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一種觸摸屏金屬圖形的制作方法

文檔序號(hào):8318811閱讀:403來源:國知局
一種觸摸屏金屬圖形的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及觸摸屏制造領(lǐng)域,具體是一種觸摸屏金屬圖形的制作方法。
【背景技術(shù)】
[0002]觸摸屏是一種顯著改善人機(jī)操作界面的輸入設(shè)備,具有直觀、簡單、快捷的優(yōu)點(diǎn),在許多電子產(chǎn)品中已經(jīng)獲得了廣泛的應(yīng)用,尤其在智能手機(jī)、平板電腦等領(lǐng)域的發(fā)展最為迅速,目前電容式觸摸屏通常采用黃光工藝來制作金屬圖形,從而形成ITO的導(dǎo)電搭橋,一般包括清洗、鍍金屬、正梯形膠涂膠、曝光、顯影、預(yù)固化、蝕刻與脫膜的步驟,在鍍金屬環(huán)節(jié),由于磁控濺射的濺射靶上往往混有金屬雜質(zhì),那么在ITO上鍍金屬時(shí)就很容易混入不是MoAlMo的金屬雜質(zhì),在蝕刻時(shí),蝕刻液只能去除MoAlMo的金屬層,對(duì)于其它的金屬雜質(zhì)不能去除,導(dǎo)致出現(xiàn)金屬殘留的問題,影響產(chǎn)品的合格率。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的在于提供一種觸摸屏金屬圖形的制作方法,該方法能夠在制作金屬圖形時(shí)去除在鍍金屬時(shí)混入的金屬雜質(zhì),避免出現(xiàn)金屬殘留的問題,提高產(chǎn)品的合格率。
[0004]本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:
一種觸摸屏金屬圖形的制作方法,包含以下步驟:
a)清洗已做好ITO圖形的玻璃板,去除玻璃板表面的污物;
b)涂膠,在ITO的上表面涂布光刻膠層,光刻膠層呈倒梯形狀;
c)預(yù)固化,對(duì)光刻膠層進(jìn)行加熱預(yù)固化處理;
d)曝光,采用UV光源通過光罩使光罩上的圖形轉(zhuǎn)移至光刻膠層;
e)顯影,采用顯影液對(duì)曝光后的光刻膠層進(jìn)行顯影,將光罩圖形保留下來;
f)鍍金屬,采用真空磁控濺射方式在玻璃板、ITO與光刻膠層上濺鍍金屬層;
g)脫膜,采用脫膜液對(duì)光刻膠層進(jìn)行溶解,去除光刻膠層上的金屬,得到需要的金屬圖形。
[0005]本發(fā)明的有益效果是,改變傳統(tǒng)的對(duì)金屬圖形的制作步驟,采用先涂膠、后鍍金屬的方式,由于光刻膠層呈倒梯形,使得濺鍍完金屬層后在光刻膠層的邊沿留出脫膜空間,采用脫膜液對(duì)光刻膠層進(jìn)行溶解的方式去除光刻膠層上的金屬,即使在鍍金屬時(shí)混入了金屬雜質(zhì),也能夠隨著光刻膠的溶解被一齊去除,不會(huì)殘留在ITO上,從而提高了產(chǎn)品的合格率,同時(shí)省去了蝕刻步驟,簡化了制作工藝。
【附圖說明】
[0006]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步說明:
圖1是本發(fā)明的示意圖;
圖2是本發(fā)明的脫膜步驟示意圖;
圖3是本發(fā)明的制作結(jié)果示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0007]如圖1所示,本發(fā)明提供一種觸摸屏金屬圖形的制作方法,包含以下步驟:
a)清洗干凈已做好IT02圖形的玻璃板1,可采用轉(zhuǎn)動(dòng)毛刷刷洗、清洗液沖洗、純水洗滌等常用的清洗方式去除玻璃板I表面的污物;
b)涂膠,在IT02的上表面涂布光刻膠層3,光刻膠層3呈倒梯形狀,可以根據(jù)具體需要通過輥涂裝置涂布正性光刻膠或是負(fù)性光刻膠;
c)預(yù)固化,對(duì)光刻膠層3進(jìn)行加熱預(yù)固化處理,加熱溫度100°C,加熱時(shí)間lmin,通過加熱的方式將光刻膠層3中的溶劑大部分揮發(fā)掉從而提高顯影的可控性,預(yù)固化的溫度與時(shí)間可采用目前對(duì)光刻膠預(yù)固化的傳統(tǒng)工藝方式;
d)曝光,采用UV光源通過光罩使光罩上的圖形轉(zhuǎn)移至光刻膠層3;
e)顯影,采用顯影液對(duì)曝光后的光刻膠層3進(jìn)行顯影,將光罩圖形保留下來;
