專利名稱：：旋轉(zhuǎn)型微驅(qū)動(dòng)器及含有該微驅(qū)動(dòng)器的磁盤驅(qū)動(dòng)單元的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種信息記錄磁盤驅(qū)動(dòng)單元，更具體地涉及一種用于磁盤驅(qū)動(dòng)單元的磁頭折片組合(headgimbalassembly，HGA)上的微驅(qū)動(dòng)器。
背景技術(shù)：
：一種常見的信息存儲設(shè)備是磁盤驅(qū)動(dòng)裝置，其使用磁性媒介來存儲數(shù)據(jù)及設(shè)置于該磁性媒介上方的移動(dòng)式讀寫頭來選擇性地從磁性媒介上讀取數(shù)據(jù)或?qū)?shù)據(jù)寫在磁性媒介上。消費(fèi)者總是希望這類磁盤驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的存儲容量不斷增加，同時(shí)希望其讀寫速度更快更精確。因此磁盤制造商一直致力于開發(fā)具有較高存儲容量的磁盤系統(tǒng)，比如通過減少磁盤上的磁軌寬度或磁軌間距的方式增加磁軌的密度，進(jìn)而間接增加磁盤的存儲容量。然而，隨著磁軌密度的增加，對讀寫頭的位置控制精度也必須相應(yīng)的提高，以便在高密度磁盤中實(shí)現(xiàn)更快更精確的讀寫操作。隨著磁軌密度的增加，使用傳統(tǒng)技術(shù)來實(shí)現(xiàn)更快更精確地將讀寫頭定位于磁盤上適當(dāng)?shù)拇跑壸兊酶永щy。因此，磁盤制造商一直尋找提高對讀寫頭位置控制的方式，以便利用不斷增加的磁軌密度所帶來的益處。磁盤制造商經(jīng)常使用的一種提高讀寫頭在高密度磁盤上位置控制精度的方法為采用第二個(gè)驅(qū)動(dòng)器，也叫微驅(qū)動(dòng)器。該微驅(qū)動(dòng)器與一個(gè)主驅(qū)動(dòng)器配合共同實(shí)現(xiàn)對讀寫頭的位置控制精度及速度。包含微驅(qū)動(dòng)器的磁盤系統(tǒng)被稱為雙驅(qū)動(dòng)器系統(tǒng)。在過去曾經(jīng)開發(fā)出許多用于提高存取速度及讀寫頭在高密度磁盤的磁軌上定位精度的雙驅(qū)動(dòng)器系統(tǒng)。這種雙驅(qū)動(dòng)器系統(tǒng)通常包括主音圈馬達(dá)驅(qū)動(dòng)器及副微驅(qū)動(dòng)器，比如PZT微驅(qū)動(dòng)器(即壓電微驅(qū)動(dòng)器，以下簡稱為壓電微驅(qū)動(dòng)器)。該音圈馬達(dá)驅(qū)動(dòng)器由伺服控制系統(tǒng)控制，該伺服控制系統(tǒng)導(dǎo)致驅(qū)動(dòng)臂旋轉(zhuǎn)，該驅(qū)動(dòng)臂上承載讀寫頭以便將讀寫頭定位于存儲盤上適當(dāng)?shù)拇跑壣?。壓電微?qū)動(dòng)器與音圈馬達(dá)驅(qū)動(dòng)器配合使用共同提高存取速度及實(shí)現(xiàn)讀寫頭在磁軌上的位置微調(diào)。音圈馬達(dá)驅(qū)動(dòng)器對讀寫頭的位置進(jìn)行粗調(diào)，而壓電微驅(qū)動(dòng)器對讀寫頭相對于磁盤的位置進(jìn)行精調(diào)。通過兩個(gè)驅(qū)動(dòng)器的配合，共同實(shí)現(xiàn)在存儲盤上高效而精確地讀寫數(shù)據(jù)。一種已知的用于實(shí)現(xiàn)對讀寫頭位置微調(diào)的微驅(qū)動(dòng)器包含有壓電元件。該壓電微驅(qū)動(dòng)器具有相應(yīng)的電子裝置，該電子裝置可導(dǎo)致微驅(qū)動(dòng)器上的壓電元件選擇性的收縮或擴(kuò)張。壓電微驅(qū)動(dòng)器具有適當(dāng)?shù)慕Y(jié)構(gòu)，使得壓電元件的收縮或擴(kuò)張引起微驅(qū)動(dòng)器的運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而引起讀寫頭的運(yùn)動(dòng)。相對于僅僅使用音圈馬達(dá)驅(qū)動(dòng)器的磁盤系統(tǒng)，該讀寫頭的運(yùn)動(dòng)可以實(shí)現(xiàn)對讀寫頭位置更快更精確的調(diào)整。這類范例性的壓電微驅(qū)動(dòng)器揭露于許多專利中，比如名稱為“微驅(qū)動(dòng)器及磁頭折片組合”的日本專利JP2002-133803，及名稱為“具有實(shí)現(xiàn)位置微調(diào)的驅(qū)動(dòng)器的磁頭折片組合、包含該磁頭折片組合的磁盤系統(tǒng)及該磁頭折片組合的制造方法”的日本專利JP2002-074871。這類范例性的壓電微驅(qū)動(dòng)器同時(shí)揭露于其它專利中，比如美國專利第6,671,131及6,700,749號。圖1所示為傳統(tǒng)的磁盤驅(qū)動(dòng)單元，磁盤101安裝在主軸馬達(dá)102上并由其旋轉(zhuǎn)。音圈馬達(dá)臂104上承載有磁頭折片組合100，該磁頭折片組合100包括含有磁頭103的微驅(qū)動(dòng)器105，該磁頭103上安裝有讀寫頭。一音圈馬達(dá)控制音圈馬達(dá)臂104的運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而控制磁頭103在磁盤101的表面上的磁軌之間的移動(dòng)，最終實(shí)現(xiàn)讀寫頭在磁盤101上數(shù)據(jù)的讀寫。在運(yùn)行狀態(tài)時(shí)，包含讀寫頭的磁頭103與旋轉(zhuǎn)的磁盤101之間形成空氣動(dòng)力性作用，并產(chǎn)生升力。該升力與大小相等方向相反的由磁頭折片組合100的懸臂件施加的彈力互相平衡，進(jìn)而導(dǎo)致在馬達(dá)臂104的全徑行程中，在旋轉(zhuǎn)的磁盤101的表面上方形成并維持一個(gè)預(yù)定的飛行高度。圖2展示了圖1所示的傳統(tǒng)磁盤驅(qū)動(dòng)單元的磁頭折片組合100，其上具有雙驅(qū)動(dòng)器。然而，由于音圈馬達(dá)及磁頭懸臂組合的固有公差，磁頭103無法實(shí)現(xiàn)快速而精確的位置控制，相反地，而是影響讀寫頭精確讀寫磁盤上數(shù)據(jù)的性能。為此，增加上述壓電微驅(qū)動(dòng)器105，以便提高磁頭及讀寫頭的位置控制精度。更具體地講，相對于音圈馬達(dá)驅(qū)動(dòng)器，該壓電微驅(qū)動(dòng)器以更小的幅度來調(diào)整磁頭103的位移，以便補(bǔ)償音圈馬達(dá)和/或磁頭懸臂組合的制造誤差。