專利名稱：半導(dǎo)體缺陷信號(hào)檢測(cè)與統(tǒng)計(jì)系統(tǒng)及其方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體產(chǎn)品生產(chǎn)控制領(lǐng)域，特別涉及半導(dǎo)體產(chǎn)品生產(chǎn)控制中的檢測(cè)和分析領(lǐng)域，具體是指一種半導(dǎo)體缺陷信號(hào)檢測(cè)與統(tǒng)計(jì)系統(tǒng)及其方法。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)代科技的發(fā)展中，半導(dǎo)體已經(jīng)成為一種不可缺少的組成部分，各種各樣的高精尖設(shè)備中均廣泛應(yīng)用到了半導(dǎo)體材料，而對(duì)于目前全球的半導(dǎo)體制造產(chǎn)業(yè)來(lái)說(shuō)，SEMATECH和國(guó)際SEMATECH是由7個(gè)國(guó)家的14家半導(dǎo)體制造公司組成的，協(xié)會(huì)位于美國(guó)德克薩斯州的奧斯汀，致力于開發(fā)最有效的、全球協(xié)作的、有影響力的半導(dǎo)體制造技術(shù)。SEMATECH和國(guó)際SEMATECH與其成員、設(shè)備和材料供應(yīng)商、研究機(jī)構(gòu)、學(xué)術(shù)界和其它協(xié)會(huì)一起協(xié)作，加速其成員國(guó)先進(jìn)的半導(dǎo)體制造工藝、材料和設(shè)備的開發(fā)。開發(fā)的成果在SEMATECH的高級(jí)工具開發(fā)設(shè)備上通過(guò)模擬生產(chǎn)線來(lái)進(jìn)行驗(yàn)證。協(xié)會(huì)的成員可以盡早地獲得先進(jìn)的工具和制造工藝，以及改進(jìn)設(shè)備生產(chǎn)率，從而獲益。
但是目前，用于研究階段的半導(dǎo)體生產(chǎn)監(jiān)控系統(tǒng)存在著多方面的不足，主要是對(duì)于半導(dǎo)體晶圓所存在的各種缺陷的檢測(cè)與分析技術(shù)不夠成熟，從而不能從根本上解決大規(guī)模生產(chǎn)上遇到的問(wèn)題，這樣就制約了全球的半導(dǎo)體技術(shù)的迅速發(fā)展，并且已經(jīng)成為影響半導(dǎo)體廣泛應(yīng)用的主要障礙。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是克服了上述現(xiàn)有技術(shù)中的缺點(diǎn)，提供一種集成化程度較高、能夠?qū)崟r(shí)進(jìn)行處理、檢測(cè)和分析準(zhǔn)確度較高、操作簡(jiǎn)便快捷、工作性能穩(wěn)定可靠、適用面較為廣泛的半導(dǎo)體缺陷信號(hào)檢測(cè)與統(tǒng)計(jì)系統(tǒng)及其方法。
為了實(shí)現(xiàn)上述的目的，本發(fā)明的半導(dǎo)體缺陷信號(hào)檢測(cè)與統(tǒng)計(jì)系統(tǒng)及其方法如下該半導(dǎo)體缺陷信號(hào)檢測(cè)與統(tǒng)計(jì)系統(tǒng)，包括在線監(jiān)控裝置，其主要特點(diǎn)是，所述的系統(tǒng)還包括缺陷信號(hào)分析裝置、缺陷信息庫(kù)和缺陷信息統(tǒng)計(jì)裝置，所述的缺陷信號(hào)分析裝置分別與在線監(jiān)控裝置、缺陷信息庫(kù)和缺陷信息統(tǒng)計(jì)裝置相連接，所述的缺陷信息庫(kù)中包含有數(shù)個(gè)預(yù)設(shè)的缺陷信號(hào)模式。
該半導(dǎo)體缺陷信號(hào)檢測(cè)與統(tǒng)計(jì)系統(tǒng)的缺陷信號(hào)分析裝置包括缺陷信號(hào)解析單元、缺陷信號(hào)抓取單元和缺陷信息隊(duì)列，所述的缺陷信息統(tǒng)計(jì)裝置包括缺陷信息統(tǒng)計(jì)單元、缺陷信息緩沖隊(duì)列和缺陷信息統(tǒng)計(jì)報(bào)表。
