專利名稱：噴出量測定方法、圖案形成方法、器件、電光學(xué)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及液滴噴出法的噴出量測定方法、圖案形成方法、器件、電光學(xué)裝置、電子儀器。
背景技術(shù)：
提出應(yīng)用噴墨打印機中使用的噴墨方式(液滴噴出法)，形成液晶顯示裝置的濾色器或有機EL顯示裝置的發(fā)光層的方法。
在這樣的液滴噴出法中，有必要把從液滴噴出頭噴出的液滴的量調(diào)整為適當(dāng)?shù)闹怠＠?，在濾色器的形成方法中，包含噴出的著色材料的液滴的量不適合時，透過濾色器的光的配色過濃或過淡，配色的偏差大，成為質(zhì)量不穩(wěn)定的濾色器。
在專利文獻1中提出使液滴的噴出量適當(dāng)?shù)姆椒?。根?jù)它，介紹使測定液滴的噴出量的環(huán)境和對工件噴出液滴時的環(huán)境相同，減少溫度或濕度的帶來的影響，從而使實際的液滴的噴出量適當(dāng)。
可是，在專利文獻1中，沒有對工件噴出液滴的噴出定時和圖案的記載。通常從液滴噴出頭的多個噴嘴連續(xù)噴出液滴，進行測定。但是，基于該測定方法的液滴的噴出量與選擇多個噴嘴噴出液滴的實際描繪圖案的形成時的液滴的噴出量有時不同。即難以減少對工件噴出液滴的描繪圖案引起的液滴的噴出量的變動。
特開2004-209429號公報(15～17頁，圖10～圖11)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于所述課題而提出的，其目的在于，提供接近形成描繪圖案時的狀態(tài)的液滴的噴出量測定方法、使用它的圖案形成方法、器件、電光學(xué)裝置、電子儀器。
本發(fā)明的噴出量測定方法測定從液滴噴出頭的噴嘴噴出的液狀體的噴出量，其特征在于，包括根據(jù)計測用噴出數(shù)據(jù)，驅(qū)動液滴噴出頭，以變?yōu)榭蓽y定的量的方式設(shè)定噴出數(shù)，把液狀體從噴嘴作為液滴噴出的計測用噴出步驟；計測所噴出的液狀體的噴出量的計測步驟；從計測的噴出量和噴出數(shù)計算平均噴出量的運算步驟；計測用噴出數(shù)據(jù)使用與對描繪圖案噴出描繪時大致同樣的噴出數(shù)據(jù)。
從液滴噴出頭的噴嘴連續(xù)噴出液滴時、間歇噴出時，噴出的液滴的量不同。作為理由，考慮到驅(qū)動液滴噴出頭的驅(qū)動裝置和驅(qū)動的液滴噴出頭之間的阻抗匹配的狀態(tài)變化。還考慮到從收容噴出的液狀體的容器向液滴噴出頭連接的流道內(nèi)的液狀體的流阻根據(jù)驅(qū)動的液滴噴出頭的數(shù)量變化。根據(jù)該方法，在計測用噴出步驟中，作為計測用噴出數(shù)據(jù)，使用與對描繪圖案噴出描繪時大致同樣的噴出數(shù)據(jù)，進行液狀體的噴出。因此，與單純從噴嘴連續(xù)噴出液滴時相比，能求出更接近實際對描繪圖案噴出描繪的狀態(tài)的液滴的噴出量。
其特征在于在所述計測步驟中，作為噴出的液狀體的噴出量，計測重量。根據(jù)它，噴出的液狀體的噴出量由它的重量計測。噴出的液滴在落下后難以變?yōu)榉€(wěn)定的形狀，與計測體積時相比，能容易測定液狀體的噴出量。此外，廣泛使用把重量的測定值進行電變換的器件，通過把重量進行電變換，計測電學(xué)量，能以高精度計測噴出量。
此外，所述液滴噴出頭具有多個噴嘴，在計測用噴出步驟中，從多個噴嘴噴出液狀體，在計測步驟中，計測從液滴噴出頭的多個噴嘴噴出的液狀體的噴出量。據(jù)此，從多個噴嘴噴出液滴，匯總計測噴出量。因此，與分別計測從各噴嘴噴出的液滴的量時相比，能減少計測的次數(shù)。結(jié)果，能生產(chǎn)性良好地計測。
此外，所述計測用噴出數(shù)據(jù)包含從全部多個噴嘴不噴出液狀體的全噴嘴不噴出信息，在全噴嘴不噴出信息連續(xù)時，希望刪除連續(xù)的全噴嘴不噴出信息的一部分而使用。據(jù)此，因為刪除連續(xù)的全噴嘴不噴出信息的一部分而使用，所以能縮短為了計測而噴出液滴所需的時間。
此外，所述計測用噴出數(shù)據(jù)包含具有多個噴嘴中連續(xù)不噴出的噴嘴信息的第一計測用噴出數(shù)據(jù)、具有從不噴出的噴嘴連續(xù)噴出液狀體的噴嘴信息的第二計測用噴出數(shù)據(jù)，在計測用噴出步驟中，至少使用第一計測用噴出數(shù)據(jù)和第二計測用噴出數(shù)據(jù)，驅(qū)動液滴噴出頭，變?yōu)榭蓽y定的量地設(shè)定噴出數(shù)，把液狀體作為液滴噴出。
從多個噴嘴噴出液狀體，形成描繪圖案時，同時使用的噴嘴數(shù)或分布狀態(tài)不同，據(jù)此，對噴出的液滴的噴出量帶來影響。根據(jù)本方法，依據(jù)實際的噴出數(shù)據(jù)，使用包含具有多個噴嘴中連續(xù)不噴出的噴嘴信息的第一計測用噴出數(shù)據(jù)、具有從不噴出的噴嘴連續(xù)噴出液狀體的噴嘴信息的第二計測用噴出數(shù)據(jù)的計測用噴出數(shù)據(jù)，所以從全部噴嘴噴出給定的噴出數(shù)液滴，并且能更正確地求出噴出量。
進一步，所述液滴噴出頭具有由多個噴嘴構(gòu)成的至少兩個噴嘴列，計測用噴出工序中，至少兩個噴嘴列的每一個使用第一計測用噴出數(shù)據(jù)和第二計測用噴出數(shù)據(jù)，驅(qū)動液滴噴出頭。因此，即使液滴噴出頭具有所謂多連的噴嘴列，噴嘴列的每一個使用第一計測用噴出數(shù)據(jù)和第二計測用噴出數(shù)據(jù)，驅(qū)動液滴噴出頭。從而能求出噴嘴列每一個的正確的液滴的噴出量。
本發(fā)明的圖案形成方法在工件上形成由功能性材料構(gòu)成的描繪圖案，其特征在于，包括使用所述發(fā)明的噴出量測定方法，推測從液滴噴出頭噴出的包含功能性材料的功能液的平均噴出量的噴出量推測步驟；根據(jù)推測結(jié)果，判定是否調(diào)整從液滴噴出頭噴出的功能液的噴出量的判定步驟；在調(diào)整必要時，變更液滴噴出頭的驅(qū)動條件，調(diào)整噴出量的調(diào)整步驟；與使工件和液滴噴出頭相對移動的主掃描同步，從液滴噴出頭的噴嘴把功能液作為液滴噴出描繪的描繪步驟；使噴出描繪的功能液凝固，形成描繪圖案的圖案形成步驟。
根據(jù)該方法，在噴出量推測步驟中，使用所述發(fā)明的噴出量測定方法，推測作為液狀體的功能液的平均噴出量，根據(jù)推測結(jié)果，在判定步驟判定是否調(diào)整噴出量。而且，在調(diào)整必要時，在調(diào)整步驟中，變更液滴噴出頭的驅(qū)動條件，調(diào)整噴出量。因此，在描繪步驟中，在把液滴的噴出量適當(dāng)化的狀態(tài)下，噴出描繪功能液，如果噴出描繪的功能液凝固，就能在工件上形成液滴的噴出量的變動引起的膜厚不均勻少的描繪圖案。
在所述描繪步驟中，使用多個液滴噴出頭噴出描繪功能液，在計測用噴出步驟中，在多個液滴噴出頭的每個噴出功能液，在計測步驟中，計測由多個液滴噴出頭的每個噴出的功能液的噴出量，在調(diào)整步驟中，以減少多個液滴噴出頭之間的平均噴出量的差的方式進行調(diào)整。據(jù)此，能形成多個液滴噴出頭之間的平均噴出量的差引起的膜厚不均勻少的描繪圖案。