該壓電微驅(qū)動(dòng)器使得應(yīng)用更小的磁軌間距成為可能，并且可以將磁盤系統(tǒng)的磁軌密度(TPI，每英寸所含的磁軌數(shù)量)提高50％，同時(shí)可以減少磁頭的尋軌時(shí)間及定位時(shí)間。因此，壓電微驅(qū)動(dòng)器可以大幅度提高存儲盤的表面記錄密度。如圖2所示，該磁頭折片組合100包括具有撓性件108的懸臂件106。該撓性件108上具有用于承載微驅(qū)動(dòng)器105及磁頭103的懸臂舌片110。該撓性件108上具有電纜112，其在懸臂舌片110的兩邊延伸。這些懸臂電纜112將上述壓電微驅(qū)動(dòng)器105及磁頭103電性連接到若干連接觸點(diǎn)120上，這些連接觸點(diǎn)120與外部控制系統(tǒng)相連。參考圖3，傳統(tǒng)的壓電微驅(qū)動(dòng)器105包括金屬框架130。該金屬框架130由頂支撐板132、底支撐板134及將所述兩個(gè)支撐板132、134互相連接起來的兩個(gè)邊臂136、138組成。所述邊臂136及138上安裝有壓電元件140、142。所述磁頭103支撐于頂支撐板132上。參考圖4，該壓電微驅(qū)動(dòng)器105借助金屬框架130的底支撐板134而物理連接到懸臂舌片110上。該底支撐板134可以通過例如環(huán)氧樹脂膠或激光焊接的方式安裝到懸臂舌片110上。多個(gè)電連接球，比如三個(gè)電連接球150(金球連接或錫球連接)將壓電微驅(qū)動(dòng)器105固定在位于每個(gè)壓電元件140、142旁邊的懸臂電纜112上。另外，多個(gè)球，例如四個(gè)金屬球(金球連接或錫球連接)152將磁頭103連接到懸臂電纜112上，以便電性連接磁頭103上的讀寫感應(yīng)頭。參考圖5，所述懸臂件106的負(fù)載桿160上具有支撐所述懸臂舌片110的凸點(diǎn)162。為使壓電微驅(qū)動(dòng)器105及磁頭103在使用時(shí)能夠自由順利地移動(dòng)，該懸臂舌片110與壓電微驅(qū)動(dòng)器105之間形成平行間隙170。當(dāng)通過懸臂電纜112對壓電元件140、142施加電壓時(shí)，壓電元件140、142收縮或擴(kuò)張導(dǎo)致兩個(gè)邊臂136及138沿共同的側(cè)向方向彎曲。該彎曲致使金屬框架130產(chǎn)生剪切變形，例如該金屬框架130的形狀由矩形變成平行四邊形，從而導(dǎo)致頂支撐板132的運(yùn)動(dòng)。這導(dǎo)致安裝在頂支撐板132上的磁頭103產(chǎn)生運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而使得磁頭103在磁盤的磁軌上移動(dòng)，以便精確調(diào)整讀寫頭的位置。通過上述方式，可實(shí)現(xiàn)磁頭位置控制的微調(diào)。圖6展示了當(dāng)在壓電元件140、142上施加電壓時(shí)，壓電微驅(qū)動(dòng)器105運(yùn)動(dòng)的情況。例如，當(dāng)在首個(gè)半周期內(nèi)將具有正極性的正弦電壓輸入到微驅(qū)動(dòng)器的具有正極性的壓電元件140上時(shí)，該壓電元件140將會(huì)收縮并導(dǎo)致邊臂136產(chǎn)生波浪狀變形。由于磁頭103安裝在頂支撐板132上，該變形導(dǎo)致磁頭向左側(cè)移動(dòng)或擺動(dòng)。類似地，當(dāng)在第二個(gè)半周期內(nèi)將負(fù)極性的正弦電壓輸入到微驅(qū)動(dòng)器的具有正極性的壓電元件142上時(shí)，壓電元件142將會(huì)收縮并導(dǎo)致邊臂138產(chǎn)生波浪狀變形。該變形導(dǎo)致磁頭向右側(cè)移動(dòng)或擺動(dòng)。當(dāng)然，該運(yùn)動(dòng)可以依賴于電性控制周期及壓電元件的極性方向，但工作原理眾所周知。上述壓電微驅(qū)動(dòng)器105以平移或類似擺動(dòng)的方式工作，在該方式中，壓電元件140、142產(chǎn)生間歇性的收縮及擴(kuò)張運(yùn)動(dòng)并導(dǎo)致壓電微驅(qū)動(dòng)器產(chǎn)生波浪狀的變形，使得磁頭以類似擺動(dòng)的方式移動(dòng)。該間歇性的運(yùn)動(dòng)將在懸臂舌片110及安裝于該懸臂舌片110的底支撐板134之間產(chǎn)生反作用力。這些反作用力將產(chǎn)生限制磁盤驅(qū)動(dòng)裝置的性能，尤其是限制伺服帶寬性能的懸臂共振。例如，圖7展示了現(xiàn)有壓電微驅(qū)動(dòng)器設(shè)計(jì)的共振測試數(shù)據(jù)。如圖所示，當(dāng)壓電微驅(qū)動(dòng)器工作時(shí)(通過激發(fā)壓電元件)，懸臂件的較大的反作用力產(chǎn)生懸臂共振。曲線160展示了當(dāng)懸臂件的基板被振動(dòng)或激發(fā)時(shí)形成的共振，曲線170展示了當(dāng)微驅(qū)動(dòng)器的壓電元件被激發(fā)時(shí)形成的共振。如圖所示，曲線160與170的形狀類似。因此有必要提供一種改進(jìn)的系統(tǒng)，以克服現(xiàn)有技術(shù)的不足。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的一方面涉及一種可提高磁頭折片組合的共振性能的微驅(qū)動(dòng)器。本發(fā)明的另一方面涉及一種集成在磁頭折片組合的懸臂撓性件上的旋轉(zhuǎn)型微驅(qū)動(dòng)器。本發(fā)明的另一方面涉及一種用于磁頭折片組合的微驅(qū)動(dòng)器，其包括金屬框架及壓電元件。該金屬框架包括集成于所述磁頭折片組合的懸臂撓性件的底支撐板，用于支撐所述磁頭折片組合的磁頭的頂支撐板，將所述頂支撐板與底支撐板互相連接起來的一對邊臂。所述頂支撐板包括旋轉(zhuǎn)板、將該旋轉(zhuǎn)板連接到相應(yīng)邊臂上的連接臂及用于承載連接觸點(diǎn)的電連接觸點(diǎn)支撐板。所述壓電元件安裝在每個(gè)邊臂上。所述每個(gè)壓電元件可被激發(fā)而導(dǎo)致所述邊臂的選擇性運(yùn)動(dòng)。本發(fā)明的另一方面涉及一種磁頭折片組合，其包括微驅(qū)動(dòng)器、磁頭及包含懸臂撓性件的懸臂件。該微驅(qū)動(dòng)器包括金屬框架及壓電元件。該金屬框架包括集成于所述磁頭折片組合的懸臂撓性件的底支撐板，用于支撐所述磁頭折片組合的磁頭的頂支撐板，將所述頂支撐板與底支撐板互相連接起來的一對邊臂。所述頂支撐板包括旋轉(zhuǎn)板、將該旋轉(zhuǎn)板連接到相應(yīng)邊臂上的連接臂及用于承載連接觸點(diǎn)的電連接觸點(diǎn)支撐板。