技術(shù)領(lǐng)域

示例性實(shí)施例涉及一種觸摸面板以及制造該觸摸面板的方法。

背景技術(shù)：

傳統(tǒng)觸摸面板可以通過(guò)筆或用戶的手指識(shí)別觸摸來(lái)作為向顯示裝置輸入信號(hào)的方式。觸摸面板可以設(shè)置在諸如有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)顯示器、液晶顯示器(LCD)等的顯示面板上。典型的觸摸面板可以包括基底和設(shè)置在基底上以檢測(cè)觸摸的觸摸傳感器單元。電容器式觸摸傳感器單元可以基于輸入對(duì)象(例如，手寫(xiě)筆、手指等)的存在通過(guò)感測(cè)在彼此交叉的第一信號(hào)線和第二信號(hào)線之間產(chǎn)生的電容上的變化來(lái)檢測(cè)觸摸。

在該背景技術(shù)部分中公開(kāi)的上述信息僅用于增強(qiáng)對(duì)本發(fā)明構(gòu)思的背景的理解，因此，它可能包含不形成對(duì)本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講在該國(guó)家已經(jīng)知曉的現(xiàn)有技術(shù)的信息。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

一個(gè)或更多個(gè)示例性實(shí)施例提供了一種包括具有限制的或抑制的視覺(jué)識(shí)別的觸摸傳感器單元的觸摸面板。

一個(gè)或更多個(gè)示例性實(shí)施例提供了一種制造包括具有限制的或抑制的視覺(jué)識(shí)別的觸摸傳感器單元的觸摸面板的方法。

另外的方面將在隨后的詳細(xì)描述中進(jìn)行闡述，并且部分地將通過(guò)本公開(kāi)而明顯，或者可通過(guò)發(fā)明構(gòu)思的實(shí)踐而獲知。

根據(jù)一個(gè)或更多個(gè)示例性實(shí)施例，觸摸面板包括基底、第一信號(hào)線和第二信號(hào)線。第一信號(hào)線在第一方向上在基底上延伸并且包括自基底的第一高度。第二信號(hào)線在與第一方向交叉的第二方向上在基底上延伸并且包括自基底的第二高度。第二信號(hào)線與第一信號(hào)線設(shè)置在同一層中。第二高度比第一高度大。

根據(jù)一個(gè)或更多個(gè)示例性實(shí)施例，制造觸摸面板的方法包括：在基底上形成第一信號(hào)線，第一信號(hào)線在第一方向上延伸；在基底上形成第一絕緣層，第一絕緣層覆蓋第一信號(hào)線并包括在與第一方向交叉的第二方向上延伸的開(kāi)口；在開(kāi)口中形成第二信號(hào)線，第二信號(hào)線在第二方向上延伸。第一信號(hào)線自基底的第一高度比第二信號(hào)線自基底的第二高度小。

根據(jù)一個(gè)或更多個(gè)示例性實(shí)施例，第一信號(hào)線和第二信號(hào)線的相應(yīng)的高度使入射光能夠從第一信號(hào)線和第二信號(hào)線反射，但因?yàn)殡x開(kāi)第一信號(hào)線和第二信號(hào)線的反射光的路徑是基本上相似的，所以第一信號(hào)線和第二信號(hào)線對(duì)觀察者來(lái)說(shuō)不容易看見(jiàn)。

前述的一般描述和下面的詳細(xì)描述是示例性和解釋性的，并意圖提供要求保護(hù)的主題的進(jìn)一步的說(shuō)明。

附圖說(shuō)明

包括附圖以提供對(duì)發(fā)明構(gòu)思的進(jìn)一步理解，附圖包括在本說(shuō)明書(shū)中并構(gòu)成本說(shuō)明書(shū)的一部分，附圖示出了發(fā)明構(gòu)思的示例性實(shí)施例，并與描述一起用于解釋發(fā)明構(gòu)思的原理。

