專利名稱：：分離柵極閃存的故障檢測方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明有關(guān)于一種半導(dǎo)體元件的檢測方法，且特別有關(guān)于一種分離柵極閃存的故障檢測方法。
背景技術(shù)：
：閃存由于具有可多次進(jìn)行數(shù)據(jù)的存入、讀取、擦除等動作，且存入的數(shù)據(jù)在斷電后也不會消失的優(yōu)點，所以已成為個人計算機(jī)和電子設(shè)備所廣泛采用的一種非易失性存儲器元件。由于典型的閃存通常只具有浮動?xùn)?floatinggate)與控制柵(controlgate),而且浮動?xùn)排c控制柵之間以介電層相隔，而浮動?xùn)排c基底之間以隧道氧化物(tunnelOxide)相隔，因此會產(chǎn)生過度擦除的問題，而導(dǎo)致數(shù)據(jù)的誤判。因此，目前業(yè)界提出一種分離柵極(splitgate)閃存，可以解決元件過度擦除的問題。在美國專利US7,050,344號中揭露了一種分離柵極閃存的故障檢測方法，其電性分析方法為在找出有故障的存儲單元存在的節(jié)區(qū)后，對此節(jié)區(qū)的所有存儲單元進(jìn)行編程操作及讀取，以得到一個位映象(bit-map),此位映象顯示出位線故障的位置。然后再對此節(jié)區(qū)中的所有存儲單元進(jìn)行擦除操作與讀取，以得到另一個位映象，此位映象顯示出字線故障的位置。通過迭合兩個位映象，即可找出字線-位線短路故障的實際位置。然而，雖然上述的分離柵極閃存的故障檢觀'j方法可以快速找出分離柵極閃存中發(fā)生故障的實際位置，但是上述方法只能針對字線-位線的短路故障進(jìn)行檢測，并無法檢測出其它的故障因素。
發(fā)明內(nèi)容有鑒于此，本發(fā)明的主要目的就是提供一種分離柵極閃存的故障檢測方法，可以分析出產(chǎn)品優(yōu)良率不佳的主因。本發(fā)明的另一個目的是提供一種分離柵極閃存的故障檢測方法，可應(yīng)用于各類型的分離柵極閃存。本發(fā)明提出一種分離柵極閃存的故障檢測方法，其中分離柵極閃存具有由多個存儲單元所組成的存儲單元陣列，每一個存儲單元位于多條位線與多條字線的相交處，且每一個存儲單元至少具有浮動?xùn)藕瓦x擇柵極，而字線連接選擇柵極，此方法是先對分離柵極閃存中所有的存儲單元進(jìn)行擦除操作。接著，檢查存儲單元的第一個位映象(bit-map)，以找出發(fā)生故障的存儲單元。然后，讀取發(fā)生故障的存儲單元的電流值，以判斷發(fā)生故障的存儲單元是否真的故障，若「是」則繼續(xù)進(jìn)行下面的步驟，若「否」則進(jìn)行到第一子系統(tǒng)。接下來，分析發(fā)生故障的存儲單元的故障類型，其中若整條位線的存儲單元發(fā)生故障，則歸類為位線故障的故障類型，進(jìn)行到第二子系統(tǒng)，若整條字線的多個存儲單元發(fā)生故障，則歸類為字線故障的故障類型，進(jìn)行到第三子系統(tǒng)。本發(fā)明提出另一種分離柵極閃存的故障檢測方法，其中分離柵極閃存具有由多個存儲單元所組成的存儲單元陣列，每一個存儲單元位于多條位線與多條字線的相交處，且每一個存儲單元至少具有浮動?xùn)藕瓦x擇才冊才及，而字線連4妄選沖奪一冊才及，此方法是先對分離相H及閃存進(jìn)4亍井區(qū)漏電流測試。隨后，對分離柵極閃存中所有的存儲單元進(jìn)行擦除操作。接著，檢查存儲單元的第一個位映象，以找出發(fā)生故障的存儲單元。