所述壓電元件安裝在每個(gè)邊臂上。所述每個(gè)壓電元件可被激發(fā)而導(dǎo)致所述邊臂的選擇性運(yùn)動(dòng)。本發(fā)明的另一方面涉及一種磁盤驅(qū)動(dòng)單元，其包括由微驅(qū)動(dòng)器、磁頭及含有懸臂撓性件的懸臂件組成的磁頭折片組合，與所述磁頭折片組合連接的驅(qū)動(dòng)臂，磁盤及用于驅(qū)動(dòng)所述磁盤的主軸馬達(dá)。該磁頭折片組合包括微驅(qū)動(dòng)器、磁頭及包含懸臂撓性件的懸臂件。該微驅(qū)動(dòng)器包括金屬框架及壓電元件。該金屬框架包括集成于所述磁頭折片組合的懸臂撓性件的底支撐板，用于支撐所述磁頭折片組合的磁頭的頂支撐板，將所述頂支撐板與底支撐板互相連接起來的一對邊臂。所述頂支撐板包括旋轉(zhuǎn)板、將該旋轉(zhuǎn)板連接到相應(yīng)邊臂上的連接臂及用于承載連接觸點(diǎn)的電連接觸點(diǎn)支撐板。所述壓電元件安裝在每個(gè)邊臂上。所述每個(gè)壓電元件可被激發(fā)而導(dǎo)致所述邊臂的選擇性運(yùn)動(dòng)。本發(fā)明的另一方面涉及一種磁頭折片組合，其包括微驅(qū)動(dòng)器、磁頭及包含懸臂撓性件的懸臂件。該微驅(qū)動(dòng)器包括金屬框架及壓電元件。該金屬框架包括集成于所述懸臂撓性件的底支撐板、用于支撐磁頭的頂支撐板、將所述頂支撐板與底支撐板互相連接起來的一對邊臂。所述頂支撐板包括旋轉(zhuǎn)板、將該旋轉(zhuǎn)板連接到相應(yīng)邊臂上的連接臂及用于承載連接觸點(diǎn)的電連接觸點(diǎn)支撐板。所述壓電元件安裝在每個(gè)邊臂上。每個(gè)壓電元件可被激發(fā)而導(dǎo)致所述邊臂的選擇性運(yùn)動(dòng)。該懸臂件包括具有凸點(diǎn)的負(fù)載桿。所述磁頭、旋轉(zhuǎn)板及凸點(diǎn)的中心沿一個(gè)共同軸對齊。本發(fā)明的另一方面涉及一種磁頭折片組合的制造方法，包括將微驅(qū)動(dòng)器框架集成到懸臂撓性件上；將壓電元件安裝到微驅(qū)動(dòng)器框架上；將所述壓電元件與懸臂電纜電性連接；對所述壓電元件進(jìn)行性能檢查；將磁頭安裝到微驅(qū)動(dòng)器框架；將所述磁頭與懸臂電纜電性連接；對所述磁頭進(jìn)行性能檢查；及進(jìn)行最后檢查。本發(fā)明的另一方面涉及一種磁頭折片組合的制造方法，包括將微驅(qū)動(dòng)器框架集成到懸臂撓性件上；將壓電元件安裝到微驅(qū)動(dòng)器框架上；將所述懸臂撓性件安裝到懸臂上；將所述壓電元件與懸臂電纜電性連接；對所述壓電元件進(jìn)行性能檢查；將磁頭安裝到所述微驅(qū)動(dòng)器框架；將所述磁頭與懸臂電纜電性連接；對所述磁頭進(jìn)行性能檢查；及進(jìn)行最后檢查。本發(fā)明的另一方面涉及一種磁頭折片組合的制造方法，包括將微驅(qū)動(dòng)器框架集成到懸臂撓性件上；將壓電元件安裝所述微驅(qū)動(dòng)器框架的相應(yīng)邊臂上；及將所述懸臂撓性件安裝到懸臂上。本發(fā)明的又一方面涉及一種磁頭折片組合的制造方法，包括將微驅(qū)動(dòng)器框架集成到懸臂撓性件上；將壓電元件安裝所述微驅(qū)動(dòng)器框架的相應(yīng)邊臂上，所述邊臂處于實(shí)質(zhì)扁平的狀態(tài)；彎曲所述邊臂形成直立的邊臂；及將所述懸臂撓性件安裝到懸臂上。通過以下的描述并結(jié)合附圖，本發(fā)明將變得更加清晰，這些附圖用于解釋本發(fā)明的實(shí)施例。圖1為傳統(tǒng)磁盤驅(qū)動(dòng)單元的立體圖。圖2為傳統(tǒng)磁頭折片組合的立體圖。圖3為圖2所示磁頭折片組合的磁頭及壓電微驅(qū)動(dòng)器的立體圖。圖4為圖2所示磁頭折片組合的局部立體圖。圖5為圖2所示磁頭折片組合的局部側(cè)視圖。圖6為圖2所示磁頭折片組合的磁頭及壓電微驅(qū)動(dòng)器使用狀態(tài)的俯視圖。圖7展示了現(xiàn)有壓電微驅(qū)動(dòng)器設(shè)計(jì)的共振測試數(shù)據(jù)。圖8為本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例所述的含有壓電微驅(qū)動(dòng)器的磁頭折片組合的立體圖。圖9為圖8所示磁頭折片組合的局部立體圖。圖10為圖8所示磁頭折片組合的局部側(cè)視圖。圖11為圖8所示磁頭折片組合的懸臂件的立體分解圖。圖12為圖8所示的磁頭折片組合去掉磁頭及壓電元件后的局部立體圖。圖13為圖8所示磁頭折片組合去掉磁頭后的局部立體圖。圖14為圖11所示懸臂件的懸臂撓性件的局部立體圖。圖15a展示了圖8所示壓電微驅(qū)動(dòng)器的壓電元件之間的電連接結(jié)構(gòu)的一個(gè)實(shí)施例。圖15b展示了施加到圖8所示壓電微驅(qū)動(dòng)器的壓電元件上的一個(gè)電壓。圖16a為圖8所示磁頭折片組合的磁頭及壓電微驅(qū)動(dòng)器處于放松狀態(tài)時(shí)的俯視圖。圖16b為圖8所示磁頭折片組合的磁頭及壓電微驅(qū)動(dòng)器被施加電壓后的俯視圖。圖16c為圖8所示磁頭折片組合的壓電微驅(qū)動(dòng)器(沒有磁頭)在施加電壓后的俯視圖。圖17a展示了圖8所示壓電微驅(qū)動(dòng)器的壓電元件之間的電連接結(jié)構(gòu)的另一實(shí)施例。圖17b展示了施加到圖8所示壓電微驅(qū)動(dòng)器的壓電元件上的另一電壓。圖18展示了圖8所示的壓電微驅(qū)動(dòng)器的共振增益測試數(shù)據(jù)。圖19展示了圖8所示的壓電微驅(qū)動(dòng)器的共振相位測試數(shù)據(jù)。圖20為本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例所述的制造及裝配流程圖。圖21a-21c為本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施例所述的制造及裝配流程的系列圖。圖22為本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施例所述的制造及裝配流程圖。圖23a-23d為本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施例所述的制造及裝配流程的系列圖。圖24為本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施例所述的壓電微驅(qū)動(dòng)器的局部立體圖。圖25為本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施例所述的壓電微驅(qū)動(dòng)器的局部立體圖。