電容式傳感器、電容式傳感裝置和電子設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及電容式傳感技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種電容式傳感器、電容式傳感裝置和電子設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著社會(huì)的發(fā)展,越來(lái)越多的電子設(shè)備(如:手機(jī)、平板電腦、穿戴式設(shè)備、以及智能家居等各種智能產(chǎn)品)一般都會(huì)設(shè)置一種或多種傳感裝置。所述傳感裝置包括如感測(cè)用戶觸摸操作的觸摸傳感裝置、感測(cè)人體生物信息的生物信息傳感裝置等等。目前,生物信息傳感裝置等多采用電容式傳感裝置來(lái)執(zhí)行感測(cè)操作。
[0003]電容式傳感裝置一般包括電容式傳感器和控制電路。所述電容式傳感器包括多個(gè)傳感單元(sensor)。所述多個(gè)傳感單元接收控制電路的驅(qū)動(dòng)信號(hào),并在用戶觸摸所述多個(gè)傳感單元時(shí)對(duì)應(yīng)輸出感測(cè)信號(hào)給所述控制電路,以獲得相應(yīng)的感測(cè)信息。
[0004]然,各傳感單元獨(dú)立檢測(cè),分別輸出單一感測(cè)信號(hào),所述單一感測(cè)信號(hào)(如:電壓和/或電量)一般強(qiáng)度較弱。另外,電壓、電量等感測(cè)信號(hào)在被傳輸?shù)倪^(guò)程中易受電容式傳感裝置中寄生電容的影響,較不穩(wěn)定,從而導(dǎo)致電容式傳感裝置的感測(cè)存在不精確或者出現(xiàn)誤判的情況,影響用戶體驗(yàn)。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0005]有鑒于此,本發(fā)明提供了一種輸出感測(cè)信號(hào)較穩(wěn)定的電容式傳感器、感測(cè)精度較高的電容式傳感裝置、以及用戶體驗(yàn)較好的電子設(shè)備。
[0006]本發(fā)明提供了一種電容式傳感器,包括:
[0007]多個(gè)傳感單元,所述傳感單元包括:
[0008]感測(cè)電極,能夠以電容方式耦合到目標(biāo)物體,感測(cè)電極用于加載參考信號(hào);和
[0009]傳感電路,包括轉(zhuǎn)換電路,用于轉(zhuǎn)換感測(cè)電極上因目標(biāo)物體的接近或觸摸所引起參考信號(hào)的變化量為第一交流信號(hào),并疊加所述第一交流信號(hào)至一第二恒定直流信號(hào)上,對(duì)應(yīng)產(chǎn)生第二交流信號(hào)。
[0010]優(yōu)選地,所述第二交流信號(hào)是用以計(jì)算目標(biāo)物體的預(yù)定生物信息。
[0011]優(yōu)選地,所述轉(zhuǎn)換電路包括第三晶體管,所述第三晶體管用于轉(zhuǎn)換感測(cè)電極上因目標(biāo)物體的接近或觸摸所引起參考信號(hào)的變化量為第一交流信號(hào),并疊加所述第一交流信號(hào)至所述第二恒定直流信號(hào)上,對(duì)應(yīng)產(chǎn)生第二交流信號(hào)。
[0012]優(yōu)選地,相鄰的傳感單元的第三晶體管用于組成差分對(duì)管。
[0013]優(yōu)選地,所述轉(zhuǎn)換電路包括差分對(duì)管,所述差分對(duì)管包括所述第三晶體管和第四晶體管,所述差分對(duì)管用于響應(yīng)感測(cè)電極上因目標(biāo)物體的接近或觸摸所引起參考信號(hào)的變化,而對(duì)應(yīng)產(chǎn)生二不同的第二交流信號(hào)。
[0014]優(yōu)選地,所述轉(zhuǎn)換電路連接所述感測(cè)電極,或者,所述轉(zhuǎn)換電路包括所述感測(cè)電極。
[0015]優(yōu)選地,所述差分對(duì)管包括所述感測(cè)電極,或者,所述差分對(duì)管直接連接感測(cè)電極。
