專利名稱：流體溫度控制系統(tǒng)及其溫度調(diào)整設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明有關(guān)于一種溫度調(diào)整設(shè)備的設(shè)計，尤其是適用于流 體溫度控制系統(tǒng)上。
背景技術(shù)：
制造半導(dǎo)體裝置時，多將集成電路等的半導(dǎo)體組件制作成 晶圓半導(dǎo)體，而于制作的過程中有包括對晶圓半導(dǎo)體進行清洗 或蝕刻的步驟， 一般而言，此步驟通常在一個液體反應(yīng)槽內(nèi)裝 置有化學(xué)液體，以供晶圓半導(dǎo)體等做清洗或蝕刻的動作，但以 由于化學(xué)特性的關(guān)系，上述的動作均需要在一定溫度下才可做進行化學(xué)反應(yīng)。故習(xí)有設(shè)備中均需要有配置有一加熱槽與一致 冷槽，當晶圓半導(dǎo)體需要加熱時，需移動晶圓半導(dǎo)體到加熱槽 中加熱，在需要降溫時則需移動晶圓半導(dǎo)體到致冷槽，由于晶 圓半導(dǎo)體在移動過程中，可能會造成不必要的污染或是損傷， 故移動晶圓半導(dǎo)體不是一個最佳的制造方式。發(fā)明內(nèi)容為了能使本發(fā)明的特征與技術(shù)優(yōu)勢能有更清楚的呈現(xiàn)，特 舉一較佳實施例來加以詳細說明。本發(fā)明提供 一 種流體溫度控制系統(tǒng)及其溫度調(diào)整設(shè)備，以 解決習(xí)知晶圓需于加熱槽及致冷槽間來回移動的問題。本發(fā)明的 一 實施例所提供的流體溫度控制系統(tǒng)主要將液 體反應(yīng)槽與溫度調(diào)整設(shè)備結(jié)合，包括有液體反應(yīng)槽、溫度感應(yīng) 器、溫度調(diào)整設(shè)備、第一流出管路以及第一流入管路，其中第 一流出管路及第 一 流入管路連通于液體反應(yīng)槽與溫度調(diào)整設(shè) 備間，藉由溫度調(diào)整設(shè)備來對液體反應(yīng)槽內(nèi)的反應(yīng)液體進行溫度的調(diào)整，例如在反應(yīng)液體經(jīng)由第 一 流出管路進入于溫度調(diào)整 設(shè)備內(nèi)時，即可對反應(yīng)液體進行升溫或降溫的作業(yè)，待反應(yīng)液 體到達預(yù)設(shè)的作業(yè)溫度后，再由第 一 流入管路回流至液體反應(yīng) 槽內(nèi)，如此即可繼續(xù)進行后續(xù)的作業(yè)。因此本發(fā)明的目的就是在提供一種流體溫度控制系統(tǒng)及 其溫度調(diào)整設(shè)備，可使晶圓半導(dǎo)體在進行清洗或蝕刻作業(yè)時的 反應(yīng)液體，于同一設(shè)備中即可進行升溫或降溫的動作，而達到 可工作的預(yù)設(shè)溫度。


圖1為本發(fā)明較佳實施例的系統(tǒng)設(shè)置示意圖； 圖2為溫度調(diào)整設(shè)備較佳實施例的立體示意圖； 圖3為溫度調(diào)整設(shè)備較佳實施例的結(jié)構(gòu)分解示意圖 圖4為溫度調(diào)整設(shè)備較佳實施例的剖面示意圖。圖號說明液體反應(yīng)槽IO溫度調(diào)整設(shè)備30第一化學(xué)反應(yīng)液入口311冷水注入口313第二化學(xué)反應(yīng)液入口315開口317加熱裝置33致冷裝置34第一化學(xué)反應(yīng)導(dǎo)流管36隔絕4牛38定位環(huán)391、 392第二流出管路41第二流入管路51溫度感應(yīng)器20 筒體31第一化學(xué)反應(yīng)液出口312冷口排出口314第二化學(xué)反應(yīng)液出口316蓋體32電熱管331控制器35第二化學(xué)反應(yīng)導(dǎo)流管37 定位組件39 第一流出管路40 第一流入管路50具體實施方式