此外，在所述計測用噴出步驟中，根據(jù)從描繪步驟的主掃描時的液滴噴出頭和工件的相對位置信息、在工件上配置液滴的配置數(shù)據(jù)生成的計測用噴出數(shù)據(jù)，從液滴噴出頭噴出功能液。據(jù)此，從描繪步驟的主掃描時的液滴噴出頭和工件的相對位置信息、在工件上配置液滴的配置數(shù)據(jù)生成計測用噴出數(shù)據(jù)。因此，對于實際的描繪步驟的噴出描繪，在大致同等的噴出定時進行計測用噴出。即能更接近對描繪圖案噴出描繪時的狀態(tài)，預(yù)先調(diào)整液滴的噴出量。
進一步，液滴噴出頭具有多個噴嘴，在描繪步驟中，進行多次是使工件和液滴噴出頭相對移動的主掃描，并且在多次主掃描之間，在與主掃描的方向正交的方向進行使多個液滴噴出頭移動的副掃描，在計測用噴出步驟中，使用包含伴隨著副掃描在第一計測用噴出數(shù)據(jù)中變更多個噴嘴中連續(xù)不噴出的噴嘴信息的第三計測用噴出數(shù)據(jù)、具有從第三計測用噴出數(shù)據(jù)中不噴出的噴嘴噴出功能液的噴嘴信息的第四計測用噴出數(shù)據(jù)的計測用噴出數(shù)據(jù)。
根據(jù)本方法，在描繪步驟中，執(zhí)行進行使工件和液滴噴出頭相對移動的主掃描和副掃描，噴出描繪功能液的復(fù)雜的噴出控制。因此，伴隨著副掃描，多個噴嘴中連續(xù)不噴出的噴嘴變化。在計測用噴出步驟中，根據(jù)噴出的噴嘴數(shù)變化的所謂噴嘴的使用率所對應(yīng)的第三計測用噴出數(shù)據(jù)、具有從第三計測用噴出數(shù)據(jù)中不噴出的噴嘴噴出功能液的噴嘴信息的第四計測用噴出數(shù)據(jù)的計測用噴出數(shù)據(jù)，進行計測用噴出。因此，在調(diào)整步驟中，能考慮噴嘴的使用率引起的液滴的噴出量的變動，設(shè)定液滴噴出頭的驅(qū)動條件。即能進一步減少液滴的噴出量的變動，形成描繪圖案。
本發(fā)明的器件具有由功能性材料構(gòu)成的描繪圖案，其特征在于使用所述發(fā)明的圖案形成方法，制造描繪圖案。根據(jù)本結(jié)構(gòu)，使用能形成液滴的噴出量的變動引起的膜厚不均勻少的描繪圖案的圖案形成方法。因此，能提供具有穩(wěn)定的特性的器件。當(dāng)器件為濾色器時，能使著色層的光學(xué)特性為所需的透過率、色度、彩度。此外，器件為有機EL(場致發(fā)光)元件時，能使為了形成空穴注入層、發(fā)光層、電子注入層而涂敷的功能液的量為所需的量，所以能成為具有適當(dāng)?shù)暮穸鹊膶拥脑?gòu)造。結(jié)果，能提供具有高的發(fā)光效率的有機EL元件。
本發(fā)明的電光學(xué)裝置的特征在于具有所述的發(fā)明的器件。據(jù)此，設(shè)置具有穩(wěn)定特性的器件，所以能提供具有穩(wěn)定的電光特性的電光學(xué)裝置。例如，器件為濾色器時，能成為具有著色層的光學(xué)特性如所期待的濾色器的電光學(xué)裝置。
本發(fā)明的電子儀器的特征在于具有所述的發(fā)明的電光學(xué)裝置。據(jù)此，能提供實現(xiàn)具有穩(wěn)定的電光特性的高質(zhì)量的電子儀器。


下面簡要說明附圖。
圖1是表示液滴噴出裝置的構(gòu)造的概略立體圖。
圖2是表示滑架上的液滴噴出頭的配置的平面圖。
圖3是表示液滴噴出頭的要部構(gòu)造的概略剖視圖。
圖4是表示電子天平的結(jié)構(gòu)的概略剖視圖。
圖5是表示液滴噴出裝置的電控制系統(tǒng)的框圖。
圖6是表示濾色器的概略平面圖。
圖7是表示濾色器的制造方法的概略圖。
圖8是表示功能液的噴出方法的概略圖。
圖9是表示功能液的噴出定時的概略圖。
圖10是表示噴出量測定的電控制系統(tǒng)的框圖。
圖11是表示實施例3的液滴噴出頭的概略平面圖。
圖12(a)和(b)是表示實施例3的液狀體的噴出方法的概略圖。
圖13(c)和(d)是表示實施例3的液狀體的噴出方法的概略圖。
圖14(a)和(b)是表示實施例3的計測用噴出數(shù)據(jù)的位圖。
圖15(a)是表示液晶顯示裝置的構(gòu)造的概略平面圖，(b)是在(a)的H-H′線切開的剖視圖。
圖16是表示個人電腦的概略立體圖。
符號的說明。
1-作為電光學(xué)裝置的液晶顯示裝置；12R、12G、12B-作為描繪圖案的著色層；31-40-液滴噴出頭；42-噴嘴；42A、42B-噴嘴列；44R、44G、44B-作為液狀體和功能液的顏色材料液；80-作為電子儀器的個人電腦；N1～N9-噴嘴列；W-作為工件的基板。
具體實施例方式
本發(fā)明的實施例以在作為工件的基板上涂敷包含著色層形成材料的作為液狀體的功能液，形成3色的著色層的濾色器的制造方法為例，進行說明。作為在基板上涂敷功能液的方法，使用能把功能液作為液滴噴出描繪的液滴噴出裝置。
首先，說明液滴噴出裝置。圖1是表示液滴噴出裝置的構(gòu)造的概略立體圖。如圖1所示，液滴噴出裝置20具有大致長方體形狀的基臺21、在基臺21上配置為能在Y軸方向移動的狀態(tài)的載置臺23、與載置臺23相對并且能在X軸方向可移動的滑架30。在滑架30搭載多個(9個)液滴噴出頭31～39(參照圖2)。此外，在基臺21的側(cè)面部，設(shè)置接受從多個液滴噴出頭31～39噴出的液狀體，計測噴出量的作為計測裝置的電子天平50。
在基臺21的上表面21a，跨Y軸方向全部寬度凸出設(shè)置在Y軸方向延伸的一對導(dǎo)軌22a、22b。載置臺23成為通過沿著一對導(dǎo)軌22a、22b在Y軸方向延伸的絲杠軸(驅(qū)動軸)、具有與絲杠軸螺旋配合的球狀螺母的絲杠式直動機構(gòu)、接收給定的脈沖信號并且使絲杠軸正反旋轉(zhuǎn)的Y軸電機(不圖示)，在Y軸方向移動的結(jié)構(gòu)。即如果對Y軸電機提供與給定的步數(shù)對應(yīng)的驅(qū)動信號，Y軸電機就正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)，能使載置臺23按照相當(dāng)于同一步數(shù)的量，沿著Y軸方向以給定速度前往或返回。這時，把使滑架30和載置臺23相對，使載置臺23向Y軸方向移動稱作主掃描。
進一步，在基臺21的上面21a，與一對導(dǎo)軌22a、22b并列而配置主掃描位置檢測裝置24，能計測載置臺23的Y軸方向的位置。
在載置臺23的載置面25設(shè)置不圖示的吸引式的基板夾緊機構(gòu)，能把載置面25上載置的作為工件的基板W定位固定在給定位置。
基臺21具有從側(cè)面部直立設(shè)的一對支承臺26a、26b，在一對支承臺26a、26b，在X軸方向跨基臺21地架設(shè)引導(dǎo)構(gòu)件27。引導(dǎo)構(gòu)件27比基臺21的X軸方向的寬度還長地延伸，配置為其一端向支承臺26a一側(cè)伸出。
在引導(dǎo)構(gòu)件27的下側(cè)，跨X軸方向全部寬度凸出設(shè)置在X軸方向延伸的導(dǎo)軌29。而在引導(dǎo)構(gòu)件27的上側(cè)配置收容液狀體的收容容器28，能從收容容器28向多個液滴噴出頭31～39供給液狀體。