然后，讀取發(fā)生故障的存儲單元的電流值，以判斷發(fā)生故障的存儲單元是否真的故障，若「是」則繼續(xù)進(jìn)行下面的步驟，若「否」則進(jìn)行到第一子系統(tǒng)。接下來，分析發(fā)生故障的存儲單元的故障類型，其中若整條位線的存儲單元發(fā)生故障，則歸類為位線故障的故障類型，進(jìn)行到第二子系統(tǒng)，若整條字線的多個存儲單元發(fā)生故障，則歸類為字線故障的故障類型，進(jìn)行到第三子系統(tǒng)。依照本發(fā)明的一個較佳實施例所述，在上述的分離柵極閃存的故障檢測方法中，進(jìn)行到第二子系統(tǒng)是先讀取發(fā)生故障的整條位線的存儲單元的電流值。接著，判斷發(fā)生故障的整條位線的存儲單元的電流值是否相同，若「是」則繼續(xù)進(jìn)行下面的步驟，若「否」則進(jìn)行到第一子系統(tǒng)。然后，讀取與發(fā)生故障的位線相鄰的兩條位線的所有存儲單元的電流值。接下來，將發(fā)生故障的位線的存儲單元的電流值與相鄰的兩條位線的存儲單元的電流值進(jìn)行比較，以分析發(fā)生故障的存儲單元的故障類型，其中若發(fā)生故障的位線的存儲單元的電流值與相鄰的兩條位線中的至少一條上的存儲單元的電流值相同，則歸類為位線-位線間短路的故障類型，若發(fā)生故障的位線的存儲單元的電流值與相鄰的兩條位線的存儲單元的電流值均不相同，則歸類為位線-字線間短^各的故障類型。之后，記錄存儲單元發(fā)生故障的位置。依照本發(fā)明的一個較佳實施例所述，在上述的分離柵極閃存的故障檢測方法中，進(jìn)行到第三子系統(tǒng)是先讀取發(fā)生故障的整條字線的多個存儲單元的電流值。接著，當(dāng)不是位于同一條位線的多個存儲單元發(fā)生故障時，判斷發(fā)生故障的存儲單元的電流值是否相同，若「是」則歸類為浮動?xùn)?浮動?xùn)砰g短路及/或浮動?xùn)?選擇柵極間短路的故障類型并繼續(xù)進(jìn)行下面的步驟，若「否」則進(jìn)行到第一子系統(tǒng)。接下來，記錄存儲單元發(fā)生故障的位置。依照本發(fā)明的一個較佳實施例所述，在上述的分離柵極閃存的故障檢測方法中，進(jìn)行到第一子系統(tǒng)是先對分離柵極閃存中所有的存儲單元進(jìn)行編程操作。接著，檢查存儲單元的第二個位映象，以找出發(fā)生故障的存儲單元。然后，讀取發(fā)生故障的存儲單元的電流值，以判斷發(fā)生故障的存儲單元是否真的故障，若「是」則繼續(xù)進(jìn)行下面的步驟，若「否J則歸類為其它故障的故障類型。接下來，分析發(fā)生故障的存儲單元的故障類型，其中若整條字線相鄰的兩個存儲單元發(fā)生故障，則歸類為成對(twins)故障的故障類型，若發(fā)生故障的存儲單元的故障是周期性(regular)地出現(xiàn)，則歸類為周期性故障的故障類型，進(jìn)行到第四子系統(tǒng)，若發(fā)生故障的存儲單元的故障是隨機(jī)地出現(xiàn)，則歸類為其它故障的故障類型。之后，記錄存儲單元發(fā)生故障的位置。依照本發(fā)明的一個較佳實施例所述，在上述的分離柵極閃存的故障檢測方法中，進(jìn)行到第四子系統(tǒng)是先分析發(fā)生故障的存儲單元的故障類型，其中若僅一個發(fā)生故障的存儲單元為周期性地出現(xiàn)，則歸類為布局(layout)故障的故障類型，若整條字線的存儲單元發(fā)生故障的情況為周期性地出現(xiàn)，則歸類為對準(zhǔn)偏移(alignmentshift)故障，若不時布局故障及對準(zhǔn)偏移故障的故障類型，則歸類為其它故障的故障類型。