為了能使本發(fā)明的特征更為清楚，以下將揭露本發(fā)明的實施例， 例如各種特征的實施方式，然其并非用以限定本發(fā)明。請參照圖1,本發(fā)明流體溫度控制系統(tǒng)的較佳實施例包括有液體反應(yīng)槽IO、溫度感應(yīng)器20、溫度調(diào)整設(shè)備30、第一流出管路40以及第一 流入管路50，其中第一流出管路40及第一流入管路50連通于液體反應(yīng) 槽10與溫度調(diào)整設(shè)備30間，而溫度感應(yīng)器20設(shè)置于液體反應(yīng)槽10內(nèi)， 藉以監(jiān)控液體反應(yīng)槽10內(nèi)的反應(yīng)液體溫度，此外，更藉由溫度調(diào)整設(shè) 備30來對液體反應(yīng)槽10內(nèi)的反應(yīng)液體進行溫度的調(diào)整，例如在反應(yīng)液 體經(jīng)由第一流出管路40進入于溫度調(diào)整設(shè)備30內(nèi)時，即可對反應(yīng)液體 進行升溫或降溫的作業(yè)，待反應(yīng)液體到達預(yù)設(shè)的作業(yè)溫度后，再由第 一流入管^各50回流至液體反應(yīng)槽10內(nèi)，如此即可繼續(xù)進行后續(xù)的作業(yè)。除此之外，本實施例中更包括有第二流出管路41以及第二流入管 路51 ，其中第二流出管路41及第二流入管3各51同樣連通于液體反應(yīng)槽 10與溫度調(diào)整設(shè)備30間，藉以提供反應(yīng)液體更多的流動管路，進一步 提高使反應(yīng)液體于液體反應(yīng)槽10與溫度調(diào)整設(shè)備30間的流動速率，而 讓液體反應(yīng)槽10內(nèi)的反應(yīng)液體可以更快的達到預(yù)設(shè)的作業(yè)溫度。為更清楚說明本發(fā)明溫度調(diào)整設(shè)備的構(gòu)成及其調(diào)整反應(yīng)液體溫度 的方式，請參閱圖2及圖3所示，本發(fā)明溫度調(diào)整設(shè)備30的較佳實施例 中包括有筒體31、蓋體32、加熱裝置33、致冷裝置34、控制器35、第 一化學(xué)反應(yīng)導(dǎo)流管36以及第二化學(xué)反應(yīng)導(dǎo)流管37，以下請共同參閱圖4 所示，其中筒體31的頂部具有開口317,蓋體32蓋合于開口上，而于筒 體的側(cè)壁上具有第一化學(xué)反應(yīng)液入口311、第一化學(xué)反應(yīng)液出口312、 冷水注入口313、冷口排出口314、第二化學(xué)反應(yīng)液入口315以及第二化 學(xué)反應(yīng)液出口316,其中第一化學(xué)反應(yīng)液入口311連接于第一流出管路 40,第二化學(xué)反應(yīng)液入口315連接于第二流出管路41,第一化學(xué)反應(yīng)液 出口312連接于第一流入管路50、第二化學(xué)反應(yīng)液出口316連接于第二 流入管路51。加熱裝置33包括有復(fù)數(shù)個電熱管331，其一端連結(jié)于蓋體 32上，另一端延伸進入于筒體31內(nèi)。致冷裝置34用于提供冷卻用的冷水，其例如是冷水供應(yīng)組，設(shè)置于筒體31外且分別與冷水注入口313及 冷水排出口314連接?？刂破?5設(shè)置于蓋體32上，并分別與加熱裝置33 及致冷裝置34連結(jié)，藉由控制器35來控制加熱裝置33及致冷裝置34的 啟閉狀態(tài)。第一化學(xué)反應(yīng)液導(dǎo)流管36及第二化學(xué)反應(yīng)液導(dǎo)流管37,均 為一螺旋狀管路，且第一化學(xué)反應(yīng)液導(dǎo)流管36與第二化學(xué)反應(yīng)液導(dǎo)流 管37交錯設(shè)置，并位于筒體31內(nèi)壁與加熱裝置33間，其中第一化學(xué)反 應(yīng)液導(dǎo)流管36的二端分別連通于該第一化學(xué)反應(yīng)液入口311及該第一 化學(xué)反應(yīng)液出口312，第二化學(xué)反應(yīng)液導(dǎo)流管37的二端分別連通于該第 二化學(xué)反應(yīng)液入口315及該第二化學(xué)反應(yīng)液出口316。此外，溫度調(diào)整設(shè)備30更包括有隔絕件38及定位組件39，其中隔 絕件38上布設(shè)有復(fù)數(shù)穿孔381，且隔絕件38設(shè)置于第一化學(xué)反應(yīng)液導(dǎo)流 管36、第二化學(xué)反應(yīng)液導(dǎo)流管37與加熱裝置33的電熱管331，藉由該隔 絕件38可隔絕第一化學(xué)反應(yīng)液導(dǎo)流管36、第二化學(xué)反應(yīng)液導(dǎo)流管37直 接與加熱裝置33直接接觸。