圖26為本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施例所述的壓電微驅(qū)動(dòng)器的局部立體圖。具體實(shí)施例方式現(xiàn)在參考附圖描述本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，附圖中類似的元件標(biāo)號代表類似的元件。如上所述，本發(fā)明旨在改進(jìn)磁頭折片組合內(nèi)的共振性能，同時(shí)利用微驅(qū)動(dòng)器精確地驅(qū)動(dòng)磁頭。本發(fā)明一方面提供一種集成于磁頭折片組合的懸臂撓性件的旋轉(zhuǎn)型壓電微驅(qū)動(dòng)器，用于提高磁頭折片組合內(nèi)的共振性能。通過提高磁頭折片組合的共振性能，使得磁盤驅(qū)動(dòng)裝置的性能特性得以提高?，F(xiàn)在描述用于磁頭折片組合的壓電微驅(qū)動(dòng)器的幾個(gè)實(shí)施例。應(yīng)當(dāng)注意該壓電微驅(qū)動(dòng)器可應(yīng)用于任何具有微驅(qū)動(dòng)器的磁盤驅(qū)動(dòng)裝置中，以期望提高共振性能，而不局限于附圖中所示的特定磁頭折片組合。即本發(fā)明適用于任何領(lǐng)域內(nèi)任何適當(dāng)?shù)暮形Ⅱ?qū)動(dòng)器的設(shè)備。圖8-14為根據(jù)本發(fā)明一個(gè)范例性的實(shí)施例的含有壓電微驅(qū)動(dòng)器212的磁頭折片組合210。該磁頭折片組合210包括壓電微驅(qū)動(dòng)器212、磁頭214及懸臂件216。如下文詳述，該壓電微驅(qū)動(dòng)器212集成于懸臂件216，用于裝載或支撐磁頭214。如圖8、10及11所示，該懸臂件216包括基板218、負(fù)載桿220、樞接件222、撓性件224及位于該撓性件224上的內(nèi)外懸臂電纜226、227。該基板218包括安裝孔228，用于將懸臂件216固定在磁盤驅(qū)動(dòng)裝置的音圈馬達(dá)(VCM)的驅(qū)動(dòng)臂上。該基板218的形狀隨磁盤驅(qū)動(dòng)裝置的配置或型號而變化。并且該基板218由相對較硬或剛度較好的材料比如金屬形成，以便穩(wěn)定地將懸臂件216固定在音圈馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)臂上。該樞接件222通過比如激光焊接方式連接到基板218與負(fù)載桿220上。如圖所示，該樞接件222包括與基板218的安裝孔228對正的孔230。另外，該樞接件222還包括用于支撐負(fù)載桿220的固持條232。該負(fù)載桿220通過比如激光焊接的方式固定在樞接件222的固持條232上。該負(fù)載桿220上形成用于配合并支撐所述壓電微驅(qū)動(dòng)器212的凸點(diǎn)234(參考圖10)。該撓性件224通過諸如激光焊接的方式安裝到樞接件222和負(fù)載桿220上。所述壓電微驅(qū)動(dòng)212具有框架240(例如由金屬材料制造而成)，該框架240集成于撓性件224的舌片區(qū)域。該框架240與負(fù)載桿220上的凸點(diǎn)234配合。壓電元件242、243安裝在該框架240的相應(yīng)邊臂上。同樣，該框架240將磁頭214支撐于懸臂件216上。該撓性件224的懸臂電纜226、227將若干連接觸點(diǎn)238(與外部控制系統(tǒng)連接)與磁頭214及位于壓電微驅(qū)動(dòng)器212上的壓電元件242、243電性連接起來。這些懸臂電纜226、227可為柔性印刷電路且可具有適當(dāng)數(shù)量的導(dǎo)線。如圖9、12及14所示，連接觸點(diǎn)244直接連接到內(nèi)懸臂電纜226上，以便將內(nèi)懸臂電纜226電性連接到壓電元件242、243的連接觸點(diǎn)246上。同樣連接觸點(diǎn)248直接連接到外懸臂電纜227上，以便將外懸臂電纜227電性連接到磁頭214上的連接觸點(diǎn)250上。所述磁盤驅(qū)動(dòng)裝置包括音圈馬達(dá)，用于可控制地旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)臂，進(jìn)而可控制地驅(qū)動(dòng)磁頭折片組合210，使得磁頭214及相關(guān)讀寫頭在磁盤驅(qū)動(dòng)裝置的磁盤的磁軌上產(chǎn)生運(yùn)動(dòng)。該壓電微驅(qū)動(dòng)器212用于實(shí)現(xiàn)磁盤驅(qū)動(dòng)裝置的精確快速的位置控制及減少磁盤運(yùn)行時(shí)磁頭尋道及復(fù)位的時(shí)間。因此，當(dāng)磁盤驅(qū)動(dòng)裝置中內(nèi)置該壓電微驅(qū)動(dòng)器212時(shí)，便形成雙驅(qū)動(dòng)器系統(tǒng)，其中所述音圈馬達(dá)實(shí)現(xiàn)讀寫頭的較大位置調(diào)整，而所述壓電微驅(qū)動(dòng)器212實(shí)現(xiàn)對讀寫頭位置的微調(diào)。如圖9、12及14所示，所述壓電微驅(qū)動(dòng)器212包括集成于懸臂撓性件224的框架240及安裝在該框架240上的壓電元件242、243。所述框架240包括頂支撐板254、底支撐板256、連接所述頂支撐板254與底支撐板256的邊臂258、259。該底支撐板256集成于撓性件224的舌片區(qū)域。該頂支撐板254包括旋轉(zhuǎn)板(rotatableplate)260、將該旋轉(zhuǎn)板260連接到相應(yīng)邊臂258、259的連接臂或連接橋262、264及電連接觸點(diǎn)支撐板(electricalpadsupportplate)266。所述旋轉(zhuǎn)板260與負(fù)載桿220的凸點(diǎn)234對齊并互相配合。如圖12、14所示，所述底支撐板256與相應(yīng)的邊臂258、259之間具有內(nèi)槽(innernotch)或空間(space)257。這種結(jié)構(gòu)使得邊臂258、259具有更長的有效長度及更廣的運(yùn)動(dòng)自由度。如圖14所示，該連接橋262呈曲線形并具有相反的端部262a及262b，該連接橋264呈曲線形并具有相反的端部264a及264b。所述端部262a及264a與旋轉(zhuǎn)板260連接，所述端部262b及264b與相應(yīng)的邊臂258、259連接。在該實(shí)施例中，所述端部262b及264b以在y軸上相同的位置與相應(yīng)的邊臂258、259連接，即所述端部262b及264b從連接點(diǎn)到相應(yīng)的邊臂258、259的末端之間的距離相同。