專(zhuān)利名稱(chēng):車(chē)用二極管芯片的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型涉及一種二極管芯片,尤其與汽車(chē)用二極管芯片有關(guān)。
背景技術(shù):
現(xiàn)有的汽車(chē)整流二極管仍以普通整流為主,其內(nèi)部的整流粒子多為兩層或三層結(jié)構(gòu),它是在芯片的一面或兩面焊接鉬片、銅片或鐵片,而在芯片的側(cè)面用硅橡膠保護(hù)。由于硅橡膠本身的高溫性能不穩(wěn)定,影響了汽車(chē)整流二極管在高溫下工作的穩(wěn)定性,一般情況下其工作時(shí)的等效結(jié)溫不高于150℃。此外,由于其不具備對(duì)瞬變電壓的抑制功能,因此,在電路要求此功能時(shí),只有靠另加相應(yīng)的TVS器件來(lái)實(shí)現(xiàn),從而增加了成本及模塊電路的復(fù)雜性,并且在給模塊預(yù)留的有限空間中增加這樣的功能也是很困難的。
發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是提供一種耐高結(jié)溫的,具備對(duì)瞬變電壓抑制功能的,性能優(yōu)越的車(chē)用二極管芯片。
為達(dá)到上述目的,本實(shí)用新型是通過(guò)如下技術(shù)解決方案實(shí)現(xiàn)的。車(chē)用二極管芯片,包括芯片體及結(jié)終端保護(hù)層,芯片體結(jié)終端為凹臺(tái)形結(jié)構(gòu),結(jié)終端保護(hù)層設(shè)于凹臺(tái)上。
所述的車(chē)用二極管芯片,其結(jié)終端保護(hù)層為玻璃保護(hù)層,低壓化學(xué)氣相沉積的二氧化硅層及半絕緣多晶硅層其中的一層,或其中的兩層或三層的復(fù)合。
所述的車(chē)用二極管芯片,其結(jié)終端保護(hù)層由玻璃保護(hù)層及低壓化學(xué)氣相沉積的二氧化硅層組成,且低壓化學(xué)氣相沉積的二氧化硅層位于芯片體與玻璃保護(hù)層之間。
所述的車(chē)用二極管芯片,其結(jié)終端保護(hù)層由玻璃保護(hù)層、低壓化學(xué)氣相沉積的二氧化硅層及半絕緣多晶硅層組成,半絕緣多晶硅層位于芯片體與低溫二氧化硅層之間。
所述的車(chē)用二極管芯片,其芯片體組成材料為硅,其內(nèi)部由極緩變雜質(zhì)濃度分布的PN結(jié)和極高雜質(zhì)濃度分布的表面層和次表面層構(gòu)成。
本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點(diǎn)(一)是可靠性高,即使在215℃的結(jié)溫條件下也能正常工作;(二)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、加工使用方便;(三)是功能強(qiáng),具有整流和對(duì)瞬變電壓的抑制兩種功能,可以對(duì)電路中的負(fù)載進(jìn)行有效的保護(hù)。
圖1是本實(shí)用新型高結(jié)溫汽車(chē)雪崩整流二極管芯片單玻璃保護(hù)層的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2是本實(shí)用新型高結(jié)溫汽車(chē)雪崩整流二極管芯片雙保護(hù)層的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖3是本實(shí)用新型高結(jié)溫汽車(chē)雪崩整流二極管芯片三保護(hù)層的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的實(shí)施例作進(jìn)一步詳細(xì)的描述。
實(shí)施例1如圖1所示,車(chē)用二極管芯片,包括芯片體1及結(jié)終端保護(hù)層5,芯片體1結(jié)終端為凹臺(tái)形結(jié)構(gòu),結(jié)終端保護(hù)層5為玻璃保護(hù)層2,且設(shè)于凹臺(tái)上,芯片體1中的PN結(jié)通過(guò)擴(kuò)散工藝形成,凹臺(tái)面用蝕刻的方法形成,芯片體1組成材料為硅,其內(nèi)部由極緩變雜質(zhì)濃度分布的PN結(jié)和極高雜質(zhì)濃度分布的表面層和次表面層構(gòu)成。