該半導(dǎo)體缺陷信號(hào)檢測(cè)與統(tǒng)計(jì)系統(tǒng)的缺陷信息庫(kù)為缺陷信息數(shù)據(jù)庫(kù)。
該半導(dǎo)體缺陷信號(hào)檢測(cè)與統(tǒng)計(jì)系統(tǒng)的缺陷信息隊(duì)列為缺陷信息數(shù)據(jù)庫(kù)表，所述的缺陷信息緩沖隊(duì)列為缺陷信息緩沖數(shù)據(jù)庫(kù)表，所述的缺陷信息統(tǒng)計(jì)報(bào)表為缺陷信息統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)庫(kù)報(bào)表。
該使用上述的系統(tǒng)進(jìn)行半導(dǎo)體缺陷信號(hào)檢測(cè)與統(tǒng)計(jì)的方法，其主要特點(diǎn)是，所述的方法包括以下步驟(1)在線監(jiān)控裝置對(duì)經(jīng)過(guò)生產(chǎn)線的以格為分組的半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行掃描，生成包含相應(yīng)缺陷信號(hào)信息的KLA文件；(2)缺陷信號(hào)分析裝置根據(jù)缺陷信息庫(kù)對(duì)該KLA文件進(jìn)行分析和缺陷信號(hào)提取處理操作；(3)缺陷信息統(tǒng)計(jì)裝置根據(jù)上述的處理結(jié)果進(jìn)行缺陷信息統(tǒng)計(jì)處理操作。
該進(jìn)行半導(dǎo)體缺陷信號(hào)檢測(cè)與統(tǒng)計(jì)的方法的KLA文件中包含的信息包括半導(dǎo)體晶圓的格標(biāo)識(shí)、槽標(biāo)識(shí)、處理步驟標(biāo)識(shí)和相應(yīng)的缺陷信號(hào)二進(jìn)制信息。
該進(jìn)行半導(dǎo)體缺陷信號(hào)檢測(cè)與統(tǒng)計(jì)的方法的缺陷信號(hào)分析裝置包括缺陷信號(hào)解析單元、缺陷信號(hào)抓取單元和缺陷信息隊(duì)列，所述的對(duì)KLA文件進(jìn)行分析和缺陷信號(hào)提取處理操作包括以下步驟(1)缺陷信號(hào)解析單元讀取該KLA文件并對(duì)文件內(nèi)容進(jìn)行解析；(2)缺陷信號(hào)抓取單元根據(jù)缺陷信息庫(kù)中預(yù)設(shè)的缺陷信號(hào)模式，在解析后得到的缺陷信號(hào)二進(jìn)制信息中識(shí)別并抓取相應(yīng)的缺陷信號(hào)模式；(3)將抓取到的半導(dǎo)體晶圓所對(duì)應(yīng)的格標(biāo)識(shí)、槽標(biāo)識(shí)、處理步驟標(biāo)識(shí)、相應(yīng)的缺陷信號(hào)模式類型和缺陷信號(hào)位置存入缺陷信息隊(duì)列中。
該進(jìn)行半導(dǎo)體缺陷信號(hào)檢測(cè)與統(tǒng)計(jì)的方法的缺陷信息統(tǒng)計(jì)裝置包括缺陷信息統(tǒng)計(jì)單元、缺陷信息緩沖隊(duì)列和缺陷信息統(tǒng)計(jì)報(bào)表，所述的進(jìn)行缺陷信息統(tǒng)計(jì)處理操作包括以下步驟(1)缺陷信息統(tǒng)計(jì)單元從缺陷信號(hào)分析裝置的缺陷信息隊(duì)列中將缺陷信息取出，并按照其對(duì)應(yīng)的格標(biāo)識(shí)、槽標(biāo)識(shí)進(jìn)行排序插入缺陷信息緩沖隊(duì)列中；(2)缺陷信息統(tǒng)計(jì)單元根據(jù)該缺陷信息與缺陷信息統(tǒng)計(jì)報(bào)表中的缺陷信息記錄進(jìn)行相同性存在判斷操作；
