專利名稱：激發(fā)半導(dǎo)體激光的固體激光裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及激發(fā)半導(dǎo)體激光的固體激光裝置，更詳細(xì)涉及以在光諧振腔內(nèi)不插入校準(zhǔn)器等結(jié)構(gòu)，能夠在1064.4nm附近實(shí)現(xiàn)單模()> ，'>《一 K)振蕩的激發(fā)半導(dǎo)體激光的固體激光裝置。
背景技術(shù)：
過去，對(duì)于由半導(dǎo)體激光器激發(fā)而在YAG晶體內(nèi)同時(shí)發(fā)生的在 1.06pm頻帶和在1.32)Lim頻帶產(chǎn)生的振蕩，為了抑制前者而只是選擇 性地使后者振蕩，要在光諧振腔中插入波長選擇元件，在YAG晶體的 兩個(gè)端面上涂布三色性涂層的技術(shù)是公知的(參照例如專利文件1)。而在光諧振腔內(nèi)插入校準(zhǔn)器，調(diào)節(jié)校準(zhǔn)器的溫度，使得校準(zhǔn)器的 透過峰適合于激光輸出峰波長的技術(shù)也是公知的(參照例如專利文件 2)。另外，在光諧振腔內(nèi)插入非線性光學(xué)結(jié)晶進(jìn)行波長變換時(shí)，存在 有多個(gè)縱模的情況下，能夠抑制由于各個(gè)模經(jīng)由和頻發(fā)生(和周波発 生)而結(jié)合時(shí)產(chǎn)生的模競爭噪音和當(dāng)縱模單模化產(chǎn)生的模競爭噪音也 是已知的(參照例如非專利文件l)。對(duì)在光諧振腔內(nèi)形成第二諧振腔的振蕩模進(jìn)行控制的技術(shù)也是已 知的(參照例如非專利文件2)。專利文件l:特開昭64-31485號(hào)專利文件2:專利第3509598號(hào)非專利文件l: J. Opt. Soc. Am. B.第3巻，No.9， p1175 (1986) 非專禾U文件2: Lasers (University Science Books, Mill Valley, CA.1986), p524發(fā)明內(nèi)容發(fā)明要解決的問題希望利用從4F3/2到411/2的能級(jí)之間的遷移，由Nd:YAG在1064.4nm 附近產(chǎn)生單模振蕩?？墒?，各個(gè)能級(jí)更細(xì)分裂為作為次能級(jí)(寸7、 《》)的斯塔克能級(jí)()二夕A夕準(zhǔn)位)，在從次能級(jí)R2向次能級(jí)Y3 遷移產(chǎn)生的1064.4nm附近振蕩譜線的附近有從次能級(jí)&向次能級(jí)Y, 遷移產(chǎn)生的1061.8nm附近的振蕩譜線，為了在1064.4nm附近進(jìn)行單 模振蕩，就必須抑制在1061.8nm附近的振蕩譜線。但是，為了使在1064.4nm附近進(jìn)行單模振蕩而抑制在1061.8nm 附近的振蕩譜線是現(xiàn)有的技術(shù)所不知道的。另一方面，在向光諧振腔中插入校準(zhǔn)器的現(xiàn)有技術(shù)中，在部件數(shù) 增加使結(jié)構(gòu)復(fù)雜的同時(shí)，會(huì)產(chǎn)生由于插入校準(zhǔn)器等所引起的反射損失 或吸收損失等諧振腔內(nèi)損失的問題。在YAG的兩個(gè)端面上涂布三色性涂層的現(xiàn)有技術(shù)中，也有很難只 用涂層來抑制在1061.8nm附近的振蕩譜線而實(shí)現(xiàn)在1064.4nm附近的 單模振蕩的問題。因此，本發(fā)明的目的是提供一種用在光諧振腔內(nèi)不插入校準(zhǔn)器的 結(jié)構(gòu)，就能夠?qū)崿F(xiàn)1064.4nm附近的單模振蕩的激發(fā)半導(dǎo)體激光的固體 激光裝置。