而且，所述端部262a及264a以旋轉(zhuǎn)板260的中心為對稱軸鏡像對稱地連接到旋轉(zhuǎn)板260。即所述端部262a及264a的連接點(diǎn)以所述旋轉(zhuǎn)板260的重心為對稱軸對稱地設(shè)置。當(dāng)壓電元件242、243在使用中被激發(fā)時(shí)，這種結(jié)構(gòu)允許旋轉(zhuǎn)板260繞其重心旋轉(zhuǎn)。然而，連接橋262、264可以具有其它適當(dāng)?shù)男螤罴斑B接結(jié)構(gòu)。如圖12、13所示，壓電元件242、243安裝在所述框架240的相應(yīng)邊臂258、259的面向內(nèi)側(cè)的表面上。這些壓電元件242、243上具有連接觸點(diǎn)246，比如兩個(gè)連接觸點(diǎn)，用于將壓電元件242、243與內(nèi)懸臂電纜226電性連接。每個(gè)壓電元件242、243可以為陶瓷壓電元件、薄膜壓電元件或者鈮鎂酸鉛-鈦酸鉛(PMN-PT)壓電元件，并且可以為單層結(jié)構(gòu)或多層結(jié)構(gòu)。如圖所示，所述框架240的底支撐板256上具有與內(nèi)懸臂電纜226連接的連接觸點(diǎn)244。如圖9所示，位于相應(yīng)的壓電元件242、243上的壓電連接觸點(diǎn)246，借助例如電連接球(金球焊接或錫球焊接，GBBorSBB)268而電性連接到連接觸點(diǎn)244上。這使得電壓可通過內(nèi)懸臂電纜226而施加到所述壓電元件242、243上。所述頂支撐板254將所述框架240固定在所述磁頭214上。具體地講，該旋轉(zhuǎn)板260包括臺階部270，其可以由聚合體層、環(huán)氧樹脂層或金屬層構(gòu)成。所述磁頭214局部地安裝到所述旋轉(zhuǎn)板260的臺階部270上，使得當(dāng)壓電微驅(qū)動(dòng)器212運(yùn)動(dòng)時(shí)，該磁頭214將不會(huì)接觸到或與連接臂或連接橋262、264干涉。所述頂支撐板254的電連接觸點(diǎn)支撐板266上具有與外懸臂電纜227連接的連接觸點(diǎn)248。如圖9所示，位于磁頭214上的多個(gè)連接觸點(diǎn)250，比如六個(gè)連接觸點(diǎn)，借助比如電連接球(金球焊接或錫球焊接，GBBorSBB)272而電性連接到相應(yīng)的連接觸點(diǎn)248上。從而將所述磁頭214及其讀寫頭與外懸臂電纜227電性連接。在該實(shí)施例中，每個(gè)外懸臂電纜227均包括與所述磁頭214的相應(yīng)側(cè)邊相鄰的彎曲部274。當(dāng)壓電微驅(qū)動(dòng)器212工作時(shí)，這種結(jié)構(gòu)有助于釋放由外懸臂電纜227的剛度引起的應(yīng)力，從而使得壓電微驅(qū)動(dòng)器212更順利地工作。另外，所述懸臂負(fù)載桿220的凸點(diǎn)234支撐所述旋轉(zhuǎn)板260的重心。這樣，在壓電微驅(qū)動(dòng)器212與凸點(diǎn)234之間沒有平行間隙存在，從而方便制造。具體地，這種結(jié)構(gòu)不像傳統(tǒng)技術(shù)那樣，因此不需要控制間隙或控制懸臂舌片的剛度，以避免懸臂舌片的變形。當(dāng)裝配完畢后，所述磁頭214的中心與旋轉(zhuǎn)板260的中心對齊，該旋轉(zhuǎn)板260的中心與所述負(fù)載桿220的凸點(diǎn)234對齊。這樣，所述磁頭214的中心、旋轉(zhuǎn)板260的中心及凸點(diǎn)234沿著一個(gè)共同軸線對齊。具體地，所述磁頭214安裝在頂支撐板254的旋轉(zhuǎn)板260上，使得磁頭214的重心將充分地與所述旋轉(zhuǎn)板260的重心配合。而且，由于所述框架240集成于懸臂撓性件224上，使得旋轉(zhuǎn)板260的重心與懸臂件216的凸點(diǎn)234充分地配合。當(dāng)通過激發(fā)壓電元件242、243而使所述旋轉(zhuǎn)板260轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，該結(jié)構(gòu)允許磁頭214及旋轉(zhuǎn)板260繞所述懸臂凸點(diǎn)234的中心自由旋轉(zhuǎn)。圖15a展示了壓電微驅(qū)動(dòng)器212的兩個(gè)壓電元件242、243之間的電連接結(jié)構(gòu)的一種形式，圖15b展示了運(yùn)行電壓。如圖所示，這些壓電元件242、243具有相同的極化方向及共同的接地端。同時(shí)，施加正弦電壓驅(qū)動(dòng)所述壓電元件242、243。圖16a展示了處于松弛狀態(tài)的壓電微驅(qū)動(dòng)器212，圖16b、16c展示了當(dāng)施加電壓后的壓電微驅(qū)動(dòng)器212。如圖16b、16c所示，當(dāng)電壓位于首個(gè)半周期時(shí)，所述壓電元件242、243將收縮，該收縮導(dǎo)致兩個(gè)邊臂258、259向內(nèi)側(cè)彎曲或變形。由于兩個(gè)連接橋262、264相對于旋轉(zhuǎn)板260的中心互相偏移地連接到所述旋轉(zhuǎn)板260，并且磁頭214安裝在旋轉(zhuǎn)板260上，該磁頭214將繞其中心向右側(cè)旋轉(zhuǎn)。當(dāng)電壓位于第二個(gè)半周期時(shí)，所述壓電元件242、243將復(fù)位或擴(kuò)張，且磁頭214將相應(yīng)地旋轉(zhuǎn)回來。圖17a展示了壓電微驅(qū)動(dòng)器212的兩個(gè)壓電元件242、243之間的電連接結(jié)構(gòu)的另一種形式，圖17b展示了運(yùn)行電壓。如圖所示，這些壓電元件242、243具有相反的極化方向及共同的接地端。同時(shí)，兩個(gè)不同的正弦電壓施加到壓電元件242、243上，以便分別驅(qū)動(dòng)壓電元件242、243。當(dāng)電壓位于首個(gè)半周期時(shí)，由于壓電元件242、243中的一個(gè)具有正極化方向，另一個(gè)具有負(fù)極化方向，壓電元件242、243將收縮，該收縮導(dǎo)致兩個(gè)邊臂258、259向內(nèi)側(cè)彎曲。由于兩個(gè)連接橋262、264相對于旋轉(zhuǎn)板260的中心互相偏移地連接到所述旋轉(zhuǎn)板260，并且磁頭214安裝在旋轉(zhuǎn)板260上，該磁頭214將繞其中心向右側(cè)旋轉(zhuǎn)(參考圖16b)。當(dāng)電壓位于第二個(gè)半周期時(shí)，所述壓電元件242、243將復(fù)位或擴(kuò)張，且磁頭214將相應(yīng)地旋轉(zhuǎn)回來。