接下來，記錄存儲單元發(fā)生故障的位置。基于上面的描述，由于本發(fā)明所提出的分離柵極閃存的故障檢測方法中是以讀取電流值的方式來找出發(fā)生故障的存儲單元的故障類型，可以快速找出產(chǎn)品優(yōu)良率不佳的主因。此外，經(jīng)由本發(fā)明所提出的分離柵極閃存的故障檢測方法所得到的分析結(jié)杲，可作為物性故障分析的依據(jù)。另一方面，本發(fā)明所提出的分離柵極閃存的故障檢測方法具有普遍性，可應(yīng)用于各類分離柵極閃存。為使得本發(fā)明的上述和其它目的、特征和優(yōu)點能更加明顯易懂，下文中結(jié)合4交佳實施例，并配合附圖進(jìn)行如下的詳細(xì)說明。圖1所示為本發(fā)明一實施例的分離柵極閃存的電路簡圖。圖2所示為本發(fā)明一實施例的分離柵極閃存的剖面圖。圖3所示為本發(fā)明一實施例的分離柵極閃存的故障檢測方法的流程圖。圖4所示為本發(fā)明一實施例的分離柵極閃存的故障檢測方法的第二子系統(tǒng)A的流程圖。圖5所示為本發(fā)明一實施例的分離柵極閃存的故障檢測方法的第三子系統(tǒng)B的流程圖。圖6所示為本發(fā)明一實施例的分離柵極閃存的故障檢測方法的第一子系統(tǒng)M的流程圖。圖7所示為本發(fā)明一實施例的分離柵極閃存的故障檢測方法的第四子系統(tǒng)D的流程圖。主要元件符號說明100:基底102:N型井區(qū)104、106、108:P型摻雜區(qū)110:浮動?xùn)?12:選擇柵極114:接觸窗A:第二子系統(tǒng)B:第三子系統(tǒng)BLlBLn:位線D:第四子系統(tǒng)M:第一子系統(tǒng)SIOO、S102、S104、S106、S108、S200、S202、S204、S206、S208、S300、S302、S304、S400、S術(shù)、S據(jù)、S楊、S408、S410、S500、S502:步驟標(biāo)號SLlSLp:源4及線Q:存儲單元WLlWLm:字線具體實施例方式圖1所示為本發(fā)明一實施例的分離柵極閃存的電路簡圖。圖2所示為本發(fā)明一實施例的分離柵極閃存的剖面圖。本發(fā)明所提出的分離柵極閃存的故障檢測方法具有普遍性，適用于各類分離柵極閃存。以下，以圖1和圖2所示的分離柵極閃存為例進(jìn)行說明，但并不用以限制本發(fā)明。請先同時參照圖l和圖2，分離柵極閃存具有由多個存儲單元Q所組成的存儲單元陣列，每一個存儲單元Q位于位線BLlBLn與字線WLlWLm相交處。存儲單元Q的結(jié)構(gòu)例如是在基底100中具有N型井區(qū)102以及配置在N型井區(qū)102中的P型摻雜區(qū)104、P型摻雜區(qū)106及P型摻雜區(qū)108,且在基底IOO上具有浮動?xùn)臝IO與選擇柵極112。位線BLlBLn通過接觸窗114分別連接同一列的P型摻雜區(qū)104。字線WLlWLm連接同一行的選4奪柵極U2。源極線SL1SL3連接同一行的P型摻雜區(qū)108。其中，位線BLlBLn的材料例如是金屬材料，而字線WLlWLm的材料例如是摻雜多晶硅。圖3所示為本發(fā)明一實施例的分離柵極閃存的故障檢測方法的流程圖。表一為此存儲器操作時所施加的電壓表。本實施例中的擦除是采用紫外線照射，全部擦除。