定位組件39結(jié)合于該筒體31外側(cè)壁上，且 由二相對應(yīng)的定位環(huán)391、 392所構(gòu)成，藉由該二定位環(huán)391、 392,可 讓溫度調(diào)整設(shè)備3 0固定于特定對象上。綜上所述，利用本發(fā)明流體溫度控制系統(tǒng)的溫度調(diào)整設(shè)備30來調(diào) 整控制液體反應(yīng)槽10內(nèi)反應(yīng)液體的溫度，例如在需要降低反應(yīng)液體溫 度時，控制器35開啟致冷裝置34并閉加熱裝置33，此時，致冷裝置 34經(jīng)由冷水注入口313提供冷水進入于筒體31內(nèi)，并與第一化學(xué)反應(yīng)導(dǎo) 流管36以及第二化學(xué)反應(yīng)導(dǎo)流管37內(nèi)的反應(yīng)液體，進行熱交換，將反 應(yīng)液體的熱量帶出，以達到降溫的目的，而經(jīng)熱量交換過溫度較高的 水，則經(jīng)由冷水排出口314再流入致冷裝置34內(nèi)進行冷卻，使其再回復(fù) 至預(yù)設(shè)的冷水溫度，如此重復(fù)循環(huán)直至液體反應(yīng)槽10內(nèi)的反應(yīng)液體到 達預(yù)設(shè)的溫度為止，在溫度感應(yīng)器20偵測到反應(yīng)液體達到預(yù)設(shè)溫度時， 即會通知控制器35停止致冷裝置34的作動。反之，當欲加熱反應(yīng)液體時，控制器35激活加熱裝置33，并確認 關(guān)閉致冷裝置34,此時，筒體31內(nèi)仍維持滿水狀態(tài)，在加熱裝置33的 電熱管331進行加熱，其吸收熱量的熱水將會經(jīng)由隔絕件38的穿孔381向外擴散，并對第一化學(xué)反應(yīng)導(dǎo)流管36以及第二化學(xué)反應(yīng)導(dǎo)流管37內(nèi) 的反應(yīng)液體，進行熱交換，在反應(yīng)液體吸熱后，其溫度自會提升，經(jīng) 過幾次循環(huán)后，液體反應(yīng)槽10內(nèi)的反應(yīng)液體^f吏會到達預(yù)i殳的溫度，同 樣的在溫度感應(yīng)器20偵測到反應(yīng)液體達到預(yù)設(shè)溫度時，即會通知控制 器35停止加熱裝置33的作動。如此一來，藉由溫度調(diào)整設(shè)備30的設(shè)計， 便可達到控制液體反應(yīng)槽內(nèi)反應(yīng)液體溫度的目的。此外，本發(fā)明所提供的流體溫度控制系統(tǒng)及其溫度調(diào)整設(shè)備的較 佳實施中，包括有二套的化學(xué)反應(yīng)液導(dǎo)流管，其目的在于更加速反應(yīng) 液體的熱交換速度，但不在于限定數(shù)量，例如僅使用一套化學(xué)反應(yīng)導(dǎo) 流管亦可進行熱交換作業(yè)。因此本發(fā)明極具新穎性及進步性，并充份符合申請發(fā)明專利的要 件，于是依法提出申請，祈鈞局早日賜準專利，實感德^(更。以上已將本發(fā)明作一詳細說明，然而以上所述者，僅為本發(fā)明的 較佳實施例而已，當不能限定本發(fā)明實施的范圍。即凡依本發(fā)明申請 范圍所作的均等變化與修飾等，皆應(yīng)仍屬本發(fā)明的專利涵蓋范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1、一種流體溫度控制系統(tǒng)及其溫度調(diào)整設(shè)備，包括一筒體，其頂部具有一開口，而于其側(cè)壁上具有一第一化學(xué)反應(yīng)液入口、一第一化學(xué)反應(yīng)液出口、一冷水注入口以及一冷口排出口；一蓋體，蓋合于該開口上；一加熱裝置，連結(jié)于該蓋體并延伸進入于該筒體內(nèi)；一致冷裝置，設(shè)置于該筒體外且分別與該冷水注入口及該冷水排出口連接；一控制器，設(shè)置于該蓋體上，并分別與該加熱裝置及該致冷裝置連結(jié)；以及一第一化學(xué)反應(yīng)液導(dǎo)流管，設(shè)置于該筒體內(nèi)，且位于該加熱裝置及該筒體的內(nèi)壁間，其中該第一化學(xué)反應(yīng)液導(dǎo)流管的二端分別連通于該第一化學(xué)反應(yīng)液入口及該第一化學(xué)反應(yīng)液出口。