滑架30通過沿著導(dǎo)軌29在X軸方向延伸的絲杠軸(驅(qū)動軸)、具有與絲杠軸螺旋配合的球狀螺母的絲杠式直動機構(gòu)、接收給定的脈沖信號并且使絲杠軸正反旋轉(zhuǎn)的X軸電機(未圖示)，在X軸方向沿著導(dǎo)軌29移動的結(jié)構(gòu)。而且，如果對X軸電機提供相當(dāng)于給定的步數(shù)的驅(qū)動信號，X軸電機就正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)，能使滑架30按照相當(dāng)于同一步數(shù)的量，在X軸方向前往或返回。這時，把使滑架30和載置臺23相對，滑架30向X軸方向移動稱作副掃描。在引導(dǎo)構(gòu)件27和滑架30之間配置副掃描位置檢測裝置53，能計測滑架30的X軸方向的位置。因此，計測從多個液滴噴出頭31～39噴出的液狀體的噴出量時，驅(qū)動X軸電機，使滑架30向支承臺26a一側(cè)移動，把多個液滴噴出頭31～39和電子天平50相對配置。
圖2是表示滑架上的液滴噴出頭的配置的平面圖。具體而言，是從載置臺23一側(cè)觀察的平面圖。
如圖2所示，在滑架30的頭配置面30a，在X軸方向和Y軸方向，每次3個，設(shè)置第一液滴噴出頭31～第九液滴噴出頭39。液滴噴出頭31設(shè)置具有多個噴嘴42以大致等間隔排列的噴嘴列N1的噴嘴板P1。其他液滴噴出頭32～39也同樣。這時，在X軸方向排列的3個液滴噴出頭31、32、33搭載在滑架30上，使得從Y軸方向觀察對應(yīng)的各噴嘴列N1、N2、N3，多個噴嘴42以大致等間隔連續(xù)。在其他液滴噴出頭34、35、36、液滴噴出頭37、38、39，也同樣。因此，相對于滑架30，基板W一邊在Y軸方向相對移動，一邊從各液滴噴出頭31、32、33噴出液滴時，噴出的液滴在X軸方向以大致等間隔涂敷。
此外這時，對第一液滴噴出頭31～第三液滴噴出頭33供給包含紅(R)的著色層形成材料的功能液。同樣，對第四液滴噴出頭34～第六液滴噴出頭36供給包含綠(G)的著色層形成材料的功能液。對第七液滴噴出頭37～第九液滴噴出頭39供給包含藍(B)的著色層形成材料的功能液。即成為幾乎能同時噴出3色不同的功能液的結(jié)構(gòu)。
圖3是表示液滴噴出頭的要部構(gòu)造的概略剖視圖。如圖3所示，例如液滴噴出頭31具有與噴嘴列N1的各噴嘴42連通的多個腔43、經(jīng)由振動板45配置在與多個腔43對應(yīng)的位置的多個壓電元件46。
而且，如果收到用于驅(qū)動壓電元件46的噴嘴驅(qū)動信號，壓電元件46就伸展，使振動板45在上下方向振動，對腔43內(nèi)填充的功能液加壓。結(jié)果，功能液從液滴噴出頭31的噴嘴列N1作為液滴噴出。其他液滴噴出頭32～39的構(gòu)造也同樣。
因此，在第一液滴噴出頭31～第三液滴噴出頭33的各腔43填充包含紅(R)的著色層形成材料的作為功能液的顏色材料液44R，從噴嘴列N1～N3作為微小液滴47R噴出。在第四液滴噴出頭34～第六液滴噴出頭36的各腔43填充包含綠(G)的著色層形成材料的作為功能液的顏色材料液44G，從噴嘴列N4～N6作為微小液滴47G噴出。在第七液滴噴出頭37～第九液滴噴出頭39的各腔43填充包含藍(B)的著色層形成材料的作為功能液的顏色材料液44B，從噴嘴列N7～N9作為微小液滴47B噴出。
須指出的是，對在這樣的液滴噴出頭31～39中填充的液狀體加壓的結(jié)構(gòu)并不局限于壓電元件46，還可以采用靜電吸附振動板45，使其振動的靜電方式；由電熱變換元件把液狀體加熱，產(chǎn)生氣泡，據(jù)此，把液狀體加壓，作為液滴從噴嘴42噴出的閥門(bubble)方式。
圖4是表示電子天平的結(jié)構(gòu)的概略剖視圖。如圖4所示，電子天平50包含具有重量檢測機構(gòu)和把檢測的重量變換為電信號的變換部的主體51、承受被計量物的計量臺52。在計量臺52的上面設(shè)置按各液滴噴出頭31～39接受作為被計量物的功能液的9個測定用托盤M1～M9。
在測定用托盤M1～M9鋪設(shè)海綿狀的吸收體，可靠地接受從各噴嘴列N1～N9噴出的液滴，防止從測定用托盤M1～M9向外飛散。
這時，電子天平50的最小計量單位是1mg。而噴出的液滴是ng水平，所以變?yōu)榭蓽y定的功能液的量地把噴出數(shù)設(shè)定為2000～3000，驅(qū)動各液滴噴出頭31～39，從各噴嘴列N1～N9，將功能液作為液滴噴出。這樣的計測用噴出當(dāng)然由液滴噴出頭31～39的每一個進行。
下面說明液滴噴出裝置20的電控制系統(tǒng)。圖5是表示液滴噴出裝置的電控制系統(tǒng)的框圖。如圖5所示，液滴噴出裝置20具有作為處理器，進行各種運算處理的CPU(運算處理裝置)54；存儲各種信息的存儲器55。
頭位置控制裝置56、基板位置控制裝置57、主掃描驅(qū)動裝置58、副掃描驅(qū)動裝置59、主掃描位置檢測裝置24、副掃描位置檢測裝置53、驅(qū)動液滴噴出頭31～39的頭驅(qū)動電路60經(jīng)由輸入輸出接口61和總線62與CPU54連接。輸入裝置63、顯示器64、電子天平50也經(jīng)由輸入輸出接口61和總線62與CPU54連接。
存儲器55是包含RAM、ROM等半導(dǎo)體存儲器、硬盤、CD-ROM等外部存儲裝置的概念。在功能上設(shè)定為存儲記述液滴噴出裝置20的動作的控制步驟的程序軟件的存儲區(qū)、用于存儲在基板W的所需區(qū)域配置液滴的配置數(shù)據(jù)的存儲區(qū)、用于存儲主掃描方向(Y軸方向)的基板W的主掃描移動量的存儲區(qū)、用于CPU54的工作區(qū)或作為臨時文件工作的存儲區(qū)、其他各種存儲區(qū)。
CPU54按照存儲器55內(nèi)存儲的程序軟件，進行用于對基板W的表面的給定位置噴出功能液的控制。作為具體的功能實現(xiàn)部，具有進行用于實現(xiàn)使用電子天平50的重量測定的運算的重量測定運算部67、進行用于由液滴噴出頭31～39噴出液滴的運算的噴出運算部68。
如果詳細說明噴出運算部68，則具有用于在開始液滴的噴出的初始位置配置液滴噴出頭31～39的噴出開始位置運算部69、運算用于使基板W以給定速度向主掃描方向移動的控制的主掃描控制運算部70、運算用于使液滴噴出頭31～39以給定的副掃描量向副掃描方向移動的控制的副掃描控制運算部71。噴出運算部68具有進行用于控制選擇液滴噴出頭31～39內(nèi)的多個噴嘴42中的哪個噴出功能液的運算的噴嘴噴出控制運算部72等各種功能運算部。
須指出的是，使用CPU54，用程序軟件實現(xiàn)所述的各功能，但是，能由不使用CPU的單獨的電子電路(硬件)實現(xiàn)所述的各功能時，能使用這樣的電子電路。
(實施例1)
下面說明本發(fā)明的器件的一個實施例的濾色器及其制造方法。圖6是表示濾色器的概略平面圖。
如圖6所示，本實施例的濾色器具有在基板W上把多個描繪區(qū)A劃分為矩陣狀的隔壁部(圍堰)15、在劃分的多個描繪區(qū)A內(nèi)形成的RGB3色的著色層。該濾色器是同一顏色的著色層在同一方向直線配置的所謂條紋方式。
隔壁部15由公開的材料和方法形成。例如能列舉在基板W上涂敷感光性樹脂材料，通過光刻法形成的方法。希望透過基板W的光由隔壁部15遮光，可以在構(gòu)圖的具有遮光性的金屬材料薄膜上形成由感光性樹脂材料構(gòu)成的隔壁部15。
使用所述液滴噴出裝置20，從對應(yīng)的各液滴噴出頭31～39對多個描繪區(qū)A噴出包含著色層形成材料的3色的顏色材料液44R、44G、44B，形成RGB3色的著色層。
