專(zhuān)利名稱(chēng)：晶圓置放架的結(jié)構(gòu)改良的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種晶圓置放架的結(jié)構(gòu)改良，特別是涉及一種可以藉 由抗酸洗材質(zhì)的晶圓置放架，使晶圓在處理的過(guò)程中不會(huì)受其它物質(zhì)的影 響，而能夠讓晶圓達(dá)到穩(wěn)定功效的晶圓置放架的結(jié)構(gòu)改良。
背景技術(shù)：
請(qǐng)參閱圖1所示，是現(xiàn)有習(xí)用的晶圓置放架的外觀立體示意圖。 一般現(xiàn)有習(xí)用的晶圓置放架5，是由呈相對(duì)應(yīng)設(shè)置的二個(gè)側(cè)板5 1，各側(cè)板5 1 上呈間隙的分別設(shè)置有多數(shù)的支撐桿5 2及固定桿5 3，并且該各支撐桿 5 2及固定桿5 3的二端是分別配合設(shè)有固定組件5 4而與側(cè)板5 l相固 接，并且在各固定桿5 3相對(duì)應(yīng)的內(nèi)側(cè)緣配合固定組件5 4固接設(shè)有多數(shù) 的具有嵌槽5 5 l的承載單元5 5;藉此，可以將多數(shù)的晶圓分別設(shè)置于該 承載單元5 5的嵌槽5 5 l中，而達(dá)到集中置放晶圓的功效。雖然上述現(xiàn)有習(xí)用的晶圓置放架5可以達(dá)到集中置放晶圓的功效，但 是由于各側(cè)板5 1 、支撐桿5 2 、固定桿5 3以及固定組件5 4皆是為金 屬材質(zhì)所制成，因此，當(dāng)晶圓需要進(jìn)行酸洗處理而將晶圓置放架5連同晶圓 共同放入酸洗槽中時(shí)，該金屬材質(zhì)的側(cè)板5 1、支撐桿5 2、固定桿5 3以 及固定組件5 4則會(huì)一并參與酸洗反應(yīng)，從而影響晶圓進(jìn)行酸洗時(shí)的穩(wěn)定 性，使酸洗后的晶圓特性受到影響。由此可見(jiàn)，上述現(xiàn)有的晶圓置放架在結(jié)構(gòu)與使用上，顯然仍存在有不 便與缺陷，而亟待加以進(jìn)一步的改進(jìn)。為了解決上述存在的問(wèn)題，相關(guān)廠 商莫不費(fèi)盡心思來(lái)謀求解決之道，但是長(zhǎng)久以來(lái)一直未見(jiàn)有適用的結(jié)構(gòu)設(shè) 計(jì)被發(fā)展完成，而一般現(xiàn)有的產(chǎn)品又沒(méi)有適切結(jié)構(gòu)能夠解決上述問(wèn)題,此顯 然是相關(guān)業(yè)者急欲解決的問(wèn)題。因此，如何能夠創(chuàng)設(shè)一種新型的晶圓置放 架的結(jié)構(gòu)改良，實(shí)屬當(dāng)前重要研發(fā)課題之一，亦成為當(dāng)前業(yè)界極需改進(jìn)的 目標(biāo)。有鑒于上述現(xiàn)有的晶圓置放架所存在的缺陷，本發(fā)明人基于從事此類(lèi) 產(chǎn)品設(shè)計(jì)制造多年豐富的實(shí)務(wù)經(jīng)驗(yàn)及其專(zhuān)業(yè)知識(shí)，并配合學(xué)理的運(yùn)用，積極 加以研究創(chuàng)新，以期創(chuàng)設(shè)一種新型的晶圓置放架的結(jié)構(gòu)改良，能夠改進(jìn)一般 現(xiàn)有的晶圓置放架，使其更具有實(shí)用性。經(jīng)過(guò)不斷的研究、設(shè)計(jì)，并經(jīng)過(guò)反 復(fù)試作樣品及改進(jìn)后，終于創(chuàng)設(shè)出確具實(shí)用價(jià)值的本實(shí)用新型。發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的主要目的在于，克服現(xiàn)有的晶圓置放架存在的缺陷，而提 供一種新型的晶圓置放架的結(jié)構(gòu)改良，所要解決的技術(shù)問(wèn)題是使其可將所 需的晶圓集中置放于晶圓置放架上，并直接置入酸洗槽中進(jìn)行處理，可藉 由抗酸洗材質(zhì)的晶圓置放架，使晶圓在處理過(guò)程中不受其它物質(zhì)的影響，而 能夠讓晶圓達(dá)到穩(wěn)定的功效，非常適于實(shí)用。本實(shí)用新型的目的及解決其技術(shù)問(wèn)題是采用以下的技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)的。