解決問題的手段按照本發(fā)明的第一個(gè)觀點(diǎn)，提供一種激發(fā)半導(dǎo)體激光的固體激光 裝置，其特征在于，在其結(jié)構(gòu)為由半導(dǎo)體激光器輸出的激光激發(fā)包含 固體激光介質(zhì)的光諧振腔內(nèi)裝有非線性光學(xué)晶體，向外部輸出在上述 光諧振腔中振蕩的基本波的高次諧波，控制上述半導(dǎo)體激光器的驅(qū)動(dòng) 電流，使檢出一部分高次諧波得到的高次諧波輸出成為常數(shù)，在該激 光裝置中，上述固體激光介質(zhì)是Nd:YAG，上述Nd:YAG具有與光軸垂 直的兩個(gè)端面，在構(gòu)成上述Nd:YAG的上述光諧振腔端部的端面上， 涂布有相對(duì)于從能級(jí)4F3/2向能級(jí)4111/2遷移時(shí)產(chǎn)生的光線HR涂層，上 述Nd:YAG通過兩個(gè)端面反射光千涉起著頻帶("' > 卜')反射鏡的作用，其在光線透過方向上具有的厚度，使得對(duì)從次能級(jí)R2向次能級(jí)Y3遷移發(fā)生的光線，反射率顯示出極大值，而對(duì)從次能級(jí)R,向次能級(jí)Yi 遷移發(fā)生的光線，反射率顯示出極小值。在按照上述第一觀點(diǎn)的激發(fā)半導(dǎo)體激光的固體激光裝置中，由于在構(gòu)成Nd:YAG光諧振腔端部的端面上，涂布有相對(duì)于從能級(jí)4F3/2向 能級(jí)"In,2遷移發(fā)生的光線的HR涂層，使得能夠抑制1.32pm頻帶的振 蕩，只是選擇性地在1.06pm的頻帶發(fā)生振蕩。而在Nd:YAG半導(dǎo)體激 光一側(cè)的端面上可以沒有涂層，也可以有具有一定反射率的涂層。其次，由于Nd:YAG的兩個(gè)端面是平行的(都與光軸垂直)，Nd:YAG 起著頻帶反射鏡的作用，具有對(duì)波長的選擇性。因此，當(dāng)控制Nd:YAG 的厚度進(jìn)行調(diào)諧，使例如從次能級(jí)R2向次能級(jí)Y3遷移發(fā)生的光線顯示 出反射率的極大值，而對(duì)從次能級(jí)R,向次能級(jí)Yi遷移發(fā)生的光線顯示 出反射率的極小值時(shí)，就能夠抑制作為從次能級(jí)&向次能級(jí)Y,遷移發(fā) 生的光線在1061.8nm附近的振蕩譜線，實(shí)現(xiàn)作為從次能級(jí)R2向次能 級(jí)Ys遷移發(fā)生的光線在1064.4nm附近進(jìn)行的單模振蕩。而在如專利文件1的圖2中所示，在光諧振腔內(nèi)插入端面垂直于 光軸的校準(zhǔn)器的情況下，形成使校準(zhǔn)器的反射光在光諧振腔內(nèi)諧振的 第二諧振腔，產(chǎn)生了此第二諧振腔具有與校準(zhǔn)器不同波長選擇特性的 問題。另外，如在專利文件2的圖1中所示，如果校準(zhǔn)器的端面稍許 傾斜于光軸，就不會(huì)形成第二諧振腔。但是由于端面傾斜而使透過的 精度變差，造成諧振腔內(nèi)損失，產(chǎn)生激光器振蕩效率降低的問題。與此相反，在本發(fā)明中，由于Nd:YAG的兩個(gè)端面是垂直于光軸 的，在光諧振腔內(nèi)會(huì)形成第二諧振腔，但由于作為此第二諧振腔的波 長選擇特性與Nd:YAG形成的頻帶反射鏡的波長選擇特性是一致的， 所以不會(huì)產(chǎn)生如在光諧振腔內(nèi)插入校準(zhǔn)器時(shí)那樣的問題。而Nd:YAG 的兩個(gè)端面由于是與光軸垂直的，不會(huì)使透過精度(7 <冬^)變差， 不會(huì)引起端面傾斜時(shí)那樣的問題。