f)鍍金屬,采用真空磁控濺射方式在玻璃板1、IT02與光刻膠層3上濺鍍MoAIMo金屬,從而形成附著在光刻膠層3上的金屬層4a以及附著在玻璃板I與IT02上的金屬層4b,所述金屬層的厚度小于光刻膠層,鍍金屬過程采用目前傳統(tǒng)的濺鍍工藝即可;
g)脫膜,結(jié)合圖2所示,采用脫膜液對(duì)光刻膠層3進(jìn)行溶解,去除光刻膠層3上的MoAlMo金屬(即金屬層4a),脫膜液可采用常用的二甲基乙酰胺與二甘醇丁醚構(gòu)成的混合溶液,結(jié)合圖3所示,得到需要的MoAIMo金屬圖形(即金屬層4b)。
[0008]改變傳統(tǒng)的對(duì)金屬圖形的制作步驟,采用先涂膠、后鍍金屬的方式,由于光刻膠層呈倒梯形,使得濺鍍完MoAIMo金屬層后在光刻膠層的邊沿留出脫膜空間,采用脫膜液對(duì)光刻膠層進(jìn)行溶解的方式去除光刻膠層上的MoAIMo金屬,即使在鍍金屬時(shí)混入了金屬雜質(zhì),也能夠隨著光刻膠的溶解被一齊去除,不會(huì)殘留在ITO上,從而提高了產(chǎn)品的合格率,同時(shí)省去了蝕刻步驟,簡化了制作工藝。
[0009]以上所述,僅是本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已,并非對(duì)本發(fā)明作任何形式上的限制;任何熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員,在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍情況下,都可利用上述揭示的方法和技術(shù)內(nèi)容對(duì)本發(fā)明技術(shù)方案做出許多可能的變動(dòng)和修飾,或修改為等同變化的等效實(shí)施例。因此,凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容,依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所做的任何簡單修改、等同替換、等效變化及修飾,均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案保護(hù)的范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種觸摸屏金屬圖形的制作方法,其特征在于,所述方法包含以下步驟: a)清洗已做好ITO圖形的玻璃板(I),去除玻璃板(I)表面的污物; b)涂膠,在IT0(2)的上表面涂布光刻膠層(3),光刻膠層(3)呈倒梯形狀; c)預(yù)固化,對(duì)光刻膠層(3)進(jìn)行加熱預(yù)固化處理; d)曝光,采用UV光源通過光罩使光罩上的圖形轉(zhuǎn)移至光刻膠層(3); e)顯影,采用顯影液對(duì)曝光后的光刻膠層(3)進(jìn)行顯影,將光罩圖形保留下來; f)鍍金屬,采用真空磁控濺射方式在玻璃板(1)、IT0(2)與光刻膠層(3)上濺鍍金屬層; g)脫膜,采用脫膜液對(duì)光刻膠層⑶進(jìn)行溶解,去除光刻膠層⑶上的金屬,得到需要的金屬圖形。
【專利摘要】本發(fā)明公開一種觸摸屏金屬圖形的制作方法,包含以下步驟:a)清洗干凈已做好ITO圖形的玻璃板;b)涂膠,在ITO上表面涂布光刻膠層,光刻膠層呈倒梯形狀;c)預(yù)固化;d)曝光;e)顯影;f)鍍金屬,采用真空磁控濺射方式在玻璃板、ITO與光刻膠層上濺鍍金屬層;g)脫膜,采用脫膜液對(duì)光刻膠層進(jìn)行溶解,去除光刻膠層上的金屬,得到需要的金屬圖形;改變傳統(tǒng)的對(duì)金屬圖形的制作步驟,采用先涂膠、后鍍金屬的方式,由于光刻膠層呈倒梯形,使得濺鍍完金屬層后在光刻膠層的邊沿留出脫膜空間,采用脫膜液對(duì)光刻膠層進(jìn)行溶解的方式去除光刻膠層上的金屬,能夠?qū)⒔饘匐s質(zhì)一同去除,不會(huì)殘留在ITO上,從而提高了產(chǎn)品的合格率,同時(shí)省去了蝕刻步驟,簡化了制作工藝。
【IPC分類】G06F3-041
【公開號(hào)】CN104635994
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510114900
【發(fā)明人】彭壽, 茆令文, 鮑兆臣, 張少波, 曹緒文, 蔡豐豪
【申請(qǐng)人】蚌埠玻璃工業(yè)設(shè)計(jì)研究院, 安徽方興科技股份有限公司
【公開日】2015年5月20日
【申請(qǐng)日】2015年3月17日
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