依據(jù)本實(shí)用新型提出的一種晶圓置放架的結(jié)構(gòu)改良，其包括二側(cè)板，是 呈相對(duì)應(yīng)設(shè)置，且各側(cè)板為抗酸洗的材質(zhì)；多數(shù)支撐桿，其二端分別設(shè)置 于上述二側(cè)板相對(duì)應(yīng)的一面上，且鄰近各側(cè)板的二側(cè)及底緣，而各支撐桿是 為抗酸洗的材質(zhì)，并在各支撐桿的內(nèi)側(cè)緣設(shè)有多數(shù)相對(duì)應(yīng)的嵌槽；以及多 數(shù)固定桿，其二端分別設(shè)置于上述二側(cè)板底部相對(duì)應(yīng)的一面上，各固定桿 是為抗酸洗的材質(zhì)。本實(shí)用新型的目的及解決其技術(shù)問(wèn)題還可采用以下技術(shù)措施來(lái)進(jìn)一步 實(shí)現(xiàn)。前述的晶圓置放架的結(jié)構(gòu)改良，其中所述的各側(cè)板相對(duì)應(yīng)的一面上設(shè) 有多數(shù)與各支撐桿及固定桿二端相結(jié)合的定位槽。前述的晶圓置放架的結(jié)構(gòu)改良，其中所述的側(cè)板的外側(cè)面上設(shè)有一容 置槽，該容置槽中具有一芯片，且該容置槽的開(kāi)口處蓋設(shè)有一封閉板。前述的晶圓置放架的結(jié)構(gòu)改良，其中所述的各支撐桿的二端分別具有 一與側(cè)板相結(jié)合的插接部。前述的晶圓置放架的結(jié)構(gòu)改良，其中所述的各固定桿的二端分別具有 一與側(cè)板相結(jié)合的插接部。本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有明顯的優(yōu)點(diǎn)和有益效果。經(jīng)由以上可 知，為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提供了 一種晶圓置放架的結(jié)構(gòu)改良，包 含二呈相對(duì)應(yīng)設(shè)置的側(cè)板，且各側(cè)板是為抗酸洗的材質(zhì)；多數(shù)二端分別設(shè) 置于側(cè)板相對(duì)應(yīng)的一面上且鄰近各側(cè)板的二側(cè)及底緣的支撐桿，且各支撐 桿是為抗酸洗的材質(zhì)，而各支撐桿的內(nèi)側(cè)緣設(shè)有多數(shù)相對(duì)應(yīng)的嵌槽；以及 多數(shù)二端分別設(shè)置于二側(cè)板底部相對(duì)應(yīng)一面上的固定桿，而各固定桿是為 抗酸洗的材質(zhì)。借由上述技術(shù)方案，本實(shí)用新型晶圓置放架的結(jié)構(gòu)改良至少具有下列 優(yōu)點(diǎn)及有益效果本實(shí)用新型可以有效的改善現(xiàn)有習(xí)用晶圓置放架存在的 種種缺點(diǎn)，可以將所需的晶圓集中置放于晶圓置放架上，并直接置入酸洗槽 中進(jìn)行處理，可藉由抗酸洗材質(zhì)的晶圓置放架，使晶圓在處理過(guò)程中不受 其它物質(zhì)的影響，而能夠讓晶圓達(dá)到性能穩(wěn)定的功效，進(jìn)而使本實(shí)用新型 具有技術(shù)更進(jìn)步、更實(shí)用、更符合使用者所需的功效。綜上所述，本實(shí)用新型具有上述諸多優(yōu)點(diǎn)及實(shí)用價(jià)值，其不論在產(chǎn)品 結(jié)構(gòu)或功能上皆有較大改進(jìn)，在技術(shù)上有顯著的進(jìn)步，并產(chǎn)生了好用及實(shí) 用的效果，且較現(xiàn)有的晶圓置放架具有增進(jìn)的突出功效，從而更加適于實(shí) 用，誠(chéng)為一新穎、進(jìn)步、實(shí)用的新設(shè)計(jì)。上述說(shuō)明僅是本實(shí)用新型技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本實(shí) 用新型的技術(shù)手段，而可依照說(shuō)明書(shū)的內(nèi)容予以實(shí)施，并且為了讓本實(shí)用 新型的上述和其他目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實(shí)施 例，并配合附圖，詳細(xì)說(shuō)明如下。