圖7是表示濾色器的制造方法的概略圖。如圖7所示，本實施例的作為器件的濾色器的制造方法具有把形成隔壁部15的基板W在液滴噴出裝置20中設(shè)置，進行液滴噴出裝置20的初始設(shè)定的基板設(shè)置步驟(步驟S1)；從液滴噴出頭31～39，設(shè)定噴出數(shù)，噴出液滴的計測用噴出步驟(步驟S2)；計測噴出的功能液的噴出量的作為計測步驟的噴出量計測步驟(步驟S3)；從噴出量的測定值和噴出數(shù)(噴出次數(shù))計算平均噴出量的作為運算步驟的平均噴出量運算步驟(步驟S4)。用步驟S2～步驟S4的步驟能推測來自各液滴噴出頭31～39的噴出量，所以把這3個步驟合稱為噴出量推測步驟。此外，具有判定從各液滴噴出頭31～39噴出的液滴的噴出量的調(diào)整是否必要的判定步驟(步驟S5)；在判定為調(diào)整必要時，變更各液滴噴出頭31～39的驅(qū)動條件，調(diào)整功能液的噴出量的作為調(diào)整步驟的噴出量調(diào)整步驟(步驟S6)；把顏色材料液44R、44G、44B作為液滴在基板W的描繪區(qū)中噴出描繪的描繪步驟(步驟S7)；使噴出描繪的顏色材料液44R、44G、44B干燥，形成RGB3色的著色層的作為圖案形成步驟的干燥步驟(步驟S8)。
圖7的步驟S1是基板設(shè)置步驟。在步驟S1中，如圖1所示，在液滴噴出裝置20的載置臺23上載置固定基板W。接著，使滑架30移動到電子天平50的上方，把測定用托盤M1～M9(參照圖4)和液滴噴出頭31～39相對配置。然后，測定噴出液滴之前的測定用托盤M1～M9的重量，把它作為“0”復(fù)位。然后，進入步驟S2。
圖7的步驟S2是計測用噴出步驟。在步驟S2中，在把滑架30固定在電子天平50上的狀態(tài)下，與后面的描繪步驟(步驟S7)同樣使載置臺23在主掃描方向移動。而液滴噴出頭31～39的每一個即噴嘴列N1～N9的每一個，向電子天平50的測定用托盤M1～M9噴出液滴。在滑架30配置第一液滴噴出頭31～第九液滴噴出頭39，但是為了容易理解動作的說明，用第一液滴噴出頭31的動作說明。
圖8是表示功能液的噴出方法的概略圖。具體而言，是表示后面的描繪步驟(步驟S7)的功能液的噴出方法的概略圖。如圖8所示，在基板W上配置使從噴嘴列N1～N9噴出的液滴落下的紅色(R)的描繪區(qū)A、綠色(G)的描繪區(qū)A、藍色(B)的描繪區(qū)A。對一個紅色(R)的描繪區(qū)A，紅色的顏色材料液44R的液滴從3個噴嘴42三次噴出，涂敷。
如果著眼于噴嘴列N1向紅色(R)的描繪區(qū)A噴出的動作，則當(dāng)噴嘴列N1通過紅色(R)的描繪區(qū)A時，液滴從噴嘴42對紅色(R)的描繪區(qū)A噴出3次。對綠色(G)的描繪區(qū)A和藍色(B)的描繪區(qū)A以及描繪區(qū)A之間(即隔壁部15)，不噴出液滴，再度通過紅色(R)的描繪區(qū)A之上時，3次噴出液滴。伴隨著基板W和滑架30的相對移動，噴出動作在主掃描方向(Y軸方向)重復(fù)。因此，從一個噴嘴42噴出的液滴的落下預(yù)定位置75在紅色(R)的描繪區(qū)A中設(shè)定3處。在基板W上，在綠色(G)的描繪區(qū)A和藍色(B)的描繪區(qū)A中沒有落下預(yù)定位置75，在接著的紅色(R)的描繪區(qū)A中設(shè)定3處。
圖9是表示功能液的噴出定時的概略圖。如圖9所示，在滑架30配置對紅色(R)的描繪區(qū)A噴出液滴的第一液滴噴出頭31、第二液滴噴出頭32、第三液滴噴出頭33。第一液滴噴出頭31的噴嘴列N1到液滴從噴嘴列N1最初噴出的紅色(R)的描繪區(qū)A的中心的距離為L1。第二液滴噴出頭32的噴嘴列N2到液滴從噴嘴列N2最初噴出的紅色(R)的描繪區(qū)A的中心的距離為L2。同樣，第三液滴噴出頭33的噴嘴列N3到液滴從噴嘴列N3最初噴出的紅色(R)的描繪區(qū)A的中心的距離為L3。
噴嘴列N1和噴嘴列N3在X軸方向位于大致同一直線上，與紅色(R)的描繪區(qū)A大致平行配置，所以L1和L3變?yōu)榇笾孪嗤木嚯x。噴嘴列N1和噴嘴列N2在Y軸方向隔開給定距離平行配置，所以L1和L2之間的距離成為給定的距離。
著眼于噴嘴列N1～N3對紅色(R)的描繪區(qū)A噴出的動作?；錡和滑架30在Y軸方向相對移動，噴嘴列N1和噴嘴列N3到達紅色(R)的描繪區(qū)A時，噴出液滴。這時，噴嘴列N2未到達紅色(R)的描繪區(qū)A，不噴出液滴。基板W和滑架30在Y軸方向相對移動，在噴嘴列N2到達紅色(R)的描繪區(qū)A的時刻，從噴嘴列N2噴出液滴。這時，噴嘴列N1和噴嘴列N3通過紅色(R)的描繪區(qū)A，從噴嘴列N1和噴嘴列N3不噴出液滴。因此，從第一液滴噴出頭31和第三液滴噴出頭33在相同的定時噴出液滴，從第二液滴噴出頭32以與第一液滴噴出頭31不同的定時噴出液滴。
如圖1所示，在基臺21和載置臺23之間配置主掃描位置檢測裝置24?；?0和載置臺23上載置的基板W的相對位置由主掃描位置檢測裝置24計測。
在步驟S2的計測用噴出步驟中，CPU54的副掃描控制運算部71對副掃描驅(qū)動裝置59發(fā)送滑架移動位置數(shù)據(jù)，副掃描驅(qū)動裝置59使滑架30在電子天平50的上方的位置移動。CPU54的主掃描控制運算部70對主掃描驅(qū)動裝置58發(fā)送臺移動位置數(shù)據(jù)，主掃描驅(qū)動裝置58使載置臺23在主掃描方向移動。主掃描位置檢測裝置24對CPU54的噴出控制運算部72發(fā)送載置臺23的位置數(shù)據(jù)。噴嘴列N1的位置和落下預(yù)定位置75(參照圖8)的相對位置在X軸方向變?yōu)橥痪€上的載置臺23的位置時，噴出控制運算部72對頭驅(qū)動電路60發(fā)送噴出液滴的作為計測用噴出數(shù)據(jù)的信號，從噴嘴列N1噴出液滴。與載置臺23的移動同步，反復(fù)對紅色(R)的描繪區(qū)A的落下預(yù)定位置75噴出液滴的動作，在噴出規(guī)定的噴出數(shù)液滴的時刻結(jié)束噴出。即，基于基板W的主掃描方向的相對位置信息、和以基板W的相對移動所對應(yīng)的定時對規(guī)定的描繪區(qū)A配置液滴的配置數(shù)據(jù)，噴出計測用的液滴。然后，進入步驟S3。
圖7的步驟S3是噴出量計測步驟。在步驟S3中，測定對電子天平50的測定用托盤M1～M9噴出的液滴的重量。從在步驟S1中測定的噴出前的測定用托盤M1～M9的重量測定值與噴出后的測定用托盤M1～M9重量測定值的差，計測噴出量。如上所述，實際上從對應(yīng)的各液滴噴出頭31～39噴出3色的顏色材料液44R、44G、44B。因此，對液滴噴出頭31～39的每一個實施步驟S2和步驟S3，計測噴嘴列N1～N9的每一個噴出的功能液的噴出量。因此，重復(fù)9次步驟S2和步驟S3。然后，進入步驟S4。
圖7的步驟S4是平均噴出量運算步驟。在步驟S4中，從步驟S3中測定的功能液的噴出量和步驟S2中噴出的噴出數(shù)(噴出次數(shù))計算平均噴出量。平均噴出量的計算方法能組合四則運算來計算。例如，在本實施例中，采用把測定用托盤M1的噴出前后的重量差除以液滴噴出頭31噴出的噴出數(shù)的計算方法。這里計算第一液滴噴出頭31～第九液滴噴出頭39的每一個噴出1次的功能液(液滴)的平均噴出量。然后，進入步驟S5。