(3)如果存在相同記錄，則將該缺陷信息合并進(jìn)入缺陷信息統(tǒng)計(jì)報(bào)表中；(4)如果不存在相同記錄，則根據(jù)該缺陷信息在缺陷信息緩沖隊(duì)列中進(jìn)行相同性存在判斷操作；(5)如果存在相同缺陷信息，則根據(jù)該缺陷信息在缺陷信息統(tǒng)計(jì)報(bào)表中生成新的缺陷信息記錄。
該進(jìn)行半導(dǎo)體缺陷信號(hào)檢測(cè)與統(tǒng)計(jì)的方法的根據(jù)該缺陷信息與缺陷信息統(tǒng)計(jì)報(bào)表中的缺陷信息記錄進(jìn)行相同性存在判斷操作包括以下步驟(1)將該缺陷信息中的缺陷信號(hào)模式類型和缺陷信號(hào)位置與缺陷信息統(tǒng)計(jì)報(bào)表中的缺陷信息記錄進(jìn)行匹配；(2)如果匹配到，則返回存在相同記錄的結(jié)果；(3)如果沒(méi)有匹配到，則返回不存在相同記錄的結(jié)果。
該進(jìn)行半導(dǎo)體缺陷信號(hào)檢測(cè)與統(tǒng)計(jì)的方法的根據(jù)該缺陷信息在缺陷信息緩沖隊(duì)列中進(jìn)行相同性存在判斷操作包括以下步驟(1)將該缺陷信息中的格標(biāo)識(shí)、處理步驟標(biāo)識(shí)、相應(yīng)的缺陷信號(hào)模式類型和缺陷信號(hào)位置與缺陷信息緩沖隊(duì)列中的記錄進(jìn)行匹配；(2)如果匹配到，則返回存在相同缺陷信息的結(jié)果；(3)如果沒(méi)有匹配到，則返回不存在相同缺陷信息的結(jié)果。
采用了該發(fā)明的半導(dǎo)體缺陷信號(hào)檢測(cè)與統(tǒng)計(jì)系統(tǒng)及其方法，由于將在線監(jiān)控、缺陷檢測(cè)識(shí)別、缺陷分析和缺陷統(tǒng)計(jì)功能集成在一起，并依靠預(yù)設(shè)的多種缺陷信號(hào)模式對(duì)所監(jiān)控的半導(dǎo)體晶圓的缺陷信息進(jìn)行識(shí)別、分析和統(tǒng)計(jì)，并直接產(chǎn)生出用戶所關(guān)心的統(tǒng)計(jì)報(bào)表，使得其整體功能的集成化程度較高，并且能夠適應(yīng)實(shí)時(shí)處理的要求，同時(shí)檢測(cè)和分析的準(zhǔn)確度和精確度較高，得出的統(tǒng)計(jì)結(jié)果可信度較高；不僅如此，本發(fā)明的系統(tǒng)及方法的操作過(guò)程簡(jiǎn)便快捷，而且工作性能穩(wěn)定可靠，適用面較為廣泛，不僅適用于半導(dǎo)體晶圓的缺陷信號(hào)的識(shí)別、分析和統(tǒng)計(jì)，而且對(duì)于其它領(lǐng)域內(nèi)的信號(hào)模式識(shí)別和監(jiān)控也具有較好的實(shí)用價(jià)值。


圖1為本發(fā)明的半導(dǎo)體缺陷信號(hào)檢測(cè)與統(tǒng)計(jì)系統(tǒng)的功能模塊組成示意圖。
具體實(shí)施例方式
為了能夠更清楚地理解本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容，特舉以下實(shí)施例詳細(xì)說(shuō)明。
請(qǐng)參閱圖1所示，該半導(dǎo)體缺陷信號(hào)檢測(cè)與統(tǒng)計(jì)系統(tǒng)，包括在線監(jiān)控裝置1、缺陷信號(hào)分析裝置2、缺陷信息庫(kù)3和缺陷信息統(tǒng)計(jì)裝置4，該缺陷信號(hào)分析裝置2包括缺陷信號(hào)解析單元21、缺陷信號(hào)抓取單元22和缺陷信息隊(duì)列23，所述的缺陷信息統(tǒng)計(jì)裝置4包括缺陷信息統(tǒng)計(jì)單元41、缺陷信息緩沖隊(duì)列42和缺陷信息統(tǒng)計(jì)報(bào)表43；在本實(shí)施例中，該缺陷信息庫(kù)3為缺陷信息數(shù)據(jù)庫(kù)，該缺陷信息隊(duì)列23為缺陷信息數(shù)據(jù)庫(kù)表，所述的缺陷信息