在本發(fā)明的第二個(gè)觀點(diǎn)中，提供一種激發(fā)半導(dǎo)體激光的固體激光 裝置，其特征在于，在按照上述第一觀點(diǎn)的激發(fā)半導(dǎo)體激光的固體激 光裝置中，上述Nd:YAG在光透過方向上具有的厚度，使得在1064.4nm 附近存在有反射峰，而且1061.8nm附近不存在反射峰。在上述按照第二觀點(diǎn)的激發(fā)半導(dǎo)體激光的固體激光裝置中，由于 在構(gòu)成Nd:YAG光諧振腔端部的端面上涂布有相對(duì)于1064.4nm附近的 HR涂層，能夠抑制1.32pm頻帶的振蕩而只選擇性地在1.06[im頻帶振 蕩，而在Nd:YAG在半導(dǎo)體激光一側(cè)的端面上也可以沒有涂層，也可以有具有一定反射率的涂層。其次，由于Nd:YAG的兩個(gè)端面是平行的(都垂直于光軸)，Nd:YAG 具有波長選擇性，發(fā)揮了頻帶反射鏡的作用。因此，當(dāng)控制Nd:YAG 的厚度進(jìn)行調(diào)諧，使得在例如1064.4nm±0.35nm (圖2的斜線部分a) 處具有反射峰，而在1061.8nm±0.2nm (圖2的斜線部分b)處沒有反 射峰時(shí)，就能夠抑制在1061.8nm附近的振蕩譜線，實(shí)現(xiàn)在1064.4nm 附近的單模振蕩。在本發(fā)明的第三個(gè)觀點(diǎn)中，提供一種激發(fā)半導(dǎo)體激光的固體激光 裝置，其特征在于，在按照上述第一或第二觀點(diǎn)的激發(fā)半導(dǎo)體激光的 固體激光裝置中，上述Nd:YAG在光透過方向上的厚度是0.13 0.22mm、 0.26 0.33mm、 0.39 0.44mm、 0.51 0.55mm、 0.65 0.67mm 中的任何一個(gè)。在圖3中表示在Nd:YAG的反射特性中自由光譜區(qū)(FSR: free SpectralRange)和反射峰波長的關(guān)系。圖3中的放射狀直線表示與FSR 相對(duì)應(yīng)的Nd:YAG反射峰的波長。對(duì)Nd:YAG進(jìn)行溫度調(diào)諧，使得一 個(gè)反射峰存在于與自由光譜區(qū)無關(guān)的作為本發(fā)明對(duì)象的波長1064.4nm 的附近。 '圖3上在水平方向上的區(qū)域a，是在1064.4nm附近的區(qū)域，在水 平方向上的區(qū)域P，是在1061.8nm附近的區(qū)域。在垂直方向上的區(qū)域 A、 B、 CD和E，分別表示在區(qū)域a中存在有Nd:YAG的反射峰且在 區(qū)域b中沒有反射峰的FSR的范圍。如在圖3中所看到的，如果FSR 的值是0.467 0.480、 0.56 0.60、 0.70 0.80、 0.933 1.20和1.4 2.4， 就能夠抑制在1061.8nm附近的振蕩譜線，實(shí)現(xiàn)在1064.4nm附近的單 模振蕩。當(dāng)把這些FSR值換算為Nd:YAG的厚度時(shí)，就是0.13 0.22mm、 0.26 0.33mm、 0.39 0.44mm、 0.51 0.55mm禾卩0.65 0.67mm。在本發(fā)明的第四個(gè)觀點(diǎn)中，提供一種激發(fā)半導(dǎo)體激光的固體激光 裝置，其特征在于，在按照上述第一至第三當(dāng)中任何一個(gè)觀點(diǎn)的激發(fā) 半導(dǎo)體激光的固體激光裝置中，包括有變更上述Nd:YAG溫度的組件。在將Nd:YAG的溫度控制為一定的狀態(tài)下，為了讓其在光透過方 向上的厚度使得在1064.4nm附近存在有反射峰，而在1061.8nm附近不存在反射峰，有必要控制Nd:YAG的厚度在10nm的數(shù)量級(jí)(才 一 夕' 一)。