<table>tableseeoriginaldocumentpage10</column></row><table>請同時參照圖1及表1，在對圖1中的存儲器進(jìn)行擦除操作之后，浮動?xùn)?10下方的通道是關(guān)閉的狀態(tài)，因此對此存儲器進(jìn)行讀取時，正常的存儲單元是讀不到電流值的，如果可以讀到電流值，則判定在該存儲器中的存儲單元發(fā)生故障。同樣地，在對此存儲器進(jìn)行編程操作之后，浮動?xùn)?10下方的通道是開啟的狀態(tài)，因此對此存儲器進(jìn)行讀取時，正常的存儲單元是可以讀到電流值的，如果讀不到電流值，則判定在該存儲器中的存儲單元發(fā)生故障。在此所謂的讀不到電流值例如是所讀取的電流值的絕對值小于l微安培(pA)。接下來，介紹本發(fā)明所提出的分離柵極閃存的故障檢測方法。首先，請同時參照圖1、圖2及圖3，可以先進(jìn)行步驟SIOO,對分離柵極閃存進(jìn)行井區(qū)漏電流測試，以找出由于井區(qū)漏電流過大而造成維持電流(standbycurrent)提高的故障類型。接著，進(jìn)行步驟S102,對分離柵極閃存中所有的存儲單元Q進(jìn)行擦除操作，以關(guān)閉浮動?xùn)?10下方的通道。接著，進(jìn)行步驟S104,檢查存儲單元Q的第一個位映象，以找出發(fā)生故障的存儲單元Q,此第一個位映象可以顯示出分離柵極閃存在擦除狀態(tài)時存儲單元Q的故障位置圖像。然后，進(jìn)行步驟S106，讀取發(fā)生故障的存儲單元Q的電流值，以判斷發(fā)生故障的存儲單元Q是否真的故障。若「是」，表示在擦除狀態(tài)下可以讀到電流值，可確定發(fā)生故障的存儲單元Q真的故障，則繼續(xù)進(jìn)行下面的步驟S108，若「否」，則進(jìn)行到第一子系統(tǒng)M。接下來，進(jìn)行步驟S108，分析發(fā)生故障的存儲單元Q的故障類型。若整條位線的存儲單元Q全部發(fā)生故障，則歸類為位線故障的故障類型，進(jìn)行到第二子系統(tǒng)A。若整條字線的多個存儲單元Q發(fā)生故障，則歸類為字線故障的故障類型，進(jìn)行到第三子系統(tǒng)B。圖4所示為本發(fā)明一實施例的分離柵極閃存的故障檢測方法的第二子系統(tǒng)A的流程圖。請同時參照圖1及圖4，首先進(jìn)行步驟S200,以位線BL2為發(fā)生故障的位線為例，讀取發(fā)生故障的整條位線BL2上的存儲單元Q的電流值。接著，進(jìn)行步驟S202，判斷發(fā)生故障的整條位線BL2上的存儲單元Q的電流值是否相同。若「是」，則繼續(xù)進(jìn)行下面的步驟S204。若r否」，則進(jìn)行到第一子系統(tǒng)M。然后，進(jìn)行步驟S204,以位線BL2為發(fā)生故障的位線為例，與其相鄰的兩條位線為位線BL1、BL3，讀取與發(fā)生故障的位線BL2相鄰的兩條位線BL1、BL3上所有存儲單元Q的電流值。接下來，進(jìn)行步驟S206,將發(fā)生故障的位線BL2上的存儲單元Q的電流值與相鄰的兩條位線BL1、BL3上的存儲單元Q的電流值進(jìn)行比較，以分析發(fā)生故障的存儲單元Q的故障類型。若發(fā)生故障的位線BL2上的存儲單元Q的電流值與相鄰的兩條位線BL1、BL3中的至少一條上的存儲單元Q的電流值相同，則可以得知不同位線的存儲單元Q具有相同電流值表示位線與位線之間發(fā)生短路，從而歸類為位線-位線間短路的故障類型。若發(fā)生故障的位線BL2上的存儲單元Q的電流值與相鄰的兩條位線BL1、BL3上的存儲單元Q的電流值均不相同，則由電流值的讀數(shù)比較可以判斷出發(fā)生故障的位線BL2是與字線產(chǎn)生短路，從而歸類為位線-字線間短路的故障類型。