緩沖隊(duì)列42為缺陷信息緩沖數(shù)據(jù)庫(kù)表，所述的缺陷信息統(tǒng)計(jì)報(bào)表43為缺陷信息統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)庫(kù)報(bào)表，上述各個(gè)數(shù)據(jù)庫(kù)和數(shù)據(jù)庫(kù)表均可以放置于數(shù)據(jù)庫(kù)服務(wù)器上；所述的缺陷信號(hào)分析裝置2分別與在線監(jiān)控裝置1、缺陷信息庫(kù)3和缺陷信息統(tǒng)計(jì)裝置4相連接，所述的缺陷信息庫(kù)3中包含有數(shù)個(gè)預(yù)設(shè)的缺陷信號(hào)模式。
同時(shí)，使用上述的系統(tǒng)進(jìn)行半導(dǎo)體缺陷信號(hào)檢測(cè)與統(tǒng)計(jì)的方法，主要包括以下步驟(1)在線監(jiān)控裝置1對(duì)經(jīng)過(guò)生產(chǎn)線的以格為分組的半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行掃描，生成包含相應(yīng)缺陷信號(hào)信息的KLA文件，該KLA格式的文件為半導(dǎo)體制造領(lǐng)域中的常規(guī)使用文件，其本身的格式已經(jīng)成為一種業(yè)界標(biāo)準(zhǔn)，在本發(fā)明中，該KLA文件中包含的信息主要有半導(dǎo)體晶圓的格標(biāo)識(shí)、槽標(biāo)識(shí)、處理步驟標(biāo)識(shí)和相應(yīng)的缺陷信號(hào)二進(jìn)制信息；(2)缺陷信號(hào)分析裝置2根據(jù)缺陷信息庫(kù)對(duì)該KLA文件進(jìn)行分析和缺陷信號(hào)提取處理操作，該處理操作包括以下步驟(a)缺陷信號(hào)解析單元21讀取該KLA文件并對(duì)文件內(nèi)容進(jìn)行解析；(b)缺陷信號(hào)抓取單元22根據(jù)缺陷信息庫(kù)中預(yù)設(shè)的缺陷信號(hào)模式，在解析后得到的缺陷信號(hào)二進(jìn)制信息中識(shí)別并抓取相應(yīng)的缺陷信號(hào)模式；(c)將抓取到的半導(dǎo)體晶圓所對(duì)應(yīng)的格標(biāo)識(shí)、槽標(biāo)識(shí)、處理步驟標(biāo)識(shí)、相應(yīng)的缺陷信號(hào)模式類型和缺陷信號(hào)位置存入缺陷信息隊(duì)列23中；(3)缺陷信息統(tǒng)計(jì)裝置4根據(jù)上述的處理結(jié)果進(jìn)行缺陷信息統(tǒng)計(jì)處理操作，該處理操作包括以下步驟(a)缺陷信息統(tǒng)計(jì)單元41從缺陷信號(hào)分析裝置2的缺陷信息隊(duì)列23中將缺陷信息取出，并按照其對(duì)應(yīng)的格標(biāo)識(shí)、槽標(biāo)識(shí)進(jìn)行排序插入缺陷信息緩沖隊(duì)列42中；(b)缺陷信息統(tǒng)計(jì)單元41根據(jù)該缺陷信息與缺陷信息統(tǒng)計(jì)報(bào)表43中的缺陷信息記錄進(jìn)行相同性存在判斷操作，該相同性存在判斷操作包括以下步驟(i)將該缺陷信息中的缺陷信號(hào)模式類型和缺陷信號(hào)位置與缺陷信息統(tǒng)計(jì)報(bào)表43中的缺陷信息記錄進(jìn)行匹配；(ii)如果匹配到，則返回存在相同記錄的結(jié)果；(iii)如果沒(méi)有匹配到，則返回不存在相同記錄的結(jié)果；