圖l是現(xiàn)有習(xí)用的晶圓置放架的外觀立體示意圖。圖2是本實(shí)用新型晶圓置放架的結(jié)構(gòu)改良較佳實(shí)施例分解立體示意圖。 圖3是本實(shí)用新型晶圓置放架的結(jié)構(gòu)改良較佳實(shí)施例外觀立體示意圖。 圖4是本實(shí)用新型晶圓置放架的結(jié)構(gòu)改良另一較佳實(shí)施例的分解立體 示意圖。圖5是本實(shí)用新型晶圓置放架的結(jié)構(gòu)改良另一較佳實(shí)施例的使用狀態(tài) 示意圖。1:側(cè)板11 :定位槽12容置槽13 :心/T14封閉板2:支撐桿21插接部22 :嵌槽3固定桿31 :插接部4:讀取才幾構(gòu)5:晶圓置放務(wù)51側(cè)板52 :支撐桿53固定桿54 :固定組件55承載單元55 1二嵌槽具體實(shí)施方式
為更進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型為達(dá)成預(yù)定發(fā)明目的所采取的技術(shù)手段及 功效，
以下結(jié)合附圖及較佳實(shí)施例，對(duì)依據(jù)本實(shí)用新型提出的晶圓置放架的 結(jié)構(gòu)改良其具體實(shí)施方式
、結(jié)構(gòu)、特征及其功效，詳細(xì)說(shuō)明如后。有關(guān)本實(shí)用新型的前述及其他技術(shù)內(nèi)容、特點(diǎn)及功效，在以下配合參 考圖式較佳實(shí)施例的詳細(xì)說(shuō)明中將可清楚呈現(xiàn)。通過(guò)具體實(shí)施方式
說(shuō)明，當(dāng);解，所々附圖式僅提供參考與說(shuō)明之用，并非用來(lái)對(duì)本實(shí)用新型加以限制、。請(qǐng)參閱圖2及圖3所示，圖2是本實(shí)用新型晶圓置放架的結(jié)構(gòu)改良較佳實(shí)施例的分解立體示意圖，圖3是外觀立體示意圖。本實(shí)用新型較佳實(shí)施 例的一種晶圓置放架的結(jié)構(gòu)改良，至少是由二側(cè)板1 、多數(shù)支撐桿2以及多 數(shù)固定桿3所構(gòu)成。上述的各側(cè)板1 ，是呈相對(duì)應(yīng)設(shè)置，且各側(cè)板1是為抗酸洗的材質(zhì)，并 在各側(cè)板1相對(duì)應(yīng)的一面上設(shè)有多數(shù)定位槽11。上述的各支撐桿2 ，分別設(shè)置于上述二側(cè)板1相對(duì)應(yīng)的一面上且鄰近 各側(cè)板1的二側(cè)及底緣，并在各支撐桿2的二端分別具有一與側(cè)板1所設(shè) 置定位槽l l相結(jié)合的插接部2 1，而各支撐桿2是為抗酸洗的材質(zhì)，另外 在各支撐桿2的內(nèi)側(cè)緣設(shè)有多數(shù)相對(duì)應(yīng)的嵌槽2 2 。上述的各固定桿3 ，分別設(shè)置于上述二側(cè)板1底部相對(duì)應(yīng)的一面上，而 各固定桿3的二端分別具有一與側(cè)板1所設(shè)置定位槽1 1相結(jié)合的插接部 3 1，且各固定桿3是為抗酸洗的材質(zhì)。如此，藉由上述結(jié)構(gòu)相組合，構(gòu)成一全新的晶圓置放架的結(jié)構(gòu)改良。當(dāng)本實(shí)用新型在運(yùn)用時(shí)，可以自動(dòng)化的工具夾取晶圓(圖未示)，并逐 一放置于各支撐桿2內(nèi)側(cè)緣相對(duì)應(yīng)的多數(shù)嵌槽2 2中，藉以完成晶圓的集 中置放，以防止晶圓在存放時(shí)產(chǎn)生破裂及污損；而在清洗時(shí)，可將本實(shí)用 新型的晶圓置放架連同晶圓直接置放于所需的酸洗槽中進(jìn)行所需的酸洗處 理，由于各側(cè)板1 、支撐桿2以及固定桿3是為抗酸洗材質(zhì)所制成，因此在 酸洗的過(guò)程中并不會(huì)參與反應(yīng)，如此，即可使晶圓在處理過(guò)程中不會(huì)受其它 物質(zhì)的影響，而能夠達(dá)到較佳的穩(wěn)定性。請(qǐng)參閱圖4及圖5所示，圖4是本實(shí)用新型晶圓置放架的結(jié)構(gòu)改良另 一較佳實(shí)施例的分解立體示意圖，圖5是另一較佳實(shí)施例的使用狀態(tài)示意 圖。當(dāng)本實(shí)用新型另 一較佳實(shí)施例的晶圓置放架的結(jié)構(gòu)改良在運(yùn)用時(shí)，可以 在該側(cè)板1的外側(cè)面上設(shè)有一容置槽1 2 ，在該容置槽1 2中具有一芯片 13，且該容置槽1 2的開(kāi)口處是以超聲波熱熔的方式蓋設(shè)有一封閉板14;其 中，該芯片1 3可為RF芯片，且該芯片1 3中可儲(chǔ)存有該晶圓置放架上所 承載的各晶圓編號(hào)或其它建立檔案訊息，可以讓操作人員配合一讀取機(jī)構(gòu) 4讀取芯片13中的各晶圓編號(hào)或其它建立檔案訊息，以供操作人員判別 欲處理的晶圓為何。