之后，進(jìn)行步驟S208,記錄存儲單元Q發(fā)生故障的位置。圖5所示為本發(fā)明一實施例的分離柵極閃存的故障檢測方法的第三子系統(tǒng)B的流程圖。首先，請同時參照圖l及圖5，進(jìn)行步驟S300，讀取發(fā)生故障的整條字線上的多個存儲單元Q的電流值。接著，進(jìn)行步驟S302，當(dāng)整條字線的多個存儲單元Q發(fā)生故障時，判斷發(fā)生故障的存儲單元Q的電流值是否相同，若「是」，則繼續(xù)進(jìn)行下面的步驟S304。若r否」，則進(jìn)行到第一子系統(tǒng)M。然后，進(jìn)行步驟S304，由于發(fā)生故障的整條字線的多個存儲單元Q的電流值的絕對值大于正常的存儲單元Q的電流值的絕對值，則將其歸類為浮動?xùn)?浮動?xùn)砰g短路及/或浮動?xùn)?選擇柵極間短路的故障類型，并記錄存儲單元Q發(fā)生故障的位置。圖6所示為本發(fā)明一實施例的分離柵極閃存的故障檢測方法的第一子系統(tǒng)M的流程圖。首先，同時參照圖1、圖2及圖6，先進(jìn)行步驟S400，對分離柵極閃存中所有的存儲單元Q進(jìn)行編程操作，以開啟浮動?xùn)?10下方的通道。接著，進(jìn)行步驟S402,檢查存儲單元Q的第二個位映象，以找出發(fā)生故障的存儲單元Q，此第二個位映象可以顯示出分離柵極閃存在編程狀態(tài)時存儲單元Q的故障圖像。進(jìn)行步驟S404,讀取發(fā)生故障的存儲單元Q的電流值，以判斷發(fā)生故障的存儲單元Q是否真的故障。若「是」，表示在編程狀態(tài)下讀不到電流值，可確定發(fā)生故障的存儲單元Q真的故障，則繼續(xù)進(jìn)行下面的步驟S406。若「否」，則進(jìn)行步驟S408，歸類為其它故障的故障類型，并記錄存儲單元Q發(fā)生故障的位置。接下來，進(jìn)行步驟S406,分析發(fā)生故障的存儲單元Q的故障類型。若整條字線相鄰的兩個存儲單元Q發(fā)生故障，則歸類為成對故障的故障類型。存儲單元Q發(fā)生成對故障的原因例如是連接到摻雜區(qū)104的接觸窗114產(chǎn)生觸點開斷(contactopen),而使得共享摻雜區(qū)104的相鄰兩個存儲單元Q產(chǎn)生故障。故障的故障類型，進(jìn)行到第四子系統(tǒng)D。若發(fā)生故障的存儲單元Q的故障是隨機(jī)地出現(xiàn)，則歸類為其它故障的故障類型。之后，進(jìn)行步驟S410,記錄存儲單元Q發(fā)生故障的位置。圖7所示為本發(fā)明一實施例的分離柵極閃存的故障檢測方法的第四子系統(tǒng)D的流程圖。首先，請同時參照圖1、圖2及圖7,先進(jìn)行步驟S500,分析發(fā)生故障的存儲單元Q的故障類型。若僅一個發(fā)生故障的存儲單元Q為周期性地出現(xiàn)，則歸類為布局故障的故障類型。存儲單元Q發(fā)生布局故障的原因例如是在形成N型井區(qū)102的拾取區(qū)(pick-up)時，由于作為掩模的光阻倒塌，造成進(jìn)行離子注入處理時無法形成良好的拾取區(qū)，而造成存儲單元Q周期性地發(fā)生故障。若整條字線的存儲單元Q發(fā)生故障的情況為周期性地出現(xiàn)，則歸類為對準(zhǔn)偏移故障。存儲單元Q發(fā)生對準(zhǔn)偏移故障的原因例如是在形成接觸窗114時發(fā)生對準(zhǔn)偏移，而造成4妻觸窗114與浮動4冊110之間產(chǎn)生短路，因此在共享摻雜區(qū)104的相鄰兩個存儲單元Q中，接觸窗114與浮動?xùn)?10之間產(chǎn)生短路的存儲單元Q會產(chǎn)生故障，而另一個存儲單元仍為正常的存儲單元Q。