圖18、19展示了壓電微驅(qū)動(dòng)器212的共振測試數(shù)據(jù)。圖18展示了共振增益，圖19展示了共振相位。如圖所示，曲線280、284展示了當(dāng)懸臂基板振動(dòng)或被激發(fā)時(shí)的共振增益及相位。曲線282、286展示了當(dāng)壓電微驅(qū)動(dòng)器212的壓電元件242、243被激發(fā)時(shí)的共振增益及相位。由于壓電微驅(qū)動(dòng)器212集成于懸臂件，當(dāng)壓電微驅(qū)動(dòng)器212運(yùn)動(dòng)時(shí)，相對較小的反作用力施加于懸臂件上，進(jìn)而提高了共振性能。即，不會(huì)像圖7所示的現(xiàn)有模型那樣，該壓電微驅(qū)動(dòng)器212不會(huì)形成懸臂共振模型。這樣，該壓電微驅(qū)動(dòng)器212極大地提高了磁盤驅(qū)動(dòng)裝置的性能特性并可以獲得較高的伺服帶寬。同樣，由于壓電微驅(qū)動(dòng)器212以旋轉(zhuǎn)方式而不是傳統(tǒng)的擺動(dòng)方式工作，懸臂結(jié)構(gòu)尤其是懸臂舌片的結(jié)構(gòu)可以得到簡化。這可以使懸臂件的制造變得容易，并且降低成本。另外，由于重量減輕，這可以提高磁頭折片組合的靜態(tài)及動(dòng)態(tài)性能，比如防震性能。圖20展示了本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例所述的磁頭折片組合210的制造及組裝流程的主要步驟。當(dāng)工序開始后(步驟1)，將壓電元件242、243安裝到集成在所述懸臂件216的撓性件224的框架240上(步驟2)。將壓電元件242、243與內(nèi)懸臂電纜226電性連接(步驟3)，并對所述壓電元件242、243進(jìn)行性能檢查(步驟4)。然后，將磁頭214安裝到框架240上(步驟5)，并將該磁頭214與外懸臂電纜227電性連接(步驟6)。對該磁頭進(jìn)行性能測試(步驟7)。最后，進(jìn)行最后檢查(步驟8)，以便完成制造及組裝流程(步驟9)。圖21a-21c展示了本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施例所述的磁頭折片組合210的制造及組裝流程的主要步驟。當(dāng)流程開始后，如圖21a-21b所示，將壓電元件242、243安裝到所述框架240上相應(yīng)的邊臂258、259上。該框架240集成于撓性件224上。接著，如圖21c所示，將該撓性件224通過例如焊接的方式安裝到基板218、負(fù)載桿220及樞接件222上，以便形成懸臂件216。在一個(gè)實(shí)施例中，所述壓電元件可以通過比如自動(dòng)系統(tǒng)，而安裝到包含多個(gè)撓性件的撓性件板的相應(yīng)撓性件上。這種結(jié)構(gòu)有助于組裝流程并降低成本。圖22展示了本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施例所述的磁頭折片組合210的制造及組裝流程的主要步驟。當(dāng)工序開始后(步驟1)，將壓電元件242、243安裝到集成在所述撓性件224的框架240上(步驟2)。接著，將撓性件224通過例如焊接的方式安裝到基板218、負(fù)載桿220及樞接件222上，以便形成懸臂件216(步驟3)。將壓電元件242、243與內(nèi)懸臂電纜226電性連接(步驟4)，并對所述壓電元件242、243進(jìn)行性能檢查(步驟5)。然后，將磁頭214安裝到框架240上(步驟6)，并將該磁頭214與外懸臂電纜227電性連接(步驟7)。對該磁頭進(jìn)行性能測試(步驟8)。最后，進(jìn)行最后檢查(步驟9)，以便完成制造及組裝流程(步驟10)。圖23a-23d展示了本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施例所述的磁頭折片組合210的制造及組裝流程的主要步驟。當(dāng)流程開始后，如圖23a-23b所示，將壓電元件242、243安裝到框架240的相應(yīng)邊臂258、259上。該框架240集成于撓性件224上。如圖所示，這些邊臂258、259最初以扁平的姿態(tài)形成。接著，如圖23c所示，將這些邊臂258、259進(jìn)行彎曲形成所述框架240的直立的邊臂258、259。然后，如圖21d所示，將撓性件224通過例如焊接的方式安裝到基板218、負(fù)載桿220及樞接件222上，以便形成懸臂件216。在一個(gè)實(shí)施例中，所述壓電元件可以通過比如自動(dòng)系統(tǒng)，而安裝到包含多個(gè)撓性件的撓性件板的相應(yīng)邊臂上。完成安裝后，將所述邊臂彎曲進(jìn)而形成所述框架的直立的邊臂。然后，將每個(gè)撓性件從撓性件板上切下來，并將撓性件通過例如焊接的方式安裝到基板、負(fù)載桿及樞接件上，以便形成每個(gè)懸臂件。圖24展示了本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施例所述的壓電微驅(qū)動(dòng)器312。在該實(shí)施例中，所述框架240的每個(gè)連接橋262、264上形成至少一個(gè)開孔390。當(dāng)壓電微驅(qū)動(dòng)312運(yùn)動(dòng)時(shí)，這些開孔390有助于降低剛度。所述壓電微驅(qū)動(dòng)器312的其余部件與壓電微驅(qū)動(dòng)器212基本類似，并以與壓電微驅(qū)動(dòng)器212的部件相似的標(biāo)號表示。雖然結(jié)構(gòu)不同，但該壓電微驅(qū)動(dòng)器312的工作原理與壓電微驅(qū)動(dòng)器212充分地相似。圖25展示了本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施例所述的壓電微驅(qū)動(dòng)器412。在該實(shí)施例中，所述框架240的每個(gè)連接橋262、264上包括至少一個(gè)通過局部蝕刻方式形成的區(qū)域492。當(dāng)壓電微驅(qū)動(dòng)412運(yùn)動(dòng)時(shí)，這些蝕刻后的區(qū)域492有助于降低剛度。所述壓電微驅(qū)動(dòng)器412的其余部件與壓電微驅(qū)動(dòng)器212基本類似，并以與壓電微驅(qū)動(dòng)器212的部件相似的標(biāo)號表示。雖然結(jié)構(gòu)不同，但該壓電微驅(qū)動(dòng)器412的工作原理與壓電微驅(qū)動(dòng)器212充分地相似。