(c)如果存在相同記錄，則將該缺陷信息合并進(jìn)入缺陷信息統(tǒng)計(jì)報(bào)表43中；(d)如果不存在相同記錄，則根據(jù)該缺陷信息在缺陷信息緩沖隊(duì)列42中進(jìn)行相同性存在判斷操作，該相同性存在判斷操作包括以下步驟(i)將該缺陷信息中的格標(biāo)識(shí)、處理步驟標(biāo)識(shí)、相應(yīng)的缺陷信號(hào)模式類型和缺陷信號(hào)位置與缺陷信息緩沖隊(duì)列42中的記錄進(jìn)行匹配；(ii)如果匹配到，則返回存在相同缺陷信息的結(jié)果；(iii)如果沒(méi)有匹配到，則返回不存在相同缺陷信息的結(jié)果；(e)如果存在相同缺陷信息，則根據(jù)該缺陷信息在缺陷信息統(tǒng)計(jì)報(bào)表43中生成新的缺陷信息記錄；在實(shí)際應(yīng)用當(dāng)中，缺陷信息緩沖隊(duì)列42的長(zhǎng)度及記錄的有效性可以根據(jù)半導(dǎo)體監(jiān)控流量大小進(jìn)行設(shè)定，通常設(shè)定的長(zhǎng)度為1000條，其記錄的有效性為2天，即48小時(shí)。如果缺陷信息緩沖隊(duì)列中某些記錄的存儲(chǔ)時(shí)間超過(guò)了2天，則系統(tǒng)會(huì)在適當(dāng)?shù)臅r(shí)候清除相應(yīng)的記錄。
采用了上述的半導(dǎo)體缺陷信號(hào)檢測(cè)與統(tǒng)計(jì)系統(tǒng)及其方法，由于將在線監(jiān)控、缺陷檢測(cè)識(shí)別、缺陷分析和缺陷統(tǒng)計(jì)功能集成在一起，并依靠預(yù)設(shè)的多種缺陷信號(hào)模式對(duì)所監(jiān)控的半導(dǎo)體晶圓的缺陷信息進(jìn)行識(shí)別、分析和統(tǒng)計(jì)，并直接產(chǎn)生出用戶所關(guān)心的統(tǒng)計(jì)報(bào)表，使得其整體功能的集成化程度較高，并且能夠適應(yīng)實(shí)時(shí)處理的要求，同時(shí)檢測(cè)和分析的準(zhǔn)確度和精確度較高，得出的統(tǒng)計(jì)結(jié)果可信度較高；不僅如此，本發(fā)明的系統(tǒng)及方法的操作過(guò)程簡(jiǎn)便快捷，而且工作性能穩(wěn)定可靠，適用面較為廣泛，不僅適用于半導(dǎo)體晶圓的缺陷信號(hào)的識(shí)別、分析和統(tǒng)計(jì)，而且對(duì)于其它領(lǐng)域內(nèi)的信號(hào)模式識(shí)別和監(jiān)控也具有較好的實(shí)用價(jià)值。
在此說(shuō)明書中，本發(fā)明已參照其特定的實(shí)施例作了描述。但是，很顯然仍可以作出各種修改和變換而不背離本發(fā)明的精神和范圍。因此，說(shuō)明書和附圖應(yīng)被認(rèn)為是說(shuō)明性的而非限制性的。
權(quán)利要求
1.一種半導(dǎo)體缺陷信號(hào)檢測(cè)與統(tǒng)計(jì)系統(tǒng)，包括在線監(jiān)控裝置，其特征在于，所述的系統(tǒng)還包括缺陷信號(hào)分析裝置、缺陷信息庫(kù)和缺陷信息統(tǒng)計(jì)裝置，所述的缺陷信號(hào)分析裝置分別與在線監(jiān)控裝置、缺陷信息庫(kù)和缺陷信息統(tǒng)計(jì)裝置相連接，所述的缺陷信息庫(kù)中包含有數(shù)個(gè)預(yù)設(shè)的缺陷信號(hào)模式。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體缺陷信號(hào)檢測(cè)與統(tǒng)計(jì)系統(tǒng)，其特征在于，所述的缺陷信號(hào)分析裝置包括缺陷信號(hào)解析單元、缺陷信號(hào)抓取單元和缺陷信息隊(duì)列，所述的缺陷信息統(tǒng)計(jì)裝置包括缺陷信息統(tǒng)計(jì)單元、缺陷信息緩沖隊(duì)列和缺陷信息統(tǒng)計(jì)報(bào)表。