[0016]優(yōu)選地,所述第四晶體管產(chǎn)生的第二交流信號(hào)不同于第三晶體管所產(chǎn)生的第二交流信號(hào),二者同幅同頻反相。
[0017]優(yōu)選地,所述第三晶體管用于接收第一參考信號(hào),所述第四晶體管用于接收第二參考信號(hào),其中,第一參考信號(hào)隨所述感測(cè)電極加載的參考信號(hào)的變化而變化。
[0018]優(yōu)選地,所述第三晶體管接收的第一參考信號(hào)與所述第四晶體管接收的第二參考信號(hào)相同。
[0019]優(yōu)選地,所述傳感電路進(jìn)一步包括第一開關(guān)單元,連接于所述差分對(duì)管與一電流源之間,用于控制是否在差分對(duì)管與所述電流源之間進(jìn)行電流傳輸。
[0020]優(yōu)選地,所述二不同的第二交流信號(hào)疊加之和與所述電流源提供的第一恒定直流信號(hào)相同。
[0021]優(yōu)選地,所述傳感電路進(jìn)一步包括第二開關(guān)單元,所述第二開關(guān)單元連接所述差分對(duì)管,用于控制是否傳輸?shù)谝弧⒌诙⒖夹盘?hào)給所述差分對(duì)管。
[0022]優(yōu)選地,所述第一開關(guān)單元包括第一晶體管和第二晶體管,當(dāng)?shù)谝痪w管與第二晶體管都導(dǎo)通時(shí),所述差分對(duì)管與所述電流源之間有電流傳輸。
[0023]優(yōu)選地,所述第二開關(guān)單元包括第五晶體管和第六晶體管,當(dāng)?shù)谖寰w管和第六晶體管導(dǎo)通時(shí),所述差分對(duì)管通過(guò)導(dǎo)通的第五晶體管和第六晶體管接收所述第一、第二參考信號(hào)。
[0024]優(yōu)選地,所述多個(gè)傳感單元呈陣列式排布。
[0025]優(yōu)選地,所述電容式傳感器進(jìn)一步包括掃描線群組、信號(hào)線群組、和參考信號(hào)線,所述掃描線群組包括第一掃描線、第二掃描線、和第三掃描線;所述信號(hào)線群組包括第一信號(hào)線、第二信號(hào)線、和第三信號(hào)線;第一晶體管包括第一控制電極、第一傳輸電極、和第二傳輸電極;第二晶體管包括第二控制電極、第三傳輸電極、和第四傳輸電極;第三晶體管包括第三控制電極、第五傳輸電極、和第六傳輸電極;第四晶體管包括第四控制電極、第七傳輸電極、和第八傳輸電極;第五晶體管包括第五控制電極、第九傳輸電極、和第十傳輸電極;第六晶體管包括第六控制電極、第十一傳輸電極、和第十二傳輸電極;其中,第一傳輸電極連接第一信號(hào)線,第二傳輸電極連接第三傳輸電極,第四傳輸電極連接第五傳輸電極,第六傳輸電極連接第二信號(hào)線,第七傳輸電極連接第五傳輸電極,第八傳輸電極連接第三信號(hào)線,第九傳輸電極連接參考信號(hào)線,第十傳輸電極連接第三控制電極,第十一傳輸電極連接參考信號(hào)線,第十二傳輸電極連接第四控制電極,第三控制電極用于接收第一參考信號(hào),第四控制電極用于接收第二參考信號(hào),第五控制電極連接第三掃描線,第六控制電極連接第二掃描線。
[0026]優(yōu)選地,所述第三控制電極與所述感測(cè)電極為二電極,所述第三控制電極連接所述感測(cè)電極;或者,所述第三控制電極與所述感測(cè)電極為同一電極。
[0027]優(yōu)選地,第五控制電極與第六控制電極短接;第九傳輸電極與第i^一傳輸電極短接。
[0028]優(yōu)選地,所述掃描線群組進(jìn)一步包括第四掃描線,所述傳感電路進(jìn)一步包括:
[0029]第七晶體管,包括第七控制電極、第十三傳輸電極、和第十四傳輸電極;所述第七控制電極連接一第四掃描線,所述第十三傳輸電極連接第十傳輸電極,所述第十四傳輸電極連接第三控制電極,且第十三傳輸電極與第十四傳輸電極短接;和
[0030]第八晶體管,包括第八控制電極、第十五傳輸電極、和第十六傳輸電極;所述第八控制電極連接一第四掃描線,所述第十五傳輸電極連接第十二傳輸電極,所述第十六傳輸電極連接第四控制電極,且第十五傳輸電極與第十六傳輸電極短接。
