專利名稱：一種多晶薄膜太陽電池的制備方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種多晶薄膜太陽電池的制備方法，屬于電池材料生產技術領域。
背景技術：
光伏電池可直接將太陽能轉變成電能。大規(guī)模的光伏發(fā)電，目前技術上成熟，在市場上占主導地位的光伏電池仍是硅基光伏電池。由于晶體硅光伏電池的生產成本昂貴， 制備工藝復雜，在大力推廣中受到制約；非晶硅薄膜電池雖然在成本和工藝上比前者有優(yōu)勢，但由于材料固有的亞穩(wěn)態(tài)和多缺陷的特性造成電池穩(wěn)定性較低，大面積光電轉換效率難以進一步提高，多晶銅硒銦薄膜太陽電池具有廣闊的發(fā)展前景。多晶銅硒銦薄膜在長波段具有高光敏性，對可見光能有效吸收，且具有與晶體硅一樣的光照穩(wěn)定性，因此被公認為高效、低耗的最理想的光伏器件材料。另一方面，大晶粒的銅硒銦薄膜具有與晶體硅可相比擬的高遷移率，可以做成大面積、具有快速響應的場效應薄膜晶體管、傳感器等光電器件， 從而在開辟新一代大陣列的液晶顯示技術、微電子技術中具有廣闊應用前景。

發(fā)明內容
本發(fā)明的目的是一種多晶薄膜太陽電池的制備方法，制成的銅硒銦多晶薄膜太陽能電池的效率為2% .填補國內空白。制備技術1.襯底的選擇和制備襯底材料對膜質量的影響是至關重要的，不同的襯底材料上生長的膜的形貌會有較大的差異，而襯底材料中所含的某些微量元素也會影響膜的質量。Sodalime玻璃襯底內應含低的雜質濃度，應具有相對較好的導熱性，受到收縮應力的影響自然會使薄膜更緊密。 比較理想的襯底材料是Soda lime玻璃薄膜，其厚度要小于4mm為最佳。2.在襯底上直接沉積銅硒銦薄膜一般固相晶化的方法必須分兩步制備氧化鋅薄膜，時間較長。如果沉積銅硒銦薄膜和熱處理不在同一系統(tǒng)中，則在轉移剛沉積的銅硒銦薄膜的過程中，引入其它雜質，這都會對薄膜的性能產生不良的影響，其流程示意圖如

圖1所示，蒸發(fā)硒化的步驟是襯底溫度加熱到270度，經過14分鐘后，便得到一層含有硒的銅層。即將蒸發(fā)完時，開始蒸發(fā)銦，硒的溫度控制在320度，30分鐘后便在原銅層上生長一層含硒的銦層。然后將襯底溫度升高到630左右進行銦化，這時硒源溫度降到270度左右。
權利要求
1.一種多晶薄膜太陽電池的制備方法，不同的襯底材料上生長的膜的形貌會有較大的差異，而襯底材料中所含的某些微量元素也會影響膜的質量。玻璃襯底內應含低的雜質濃度，應具有相對較好的導熱性，且熱膨脹系數(shù)稍大于CIS膜，這是因為在冷卻成膜時，受到收縮應力的影響自然會使薄膜更緊密。比較理想的襯底材料是Soda lime玻璃，其厚度要小于4mm為佳。制成的多晶膜太陽電池的效率為2%，填補國內外空白。
2.根據權利要求1所述的一種多晶薄膜太陽電池的制備方法，襯底材料是Sodalime 玻璃。
3.根據權利要求1所述的一種多晶薄膜太陽電池的制備方法，在襯底上直接沉積銅硒銦薄膜。
全文摘要
本發(fā)明是一種多晶薄膜太陽電池的制備方法，不同的襯底材料上生長的膜的形貌會有較大的差異，而襯底材料中所含的某些微量元素也會影響膜的質量。玻璃襯底內應含低的雜質濃度，應具有相對較好的導熱性，且熱膨脹系數(shù)稍大于CSI膜，這是因為在冷卻成膜時，受到收縮應力的影響自然會使薄膜更緊密。比較理想的襯底材料是Soda lime玻璃，其厚度要小于4mm為佳。制成的多晶薄膜太陽電池的效率為24.2％，填補國內外空白。
文檔編號H01L31/18GK102237436SQ201010166939
公開日2011年11月9日 申請日期2010年5月5日 優(yōu)先權日2010年5月5日
發(fā)明者黃慶舉 申請人:茂名學院