中沿著與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向的一排工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行加工；&、該控制裝置使該加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與該傳輸平臺(tái)在與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上發(fā)生相對(duì)移動(dòng)，以使得該加工裝置利用加工介質(zhì)對(duì)另一個(gè)工件承載區(qū)域中沿著與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向的一排工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行加工；·53、該控制裝置使該加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與該傳輸平臺(tái)在與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上發(fā)生相對(duì)移動(dòng)，以使得該加工裝置利用加工介質(zhì)對(duì)步驟S1中的該工件承載區(qū)域中沿著與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向的一排工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行加工；·54、重復(fù)步驟S-S3，直至全部工件加工完畢；其中，步驟S1與步驟&中受到加工的區(qū)域在該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上是相鄰的，步驟 S2與步驟&中受到加工的區(qū)域在該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上也是相鄰的。
36.如權(quán)利要求35所述的真空傳輸制程方法，其特征在于，針對(duì)相應(yīng)待加工區(qū)域小于工件尺寸的一半的加工裝置，在步驟&和步驟&中，在該加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與所述傳輸平臺(tái)發(fā)生相對(duì)移動(dòng)的之前或之后、并在該加工裝置對(duì)工件執(zhí)行加工之前，該加工裝置停止生成加工介質(zhì)或是將加工介質(zhì)作用區(qū)域移出工件承載區(qū)域。
37.一種利用權(quán)利要求33所述的真空傳輸制程設(shè)備實(shí)現(xiàn)的真空傳輸制程方法，其特征在于，各傳輸平臺(tái)在裝載工件后依次連續(xù)地從進(jìn)件腔經(jīng)該真空制程腔移向出件腔，使各工件接受各加工裝置的加工介質(zhì)的加工；除了正處于從進(jìn)件腔經(jīng)該真空制程腔移向出件腔的過(guò)程中的傳輸平臺(tái)之外，其余各傳輸平臺(tái)或是處于從出件腔經(jīng)大氣環(huán)境移回進(jìn)件腔的過(guò)程中；或是位于進(jìn)件腔中，且該進(jìn)件腔處于充氣至大氣狀態(tài)、該機(jī)械手臂從大氣環(huán)境向位于該進(jìn)件腔中的該傳輸平臺(tái)裝載工件、抽氣至真空狀態(tài)的過(guò)程中或過(guò)程結(jié)束后的等待狀態(tài); 或是位于出件腔中，且該出件腔處于充氣至大氣狀態(tài)、該機(jī)械手臂從位于該出件腔中的該傳輸平臺(tái)向大氣環(huán)境卸載工件、抽氣至真空狀態(tài)的過(guò)程中或過(guò)程結(jié)束后的等待狀態(tài)；其中，在各傳輸平臺(tái)從進(jìn)件腔移向出件腔的過(guò)程中，每個(gè)加工裝置執(zhí)行以下步驟 ·51、該加工裝置利用加工介質(zhì)對(duì)一個(gè)工件承載區(qū)域中沿著與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向的兩排工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行加工，該兩排工件在該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上相鄰；·52、該控制裝置使該加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與該傳輸平臺(tái)在與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上發(fā)生相對(duì)移動(dòng)，以使得該加工裝置利用加工介質(zhì)對(duì)另一個(gè)工件承載區(qū)域中沿著與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向的兩排工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行加工，該兩排工件在該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上相鄰；·53、該控制裝置使該加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與該傳輸平臺(tái)在與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上發(fā)生相對(duì)移動(dòng)，以使得該加工裝置利用加工介質(zhì)對(duì)步驟S1中的該工件承載區(qū)域中沿著與該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向的兩排工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行加工，該兩排工件在該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上相鄰；·54、重復(fù)步驟S-S3，直至全部工件加工完畢；其中，步驟S1與步驟&中受到加工的區(qū)域在該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上是相鄰的，步驟 S2與步驟&中受到加工的區(qū)域在該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向上也是相鄰的。
38.如權(quán)利要求37所述的真空傳輸制程方法，其特征在于，針對(duì)相應(yīng)待加工區(qū)域小于工件尺寸的一半的加工裝置，在步驟&和步驟&中，在該加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與所述傳輸平臺(tái)發(fā)生相對(duì)移動(dòng)的之前或之后、并在該加工裝置對(duì)工件執(zhí)行加工之前，該加工裝置停止生成加工介質(zhì)或是將加工介質(zhì)作用區(qū)域移出工件承載區(qū)域。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種真空制程設(shè)備，其包括至少一傳輸平臺(tái)，所述傳輸平臺(tái)具有n個(gè)尺寸相同且沿著所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向延伸的用于承載工件的工件承載區(qū)域，每個(gè)工件具有n個(gè)待加工區(qū)域；n個(gè)加工裝置，各加工裝置的加工介質(zhì)用于一一對(duì)應(yīng)地對(duì)工件的各待加工區(qū)域進(jìn)行加工；一控制裝置，用于使各加工裝置的加工介質(zhì)作用區(qū)域與所述傳輸平臺(tái)在與所述傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上發(fā)生相互獨(dú)立的相對(duì)移動(dòng)；每個(gè)加工裝置的加工介質(zhì)對(duì)各工件承載區(qū)域中的各工件的相應(yīng)待加工區(qū)域進(jìn)行加工。本發(fā)明還公開(kāi)了三種真空制程方法，以及三種真空傳輸制程設(shè)備及方法。本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)極高的生產(chǎn)效率。
文檔編號(hào)H01L21/677GK102403392SQ20101027474
公開(kāi)日2012年4月4日 申請(qǐng)日期2010年9月7日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月7日
發(fā)明者錢鋒 申請(qǐng)人:上海凱世通半導(dǎo)體有限公司