[0031]優(yōu)選地,所述第七控制電極與所述第八控制電極連接同一第四掃描線;所述第七晶體管用于與所述第五晶體管交替導(dǎo)通,所述第八晶體管用于與所述第六晶體管交替導(dǎo)通。
[0032]優(yōu)選地,所述電容式傳感器為指紋傳感器。
[0033]優(yōu)選地,一信號(hào)線群組連接至少二傳感單元,一掃描線群組連接至少二傳感單元。
[0034]優(yōu)選地,每列傳感單元連接同一信號(hào)線群組,不同列傳感單元連接不同信號(hào)群組。
[0035]本發(fā)明還提供一種電容式傳感器,包括:
[0036]多個(gè)傳感單元,每一傳感單元包括:
[0037]感測(cè)電極,能夠以電容方式耦合到目標(biāo)物體,感測(cè)電極用于加載參考信號(hào);和
[0038]傳感電路,包括差分對(duì)管和第一開關(guān)單元,所述第一開關(guān)單元連接于差分對(duì)管與一電流源之間,用于控制是否在差分對(duì)管與電流源之間進(jìn)行電流傳輸,所述差分對(duì)管與所述感測(cè)電極相關(guān)連接,所述傳感電路用于響應(yīng)感測(cè)電極上因目標(biāo)物體的接近或觸摸所引起參考信號(hào)的變化,而對(duì)應(yīng)產(chǎn)生差分信號(hào)。
[0039]本發(fā)明還提供一種電容式傳感器,包括:
[0040]多個(gè)傳感單元,每一傳感單元包括:
[0041 ] 感測(cè)電極,能夠以電容方式耦合到目標(biāo)物體,感測(cè)電極用于加載參考信號(hào);和
[0042]傳感電路,包括轉(zhuǎn)換電路和開關(guān)單元,用于轉(zhuǎn)換感測(cè)電極上因目標(biāo)物體的接近或觸摸所引起參考信號(hào)的變化量為相應(yīng)的電流信號(hào),并通過(guò)所述開關(guān)單元輸出所述電流信號(hào),其中,當(dāng)所述開關(guān)單元導(dǎo)通時(shí),所述開關(guān)單元所在的傳感單元被激活。
[0043]本發(fā)明還提供一種電容式傳感裝置,包括電容式傳感器和控制電路,所述控制電路用于控制所述電容式傳感器執(zhí)行感測(cè)操作,其中,所述電容式傳感器為上述中任意所述的電容式傳感器,所述控制電路進(jìn)一步用于接收各傳感單元輸出的感測(cè)信號(hào),并根據(jù)感測(cè)信號(hào)計(jì)算目標(biāo)物體的預(yù)定生物信息。
[0044]本發(fā)明還提供一種電子設(shè)備,包括電容式傳感裝置,其中,所述電容式傳感裝置為上述中所述的電容式傳感裝置。
[0045]由于本發(fā)明的電容式示傳感器或輸出電流信號(hào)或輸出差分信號(hào)作為感測(cè)信號(hào),因此,所述感測(cè)信號(hào)較穩(wěn)定。相應(yīng)地,包括所述電容式傳感器的電容式傳感裝置的感測(cè)精度較高。具有所述電容式傳感裝置的電子設(shè)備的用戶體驗(yàn)較好。
[0046]盡管公開了多個(gè)實(shí)施例,包括其變化,但是通過(guò)示出并描述了本發(fā)明公開的說(shuō)明性實(shí)施例的下列詳細(xì)描述,本發(fā)明公開的其他實(shí)施例將對(duì)所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員顯而易見。將認(rèn)識(shí)到,本發(fā)明公開能夠在各種顯而易見的方面修改,所有修改都不會(huì)偏離本發(fā)明的精神和范圍。相應(yīng)地,附圖和詳細(xì)描述本質(zhì)上應(yīng)被視為說(shuō)明性的,而不是限制性的。
【附圖說(shuō)明】
[0047]通過(guò)參照附圖詳細(xì)描述其示例實(shí)施方式,本發(fā)明的特征及優(yōu)點(diǎn)將變得更加明顯。
[0048]圖1為本發(fā)明電容式傳感裝置的第一實(shí)施方式的示意圖。
[0049]圖2為圖1所示電容式傳感裝置的電路結(jié)構(gòu)示意圖。