圖1是根據(jù)一個(gè)或更多個(gè)示例性實(shí)施例的觸摸面板的平面圖。

圖2是根據(jù)一個(gè)或更多個(gè)示例性實(shí)施例的圖1的觸摸面板的部分“A”的平面圖。

圖3是根據(jù)一個(gè)或更多個(gè)示例性實(shí)施例的沿剖面線III-III截取的圖2的觸摸面板的剖視圖。

圖4是根據(jù)一個(gè)或更多個(gè)示例性實(shí)施例的用于制造觸摸面板的工藝的流程圖。

圖5、圖6、圖7、圖8和圖9是根據(jù)一個(gè)或更多個(gè)示例性實(shí)施例的處于制造的各個(gè)階段的觸摸面板的相應(yīng)的剖視圖。

具體實(shí)施方式

在下面的描述中，為了解釋的目的，闡述了許多具體細(xì)節(jié)，以提供對(duì)各個(gè)示例性實(shí)施例的徹底理解。然而，明顯的是，可以在沒(méi)有這些具體細(xì)節(jié)或具有一個(gè)或更多個(gè)等同布置的情況下實(shí)施各個(gè)示例性實(shí)施例。在其它情況下，以框圖的形式示出了公知的結(jié)構(gòu)和裝置以避免使各個(gè)示例實(shí)施例不必要地模糊。

在附圖中，為了清晰和描述的目的，可夸大層、膜、面板、區(qū)域等的尺寸和相對(duì)尺寸。另外，同樣的附圖標(biāo)記表示同樣的元件。

當(dāng)元件或?qū)颖环Q(chēng)作“在”另一元件或?qū)印吧稀薄ⅰ斑B接到”或“結(jié)合到”另一元件或?qū)訒r(shí)，該元件或?qū)涌芍苯釉谠摿硪辉驅(qū)由稀⒅苯舆B接到或直接結(jié)合到該另一元件或?qū)?，或者可以存在中間元件或中間層。然而，當(dāng)元件或?qū)颖环Q(chēng)作“直接在”另一元件或?qū)印吧稀?、“直接連接到”或“直接結(jié)合到”另一元件或?qū)訒r(shí)，不存在中間元件或中間層。為了本公開(kāi)的目的，“X、Y和Z中的至少一個(gè)(種、者)”以及“由X、Y和Z組成的組中選擇的至少一個(gè)(種、者)”可被解釋為只有X、只有Y、只有Z、或者X、Y和Z中的兩個(gè)或更多個(gè)的任意組合，諸如以XYZ、XYY、YZ和ZZ為例。同樣的標(biāo)號(hào)始終表示同樣的元件。如這里所用的，術(shù)語(yǔ)“和/或”包括一個(gè)或更多個(gè)相關(guān)列出的項(xiàng)的任何和全部組合。

雖然在這里可使用術(shù)語(yǔ)第一、第二等來(lái)描述各種元件、組件、區(qū)域、層和/或部分，但是這些元件、組件、區(qū)域、層和/或部分不應(yīng)該受這些術(shù)語(yǔ)限制。這些術(shù)語(yǔ)用來(lái)將一個(gè)元件、組件、區(qū)域、層和/或部分與另一個(gè)元件、組件、區(qū)域、層和/或部分區(qū)分開(kāi)。因此，在不脫離本公開(kāi)的教導(dǎo)的情況下，下面討論的第一元件、組件、區(qū)域、層和/或部分可被稱(chēng)為第二元件、組件、區(qū)域、層和/或部分。

為了描述的目的，在這里可使用空間相對(duì)術(shù)語(yǔ)，諸如“在……之下”、“在……下方”、“下”、“在……之上”、“上”等，并由此來(lái)描述如附圖中所示的一個(gè)元件或特征與其它元件或特征的關(guān)系?？臻g相對(duì)術(shù)語(yǔ)意圖包括設(shè)備在使用、操作和/或制造中的除了附圖中繪出的方位之外的不同方位。例如，如果附圖中的設(shè)備被翻轉(zhuǎn)，則被描述為“在”其它元件或特征“下方”或“之下”的元件將隨后被定位為在所述其它元件或特征“之上”。因此，示例性術(shù)語(yǔ)“在……下方”可包含上方和下方這兩種方位。此外，設(shè)備可被另外定位(例如，旋轉(zhuǎn)90度或者在其它方位)，如此，相應(yīng)地解釋這里使用的空間相對(duì)描述符。