如此一來，由于發(fā)生對準(zhǔn)偏移的情況，會導(dǎo)致整條字線的存儲單元Q不是全部正常就是全部故障。此外，若字線WL2線WL1、WL3上的全部存儲單元Q都是正常的存儲單元Q。亦即，當(dāng)?shù)谄鏀?shù)條字線的全部存儲單元Q都是正常的存儲單元Q,則第偶數(shù)條字若不是布局故障及對準(zhǔn)偏移故障的故障類型，則歸類為其它故障的故障類型。接下來，進(jìn)行步驟S502，記錄存儲單元Q發(fā)生故障的位置。基于上述說明可知，本發(fā)明所提出的分離柵極閃存的故障檢測方法中是以讀取電流值的方式來清楚地查明故障發(fā)明故障的存儲單元的故障類型，而能快速找出產(chǎn)品優(yōu)良率不佳的主因。此外，經(jīng)由本發(fā)明所提出的分離柵極閃存的故障檢測方法所得到的分析結(jié)果，能夠協(xié)助物性故障分析的進(jìn)行。綜上所述，本發(fā)明至少具有下列優(yōu)點1.本發(fā)明的分離柵極閃存的故障檢測方法中，可以快速找出產(chǎn)品優(yōu)良率不佳的主因。2.經(jīng)由本發(fā)明的分離柵極閃存的故障檢測方法所得到的分析結(jié)果，可作為物性故障分析的依據(jù)。3.本發(fā)明所提出的分離柵極閃存的故障檢測方法可應(yīng)用于檢測各類分離柵極閃存。雖然本發(fā)明已經(jīng)以較佳實施例揭露如上，但是其并非用來限定本發(fā)明，本領(lǐng)域的任何技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，可作一些變更和潤飾，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)當(dāng)以后面所附的權(quán)利要求所界定的為準(zhǔn)。權(quán)利要求1.一種分離柵極閃存的故障檢測方法，其中所述分離柵極閃存具有由多個存儲單元所組成的存儲單元陣列，每一個所述存儲單元位于多條位線與多條字線的相交處，且每一個所述存儲單元至少具有浮動?xùn)偶斑x擇柵極，而所述字線連接所述選擇柵極，所述方法包括對所述分離柵極閃存進(jìn)行井區(qū)漏電流測試；對所述分離柵極閃存中所有的存儲單元進(jìn)行擦除操作；檢查所述存儲單元的第一個位映象，以找出發(fā)生故障的存儲單元；讀取發(fā)生故障的存儲單元的電流值，以判斷發(fā)生故障的存儲單元是否真的故障，若「是」則繼續(xù)進(jìn)行下面的步驟，若「否」則進(jìn)行到第一子系統(tǒng)；以及分析發(fā)生故障的所述存儲單元的故障類型，其中若整條所述位線的所述存儲單元發(fā)生故障，則歸類為位線故障的故障類型，進(jìn)行到第二子系統(tǒng)，若整條所述字線的多個所述存儲單元發(fā)生故障，則歸類為字線故障的故障類型，進(jìn)行到第三子系統(tǒng)。2.如權(quán)利要求1所述的分離柵極閃存的故障檢測方法，其中進(jìn)行到所述第二子系統(tǒng)包括讀取發(fā)生故障的整條所述位線的所述存儲單元的電流值；判斷發(fā)生故障的整條所述位線的所述存儲單元的電流值是否相同，若r是」則繼續(xù)進(jìn)行下面的步驟，若「否」則進(jìn)行到第-二子-系統(tǒng)；讀取與發(fā)生故障的所述位線相鄰的兩條位線的所有存儲單元的電流值；將發(fā)生故障的位線的所述存儲單元的電流值與相鄰的兩條位線的存儲單元的電流值進(jìn)行比較，以分析發(fā)生故障的所述存儲單元的故障類型，其中若發(fā)生故障的所述位線的所述存儲單元的電流值與相鄰的兩條位線中的至少一條上的存儲單元的電流值相同，則歸類為位線-位線間短路的故障類型，若發(fā)生故障的所述位線的所述存儲單元的電流值與相鄰的兩條位線的存儲單元的電流值均不相同，則歸類為位線-字線間短路的故障類型；以及記錄所述存儲單元發(fā)生故障的位置。