[0050]圖3為圖2所示電容式傳感器的部分電路結(jié)構(gòu)示意圖。
[0051]圖4為圖2所示電容式傳感裝置的部分電路結(jié)構(gòu)示意圖。
[0052]圖5與圖6為圖3所示傳感電路的其它變更實(shí)施方式的示意圖。
[0053]圖7為圖1所示電容式傳感器的示意圖。
[0054]圖8至圖11中主要示出電容式傳感器的一傳感單元的第三晶體管與感測(cè)電極的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0055]圖12為圖2所示的電容式傳感裝置的工作時(shí)序圖。
[0056]圖13為圖1所示電容式傳感器的部分方框示意圖。
[0057]圖14為本發(fā)明電容式傳感裝置的第二實(shí)施方式的示意圖。
[0058]圖15為圖14所示一行方向上相鄰二傳感單元的電路結(jié)構(gòu)示意圖。
[0059]圖16為圖14的電容式傳感裝置的部分電路結(jié)構(gòu)示意圖。
[0060]圖17為圖14所示電容式傳感器的方框結(jié)構(gòu)示意圖。
[0061]圖18為本發(fā)明電容式傳感裝置的其它變更實(shí)施方式的示意圖。
[0062]圖19為在一片玻璃基板上形成多個(gè)電容式傳感裝置的示意圖。
[0063]圖20為圖19所示的一電容式傳感裝置的側(cè)視示意圖。
[0064]圖21和圖22為電容式傳感裝置的其它變更實(shí)施方式的側(cè)視圖。
[0065]圖23為本發(fā)明芯片組的一較佳實(shí)施方式的示意圖。
[0066]圖24為本發(fā)明電容式感測(cè)系統(tǒng)的第一實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0067]圖25為本發(fā)明電容式感測(cè)系統(tǒng)的第二實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0068]圖26為本發(fā)明電容式傳感裝置的封裝結(jié)構(gòu)第一實(shí)施方式的示意圖。
[0069]圖27與圖28為本發(fā)明電容式傳感裝置的封裝結(jié)構(gòu)其它實(shí)施方式的示意圖。
[0070]圖29為本發(fā)明電容式感測(cè)模組的一較佳實(shí)施方式的示意圖。
[0071]圖30為本發(fā)明在電子設(shè)備的保護(hù)蓋板下方設(shè)置電容式感測(cè)模組的示意圖。
[0072]圖31是圖30沿r-r’方向的部分剖面示意圖。
[0073]圖32為電子設(shè)備的顯示裝置的TFT陣列基板的示意圖。
[0074]圖33為本發(fā)明電子設(shè)備的一較佳實(shí)施方式的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0075]現(xiàn)在將參考附圖更全面地描述示例實(shí)施方式。然而,示例實(shí)施方式能夠以多種形式實(shí)施,且不應(yīng)被理解為限于在此闡述的實(shí)施方式;相反,提供這些實(shí)施方式使得本發(fā)明將全面和完整,并將示例實(shí)施方式的構(gòu)思全面地傳達(dá)給本領(lǐng)域的技術(shù)人員。為了方便或清楚,可能夸大、省略或示意地示出在附圖中所示的每層的厚度和大小、以及示意地示出相關(guān)元件的數(shù)量。另外,元件的大小不完全反映實(shí)際大小,以及相關(guān)元件的數(shù)量不完全反應(yīng)實(shí)際數(shù)量。在圖中相同的附圖標(biāo)記表示相同或類似的結(jié)構(gòu)。