這里使用的術(shù)語(yǔ)是出于描述具體實(shí)施例的目的，并非意圖限制。如這里所使用的，除非上下文另外清楚地指出，否則單數(shù)形式的“一個(gè)(種/者)”和“該/所述”也意圖包括復(fù)數(shù)形式。此外，當(dāng)在本說(shuō)明書(shū)中使用術(shù)語(yǔ)“包含”、“包括”和/或它們的變形時(shí)，說(shuō)明存在陳述的特征、整體、步驟、操作、元件、組件和/或它們的組，但不排除存在或附加一個(gè)或更多個(gè)其它特征、整體、步驟、操作、元件、組件和/或它們的組。

這里參照作為理想化示例性實(shí)施例和/或中間結(jié)構(gòu)的示意圖的剖視圖來(lái)描述各個(gè)示例性實(shí)施例。如此，將預(yù)計(jì)由于例如制造技術(shù)和/或公差引起的示出的形狀的變化。因此，這里公開(kāi)的示例性實(shí)施例不應(yīng)被解釋為局限于具體示出的區(qū)域的形狀，而是將包括因例如制造引起的形狀的偏差。例如，示出為矩形的注入?yún)^(qū)域?qū)⑼ǔＴ谄溥吘壧幘哂袌A形的或彎曲的特征和/或注入濃度的梯度，而不是從注入?yún)^(qū)域到非注入?yún)^(qū)域的二元變化。同樣地，由注入形成的埋區(qū)域可導(dǎo)致在埋區(qū)域和通過(guò)其發(fā)生注入的表面之間的區(qū)域的一些注入。因此，附圖中所示的區(qū)域本質(zhì)上是示意性的，它們的形狀不意圖示出裝置的區(qū)域的實(shí)際形狀，并且不意圖是限制性的。

除非另有定義，否則這里使用的所有術(shù)語(yǔ)(包括技術(shù)術(shù)語(yǔ)和科技術(shù)語(yǔ))具有與本公開(kāi)是其一部分的領(lǐng)域的普通技術(shù)人員所通常理解的意思相同的意思。除非這里明確地如此定義，否則術(shù)語(yǔ)(諸如在通用字典中定義的術(shù)語(yǔ))應(yīng)該被解釋為具有與它們?cè)谙嚓P(guān)領(lǐng)域的上下文中的意思一致的意思，并且將不以理想化或者過(guò)于形式化的含義來(lái)解釋它們。

圖1是根據(jù)一個(gè)或更多個(gè)示例性實(shí)施例的觸摸面板的平面圖。盡管將對(duì)此具體實(shí)施方式作出特定的參考，但也想到的是，觸摸面板可以按照許多形式實(shí)現(xiàn)并且包括多個(gè)和/或可替代的組件。

如圖1中所示，觸摸面板被構(gòu)造為檢測(cè)觸摸(或懸停交互(hovering interaction))，并且包括基底SUB、布線部W和觸摸傳感器單元TS。觸摸面板可以包括觸摸控制器(未示出)，觸摸控制器可以形成為連接到布線部W的柔性印刷電路板(FPCB)或印刷電路板(PCB)。然而，能想到的是，可以結(jié)合這里描述的示例性實(shí)施例來(lái)利用觸摸控制器的任何其它合適的實(shí)施方式。觸摸控制器可以通過(guò)使用例如轉(zhuǎn)換器等使從觸摸面板傳輸?shù)哪M電信號(hào)數(shù)字化為數(shù)字信號(hào)來(lái)計(jì)算(或其它地，確定)關(guān)于用戶觸摸觸摸面板(或其它地，與觸摸面板交互)的信息。

基底SUB可以是柔性的，并且可以包括諸如以有機(jī)材料、無(wú)機(jī)材料、玻璃、金屬(諸如不銹鋼)等為例的任何合適的材料。盡管基底SUB可以被描述為柔性的，但不限于此，它可以是可伸縮的、可折疊的、可彎曲的或可卷曲的。假設(shè)基底SUB是柔性的、可伸縮的、可折疊的、可彎曲的或可卷曲的，則整個(gè)觸摸面板可以是柔性的、可伸縮的、可折疊的、可彎曲的或可卷曲的。