圖7的步驟S5是判定步驟。在步驟S5中，把步驟S4中計算的各液滴噴出頭31～39的平均噴出量與給定的噴出量比較，判定是否有必要調(diào)整。例如，在本實施例中，對紅色(R)的描繪區(qū)A總共噴出9滴的顏色材料液44R。因此，比較液滴噴出頭31的平均噴出量的9滴量和形成所需的光學(xué)特性(透過率、色度、彩度)的膜(紅色的著色層)所必要的給定噴出量，判定是否有必要調(diào)整。這時，液滴噴出頭31的平均噴出量的9滴量和所述給定噴出量的差相對于所述給定噴出量，脫離±3％的允許范圍時，判定為有必要調(diào)整。比較噴出同一顏色的顏色材料液44R的各液滴噴出頭31、32、33的平均噴出量，判定是否有必要調(diào)整。例如，各液滴噴出頭31、32、33的平均噴出量相對于平均值，脫離±1％的允許范圍時，判定為有必要調(diào)整。在其他液滴噴出頭34～39中也同樣。而且，在步驟S5中判定為有必要調(diào)整時，進入步驟S6。判定為不要調(diào)整時，進入步驟S7。
圖7的步驟S6是噴出量調(diào)整步驟。在步驟S6中，調(diào)整第一液滴噴出頭31～第九液滴噴出頭39的每一個的噴出量。噴出量的調(diào)整把壓電元件46(參照圖3)的驅(qū)動電壓波形的電壓振幅調(diào)整，進行。電壓振幅和噴出量的關(guān)系為如果增大電壓振幅，噴出量就增多，如果減小電壓振幅，噴出量就減小。使用該關(guān)系，調(diào)整第一液滴噴出頭31～第九液滴噴出頭39的每一個的噴出量。噴出量的調(diào)整以接近所需的噴出量的方式進行調(diào)整，并且以噴出同一顏色的顏色材料液的液滴噴出頭之間的噴出量的差減少的方式進行調(diào)整。這時，以變?yōu)樗龅脑试S范圍內(nèi)的方式進行調(diào)整。因此，為了變?yōu)樗璧膰姵隽浚僦貜?fù)步驟S2～步驟S4，驗證。
圖7的步驟S7是描繪步驟。在步驟S7，驅(qū)動載置臺23和滑架30，從第一液滴噴出頭31～第九液滴噴出頭39的噴嘴列N1～噴嘴列N9分別噴出并涂敷基板W的紅色(R)的描繪區(qū)A、綠色(G)的描繪區(qū)A、藍色(B)的描繪區(qū)A所對應(yīng)的顏色材料液44R、44G、44B的液滴。液滴的描繪區(qū)A的配置如上所述。對各描繪區(qū)A賦予給定量的顏色材料液44R、44G、44B的液滴，浸濕擴散。然后，進入步驟S8。
圖7的步驟S8是干燥步驟。在步驟S8中，把噴出描繪的顏色材料液44R、44G、44B統(tǒng)一干燥，凝固，形成3色的著色層。作為干燥方法，希望是能使顏色材料液44R、44G、44B中包含的溶劑均勻蒸發(fā)的減壓干燥。據(jù)此，能形成具有更均勻的膜厚的著色層。
所述實施例1的效果如下所述。
(1)從噴嘴42噴出的液滴在連續(xù)噴出時、間歇噴出時，噴出的液滴的量不同。作為理由，考慮到在連續(xù)驅(qū)動壓電元件46時、間歇驅(qū)動壓電元件46時，對于頭驅(qū)動電路60和壓電元件46的交流成分的信號的阻抗匹配的適合性不同。還考慮到連續(xù)噴出液滴時、間歇噴出液滴時，流過從收容液狀體的收容容器28到各液滴噴出頭31～39的流道的液狀體的流阻不同。
在所述實施例1的噴出量測定步驟中，以與描繪步驟中對基板W的紅色(R)的描繪區(qū)A噴出的定時相同的定時噴出液滴，計測所噴出的液滴的重量，除以噴出數(shù)，按液滴噴出頭31～39的每一個計算一次噴出的平均噴出量。此外，比較液滴噴出頭31～39的每一個的平均噴出量和所需的噴出量，噴出量的調(diào)整必要時，在調(diào)整步驟中，調(diào)整為噴出所需的噴出量。然后，對作為工件的基板W噴出描繪液滴而形成三種顏色的著色層。并且計測從噴嘴42噴出的液滴的噴出量時，與連續(xù)噴出液滴，計測噴出量時相比，能進行接近實際對基板W噴出液滴時的噴出量的計測。結(jié)果，能使對基板W噴出的液滴的噴出量為接近所需的噴出量的噴出量。
(2)從一個液滴噴出頭的全部噴嘴42同時噴出液滴時、從比這少的數(shù)量的噴嘴噴出液滴時，有時噴出的液滴的量不同。作為理由，考慮到在全部同時驅(qū)動液滴噴出頭的壓電元件46時、驅(qū)動少數(shù)的壓電元件46時，頭驅(qū)動電路60和壓電元件46的阻抗匹配的適合性不同。還考慮到在從全部液滴噴出頭噴出時、從少數(shù)的液滴噴出頭噴出時，流過從收容容器28到各液滴噴出頭3 1～39的流道的液狀體的流阻不同。
在所述實施例1的噴出量推測步驟中，在液滴噴出裝置20設(shè)置多個(9個)液滴噴出頭31～39，測定從各液滴噴出頭31～39噴出的液滴的噴出量時，計測以各液滴噴出頭31～39對基板W的描繪區(qū)A噴出的定時從各噴嘴列N1～N9噴出的液滴的噴出量。因此，計測從噴嘴列N1～N9噴出的液滴的噴出量時，與從全部的液滴噴出頭31～39噴出液滴，計測噴出量時相比，能進行更接近對基板W噴出時的噴出量的計測。結(jié)果，能把對基板W噴出的液滴的噴出量調(diào)整為接近所需的噴出量的噴出量。
(3)在所述實施例1的濾色器的制造方法中，在調(diào)整步驟中，調(diào)整從各液滴噴出頭31～39噴出的液滴的噴出量時，調(diào)整為接近所需的噴出量，并且調(diào)整為噴出同一顏色的顏色材料液的多個(3個)液滴噴出頭之間的噴出量的差減小。據(jù)此，從噴出同一顏色的顏色材料液的多個(3個)液滴噴出頭噴出的液滴的噴出量變?yōu)榇笾孪嗤?。因此，噴出液滴的基板W上的多個描繪區(qū)A之間能抑制噴出量變動，能形成光學(xué)特性(透過率、色度、彩度)的差少的同一顏色的著色層。
(實施例2)下面，按照圖10說明本發(fā)明的噴出量測定方法的其他實施例。圖10是表示噴出量測定的電控制系統(tǒng)的框圖。
如圖10所示，液滴噴出裝置20具有模擬位置值發(fā)生裝置77。此外是與所述實施例1的圖5所示的液滴噴出裝置的電控制系統(tǒng)的框圖相同的結(jié)構(gòu)。
在所述實施例1中，CPU54的主掃描控制運算部70對主掃描驅(qū)動裝置58發(fā)送臺移動位置數(shù)據(jù)，主掃描驅(qū)動裝置58驅(qū)動載置臺23。主掃描位置檢測裝置24對CPU54的噴嘴噴出控制運算部72發(fā)送載置臺23的位置數(shù)據(jù)，噴嘴噴出控制運算部72根據(jù)所述位置數(shù)據(jù)和存儲器55中記錄的液滴的配置數(shù)據(jù)，對頭驅(qū)動電路60以噴出液滴的定時發(fā)送噴出信號。
在本實施例中，代替主掃描位置檢測裝置24發(fā)送載置臺23的位置數(shù)據(jù)，模擬位置值發(fā)生裝置77生成模擬位置數(shù)據(jù)，對噴嘴噴出控制運算部72發(fā)送，噴嘴噴出控制運算部72根據(jù)所述模擬位置數(shù)據(jù)和所述配置數(shù)據(jù)，對頭驅(qū)動電路60發(fā)送噴出液滴的噴出信號。頭驅(qū)動電路60接收噴出信號，對第一液滴噴出頭31～第九液滴噴出頭39發(fā)送驅(qū)動壓電元件46的驅(qū)動信號，噴出液滴。
模擬位置值發(fā)生裝置77可以由產(chǎn)生位置數(shù)據(jù)的電路構(gòu)成，存儲在使載置臺23和滑架30相對移動的主掃描中從主掃描位置檢測裝置24輸出的載置臺23的位置數(shù)據(jù)，再現(xiàn)并輸出所存儲的位置數(shù)據(jù)。
根據(jù)所述實施例2的噴出量測定方法，除了所述實施例1的效果，還具有以下的效果。
(1)由模擬位置值發(fā)生裝置77生成模擬位置數(shù)據(jù)，對CPU54的噴嘴噴出控制運算部72發(fā)送，噴嘴噴出控制運算部72根據(jù)模擬位置數(shù)據(jù)和存儲器55中記錄的液滴的配置數(shù)據(jù)，生成噴出液滴的噴出信號(定時信號)。因此，與為了從主掃描位置檢測裝置24取得載置臺23的位置數(shù)據(jù)，驅(qū)動載置臺23的方法相比，噴嘴噴出控制運算部72能容易判斷噴出液滴的定時，能發(fā)送噴出信號。結(jié)果，不使載置臺23移動，用很少的能量就能計測噴出量。