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的半導(dǎo)體缺陷信號(hào)檢測(cè)與統(tǒng)計(jì)系統(tǒng)，其特征在于，所述的缺陷信息庫(kù)為缺陷信息數(shù)據(jù)庫(kù)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體缺陷信號(hào)檢測(cè)與統(tǒng)計(jì)系統(tǒng)，其特征在于，所述的缺陷信息隊(duì)列為缺陷信息數(shù)據(jù)庫(kù)表，所述的缺陷信息緩沖隊(duì)列為缺陷信息緩沖數(shù)據(jù)庫(kù)表，所述的缺陷信息統(tǒng)計(jì)報(bào)表為缺陷信息統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)庫(kù)報(bào)表。
5.一種使用權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)進(jìn)行半導(dǎo)體缺陷信號(hào)檢測(cè)與統(tǒng)計(jì)的方法，其特征在于，所述的方法包括以下步驟(1)在線監(jiān)控裝置對(duì)經(jīng)過(guò)生產(chǎn)線的以格為分組的半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行掃描，生成包含相應(yīng)缺陷信號(hào)信息的KLA文件；(2)缺陷信號(hào)分析裝置根據(jù)缺陷信息庫(kù)對(duì)該KLA文件進(jìn)行分析和缺陷信號(hào)提取處理操作；(3)缺陷信息統(tǒng)計(jì)裝置根據(jù)上述的處理結(jié)果進(jìn)行缺陷信息統(tǒng)計(jì)處理操作。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的進(jìn)行半導(dǎo)體缺陷信號(hào)檢測(cè)與統(tǒng)計(jì)的方法，其特征在于，所述的KLA文件中包含的信息包括半導(dǎo)體晶圓的格標(biāo)識(shí)、槽標(biāo)識(shí)、處理步驟標(biāo)識(shí)和相應(yīng)的缺陷信號(hào)二進(jìn)制信息。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的進(jìn)行半導(dǎo)體缺陷信號(hào)檢測(cè)與統(tǒng)計(jì)的方法，其特征在于，所述的缺陷信號(hào)分析裝置包括缺陷信號(hào)解析單元、缺陷信號(hào)抓取單元和缺陷信息隊(duì)列，所述的對(duì)KLA文件進(jìn)行分析和缺陷信號(hào)提取處理操作包括以下步驟(1)缺陷信號(hào)解析單元讀取該KLA文件并對(duì)文件內(nèi)容進(jìn)行解析；(2)缺陷信號(hào)抓取單元根據(jù)缺陷信息庫(kù)中預(yù)設(shè)的缺陷信號(hào)模式，在解析后得到的缺陷信號(hào)二進(jìn)制信息中識(shí)別并抓取相應(yīng)的缺陷信號(hào)模式；(3)將抓取到的半導(dǎo)體晶圓所對(duì)應(yīng)的格標(biāo)識(shí)、槽標(biāo)識(shí)、處理步驟標(biāo)識(shí)、相應(yīng)的缺陷信號(hào)模式類型和缺陷信號(hào)位置存入缺陷信息隊(duì)列中。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的進(jìn)行半導(dǎo)體缺陷信號(hào)檢測(cè)與統(tǒng)計(jì)的方法，其特征在于，所述的缺陷信息統(tǒng)計(jì)裝置包括缺陷信息統(tǒng)計(jì)單元、缺陷信息緩沖隊(duì)列和缺陷信息統(tǒng)計(jì)報(bào)表，所述的進(jìn)行缺陷信息統(tǒng)計(jì)處理操作包括以下步驟(1)缺陷信息統(tǒng)計(jì)單元從缺陷信號(hào)分析裝置的缺陷信息隊(duì)列中將缺陷信息取出，并按照其對(duì)應(yīng)的格標(biāo)識(shí)、槽標(biāo)識(shí)進(jìn)