可以通過研磨加工做到這一點(diǎn)。但是進(jìn)行如此高精度的研磨加工 會(huì)成為提高成本的主要原因。而在按照上述第四觀點(diǎn)的激發(fā)半導(dǎo)體激光的固體激光裝置中，并 不要求通過研磨加工達(dá)到10nm數(shù)量級(jí)的精度，由于研磨加工所引起的 厚度偏差("，'7^)，變更Nd:YAG的溫度而吸收。由此就能夠避免 由于高精度研磨加工帶來的成本上升。在本發(fā)明的第五個(gè)觀點(diǎn)中，提供一種激發(fā)半導(dǎo)體激光的固體激光 裝置，其特征在于，在按照上述第四觀點(diǎn)的激發(fā)半導(dǎo)體激光的固體激 光裝置中，上述Nd:YAG在光透過方向上的厚度，取0.31 0.33mm、 0.39 0.44mm、 0.51 0.55mm、 0.65 0.67mm中的任何一個(gè)值。被Nd:YAG頻帶反射鏡反射的波長相對(duì)于溫度的變化率dX7dT由 如下公式表示。dX/dT=X{ (1 /n)(dn/dT)+a}這里，X表示波長；n表示Nd:YAG的折射率；a表示Nd:YAG的 線膨脹系數(shù)。當(dāng)AM064.4nm， n=1.82， dn/dT=9.05xlO—6/K， a=7xl(r6/K 時(shí)，ca/dT=0.013nm/°C。使用此dA7dT值將Nd:YAG的反射峰調(diào)諧在1064.4nm附近的增益 頻帶卜")的峰值上，但是實(shí)際的增益頻帶伴隨著溫度升 高而向長的波長方向移動(dòng)。其移動(dòng)的比例A入是0.003nm廠C。從而校準(zhǔn) 器的反射峰和增益頻帶的波長差相對(duì)于溫度的調(diào)諧能力(千二一十^ 'J亍4 —)是0.01應(yīng)/。C (=0.013nm/°C—0.003nm/°C)?？紤]到結(jié)構(gòu)部件的耐熱性，現(xiàn)實(shí)Nd:YAG的可變溫度的幅度在 IO(TC左右。從而，通過溫度變化能夠覆蓋的波長幅度為lnm (0.01nm/°CxlO(TC)。 一般說來，為了改變溫度將反射峰調(diào)諧在希望的 波長上，使溫度能夠覆蓋(義^ 一 - )上由Nd:YAG厚度決定的FSR 就是條件。而FSR如下式所表示。FSR42/(2n.L)這里L(fēng)是Nd:YAG的厚度。使FSR等于lnm (=由于溫度變更所能夠覆蓋波長的幅度)的Nd:YAG厚度為0.31mm。實(shí)際上這就把Nd:YAG厚度的下限條件設(shè)定 為"0.31mm以上"。另外，Nd:YAG厚度的上限，由用來選擇增益頻帶內(nèi)一個(gè)縱模使 FSR為大于增益頻帶寬度一半的值這個(gè)條件決定。這就是說，由于 Nd:YAG增益頻帶的寬度為大約0.7nm，所以FSR在0.35nm以上，將 其換算為Nd:YAG的厚度L就在0.89mm以下。這就成為Nd:YAG厚 度L的上限條件"0.89mm以下"。在Nd:YAG的下限條件為"0.31mm以上"和上限條件為"0.89mm以 下"的上述第三觀點(diǎn)中，當(dāng)Nd:YAG的厚度符合此范圍時(shí)，適當(dāng)?shù)?Nd:YAG厚度為0.31 0.33mm、 0.39 0.44mm、 0.51 0.55mm、 0.65 0.67mm中任何一個(gè)值。在本發(fā)明的第六個(gè)觀點(diǎn)中，提供一種激發(fā)半導(dǎo)體激光的固體激光 裝置，其特征在于，在按照上述第一至第五觀點(diǎn)中任何一個(gè)的激發(fā)半 導(dǎo)體激光的固體激光裝置中，在不是構(gòu)成上述Nd:YAG光諧振腔端部 端面的端面是沒有涂層的。