實(shí)施例2如圖2所示,結(jié)終端保護(hù)層5由玻璃保護(hù)層2及低壓化學(xué)氣相沉積的二氧化硅層3組成,且低壓化學(xué)氣相沉積的二氧化硅層3位于芯片體1與玻璃保護(hù)層2之間,其余同實(shí)施例1。
實(shí)施例3如圖3所示,結(jié)終端保護(hù)層5由玻璃保護(hù)層2、低壓化學(xué)氣相沉積的二氧化硅層3及半絕緣多晶硅層4組成,半絕緣多晶硅層4位于芯片體1與低壓化學(xué)氣相沉積的二氧化硅層3之間,其余同實(shí)施例1。
權(quán)利要求1.一種車(chē)用二極管芯片,包括芯片體(1),其特征在于它還包括結(jié)終端保護(hù)層(5),芯片體(1)結(jié)終端為凹臺(tái)形結(jié)構(gòu),結(jié)終端保護(hù)層(5)設(shè)于凹臺(tái)上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的車(chē)用二極管芯片,其特征在于結(jié)終端保護(hù)層(5)為玻璃保護(hù)層(2),低壓化學(xué)氣相沉積的二氧化硅層(3)及半絕緣多晶硅層(4)其中的一層,或其中的兩層或三層的復(fù)合。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的車(chē)用二極管芯片,其特征在于結(jié)終端保護(hù)層(5)由玻璃保護(hù)層(2)及低壓化學(xué)氣相沉積的二氧化硅層(3)組成,且低壓化學(xué)氣相沉積的二氧化硅層(3)位于芯片體(1)與玻璃保護(hù)層(2)之間。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的車(chē)用二極管芯片,其特征在于結(jié)終端保護(hù)層(5)由玻璃保護(hù)層(2)、低壓化學(xué)氣相沉積的二氧化硅層(3)及半絕緣多晶硅層(4)組成,半絕緣多晶硅層(4)位于芯片體(1)與低溫二氧化硅層(3)之間。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的車(chē)用二極管芯片,其特征在于芯片體(1)組成材料為硅,其內(nèi)部由極緩變雜質(zhì)濃度分布的PN結(jié)和極高雜質(zhì)濃度分布的表面層和次表面層構(gòu)成。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的車(chē)用二極管芯片,其特征在于芯片體(1)組成材料為硅,其內(nèi)部由極緩變雜質(zhì)濃度分布的PN結(jié)和極高雜質(zhì)濃度分布的表面層和次表面層構(gòu)成。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的車(chē)用二極管芯片,其特征在于芯片體(1)組成材料為硅,其內(nèi)部由極緩變雜質(zhì)濃度分布的PN結(jié)和極高雜質(zhì)濃度分布的表面層和次表面層構(gòu)成。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種車(chē)用二極管芯片。它包括芯片體及結(jié)終端保護(hù)層,芯片體結(jié)終端為凹臺(tái)形結(jié)構(gòu),結(jié)終端保護(hù)層設(shè)于凹臺(tái)上。本實(shí)用新型具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,使用方便,同時(shí)可實(shí)現(xiàn)整流、瞬變電壓抑制兩種功能,可在215℃的結(jié)溫下工作等優(yōu)點(diǎn),是現(xiàn)用的普通整流粒子的理想替代品。
文檔編號(hào)H01L29/66GK2706875SQ20042003748
公開(kāi)日2005年6月29日 申請(qǐng)日期2004年7月8日 優(yōu)先權(quán)日2004年7月8日
發(fā)明者謝曉東, 保愛(ài)林 申請(qǐng)人:紹興科盛電子有限公司