技術(shù)編號：6951887
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及真空制程技術(shù)，特別是涉及一種真空制程設備、真空傳輸制程設備以及相應的方法。背景技術(shù)新能源是二十一世紀世界經(jīng)濟發(fā)展中最具決定力的五大之一，太陽能便是一種清潔、高效、永不衰竭的新能源。在新世紀中，各國政府都將太陽能資源利用作為國家可持續(xù)發(fā)展戰(zhàn)略的重要內(nèi)容，光伏發(fā)電具有安全可靠、無噪聲、無污染、制約少、故障率低、維護簡便等諸多優(yōu)點。近幾年來，國際光伏發(fā)電產(chǎn)業(yè)迅猛發(fā)展，太陽能晶片供不應求，于是提高太陽能晶片的光電轉(zhuǎn)化效率和太陽能晶片的生產(chǎn)能力已經(jīng)成為一個...
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