布線部W可以設(shè)置在基底SUB的外圍區(qū)域中，例如，設(shè)置在基底SUB的觸摸感測(cè)區(qū)域的外部。布線部W可以連接到觸摸傳感器單元TS。布線部W可以將觸摸傳感器單元TS結(jié)合到觸摸控制器，并且可以包括不透明導(dǎo)電材料(諸如金屬等)或者透明導(dǎo)電材料。布線部W可以使用與用于形成觸摸傳感器單元TS的工藝相同的工藝(或者不同的工藝)在基底SUB上形成。

觸摸傳感器單元TS是可以直接檢測(cè)觸摸的地方。整個(gè)觸摸傳感器單元TS可以透明地形成，然而，示例性實(shí)施例不限于此。觸摸傳感器單元TS設(shè)置在基底SUB上，并且可以形成為電容器式觸摸傳感器單元。觸摸傳感器單元TS在基底SUB上包括：第一信號(hào)線SL1，在第一方向(例如，x軸方向)上延伸以連接到布線部W；第二信號(hào)線SL2，在與第一方向交叉的第二方向(例如，y軸方向)上延伸以連接到布線部W。

如圖1中所見(jiàn)，存在多條第一信號(hào)線SL1，所述多條第一信號(hào)線SL1可以分別地且順序地在第二方向上布置，例如，在第二方向上彼此分隔開(kāi)。第一信號(hào)線SL1可以在第一方向上直地延伸，但它們不限于此，并且可以彎曲至少一次以在第一方向上延伸。也存在多條第二信號(hào)線SL2，所述多條第二信號(hào)線SL2可以分別地且順序地在第一方向上布置，例如，在第一方向上彼此分隔開(kāi)。第二信號(hào)線SL2在第二方向上直地延伸，但它們不限于此，并且可以彎曲至少一次以在第二方向上延伸。以這種方式，第一信號(hào)線SL1和第二信號(hào)線SL2彼此交叉，但彼此絕緣。第一信號(hào)線SL1和第二信號(hào)線SL2設(shè)置在被設(shè)置在基底SUB上的同一層上。

根據(jù)一個(gè)或更多個(gè)示例性實(shí)施例，當(dāng)向所述多條第一信號(hào)線SL1和所述多條第二信號(hào)線SL2施加電壓時(shí)，在每個(gè)第一信號(hào)線SL1和每個(gè)第二信號(hào)線SL2之間產(chǎn)生電容。以這種方式，當(dāng)觸摸傳感器單元TS檢測(cè)觸摸時(shí)，在檢測(cè)到觸摸的位置處電容改變以引起施加到第一信號(hào)線SL1或第二信號(hào)線SL2的電壓變化。為此，觸摸面板的觸摸傳感器單元TS可以基于電容的變化來(lái)檢測(cè)觸摸面板上發(fā)生觸摸的位置。

圖2是根據(jù)一個(gè)或更多個(gè)示例性實(shí)施例的圖1的觸摸面板的部分“A”的平面圖。圖3是根據(jù)一個(gè)或更多個(gè)示例性實(shí)施例的沿剖面線III-III截取的圖2的觸摸面板的剖視圖。