構(gòu)成Nd:YAG光諧振腔端部的端面涂布上HR涂層，而不是構(gòu)成 光諧振腔端部端面的端面則沒有涂層，這不僅簡化了制造工序，而且 由于沒有由涂層膜造成的散射、吸收等諧振腔內(nèi)損失，具有提高了效 率，也有不擔(dān)心涂層膜老化等優(yōu)點(diǎn)。在本發(fā)明的第七個(gè)觀點(diǎn)中，提供一種激發(fā)半導(dǎo)體激光的固體激光 裝置，其特征在于，在按照上述第六觀點(diǎn)的激發(fā)半導(dǎo)體激光的固體激 光裝置中，上述光諧振腔的光學(xué)長度在18mm以下。本發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，為了實(shí)現(xiàn)單模振蕩，使Nd:YAG的反射峰與一個(gè) 諧振腔的模幾乎是一致的，再給予相鄰的諧振腔模0.3%以上的損失即 可。在構(gòu)成Nd:YAG光諧振腔端部端面涂布HR涂層而不是構(gòu)成光諧 振腔端部端面的端面沒有涂層的情況下，為了給予相鄰的諧振腔的模 以0.3%以上的損失，只要使諧振腔模的間隔在0.03nm以上即可。如 果將此換算的話，光諧振腔的光學(xué)長度在18mm以下。本發(fā)明的效果按照本發(fā)明的激發(fā)半導(dǎo)體激光的固體激光裝置，其結(jié)構(gòu)在光諧振 腔內(nèi)不插入校準(zhǔn)器等，能夠在1064.4nm附近實(shí)現(xiàn)單模振蕩。


圖1是表示涉及實(shí)施例一的激發(fā)半導(dǎo)體激光的固體激光裝置的結(jié) 構(gòu)說明圖。圖2是表示當(dāng)Nd:YAG的厚度為0.41mm時(shí)透過率的特性圖。 圖3是表示Nd:YAG反射峰波長相對(duì)于FSR的特性圖。 符號(hào)說明I 半導(dǎo)體激光器3 Nd:YAG 3a HR涂層4 溫度變更裝置6 波長變換元件7 鏡片8 光諧振腔9 光束分束器10 光電二極管II 半導(dǎo)體激光器驅(qū)動(dòng)電路100激發(fā)半導(dǎo)體激光的固體激光裝置具體實(shí)施方式
下面按照?qǐng)D中所示的實(shí)施形態(tài)詳細(xì)說明本發(fā)明。但是并不由此限 定本發(fā)明。 實(shí)施例一圖1是表示涉及實(shí)施例一的激發(fā)半導(dǎo)體激光的固體激光裝置100的結(jié)構(gòu)說明圖。此激發(fā)半導(dǎo)體激光的固體激光裝置100包括射出激發(fā)激光的半導(dǎo) 體激光器l、將激發(fā)的激光聚焦的第一透鏡21和第二透鏡22、被聚焦 的激光激發(fā)感應(yīng)放出基本波激光的Nd:YAG (固體激光介質(zhì))3、用來 改變Nd:YAG3溫度的溫度變更裝置4、調(diào)節(jié)偏振光的Brewster板(7' U 二一7>夕板)5、將基本波激光變換為二次諧波光線的波長變換元件6、在構(gòu)成光諧振腔8—端的同時(shí)還透過二次諧波光線的鏡片7、取出透過鏡片7的一部分二次諧波的光束分束器9、接受用光束分束器9取出的二次諧波光并變換為電信號(hào)的光電二極管IO和控制半導(dǎo)體激光 器1的驅(qū)動(dòng)電流使光電二極管10的電信號(hào)強(qiáng)度一定的半導(dǎo)體激光器驅(qū)動(dòng)電路11。半導(dǎo)體激光器1，對(duì)圖中未顯示的帕爾帖(《A f工)元件進(jìn)行溫度調(diào)諧，使激發(fā)的激光成為Nd:YAG的波長808.5nm的吸收峰。