行排序插入缺陷信息緩沖隊(duì)列中；(2)缺陷信息統(tǒng)計(jì)單元根據(jù)該缺陷信息與缺陷信息統(tǒng)計(jì)報(bào)表中的缺陷信息記錄進(jìn)行相同性存在判斷操作；(3)如果存在相同記錄，則將該缺陷信息合并進(jìn)入缺陷信息統(tǒng)計(jì)報(bào)表中；(4)如果不存在相同記錄，則根據(jù)該缺陷信息在缺陷信息緩沖隊(duì)列中進(jìn)行相同性存在判斷操作；(5)如果存在相同缺陷信息，則根據(jù)該缺陷信息在缺陷信息統(tǒng)計(jì)報(bào)表中生成新的缺陷信息記錄。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的進(jìn)行半導(dǎo)體缺陷信號(hào)檢測(cè)與統(tǒng)計(jì)的方法，其特征在于，所述的根據(jù)該缺陷信息與缺陷信息統(tǒng)計(jì)報(bào)表中的缺陷信息記錄進(jìn)行相同性存在判斷操作包括以下步驟(1)將該缺陷信息中的缺陷信號(hào)模式類型和缺陷信號(hào)位置與缺陷信息統(tǒng)計(jì)報(bào)表中的缺陷信息記錄進(jìn)行匹配；(2)如果匹配到，則返回存在相同記錄的結(jié)果；(3)如果沒(méi)有匹配到，則返回不存在相同記錄的結(jié)果。
10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的進(jìn)行半導(dǎo)體缺陷信號(hào)檢測(cè)與統(tǒng)計(jì)的方法，其特征在于，所述的根據(jù)該缺陷信息在缺陷信息緩沖隊(duì)列中進(jìn)行相同性存在判斷操作包括以下步驟(1)將該缺陷信息中的格標(biāo)識(shí)、處理步驟標(biāo)識(shí)、相應(yīng)的缺陷信號(hào)模式類型和缺陷信號(hào)位置與缺陷信息緩沖隊(duì)列中的記錄進(jìn)行匹配；(2)如果匹配到，則返回存在相同缺陷信息的結(jié)果；(3)如果沒(méi)有匹配到，則返回不存在相同缺陷信息的結(jié)果。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種該半導(dǎo)體缺陷信號(hào)檢測(cè)與統(tǒng)計(jì)系統(tǒng)及方法，其中該系統(tǒng)包括在線監(jiān)控裝置、缺陷信號(hào)分析裝置、缺陷信息庫(kù)和缺陷信息統(tǒng)計(jì)裝置，缺陷信號(hào)分析裝置分別與在線監(jiān)控裝置、缺陷信息庫(kù)和缺陷信息統(tǒng)計(jì)裝置相連接，缺陷信息庫(kù)中包含有數(shù)個(gè)預(yù)設(shè)的缺陷信號(hào)模式；該方法包括對(duì)半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行掃描并生成KLA文件、對(duì)該KLA文件進(jìn)行分析和缺陷信號(hào)提取處理操作、根據(jù)處理結(jié)果進(jìn)行缺陷信息統(tǒng)計(jì)處理操作。采用該種半導(dǎo)體缺陷信號(hào)檢測(cè)與統(tǒng)計(jì)系統(tǒng)及其方法，整體功能的集成化程度較高，準(zhǔn)確度和精確度較高，得出的統(tǒng)計(jì)結(jié)果可信度較高，而且操作過(guò)程簡(jiǎn)便快捷，工作性能穩(wěn)定可靠，適用面較為廣泛，對(duì)其它領(lǐng)域內(nèi)的信號(hào)模式識(shí)別監(jiān)控具有較好的實(shí)用價(jià)值。
文檔編號(hào)H01L21/66GK1822343SQ20051011227
公開日2006年8月23日 申請(qǐng)日期2005年12月28日 優(yōu)先權(quán)日2005年12月28日
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