(實施例3)下面按照圖11～圖14說明本發(fā)明的噴出量測定方法的其他實施例。圖11是表示實施例3的液滴噴出頭的概略平面圖，圖12和圖13是表示實施例3的液狀體的噴出方法的概略圖，圖14是表示計測用噴出數(shù)據(jù)的概略圖。
如圖11所示，本實施例的液滴噴出頭40具有由多個(180個)噴嘴42構(gòu)成的2個噴嘴列42A、42B。各噴嘴列42A、42B分別以大致等間隔的噴嘴間隔P排列多個噴嘴42，并且噴嘴列42A、42B彼此以半噴嘴間隔錯開的狀態(tài)排列。
不使用位于各噴嘴列42A、42B的兩端的10個噴嘴42，有效噴嘴數(shù)分別變?yōu)?60個。
此外這時，液滴噴出裝置20的滑架30上配置的液滴噴出頭40的數(shù)和配置與圖2所示的同樣。須指出的是，滑架30上搭載的液滴噴出頭40并不局限于9個，可以是與3色顏色材料液44R、44G、44B對應(yīng)的3個的結(jié)構(gòu)。
在作為本實施例的器件的濾色器中，形成RGB3色的著色層的描繪區(qū)A的配置與圖6所示的同樣，尺寸比所述實施例1大。因此，對描繪區(qū)A賦予的所需的液滴的數(shù)增加。本實施例表示包含基于假定這樣的情形時的液狀體的噴出方法的噴出量測定方法的濾色器的制造方法。
本實施例的濾色器的制造方法的液狀體的噴出方法是相對于所述實施例1，改變計測用噴出步驟和描繪步驟的結(jié)構(gòu)。具有描繪步驟，通過組合使液滴噴出頭40和基板W在Y軸方向相對移動的多次主掃描、在多次主掃描之間使液滴噴出頭40在X軸方向移動的副掃描的噴出控制，而對描繪區(qū)A，把給定量的液狀體作為液滴噴出描繪。
圖12(a)和(b)表示在描繪工序中，基于最初的主掃描的向描繪區(qū)A的液滴的配置。例如，從液滴噴出頭40，作為液狀體(功能液)，噴出紅色的顏色材料液44R時，噴嘴列42A首先到達紅色(R)的描繪區(qū)A，接著噴嘴列42B到達。
如圖12(a)所示，對噴嘴列42A的有效噴嘴按順序賦予編號#11～#170。在描繪區(qū)A的尺寸和與它有關(guān)的噴嘴列42A的位置關(guān)系中，產(chǎn)生有效噴嘴中對描繪區(qū)A連續(xù)噴出液滴的噴嘴42、不噴出的噴嘴42。此外，當(dāng)然對綠色(G)和藍色(B)的描繪區(qū)A不噴出液滴，所以全部的有效噴嘴成為不噴出。例如，在有效噴嘴的兩端側(cè)中，噴嘴編號11A、12A的噴嘴對于一方的紅色(R)的描繪區(qū)A，成為噴出噴嘴，噴嘴編號169A、170A的噴嘴對于另一方的紅色(R)的描繪區(qū)A，成為噴出噴嘴。此外，噴嘴編號13A、168A的噴嘴成為不噴出噴嘴。
接著如圖12(b)所示，對另一方的噴嘴列42B的有效噴嘴按順序賦予編號#11～#170。在噴嘴列42B中，也產(chǎn)生有效噴嘴中對描繪區(qū)A連續(xù)噴出液滴的噴嘴42、不噴出的噴嘴42。例如，在有效噴嘴的兩端，噴嘴編號11B、12B的噴嘴對于一方的紅色(R)的描繪區(qū)A，成為噴出噴嘴，噴嘴編號168B、169B的噴嘴對于另一方的紅色(R)的描繪區(qū)A，成為噴出噴嘴。此外，噴嘴編號13B、170B的噴嘴成為不噴出噴嘴。這樣的主掃描的噴出數(shù)據(jù)與各噴嘴列42A、42B對應(yīng)，作為縱軸表示噴嘴編號、橫軸表示噴出定時的位圖，對液滴噴出裝置20輸入，存儲到存儲器55。
如圖12(a)和(b)所示，對于描繪區(qū)A，以多個液滴落下的方式噴出，顏色材料液44R不足時，同樣重復(fù)主掃描，在主掃描方向，對同一位置賦予液滴，但是產(chǎn)生賦予的液滴的偏移，所以希望改變到達描繪區(qū)A的多個噴嘴42的位置，噴出。
圖13(c)和(d)是表示進行使液滴噴出頭40在X軸方向移動的副掃描，改變到達描繪區(qū)A的多個噴嘴42的位置，進行主掃描，噴出不足的液滴的狀態(tài)的概略圖。
如圖13(c)所示，在液滴噴出頭40的噴嘴列42A中，對液滴噴出頭40進行副掃描，使得噴嘴編號13A、14A的噴嘴到達一方的描繪區(qū)A，則這次在剛才的主掃描中噴出的噴嘴編號11A、12A、15A的噴嘴變?yōu)椴粐姵鰢娮臁?br> 接著如圖13(d)所示，在噴嘴列42B中也同樣改變噴出噴嘴和不噴出噴嘴的選擇。這樣的副掃描后的主掃描的噴出數(shù)據(jù)與各噴嘴列42A、42B對應(yīng)，作為縱軸表示噴嘴編號、橫軸表示噴出定時的位圖，對液滴噴出裝置20輸入，存儲到存儲器55。
在本實施例的噴出量測定方法中，如上所述，在描繪工序中，與噴出噴嘴和不噴出噴嘴根據(jù)各主掃描變化對應(yīng)，生成計測用噴出數(shù)據(jù)，從而能計測更接近噴出描繪實際的著色層的狀態(tài)的液滴的噴出量。
圖14是表示實施例3的計測用噴出數(shù)據(jù)的位圖。如圖14(a)所示，本實施例的噴出量測定方法中，計測用噴出數(shù)據(jù)包含具有多個噴嘴42中連續(xù)不噴出的噴嘴信息的作為第一計測用噴出數(shù)據(jù)的第一位圖、具有從不噴出的噴嘴連續(xù)噴出液狀體的噴嘴信息的作為第二計測用噴出數(shù)據(jù)的第二位圖，在計測用噴出步驟中，至少使用第一位圖和第二位圖，驅(qū)動液滴噴出頭40，以變?yōu)榭蓽y定的量的方式設(shè)定噴出數(shù)，把液狀體作為液滴噴出。
此外，在計測用噴出步驟中，對2個噴嘴列42A、42B的每一個，使用第一位圖和第二位圖，驅(qū)動液滴噴出頭。
然后，如圖14(b)所示，在計測用噴出步驟中，使用包含伴隨著副掃描在第一位圖中變更多個噴嘴中連續(xù)不噴出的噴嘴信息的作為第三計測用噴出數(shù)據(jù)的第三位圖、和具有從第三位圖中不噴出的噴嘴噴出功能液的噴嘴信息的作為第四計測用噴出數(shù)據(jù)的第四位圖的計測用噴出數(shù)據(jù)。另外，按兩個噴嘴列42A、42B的每一個生成它，使用，在計測工序中，計測噴嘴42A、42B的每一個的液滴的噴出量。
第一和第二位圖根據(jù)圖12(a)和(b)所示的主掃描的噴出數(shù)據(jù)，反映噴出噴嘴相對于有效噴嘴數(shù)的比即噴嘴使用率。
第三和第四位圖根據(jù)圖13(c)和(d)所示的副掃描后的主掃描的噴出數(shù)據(jù)，一邊反映噴嘴使用率，一邊與進行噴出的噴嘴選擇的變化對應(yīng)。
在生成計測用噴出數(shù)據(jù)時，如果原封不動反映描繪步驟的噴出數(shù)據(jù)，則多個噴嘴42的全部變?yōu)椴粐姵龅娜珖娮觳粐姵鲂畔⑴c不噴出描繪的描繪區(qū)A的配置對應(yīng)，連續(xù)發(fā)生。因此，為了削減計測用噴出步驟中不進行噴出的無用時間，在本實施例的位圖1～4中，刪除全噴嘴不噴出信息的一部分，作為計測用噴出數(shù)據(jù)。
須指出的是，在縱軸表示噴嘴編號、橫軸表示噴出定時的位圖中，“1”表示選擇，“0”表示非選擇。此外，在選擇時，對與液滴噴出頭40的各噴嘴42對應(yīng)的壓電元件46提供與1次噴出對應(yīng)的驅(qū)動信號，但是可以連續(xù)提供多個驅(qū)動信號。此外，橫軸的噴出定時可以像所述實施例2中說明的那樣，也可以根據(jù)作為工件的基板W的主掃描的基板位置信息。