如圖2和圖3中所示，觸摸面板的觸摸傳感器單元TS包括第一信號(hào)線SL1、第一絕緣層IL1、第二信號(hào)線SL2和第二絕緣層IL2。

第一信號(hào)線SL1包括第一感測(cè)電極TP1和第一連接部CP1。存在多個(gè)第一感測(cè)電極TP1，所述多個(gè)第一感測(cè)電極TP1在第一方向上分別彼此間隔開(kāi)。所述多個(gè)第一感測(cè)電極TP1分別包括電極的金屬網(wǎng)圖案。由于第一感測(cè)電極TP1包括由金屬形成的金屬網(wǎng)，所以抑制經(jīng)由第一感測(cè)電極TP1傳輸?shù)男盘?hào)的延遲。然而，能想到的是，盡管第一感測(cè)電極TP1示出為包括金屬網(wǎng)圖案，但是示例性實(shí)施例不限于此。此外，第一感測(cè)電極TP1可以由諸如銀納米線(AgNW)、氧化鋁鋅(AZO)、氧化鎵鋅(GZO)、氧化銦錫(ITO)、氧化銦鋅(IZO)等的透明導(dǎo)電材料形成。還能想到的是，可以使用諸如以聚苯胺(PANI)、聚(3,4-乙撐二氧噻吩)聚(苯乙烯磺酸鹽)(PEDOT:PSS)等為例的一種或更多種導(dǎo)電聚合物(ICP)。

第一感測(cè)電極TP1具有自基底SUB的第一高度H1，例如，在可以與第一方向和第二方向正交的第三方向(例如，z軸方向)上測(cè)量的厚度尺寸。以這種方式，第一高度H1可以是從基底SUB的表面(例如，上表面)到第一感測(cè)電極TP1的表面(例如，上表面)的距離。

第一連接部CP1與所述多個(gè)第一感測(cè)電極TP1(例如，鄰近的(或相鄰的)第一感測(cè)電極TP1)中的每個(gè)互連。第一感測(cè)電極TP1和第一連接部CP1一體地形成，但示例性實(shí)施例不限于此。為此，第一感測(cè)電極TP1和第一連接部CP1可以由彼此相同或不同的材料形成。在第二連接部CP2與第一連接部CP1絕緣的同時(shí)，第一連接部CP1與第二連接部CP2交叉。

第一連接部CP1可以具有與第一感測(cè)電極TP1相同的自基底SUB的第一高度H1。以這種方式，第一高度H1可以是從基底SUB的表面(例如，上表面)到第一連接部CP1的表面(例如，上表面)的距離。當(dāng)?shù)谝桓袦y(cè)電極TP1和第一連接部CP1分別具有自基底SUB的第一高度H1時(shí)，第一信號(hào)線SL1具有自基底SUB的第一高度H1。如此，第一高度H1可以是從基底SUB的表面(例如，上表面)到第一信號(hào)線SL1的表面(例如，上表面)的距離。

第一絕緣層IL1覆蓋第一信號(hào)線SL1。即，第一絕緣層IL1設(shè)置在基底SUB上并覆蓋第一感測(cè)電極TP1和第一連接部CP1。第一絕緣層IL1包括其中設(shè)置有第二信號(hào)線SL2的開(kāi)口OP。第一絕緣層IL1可以包括無(wú)機(jī)材料和有機(jī)材料中至少一種材料，所述無(wú)機(jī)材料包括氮化硅和氧化硅等中的至少一種。第一絕緣層IL1中的開(kāi)口OP可以具有與第二信號(hào)線SL2相同的平面形狀。此外，開(kāi)口OP可以包括第一子開(kāi)口SOP1和第二子開(kāi)口SOP2。

第二信號(hào)線SL2的第二感測(cè)電極TP2設(shè)置在第一子開(kāi)口SOP1的內(nèi)部。存在多個(gè)第一子開(kāi)口SOP1，所述多個(gè)第一子開(kāi)口SOP1分別設(shè)置在第二子開(kāi)口SOP2周?chē)?。即，第二子開(kāi)口SOP2設(shè)置在第一子開(kāi)口SOP1之間并從第一子開(kāi)口SOP1延伸。以這種方式，第一子開(kāi)口SOP1和第二子開(kāi)口SOP2彼此間隔開(kāi)。第一子開(kāi)口SOP1可以比第二子開(kāi)口SOP2更深地形成在第一絕緣層IL1的表面(例如，上表面)中。