2、 如權(quán)利要求1所述的流體溫度控制系統(tǒng)及其溫度調(diào) 整設(shè)備，更包括有一隔絕件，設(shè)置于該第一化學(xué)反應(yīng)液導(dǎo)流 管以及該加熱裝置間。
3、 如權(quán)利要求2所述的流體溫度控制系統(tǒng)及其溫度調(diào) 整設(shè)備，其中該隔絕件上布設(shè)有復(fù)數(shù)穿孔。
4、 如權(quán)利要求1所述的流體溫度控制系統(tǒng)及其溫度調(diào) 整設(shè)備，其中加熱裝置包括有復(fù)數(shù)個電熱管。
5、 如權(quán)利要求1所述的流體溫度控制系統(tǒng)及其溫度調(diào) 整設(shè)備，其中該筒體的側(cè)壁上更具有一第二化學(xué)反應(yīng)液入口 以及一第二化學(xué)反應(yīng)液出口，其中該第一化學(xué)反應(yīng)液入口以 及該第二化學(xué)反應(yīng)液入口分別設(shè)于筒體側(cè)壁下段位置的左 右兩側(cè)，而該第 一化學(xué)反應(yīng)液出口以及該第二化學(xué)反應(yīng)液出 口則分別設(shè)置于筒體上段位置的左右兩側(cè)。
6、 如權(quán)利要求5所述的流體溫度控制系統(tǒng)及其溫度調(diào)整設(shè)備，更包括有一第二化學(xué)反應(yīng)液導(dǎo)流管，設(shè)置于該筒體 內(nèi)，且位于該加熱裝置及該筒體的內(nèi)壁間，其中該第二化學(xué) 反應(yīng)液導(dǎo)流管的二端分別連通于該第二化學(xué)反應(yīng)液入口及 該第二化學(xué)反應(yīng)液出口 。
7、 如權(quán)利要求6所述的流體溫度控制系統(tǒng)及其溫度調(diào) 整設(shè)備，其中該笫 一化學(xué)反應(yīng)液導(dǎo)流管以及該第二化學(xué)反應(yīng) 液導(dǎo)流管為 一 螺旋狀管路，且該第 一 化學(xué)反應(yīng)液導(dǎo)流管以及 該第二化學(xué)反應(yīng)液導(dǎo)流管交錯設(shè)置。
8、 如權(quán)利要求1所述的流體溫度控制系統(tǒng)及其溫度調(diào) 整設(shè)備，更包括有一定位組件，設(shè)置于該筒體的外壁。
9、 如權(quán)利要求8所述的流體溫度控制系統(tǒng)及其溫度調(diào) 整設(shè)備，其中該定位組件，由二相對應(yīng)的定位環(huán)所構(gòu)成，結(jié) 合于該筒體外側(cè)壁上。
10、 如權(quán)利要求1所述的流體溫度控制系統(tǒng)及其溫度調(diào) 整設(shè)備，其中該致冷裝置包括一冷水供應(yīng)組，藉以提供冷卻 用的冷水。
全文摘要
本發(fā)明一種流體溫度控制系統(tǒng)及其溫度調(diào)整設(shè)備，包括有液體反應(yīng)槽、溫度感應(yīng)器、溫度調(diào)整設(shè)備、第一流出管路以及第一流入管路，其中第一流出管路及第一流入管路連通于液體反應(yīng)槽與溫度調(diào)整設(shè)備間，藉由溫度調(diào)整設(shè)備來對液體反應(yīng)槽內(nèi)的反應(yīng)液體進行溫度的調(diào)整，例如在反應(yīng)液體經(jīng)由第一流出管路進入于溫度調(diào)整設(shè)備內(nèi)時，即可對反應(yīng)液體進行升溫或降溫的作業(yè)，待反應(yīng)液體到達預(yù)設(shè)的作業(yè)溫度后，再由第一流入管路回流至液體反應(yīng)槽內(nèi)，如此即可繼續(xù)進行后續(xù)的作業(yè)。
文檔編號H01L21/00GK101329992SQ20071012332
公開日2008年12月24日 申請日期2007年6月20日 優(yōu)先權(quán)日2007年6月20日
發(fā)明者馮傳彰, 劉茂林, 林生海, 許本諧, 謝宏亮, 鄭加元 申請人:辛耘企業(yè)股份有限公司