Nd:YAG3是將單晶或微晶燒結(jié)得到的陶瓷。在構(gòu)成Nd:YAG3端部 的光諧振腔8的端部端面上涂有對(duì)波長808.5nm具有高透過率，而對(duì) 波長1064nm具有高反射率的HR涂層3a。另一方面，在Nd:YAG3端 部的不是光諧振腔8端部的端面上則沒有涂層。Nd:YAG3的兩個(gè)端面 的平行度被加工成5秒以下的精度。Nd:YAG3被設(shè)置得其兩個(gè)端面都 與光軸垂直。在涂布了 HR涂層3a的Nd:YAG3端面和鏡片7之間構(gòu)成了光諧 振腔8。光諧振腔8的光學(xué)長度在18mm以下。溫度變更裝置4通過帕爾帖元件變更Nd:YAG的溫度，調(diào)節(jié)光透 過方向上的厚度，使得在1064.4nm附近存在有反射峰，而在1061.8nm 附近不存在反射峰。波長變換元件5是LiNb03、 LiTa03、 MgO.LiNb03、 MgO:LiTa03、 KNb03、 KTiOP04之類的材料或者對(duì)這些材料實(shí)施極化反轉(zhuǎn)處理得到 的材料。通過波長變換元件5的在波長1064.4nm附近的基本波激光被 轉(zhuǎn)換為二次諧波光或三次諧波光等高次諧波光輸出。波長變換元件5被圖中未顯示的帕爾帖元件或加熱器調(diào)整到適當(dāng) 的溫度。圖2是表示當(dāng)Nd:YAG3的厚度為0.41mm (FSR是0.76)時(shí)，從 諧振腔的內(nèi)側(cè)觀察Nd:YAG3時(shí)的反射率的特性圖。圖2中的斜線部分a表示1064.4nm振蕩譜線的位置和具有周邊增 益的區(qū)域(例如1064.4nm士0.35nm)。由于對(duì)此斜線部分a的波長存在 著一個(gè)反射峰，所以在其附近發(fā)生振蕩。另外，斜線部分b表示1061.8nm的振蕩譜線的位置和具有周邊增 益的區(qū)域(例如1061.8nm±0.2nm)。此斜線部分b的波長反射率低，其 振蕩受到抑制。按照實(shí)施例一的激發(fā)半導(dǎo)體激光的固體激光裝置100，其結(jié)構(gòu)在光諧振腔內(nèi)不插入校準(zhǔn)器，能夠?qū)崿F(xiàn)在1064.4nm附近的單模振蕩。 實(shí)施例二Nd:YAG3的厚度可以取0.13 0.22mm、 0.26 0.33mm、 0.39 0.44mm、 0.51 0.55mm、 0.65 0.67mm中的任何一個(gè)值。按照實(shí)施例二的激發(fā)半導(dǎo)體激光的固體激光裝置，F(xiàn)SR值可取 0.467 0.480、 0.56 0.60、 0.70 0.80、 0.933 1.20和1.4 2.4中的任 何一個(gè)值，即圖3中的斜線部分A、 B、 C、 D和E。在這些斜線部分 A、B、C、D和E處，由于在1064.4nm附近存在有反射峰，而在1061.8nm 附近不存在反射峰，所以能夠抑制在1061.8nm附近的振蕩譜線，而在 1064.4nm附近實(shí)現(xiàn)單模振蕩。如果Nd:YAG 3的厚度取0.31 0.33mm、 0.39 0.44mm、 0.51 0.55mm、 0.65 0.67mm中的任何一個(gè)，對(duì)IO(TC左右的溫度覆蓋是合 適的。產(chǎn)業(yè)上利用的可能性本發(fā)明的激發(fā)半導(dǎo)體激光的固體激光裝置，可用于生物工程領(lǐng)域 或測量領(lǐng)域。
權(quán)利要求