所述實施例3的效果如下所述。
(1)在所述實施例3的噴出量測定方法中，把反映描繪步驟中的噴嘴使用率的第一～第四位圖作為計測用噴出數(shù)據(jù)使用。因此，從全部噴嘴42噴出給定噴出數(shù)的液滴，并且能進行反映實際的描繪步驟的噴出狀態(tài)的計測用噴出。因此，能計測更接近實際的液狀體的噴出描繪的狀態(tài)的液滴的噴出量。
(2)在所述實施例3的噴出量測定方法中，對液滴噴出頭40的各噴嘴列42A、42B的每一個，生成作為計測用噴出數(shù)據(jù)的第一～第四位圖，進行計測用噴出。因此，對噴嘴列42A、42B的每一個，能計測更接近實際的液狀體的噴出描繪的狀態(tài)的液滴的噴出量。
(3)在所述實施例3的噴出量測定方法中，在描繪步驟的噴出數(shù)據(jù)中局部刪除全噴嘴不噴出信息，生成作為計測用噴出數(shù)據(jù)的第一～第四位圖。因此，在計測用噴出步驟中，能削減不噴出液滴的無用時間，高效進行計測用噴出。
(4)所述實施例3的濾色器的制造方法通過使用第一～第四位圖的噴出量測定方法，把從各液滴噴出頭40噴出的液滴的噴出量適當(dāng)化。因此，在描繪步驟中，對各描繪區(qū)A賦予適當(dāng)量的顏色材料液44R、44G、44B，在干燥步驟后，能形成膜厚不均勻少的RGB3色的著色層。
(實施例4)下面說明本發(fā)明的電光學(xué)裝置的一個實施例的液晶顯示裝置。圖15是表示液晶顯示裝置的構(gòu)造的概略圖，圖15(a)是主視圖，圖(b)是在圖(a)的H-H′線切開的剖視圖。
如圖15(a)和(b)所示，本實施例的液晶顯示裝置1具有成對的TFT陣列基板2和對置基板3、接合兩基板2、3的光硬化性的密封材料即密封材料4、封入由密封材料4劃分的區(qū)域內(nèi)的液晶5。密封材料4在基板面內(nèi)的區(qū)域中，形成封閉的框狀，成為不具有液晶注入口，沒有由密封材料密封的痕跡的結(jié)構(gòu)。
在密封材料4的形成區(qū)的內(nèi)側(cè)的區(qū)域形成由遮光性材料構(gòu)成的周邊切邊6。在密封材料4的外側(cè)的區(qū)域，沿著TFT陣列基板2的一邊形成數(shù)據(jù)線驅(qū)動電路7和安裝端子8，沿著與這一邊相鄰的2邊，形成掃描線驅(qū)動電路9。在TFT陣列基板2的剩下的一邊設(shè)置用于連接圖像顯示區(qū)的兩側(cè)設(shè)置的掃描線驅(qū)動電路9之間的多條布線10。此外，在對置基板3的角部的至少一處，配置用于在TFT陣列基板2和對置基板3之間取得電導(dǎo)通的基板間導(dǎo)通材料11。
須指出的是，代替在TFT陣列基板2上形成數(shù)據(jù)線驅(qū)動電路7和掃描線驅(qū)動電路9，可以經(jīng)由各向異性導(dǎo)電膜而電/機械連接安裝驅(qū)動用LSI的TAB(Tape Automated Bonding)基板和TFT陣列基板2的周邊部形成的端子群。須指出的是，在液晶顯示裝置1中，按照使用的液晶5的種類即TN(Twisted Nematic)模式、STN(Super Twisted Nematic)模式等動作模式、常白模式/常黑模式的不同，在給定方向配置相位差板和偏振片，但是這里省略圖示。
此外，在對置基板3中，在與后面描述的TFT陣列基板2的各像素電極相對的區(qū)域中，形成具有作為描繪圖案的紅(R)、綠(G)、藍(B)三色的著色層12R、12G、12B的濾色器、保護膜。使用所述實施例1～3所示的濾色器的制造方法中的任意一個，制造著色層12R、12G、12B。在濾色器的TFT陣列基板2一側(cè)配置對置電極13。
在具有這樣的構(gòu)造的液晶顯示裝置1的圖像顯示區(qū)中，多個像素構(gòu)成m行n列的矩陣狀，并且在這些各個像素中形成像素開關(guān)用的TFT(ThinFilm Transistor)元件。供給像素信號的數(shù)據(jù)線與TFT的源極電連接，供給掃瞄信號的掃瞄線與TFT的柵極電連接，在TFT的漏極電連接像素電極14。
在TFT的柵極電連接掃瞄線，在給定的定時，以脈沖形式對掃瞄線外加掃瞄信號。
像素電極14與TFT的漏極電連接，通過使開關(guān)元件即TFT僅在一定期間為導(dǎo)通狀態(tài)，在給定的定時把從數(shù)據(jù)線供給的像素信號對各像素寫入。經(jīng)由像素電極14對液晶寫入的給定電平的像素信號在與對置基板3的對置電極13之間保持一定期間。按照像素信號的電平，液晶5的光透過量變化，液晶顯示裝置1具有濾色器，所以液晶顯示裝置1能顯示彩色圖像。
所述實施例4的效果如下所述。
(1)所述實施例4的液晶顯示裝置1中，對置基板3的濾色器可以使用所述實施例1～所述實施例3中表示的濾色器的制造方法中的任意一個制造。因此，具有膜厚不均勻少的3色的著色層12R、12G、12B，能穩(wěn)定地確保給定光學(xué)特性(透過率、色度、彩度)。因此，液晶顯示裝置1具有顏色不均勻少的高顯示質(zhì)量。
(實施例5)下面說明本發(fā)明的電子儀器的一個實施例的個人電腦。圖16是表示個人電腦的概略立體圖。作為本實施例的電子儀器的個人電腦(PC)80作為顯示信息的顯示部，具有顯示裝置81。在顯示裝置81配置所述實施例4的液晶顯示裝置1。
所述實施例5的效果如下所述。
(1)所述實施例5的PC80搭載具有顏色不均勻少的高顯示質(zhì)量的液晶顯示裝置1，所以能提供能可靠確認包含顏色信息的圖像信息的PC80。
以上說明本發(fā)明的實施例，但是在所述的實施例中，在不脫離本發(fā)明的宗旨的范圍追，能追加各種變形。例如所述的實施例以外的變形例如下所述。
(變形例1)在所述的實施例1中，在噴出量的計測中使用電子天平50，計測液滴的重量，但是并不局限于此，可以計測液滴的體積，計測噴出量。例如可以用對相同寬度的溝噴出液滴，從占據(jù)溝的液狀體的長度推測體積的方法計測體積。
(變形例2)在所述的實施例1中，對液滴噴出頭31～39的每一個配置電子天平50的測定用托盤M1～M9，測定從液滴噴出頭31～39的各噴嘴列N1～N9噴出的液滴的噴出量，但是可以對噴嘴42的每一個配置測定用托盤，測定從噴嘴42噴出的液滴的噴出量。通過對噴嘴42的每一個調(diào)整噴出量，能減少噴嘴間的噴出量的差。
(變形例3)在所述的實施例2中，噴嘴噴出控制運算部72根據(jù)模擬位置數(shù)據(jù)和配置數(shù)據(jù)，對頭驅(qū)動電路60發(fā)送噴出液滴的噴出信號。在模擬位置數(shù)據(jù)中連續(xù)包含不是噴出的位置的數(shù)據(jù)時，刪除不是噴出的位置的數(shù)據(jù)的一部分，減少模擬位置數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)量。在刪除不是噴出的位置的數(shù)據(jù)的一部分時，希望通過刪除，噴出變?yōu)椴贿B續(xù)。通過刪除不噴出的數(shù)據(jù)，能縮短與給定的噴出數(shù)有關(guān)的時間。
(變形例4)應(yīng)用所述的實施例1～所述的實施例3中的噴出量測定方法的濾色器的制造方法并不限定于具有RGB3色的著色層的濾色器的制造方法。例如，也能應(yīng)用于在RGB3色加上其他顏色的多色濾色器的制造方法。此外，RGB3色的著色層的配置并不限定于條紋方式，也能應(yīng)用三角方式、鑲嵌方式。具體而言，根據(jù)在基板W的描繪區(qū)A配置液滴的噴出數(shù)據(jù)，生成計測用噴出數(shù)據(jù)。