[0076]此外,所描述的特征、結(jié)構(gòu)可以以任何合適的方式結(jié)合在一個(gè)或更多實(shí)施方式中。在下面的描述中,提供許多具體細(xì)節(jié)從而給出對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式的充分理解。然而,本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)意識(shí)到,沒(méi)有所述特定細(xì)節(jié)中的一個(gè)或更多,或者采用其它的結(jié)構(gòu)、組元等,也可以實(shí)踐本發(fā)明的技術(shù)方案。在其它情況下,不詳細(xì)示出或描述公知結(jié)構(gòu)或者操作以避免模糊本發(fā)明。
[0077]在本發(fā)明的描述中,需要理解的是:“多個(gè)”包括兩個(gè)和兩個(gè)以上,除非另有明確具體的限定?!斑B接”可為電連接、機(jī)械連接、親接、直接連接、以及間接連接等多種實(shí)施方式,除非本發(fā)明下述特別說(shuō)明,否則并不做特別限制。另外,各元件名稱以及信號(hào)名稱中出現(xiàn)的“第一”、“第二”等詞語(yǔ)并不是限定元件或信號(hào)出現(xiàn)的先后順序,而是為方便元件命名,清楚區(qū)分各元件,使得描述更簡(jiǎn)潔。
[0078]進(jìn)一步需要說(shuō)明的是:本發(fā)明提供的電容式傳感裝置適用于生物信息傳感裝置,尤其指紋傳感裝置。然,本發(fā)明并不限于此,所述電容式傳感裝置也可適用其它合適類型的傳感裝置,如觸摸傳感裝置。所述生物信息傳感裝置用于感測(cè)目標(biāo)物體的預(yù)定生物信息。所述目標(biāo)物體如為用戶的手指,也可為用戶身體的其它部分、如手掌、腳趾、耳朵等,甚至也可為其它合適類型的物體,而并不局限為人體。所述預(yù)定生物信息如為指紋、掌紋、耳紋等。
[0079]所述電容式傳感裝置包括電容式傳感器(sensors)和控制電路。所述控制電路連接電容式傳感器,用于控制所述電容式傳感器執(zhí)行感測(cè)操作。
[0080]優(yōu)選地,所述電容式傳感器包括感測(cè)電極和差分對(duì)管。所述感測(cè)電極能夠以電容方式耦合到目標(biāo)物體,用于加載參考信號(hào)。所述差分對(duì)管與所述感測(cè)電極相關(guān)聯(lián),用于響應(yīng)感測(cè)電極上因目標(biāo)物體的接近或觸摸所引起參考信號(hào)的變化,而對(duì)應(yīng)產(chǎn)生差分信號(hào)。
[0081]所述控制電路接收所述差分信號(hào),并根據(jù)所述差分信號(hào)對(duì)應(yīng)獲得相應(yīng)的感測(cè)信息。所述感測(cè)信息如為目標(biāo)物體的預(yù)定生物信息。類似地,所述控制電路也可根據(jù)差分信號(hào)獲知目標(biāo)物體接近或觸摸了電容式傳感裝置這一感測(cè)信息。
[0082]由于本發(fā)明的電容式傳感器傳輸給控制電路的感測(cè)信號(hào)為差分信號(hào),所述差分信號(hào)較強(qiáng),且差分信號(hào)在傳輸給控制電路的過(guò)程中受電容式傳感裝置中的寄生電容的影響較小,因此,所述控制電路根據(jù)差分信號(hào)獲得的感測(cè)信息相對(duì)較準(zhǔn)而能減少誤判,從而能夠提升用戶體驗(yàn)。
[0083]優(yōu)選地,所述差分信號(hào)為差分電流信號(hào)。
[0084]優(yōu)選地,所述電容式傳感器包括多個(gè)感測(cè)電極和多個(gè)差分對(duì)管。同一差分對(duì)管所產(chǎn)生的差分信號(hào)為同幅同頻反相的第二交流信號(hào)。另外,所述差分對(duì)管用于與一電流源連接,所述電流源用于提供一第一恒定電流信號(hào)。所述二不同的第二交流電流信號(hào)之和與所述電流源提供的第一恒定電流信號(hào)相等。
[0085]所述差分對(duì)管與所述感測(cè)電極相關(guān)聯(lián),其中,所述差分對(duì)管或者與所述感測(cè)電極為二元件,所述差分對(duì)管與所述感測(cè)電極連接;又或者,所述差分對(duì)管包括所述感測(cè)電極,即,所述感測(cè)電極為差分對(duì)管的一部分。