1、激發(fā)半導(dǎo)體激光的固體激光裝置，其特征在于，該激光裝置中，由半導(dǎo)體激光器輸出的激光激發(fā)包含固體激光介質(zhì)的光諧振腔內(nèi)裝有非線性光學(xué)晶體，向外部輸出在上述光諧振腔中振蕩的基本波的高次諧波，控制上述半導(dǎo)體激光器的驅(qū)動(dòng)電流，使檢出一部分高次諧波得到的高次諧波輸出成為常數(shù)，上述固體激光介質(zhì)是Nd:YAG，上述Nd:YAG具有與光軸垂直的兩個(gè)端面，在構(gòu)成上述Nd:YAG的上述光諧振腔端部的端面上，涂布有相對(duì)于從能級(jí)4F3/2向能級(jí)4I11/2遷移時(shí)產(chǎn)生的光線HR涂層，上述Nd:YAG通過兩個(gè)端面反射光干涉起著頻帶反射鏡的作用，其在光線透過方向上具有的厚度，使得對(duì)從次能級(jí)R2向次能級(jí)Y3遷移發(fā)生的光線，反射率顯示出極大值，而對(duì)從次能級(jí)R1向次能級(jí)Y1遷移發(fā)生的光線，反射率顯示出極小值。
2、激發(fā)半導(dǎo)體激光的固體激光裝置，其特征在于，在權(quán)利要求1 中所述的激發(fā)半導(dǎo)體激光的固體激光裝置中，上述Nd:YAG在光透過方向上具有的厚度，使得在1064.4nm附近 存在有反射峰，而且1061.8nm附近不存在反射峰。
3、 激發(fā)半導(dǎo)體激光的固體激光裝置，其特征在于，在權(quán)利要求1 或權(quán)利要求2中所述的激發(fā)半導(dǎo)體激光的固體激光裝置中，上述Nd:YAG在光透過方向上的厚度取0.13 0.22mm、 0.26 0.33mm、 0.39 0.44mm、 0.51 0.55mm、 0.65 0.67mm中的任何一個(gè) 值。
4、 激發(fā)半導(dǎo)體激光的固體激光裝置，其特征在于，在權(quán)利要求1 至權(quán)利要求3中任何一項(xiàng)中所述的激發(fā)半導(dǎo)體激光的固體激光裝置中，包括有變更上述Nd:YAG溫度的組件。
5、 激發(fā)半導(dǎo)體激光的固體激光裝置，其特征在于，在權(quán)利要求4 中所述的激發(fā)半導(dǎo)體激光的固體激光裝置中，上述Nd:YAG在光透過方向上的厚度，取0.31 0.33mm、 0.39 0.44mm、 0.51 0.55mm、 0.65 0.67mm中的任何一個(gè)值。
6、 激發(fā)半導(dǎo)體激光的固體激光裝置，其特征在于，在權(quán)利要求1 至權(quán)利要求5中任何一項(xiàng)的激發(fā)半導(dǎo)體激光的固體激光裝置中，在不是構(gòu)成上述Nd:YAG光諧振腔端部端面的端面是沒有涂層的。
7、 一種激發(fā)半導(dǎo)體激光的固體激光裝置，其特征在于，在權(quán)利要 求6中所述的激發(fā)半導(dǎo)體激光的固體激光裝置中，上述光諧振腔的光學(xué)長度在18mm以下。
全文摘要
激發(fā)半導(dǎo)體激光的固體激光裝置。在作為Nd:YAG端面的光諧振腔端部的端面上，在涂布相對(duì)于波長1064.4nm附近的HR涂層的同時(shí)，通過使Nd:YAG在光透過方向上的厚度成為在1064.4nm附近存在有反射峰，而在1061.8nm不存在反射峰的厚度，以在光諧振腔內(nèi)不插入校準(zhǔn)器等的結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)在1064.4nm附近的單模振蕩。
文檔編號(hào)H01S3/137GK101228676SQ20058005117
公開日2008年7月23日 申請(qǐng)日期2005年7月26日 優(yōu)先權(quán)日2005年7月26日
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