(變形例5)所述的實施例1～所述的實施例3的噴出量測定方法并不限定于應(yīng)用于形成濾色器時的圖案形成方法。例如，在具有有機EL(場致發(fā)光)元件的顯示裝置中，也能應(yīng)用于構(gòu)圖形成構(gòu)成作為發(fā)光元件的有機EL元件的空穴注入層、發(fā)光層、電子注入層的方法中。據(jù)此，從液滴噴出頭的噴嘴噴出描繪包含形成各層的材料的液狀體，能把空穴注入層、發(fā)光層、電子注入層的各層的厚度形成所需的厚度。此外，能減少有機EL元件的空穴注入層、發(fā)光層、電子注入層的各層厚度的偏差，所以能使發(fā)光元件的發(fā)光效率均勻，能成為發(fā)光時不均勻少的顯示裝置。
(變形例6)具有作為所述實施例5的電光學(xué)裝置的液晶顯示裝置1的電子儀器并不局限于個人電腦80。例如，適合作為電子書、移動電話、數(shù)字相機、液晶電視、尋像器或監(jiān)視器直視型的錄像機、汽車導(dǎo)航裝置、尋呼機、電子記事本、電子計算器、字處理器、工作站、電視電話、POS終端、觸摸屏等電子儀器的圖像顯示部件使用。任何時候，都能提供顯示不均勻少的電子儀器。
權(quán)利要求
1.一種噴出量測定方法，測定從液滴噴出頭的噴嘴噴出的液狀體的噴出量，包括計測用噴出步驟，根據(jù)計測用噴出數(shù)據(jù)，驅(qū)動所述液滴噴出頭，以變?yōu)榭蓽y定的量的方式設(shè)定噴出數(shù)，從所述噴嘴噴出所述液狀體作為液滴；計測步驟，計測所噴出的所述液狀體的噴出量；和運算步驟，從所計測的所述噴出量和所述噴出數(shù)計算平均噴出量；所述計測用噴出數(shù)據(jù)使用與對描繪圖案噴出描繪時大致同樣的噴出數(shù)據(jù)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴出量測定方法，其特征在于在所述計測步驟中，作為所噴出的液狀體的噴出量，計測重量。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的噴出量測定方法，其特征在于所述液滴噴出頭具有多個噴嘴；在所述計測用噴出步驟中，從所述多個噴嘴噴出液狀體；在所述計測步驟中，計測從所述液滴噴出頭的所述多個噴嘴噴出的液狀體的噴出量。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的噴出量測定方法，其特征在于所述計測用噴出數(shù)據(jù)包含沒有從全部的所述多個噴嘴噴出所述液狀體的全噴嘴不噴出信息，在所述全噴嘴不噴出信息連續(xù)時，刪除所連續(xù)的所述全噴嘴不噴出信息的一部分而使用。
5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的噴出量測定方法，其特征在于所述計測用噴出數(shù)據(jù)包含第一計測用噴出數(shù)據(jù)，具有所述多個噴嘴中連續(xù)沒有噴出的噴嘴信息；和第二計測用噴出數(shù)據(jù)，具有從所述沒有噴出的噴嘴連續(xù)噴出所述液狀體的噴嘴信息；在所述計測用噴出步驟中，至少使用所述第一計測用噴出數(shù)據(jù)和所述第二計測用噴出數(shù)據(jù)，驅(qū)動所述液滴噴出頭，以變?yōu)榭蓽y定的量的方式設(shè)定所述噴出數(shù)，噴出所述液狀體作為液滴。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的噴出量測定方法，其特征在于所述液滴噴出頭具有由多個噴嘴構(gòu)成的至少2個噴嘴列；在所述計測用噴出步驟中，對所述至少2個噴嘴列的每一個使用所述第一計測用噴出數(shù)據(jù)和所述第二計測用噴出數(shù)據(jù)，驅(qū)動所述液滴噴出頭。
7.一種圖案形成方法，在工件上形成由功能性材料構(gòu)成的描繪圖案，包括噴出量推測步驟，使用權(quán)利要求1～6中任一項所述的噴出量測定方法，推測從液滴噴出頭噴出的包含所述功能性材料的功能液的平均噴出量；判定步驟，根據(jù)推測結(jié)果，判定是否調(diào)整從所述液滴噴出頭噴出的所述功能液的噴出量；調(diào)整步驟，在調(diào)整必要時，變更所述液滴噴出頭的驅(qū)動條件，調(diào)整所述噴出量；描繪步驟，與使所述工件和所述液滴噴出頭相對移動的主掃描同步，從所述液滴噴出頭的噴嘴將所述功能液作為液滴噴出描繪；和圖案形成步驟，使所噴出描繪的所述功能液凝固，形成所述描繪圖案。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的圖案形成方法，其特征在于在所述描繪步驟中，使用多個液滴噴出頭噴出描繪所述功能液；在所述計測用噴出步驟中，所述多個液滴噴出頭的每一個噴出所述功能液；在所述計測步驟中，計測所述多個液滴噴出頭的每一個噴出的所述功能液的噴出量；在所述調(diào)整步驟中，以減少所述多個液滴噴出頭之間的所述平均噴出量的差的方式進行調(diào)整。
9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的圖案形成方法，其特征在于在所述計測用噴出步驟中，根據(jù)由所述描繪步驟的所述主掃描時的所述液滴噴出頭和所述工件之間的相對位置信息、和在所述工件上配置液滴的配置數(shù)據(jù)所生成的所述計測用噴出數(shù)據(jù)，從所述液滴噴出頭噴出所述功能液。
10.根據(jù)權(quán)利要求7～9中任意一項所述的圖案形成方法，其特征在于所述液滴噴出頭具有多個噴嘴；在所述描繪步驟中，進行多次使所述工件和所述液滴噴出頭相對移動的主掃描，并且在所述多次主掃描之間，在與所述主掃描的方向正交的方向進行使所述多個液滴噴出頭移動的副掃描；在所述計測用噴出步驟中使用所述計測用噴出數(shù)據(jù)，其包含第三計測用噴出數(shù)據(jù)，具有伴隨著所述副掃描在所述第一計測用噴出數(shù)據(jù)中變更所述多個噴嘴中連續(xù)沒有噴出的噴嘴的噴嘴信息；和第四計測用噴出數(shù)據(jù)，具有從所述第三計測用噴出數(shù)據(jù)中沒有噴出的噴嘴噴出所述功能液的噴嘴信息。
11.一種器件，具有由功能性材料構(gòu)成的描繪圖案，使用權(quán)利要求7～10中任意一項所述的圖案形成方法來制造所述描繪圖案。
12.一種電光學(xué)裝置，具有權(quán)利要求11所述的器件。13.一種電子儀器，具有權(quán)利要求12所述的電光學(xué)裝置。
全文摘要
本發(fā)明的液狀體的噴出量測定方法包含根據(jù)計測用噴出數(shù)據(jù)驅(qū)動液滴噴出頭，以變?yōu)榭蓽y定的量的方式設(shè)定噴出數(shù)，把液狀體作為液滴從噴嘴噴出的計測用噴出步驟(步驟S2)；計測所噴出的液狀體的噴出量的計測步驟(步驟S3)；從計測的噴出量和噴出數(shù)計算平均噴出量的運算步驟(步驟S4)。作為計測用噴出數(shù)據(jù)，使用與對描繪圖案噴出描繪時大致同樣的噴出數(shù)據(jù)。提供接近形成描繪圖案時的噴出量的計測方法。
文檔編號H01L51/56GK1962266SQ20061014461
公開日2007年5月16日 申請日期2006年11月9日 優(yōu)先權(quán)日2005年11月11日
發(fā)明者加藤剛 申請人:精工愛普生株式會社