以上所述，僅是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并非對(duì)本實(shí)用新型作 任何形式上的限制，雖然本實(shí)用新型已以較佳實(shí)施例揭露如上，然而并非 用以限定本實(shí)用新型，任何熟悉本專(zhuān)業(yè)的技術(shù)人員在不脫離本實(shí)用新型技 術(shù)方案范圍內(nèi)，當(dāng)可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容作出些許更動(dòng)或修飾為等同 變化的等效實(shí)施例，但凡是未脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本實(shí) 用新型的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化與修飾，均 仍屬于本實(shí)用新型技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1、一種晶圓置放架的結(jié)構(gòu)改良，其特征在于其包括二側(cè)板，是呈相對(duì)應(yīng)設(shè)置，且各側(cè)板為抗酸洗的材質(zhì)；多數(shù)支撐桿，其二端分別設(shè)置于上述二側(cè)板相對(duì)應(yīng)的一面上，且鄰近各側(cè)板的二側(cè)及底緣，而各支撐桿是為抗酸洗的材質(zhì)，并在各支撐桿的內(nèi)側(cè)緣設(shè)有多數(shù)相對(duì)應(yīng)的嵌槽；以及多數(shù)固定桿，其二端分別設(shè)置于上述二側(cè)板底部相對(duì)應(yīng)的一面上，各固定桿是為抗酸洗的材質(zhì)。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓置放架的結(jié)構(gòu)改良，其特征在于其中所 述的各側(cè)板相對(duì)應(yīng)的 一 面上設(shè)有多數(shù)與各支撐桿及固定桿二端相結(jié)合的定 位槽。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓置放架的結(jié)構(gòu)改良，其特征在于其中所述的側(cè)板的外側(cè)面上設(shè)有一容置槽，該容置槽中具有一芯片，且該容置槽的 開(kāi)口處蓋設(shè)有一封閉板。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓置放架的結(jié)構(gòu)改良，其特征在于其中所 述的各支撐桿的二端分別具有一與側(cè)板相結(jié)合的插接部。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓置放架的結(jié)構(gòu)改良，其特征在于其中所 述的各固定桿的二端分別具有 一 與側(cè)板相結(jié)合的插接部。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型是有關(guān)于一種晶圓置放架的結(jié)構(gòu)改良，包含二呈相對(duì)應(yīng)設(shè)置的側(cè)板，且各側(cè)板是為抗酸洗的材質(zhì)；多數(shù)二端是分別設(shè)置于側(cè)板相對(duì)應(yīng)的一面上且鄰近各側(cè)板的二側(cè)及底緣的支撐桿，且各支撐桿是為抗酸洗的材質(zhì)，而各支撐桿的內(nèi)側(cè)緣是設(shè)有多數(shù)相對(duì)應(yīng)的嵌槽；以及多數(shù)二端分別設(shè)置于二側(cè)板底部相對(duì)應(yīng)一面上的固定桿，而各固定桿是為抗酸洗的材質(zhì)。藉此，本實(shí)用新型可將所需的晶圓集中置放于晶圓置放架上，并直接置入酸洗槽中進(jìn)行處理，可藉由抗酸洗材質(zhì)的晶圓置放架，使晶圓在處理過(guò)程中不受其它物質(zhì)的影響，而能夠讓晶圓達(dá)到性能穩(wěn)定的功效。
文檔編號(hào)H01L21/306GK201174379SQ200820007848
公開(kāi)日2008年12月31日 申請(qǐng)日期2008年3月24日 優(yōu)先權(quán)日2008年3月24日
發(fā)明者周士杰 申請(qǐng)人:可士達(dá)科技有限公司