圖26展示了本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施例所述的壓電微驅(qū)動(dòng)器512。在該實(shí)施例中，所述框架240的每個(gè)連接橋262、264包括均一個(gè)弱點(diǎn)(weakpoint)594。即，每個(gè)連接橋262、264的兩端均比每個(gè)連接橋262、264的中間區(qū)域?qū)挕．?dāng)壓電微驅(qū)動(dòng)512運(yùn)動(dòng)時(shí)，這些弱點(diǎn)594有助于降低剛度。所述壓電微驅(qū)動(dòng)器512的其余部件與壓電微驅(qū)動(dòng)器212基本類似，并以與壓電微驅(qū)動(dòng)器212的部件相似的標(biāo)號表示。雖然結(jié)構(gòu)不同，但該壓電微驅(qū)動(dòng)器512的工作原理與壓電微驅(qū)動(dòng)器212充分地相似。本發(fā)明的諸多實(shí)施例中描述的包含壓電微驅(qū)動(dòng)器212、312、412及512的磁頭折片組合210可用于磁盤驅(qū)動(dòng)器(硬盤驅(qū)動(dòng)器，HDD)中。該硬盤驅(qū)動(dòng)器可以為結(jié)合圖1描述的結(jié)構(gòu)。由于磁盤驅(qū)動(dòng)器的結(jié)構(gòu)、運(yùn)行及裝配流程為該領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員所熟悉，這里省略關(guān)于磁盤驅(qū)動(dòng)器的進(jìn)一步詳細(xì)的描述，使本發(fā)明更加清晰。所述壓電微驅(qū)動(dòng)器可使用于任何具有微驅(qū)動(dòng)器的磁盤驅(qū)動(dòng)器或具有微驅(qū)動(dòng)器的任何設(shè)備中。在一個(gè)實(shí)施例中，該壓電微驅(qū)動(dòng)器使用于具有高轉(zhuǎn)速的磁盤驅(qū)動(dòng)裝置中。以上結(jié)合最佳實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)行了描述，但本發(fā)明并不局限于以上揭示的實(shí)施例，而應(yīng)當(dāng)涵蓋各種根據(jù)本發(fā)明的本質(zhì)進(jìn)行的修改、等效組合。權(quán)利要求1.一種用于磁頭折片組合的微驅(qū)動(dòng)器，包括金屬框架；所述金屬框架包括集成于所述磁頭折片組合的懸臂撓性件的底支撐板，用于支撐所述磁頭折片組合的磁頭的頂支撐板，將所述頂支撐板與底支撐板互相連接起來的一對邊臂，所述頂支撐板包括旋轉(zhuǎn)板、將該旋轉(zhuǎn)板連接到相應(yīng)邊臂上的連接臂及用于承載連接觸點(diǎn)的電連接觸點(diǎn)支撐板(electricalpadsupportplate)；及安裝在每個(gè)邊臂上的壓電元件，每個(gè)壓電元件可被激發(fā)而導(dǎo)致所述邊臂的選擇性運(yùn)動(dòng)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微驅(qū)動(dòng)器，其特征在于所述每個(gè)壓電元件被安裝在相應(yīng)邊臂的面向內(nèi)側(cè)的表面上。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微驅(qū)動(dòng)器，其特征在于所述每個(gè)壓電元件為薄膜壓電元件、陶瓷壓電元件或鈮鎂酸鉛-鈦酸鉛(PMN-PT)壓電元件。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的微驅(qū)動(dòng)器，其特征在于所述每個(gè)壓電元件為單層結(jié)構(gòu)或多層結(jié)構(gòu)。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微驅(qū)動(dòng)器，其特征在于所述旋轉(zhuǎn)板具有支撐所述磁頭的臺階部，從而使得磁頭在使用時(shí)不會(huì)與所述連接臂發(fā)生干涉。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的微驅(qū)動(dòng)器，其特征在于所述臺階部由聚合體層、環(huán)氧樹脂層或金屬層構(gòu)成。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微驅(qū)動(dòng)器，其特征在于所述頂支撐板的連接臂為曲線構(gòu)造。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微驅(qū)動(dòng)器，其特征在于所述連接臂在沿金屬框架的縱軸上相同的位置與相應(yīng)的邊臂連接。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微驅(qū)動(dòng)器，其特征在于所述連接臂以旋轉(zhuǎn)板的中心為對稱軸鏡像對稱地連接到該旋轉(zhuǎn)板上。10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微驅(qū)動(dòng)器，其特征在于所述底支撐板與相應(yīng)的邊臂之間形成內(nèi)槽(innernotch)或空間(space)。11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微驅(qū)動(dòng)器，其特征在于所述每個(gè)連接臂包括至少一個(gè)開孔。12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微驅(qū)動(dòng)器，其特征在于所述每個(gè)連接臂包括至少一個(gè)局部蝕刻區(qū)域。13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微驅(qū)動(dòng)器，其特征在于所述每個(gè)連接臂的兩端寬于其中央?yún)^(qū)域。14.一種磁頭折片組合，其包括微驅(qū)動(dòng)器；磁頭；及包含懸臂撓性件的懸臂件，其中，該微驅(qū)動(dòng)器包括金屬框架，其包括集成于所述懸臂撓性件的底支撐板，用于支撐磁頭的頂支撐板，將所述頂支撐板與底支撐板互相連接起來的一對邊臂，所述頂支撐板包括旋轉(zhuǎn)板、將該旋轉(zhuǎn)板連接到相應(yīng)邊臂上的連接臂及用于承載連接觸點(diǎn)的電連接觸點(diǎn)支撐板(electricalpadsupportplate)；及安裝在每個(gè)邊臂上的壓電元件，每個(gè)壓電元件可被激發(fā)而導(dǎo)致所述邊臂的選擇性運(yùn)動(dòng)。