3.如權(quán)利要求1所迷的分離柵極閃存的故障檢測方法，其中進(jìn)行到所述第三子系統(tǒng)包括讀取發(fā)生故障的整條字線的多個所述存儲單元的電流值；當(dāng)整條字線的多個所述存儲單元發(fā)生故障時，判斷發(fā)生故障的存儲單元的電流值是否相同，若「是」則歸類為浮動?xùn)?浮動?xùn)砰g短路及/或浮動?xùn)?選擇柵極間短路的故障類型并繼續(xù)進(jìn)行下面的步驟，若「否」則進(jìn)行到第一子系統(tǒng)；以及記錄所述存儲單元發(fā)生故障的位置。4.如權(quán)利要求1至3中任一項所述的分離柵極閃存的故障檢測方法，其中進(jìn)行到所述第一子系統(tǒng)包括對所述分離柵極閃存中所有的存儲單元進(jìn)行編程操作；檢查所述存儲單元的第二個位映象，以找出發(fā)生故障的所述存儲單元；讀取發(fā)生故障的所述存儲單元的電流值，以判斷發(fā)生故障的所述存儲單元是否真的故障，若「是」則繼續(xù)進(jìn)行下面的步驟，若「否」則歸類為其它故障的故障類型；分析發(fā)生故障的所述存儲單元的故障類型，其中若所述位線相鄰的兩個存儲單元發(fā)生故障，則歸類為成對故障的故障類型，若發(fā)生故障的所述存儲單元的故障是周期性地出現(xiàn)，則歸類為周期性故障的故障類型，進(jìn)行到第四子系統(tǒng)，若發(fā)生故障的所述存儲單元的故障是隨機(jī)地出現(xiàn)，則歸類為其它故障的故障類型；以及記錄所述存儲單元發(fā)生故障的位置。5.如權(quán)利要求4所述的分離柵極閃存的故障檢測方法，其中進(jìn)行到所述第四子系統(tǒng)，包括分析發(fā)生故障的所述存儲單元的故障類型，其中若僅一個發(fā)生故障的所述存儲單元為周期性地出現(xiàn)，則歸類為布局故障的故障類型，若整條所述字線的所述存儲單元發(fā)生故障的情況為周期性地出現(xiàn),歸則類為對準(zhǔn)偏移故障，若不時所述布局故障及所述對準(zhǔn)偏移故障的故障類型，則歸類為其它故障的故障類型;以及記錄所述存儲單元發(fā)生故障的位置。全文摘要一種分離柵極閃存的故障檢測方法，此方法是先對分離柵極閃存中所有的存儲單元進(jìn)行擦除操作。接著，檢查存儲單元的第一位映象，以找出發(fā)生故障的存儲單元。然后，讀取發(fā)生故障的存儲單元的電流值，以判斷發(fā)生故障的存儲單元是否真的故障，若「是」則繼續(xù)進(jìn)行下面的步驟，若「否」則進(jìn)行到第一子系統(tǒng)。接下來，分析發(fā)生故障的存儲單元的故障類型，其中若整條位線上的存儲單元發(fā)生故障，則歸類為位線故障的故障類型，進(jìn)行到第二子系統(tǒng)，若整條字線上的多個存儲單元發(fā)生故障，則歸類為字線故障的故障類型，進(jìn)行到第三子系統(tǒng)。文檔編號G11C29/48GK101174474SQ20061014331公開日2008年5月7日申請日期2006年11月3日優(yōu)先權(quán)日2006年11月3日發(fā)明者升吳,廖益良,張格滎,黃宗正申請人:力晶半導(dǎo)體股份有限公司