第二信號(hào)線SL2的第二連接部CP2設(shè)置在第二子開(kāi)口SOP2的內(nèi)部。以這種方式，第二子開(kāi)口SOP2與鄰近的(例如，相鄰的)第一子開(kāi)口SOP1互連。即，第二子開(kāi)口SOP2與第一子開(kāi)口SOP1連通，使得第二連接部CP2可以與鄰近的第二感測(cè)電極TP2互連。第二子開(kāi)口SOP2至少部分地與第一連接部CP1交叉，但與第一連接部CP1絕緣。第一絕緣層IL1設(shè)置在第二子開(kāi)口SOP2和第一連接部CP1之間。與第二子開(kāi)口SOP2交叉并與第二子開(kāi)口SOP2絕緣的第一連接部CP1可以自第一絕緣層IL1的表面(例如，上表面)至少部分地形成得比第一子開(kāi)口SOP1淺。也注意的是，第二子開(kāi)口SOP2的深度可以比第一子開(kāi)口SOP1的深度小。

如圖3中所見(jiàn)，第二信號(hào)線SL2與第一信號(hào)線SL1設(shè)置在位于基底SUB上方的同一層上。為此，第二信號(hào)線SL2包括第二感測(cè)電極TP2和第二連接部CP2。存在多個(gè)第二感測(cè)電極TP2，并且所述多個(gè)第二感測(cè)電極TP2在第二方向上分別彼此間隔開(kāi)。所述多個(gè)第二感測(cè)電極TP2分別包括電極的金屬網(wǎng)圖案。由于第二感測(cè)電極TP2包括由金屬形成的金屬網(wǎng)，所以抑制經(jīng)由第二感測(cè)電極TP2傳輸?shù)男盘?hào)的延遲。然而，注意的是，盡管第二感測(cè)電極TP2示出為包括金屬網(wǎng)圖案，但是示例性實(shí)施例不限于此。此外，第二感測(cè)電極TP2可以由諸如銀納米線(AgNW)、氧化鋁鋅(AZO)、氧化鎵鋅(GZO)、氧化銦錫(ITO)、氧化銦鋅(IZO)等的透明導(dǎo)電材料形成。也能想到的是，可以使用諸如以聚苯胺(PANI)、聚(3,4-乙撐二氧噻吩)聚(苯乙烯磺酸鹽)(PEDOT:PSS)等為例的一種或更多種導(dǎo)電聚合物(ICP)。

第二感測(cè)電極TP2設(shè)置在第一絕緣層IL1的第一子開(kāi)口SOP1的內(nèi)部，因此，第二感測(cè)電極TP2具有自基底SUB的比第一高度H1大的第二高度H2(例如，在第三方向上測(cè)量的厚度尺寸)。以這種方式，第二高度H2可以是從基底SUB的表面(例如，上表面)到第二感測(cè)電極TP2的表面(例如，上表面)的距離。

第二連接部CP2與所述多個(gè)第二感測(cè)電極TP2(例如，鄰近的(或相鄰的)第二感測(cè)電極TP2)互連。第二感測(cè)電極TP2和第二連接部CP2一體地形成，但示例性實(shí)施例不限于此。為此，第二感測(cè)電極TP2和第二連接部CP2可以由彼此相同或不同的材料形成。如先前所提到的，第二連接部CP2設(shè)置在第一絕緣層IL1的第二子開(kāi)口SOP2的內(nèi)部，因此，第二連接部CP2的上表面自基底SUB的距離(例如，第二高度H2)與第二感測(cè)電極TP2相同。以這種方式，第二高度H2可以是從基底SUB的表面(例如，上表面)到第二連接部CP2的表面(例如，上表面)的距離。

第二連接部CP2與第一連接部CP1交叉，但由于第二連接部CP2至少部分地設(shè)置在與第一連接部CP1疊置的第二子開(kāi)口SOP2的內(nèi)部且第一連接部CP1與第二子開(kāi)口SOP2之間設(shè)置有第一絕緣層IL1，所以第二連接部CP2與第一連接部CP1絕緣。在與第一連接部CP1分開(kāi)的同時(shí)與第一連接部CP1交叉的第二連接部CP2可以至少部分地具有比第二感測(cè)電極TP2小的厚度。如上所述，由于第二感測(cè)電極TP2和第二連接部CP2的上表面分別具有自基底SUB的第二高度H2，所以第二信號(hào)線SL2具有自基底SUB的第二高度H2。以這種方式，第二高度H2可以是從基底SUB的表面到第二信號(hào)線SL2的表面的距離。