[0086]所述差分對(duì)管包括二晶體管,所述二晶體管包括一第三晶體管,所述第三晶體管包括第三控制電極、第五傳輸電極、和第六傳輸電極。當(dāng)所述差分對(duì)管與所述感測(cè)電極為二元件時(shí),所述第三控制電極與所述感測(cè)電極連接;當(dāng)所述差分對(duì)管包括所述感測(cè)電極時(shí),所述第三控制電極與所述感測(cè)電極為同一電極。
[0087]當(dāng)所述差分對(duì)管與所述感測(cè)電極為二元件時(shí),所述第三控制電極與所述感測(cè)電極直接連接;或者,所述第三控制電極通過(guò)一限流元件與所述感測(cè)電極連接。優(yōu)選地,所述限流元件包括電阻。相應(yīng)地,所述限流元件可以起到防ESD、保護(hù)電容式傳感器的作用。
[0088]所述電容式傳感器包括多個(gè)傳感單元(sensor)。每一傳感單元包括一所述感測(cè)電極。另外,優(yōu)選地,每一傳感單元還包括一所述差分對(duì)管,或者,相鄰的傳感單元各自包括一所述差分對(duì)管中的一晶體管。
[0089]通過(guò)選擇具有合適跨導(dǎo)的晶體管,當(dāng)目標(biāo)物體接近或觸摸感測(cè)電極時(shí),所述差分對(duì)管的晶體管對(duì)參考信號(hào)的變化量進(jìn)行轉(zhuǎn)換以及放大,產(chǎn)生二不同的第一交流信號(hào),并將二不同的第一交流信號(hào)分別疊加至相同的第二恒定電流信號(hào)上,對(duì)應(yīng)產(chǎn)生所述二不同的第二交流信號(hào)給控制電路。其中,所述第二恒定電流信號(hào)為第一恒定電流信號(hào)的一半。相應(yīng)地,所述感測(cè)信號(hào)較強(qiáng),所述控制電路根據(jù)所述感測(cè)信號(hào)獲得的感測(cè)結(jié)果較準(zhǔn)。
[0090]對(duì)于本發(fā)明的電容式傳感器:或者每個(gè)傳感單元輸出單一電流信號(hào)作為感測(cè)信號(hào);或者每個(gè)傳感單元輸出差分信號(hào)作為感測(cè)信號(hào);或者相鄰的傳感單元輸出差分信號(hào)作為感測(cè)信號(hào);其中,所述差分信號(hào)如為差分電流信號(hào);更優(yōu)選地,組成差分對(duì)管的晶體管輸出的感測(cè)信號(hào)為放大的信號(hào);相應(yīng)地,具有所述電容式傳感器的電容式傳感裝置的感測(cè)精度較高。
[0091]下面結(jié)合附圖對(duì)電容式傳感裝置的電路結(jié)構(gòu)、芯片組、電容式感測(cè)系統(tǒng)的電路結(jié)構(gòu)、電容式傳感裝置的封裝結(jié)構(gòu)、電容式感測(cè)模組的組裝結(jié)構(gòu)、以及電子設(shè)備的結(jié)構(gòu)等的各種實(shí)施方式進(jìn)行描述。
[0092]電容式傳感裝置的電路結(jié)構(gòu)
[0093]請(qǐng)參閱圖1,圖1為本發(fā)明電容式傳感裝置的第一實(shí)施方式的示意圖。所述電容式傳感裝置I用于應(yīng)用在一電子設(shè)備(圖未示)中,執(zhí)行感測(cè)操作。所述電子設(shè)備如為移動(dòng)電話、平板電腦、電視、遙控裝置、智能門鎖、穿戴式設(shè)備等各種智能設(shè)備。所述電容式傳感裝置I包括控制電路11和電容式傳感器13。所述控制電路11與所述電容式傳感器13連接。所述控制電路11用于控制電容式傳感器13執(zhí)行感測(cè)操作,所述電容式傳感器13輸出相應(yīng)的感測(cè)信號(hào)給所述控制電路11。所述控制電路11進(jìn)一步根據(jù)所述感測(cè)信號(hào)獲得相應(yīng)的感測(cè)信息。
[0094]所述電容式傳感器13包括基板130、多個(gè)傳感單元131、和接地線133。所述接地線133和所述多個(gè)傳感單元131設(shè)置在所述基板130的同側(cè),且所述接地線133環(huán)繞各傳感單元131設(shè)置。需要說(shuō)明的是,圖1中示出的傳感單元13