15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的磁頭折片組合，其特征在于所述懸臂件包括負(fù)載桿，該負(fù)載桿上具有與所述旋轉(zhuǎn)板配合的凸點(diǎn)。16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的磁頭折片組合，其特征在于所述磁頭、旋轉(zhuǎn)板及凸點(diǎn)的中心沿一個(gè)共同軸對齊。17.根據(jù)權(quán)利要求14所述的磁頭折片組合，其特征在于所述每個(gè)壓電元件安裝在相應(yīng)邊臂的面向內(nèi)側(cè)的表面上。18.根據(jù)權(quán)利要求14所述的磁頭折片組合，其特征在于所述每個(gè)壓電元件為薄膜壓電元件、陶瓷壓電元件或鈮鎂酸鉛-鈦酸鉛(PMN-PT)壓電元件。19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的磁頭折片組合，其特征在于所述每個(gè)壓電元件為單層結(jié)構(gòu)或多層結(jié)構(gòu)。20.根據(jù)權(quán)利要求14所述的磁頭折片組合，其特征在于所述旋轉(zhuǎn)板具有支撐所述磁頭的臺階部，從而使得磁頭在使用時(shí)不會(huì)與所述連接臂發(fā)生干涉。21.根據(jù)權(quán)利要求20所述的磁頭折片組合，其特征在于所述臺階部由聚合體層、環(huán)氧樹脂層或金屬層構(gòu)成。22.根據(jù)權(quán)利要求14所述的磁頭折片組合，其特征在于所述頂支撐板的連接臂具有曲線構(gòu)造。23.根據(jù)權(quán)利要求14所述的磁頭折片組合，其特征在于所述連接臂在沿金屬框架的縱軸上相同的位置與相應(yīng)的邊臂連接。24.根據(jù)權(quán)利要求14所述的磁頭折片組合，其特征在于所述連接臂以旋轉(zhuǎn)板的中心為對稱軸鏡像對稱地連接到該旋轉(zhuǎn)板上。25.根據(jù)權(quán)利要求14所述的磁頭折片組合，其特征在于所述底支撐板與相應(yīng)的邊臂之間形成內(nèi)槽(innernotch)或空間(space)。26.根據(jù)權(quán)利要求14所述的磁頭折片組合，其特征在于所述每個(gè)連接臂包括至少一個(gè)開孔。27.根據(jù)權(quán)利要求14所述的磁頭折片組合，其特征在于所述每個(gè)連接臂包括至少一個(gè)局部蝕刻區(qū)域。28.根據(jù)權(quán)利要求14所述的磁頭折片組合，其特征在于所述每個(gè)連接臂的兩端寬于其中央?yún)^(qū)域。29.一種磁盤驅(qū)動(dòng)裝置，包括由微驅(qū)動(dòng)器、磁頭及含有懸臂撓性件的懸臂件組成的磁頭折片組合；與所述磁頭折片組合連接的驅(qū)動(dòng)臂；磁盤；及用于驅(qū)動(dòng)所述磁盤的主軸馬達(dá)；其中，該微驅(qū)動(dòng)器包括金屬框架，其包括集成于所述磁頭折片組合的懸臂撓性件的底支撐板，用于支撐所述磁頭折片組合的磁頭的頂支撐板，將所述頂支撐板與底支撐板互相連接起來的一對邊臂，所述頂支撐板包括旋轉(zhuǎn)板、將該旋轉(zhuǎn)板連接到相應(yīng)邊臂上的連接臂及用于承載連接觸點(diǎn)的電連接觸點(diǎn)支撐板(electricalpadsupportplate)；及安裝在每個(gè)邊臂上的壓電元件，每個(gè)壓電元件可被激發(fā)而導(dǎo)致所述邊臂的選擇性運(yùn)動(dòng)。30.一種磁頭折片組合，其包括微驅(qū)動(dòng)器；磁頭；及包含懸臂撓性件的懸臂件，其中，該微驅(qū)動(dòng)器包括金屬框架；所述金屬框架包括集成于所述懸臂撓性件的底支撐板，用于支撐磁頭的頂支撐板，將所述頂支撐板與底支撐板互相連接起來的一對邊臂，所述頂支撐板包括旋轉(zhuǎn)板、將該旋轉(zhuǎn)板連接到相應(yīng)邊臂上的連接臂及用于承載連接觸點(diǎn)的電連接觸點(diǎn)支撐板(electricalpadsupportplate)；及安裝在每個(gè)邊臂上的壓電元件，每個(gè)壓電元件可被激發(fā)而導(dǎo)致所述邊臂的選擇性運(yùn)動(dòng)，其中，該懸臂件包括具有凸點(diǎn)的負(fù)載桿，所述磁頭、旋轉(zhuǎn)板及凸點(diǎn)的中心沿一個(gè)共同軸對齊。31.一種磁頭折片組合的制造方法，包括將微驅(qū)動(dòng)器框架集成到懸臂撓性件上；將壓電元件安裝到微驅(qū)動(dòng)器框架上；將所述壓電元件與懸臂電纜電性連接；對所述壓電元件進(jìn)行性能檢查；將磁頭安裝到微驅(qū)動(dòng)器框架；將所述磁頭與懸臂電纜電性連接；對所述磁頭進(jìn)行性能檢查；及進(jìn)行最后檢查。32.一種磁頭折片組合的制造方法，包括將微驅(qū)動(dòng)器框架集成到懸臂撓性件上；將壓電元件安裝到微驅(qū)動(dòng)器框架上；將所述懸臂撓性件安裝到懸臂上；將所述壓電元件與懸臂電纜電性連接；對所述壓電元件進(jìn)行性能檢查；將磁頭安裝到所述微驅(qū)動(dòng)器框架；將所述磁頭與懸臂電纜電性連接；對所述磁頭進(jìn)行性能檢查；及進(jìn)行最后檢查。33.一種磁頭折片組合的制造方法，包括將微驅(qū)動(dòng)器框架集成到懸臂撓性件上；將壓電元件安裝所述微驅(qū)動(dòng)器框架的相應(yīng)邊臂上；及將所述懸臂撓性件安裝到懸臂上。34.一種磁頭折片組合的制造方法，包括將微驅(qū)動(dòng)器框架集成到懸臂撓性件上；將壓電元件安裝所述微驅(qū)動(dòng)器框架的相應(yīng)邊臂上，所述邊臂處于實(shí)質(zhì)扁平的狀態(tài)；彎曲所述邊臂形成直立的邊臂；及將所述懸臂撓性件安裝到懸臂上。全文摘要一種用于磁頭折片組合的微驅(qū)動(dòng)器，包括金屬框架及壓電元件。該金屬框架包括集成于所述磁頭折片組合的懸臂撓性件的底支撐板、用于支撐所述磁頭折片組合的磁頭的頂支撐板、將所述頂支撐板與底支撐板互相連接起來的一對邊臂。所述頂支撐板包括旋轉(zhuǎn)板、將該旋轉(zhuǎn)板連接到相應(yīng)邊臂上的連接臂及用于承載連接觸點(diǎn)的電連接觸點(diǎn)支撐板。所述壓電元件安裝在每個(gè)邊臂上。所述每個(gè)壓電元件可被激發(fā)而導(dǎo)致所述邊臂的選擇性運(yùn)動(dòng)。文檔編號G11B21/10GK1991984SQ20051013787公開日2007年7月4日申請日期2005年12月28日優(yōu)先權(quán)日2005年12月28日發(fā)明者姚明高申請人:新科實(shí)業(yè)有限公司