根據(jù)一個(gè)或更多個(gè)示例性實(shí)施例，由于第二信號(hào)線SL2設(shè)置在第一絕緣層IL1的開(kāi)口OP的內(nèi)部，所以第二信號(hào)線SL2的表面可以設(shè)置在與第一絕緣層IL1的表面相同的平面上。即，第二信號(hào)線SL2和第一絕緣層IL1的上表面可以分別設(shè)置在同一虛線VL上，從而共面。為了使第二信號(hào)線SL2和第一絕緣層IL1的表面設(shè)置在同一條線上，第二信號(hào)線SL2和第一絕緣層IL1的表面可以被拋光(例如，預(yù)拋光)。

如圖3中所見(jiàn)，第二絕緣層IL2覆蓋第一絕緣層IL1。即，第二絕緣層IL2設(shè)置在基底SUB上并覆蓋第一絕緣層IL1和第二信號(hào)線SL2。第二絕緣層IL2可以包括無(wú)機(jī)材料和有機(jī)材料中的至少一種，所述無(wú)機(jī)材料包括氮化硅和氧化硅等中的至少一種。第二絕緣層IL2可以包括與第一絕緣層IL1相同的材料。

根據(jù)一個(gè)或更多個(gè)示例性實(shí)施例，由于第一信號(hào)線SL1和第二信號(hào)線SL2分別具有自基底SUB的第一高度H1和第二高度H2并且設(shè)置在位于基底SUB上方的同一層上，所以當(dāng)外部光照射到第一信號(hào)線SL1和第二信號(hào)線SL2中的每個(gè)并從第一信號(hào)線SL1和第二信號(hào)線SL2中的每個(gè)反射時(shí)，由于反射的光采取的路徑彼此未顯著地不同，所以抑制了第一信號(hào)線SL1和第二信號(hào)線SL2的可見(jiàn)性從外部被識(shí)別。另外，當(dāng)?shù)谝恍盘?hào)線SL1被第一絕緣層IL1覆蓋并且第二信號(hào)線SL2設(shè)置在第一絕緣層IL1的開(kāi)口OP的內(nèi)部以使第一絕緣層IL1的厚度最小化時(shí)，因?yàn)榈谝恍盘?hào)線SL1和第二信號(hào)線SL2分別具有基本上相似的厚度，所以可以使照射到第一信號(hào)線SL1和第二信號(hào)線SL2中的每個(gè)并從第一信號(hào)線SL1和第二信號(hào)線SL2中的每個(gè)反射的外部光所采取的路徑的差異最小化。如此，分別抑制第一信號(hào)線SL1和第二信號(hào)線SL2從外部被識(shí)別。即，提供了抑制第一信號(hào)線SL1和第二信號(hào)線SL2從外部被識(shí)別的觸摸面板。

此外，根據(jù)一個(gè)或更多個(gè)示例性實(shí)施例，由于作為第一信號(hào)線SL1的一部分被包括的第一感測(cè)電極TP1和第一連接部CP1一體地形成，并且作為第二信號(hào)線SL2的一部分被包括的第二感測(cè)電極TP2和第二連接部CP2一體地形成，所以使第一感測(cè)電極TP1和第一連接部CP1之間的接觸電阻以及第二感測(cè)電極TP2和第二連接部CP2之間的接觸電阻最小化。以這種方式，抑制了分別經(jīng)由第一信號(hào)線SL1和第二信號(hào)線SL2傳輸?shù)男盘?hào)的延誤。即，由于抑制了信號(hào)延誤，所以可以提供具有改善的觸摸靈敏度的包括觸摸傳感器單元TS的觸摸面板。

此外，根據(jù)一個(gè)或更多個(gè)示例性實(shí)施例，因?yàn)橛|摸傳感器單元TS的第一感測(cè)電極TP1和第二感測(cè)電極TP2均可以包括金屬網(wǎng)圖案，所以由于第一感測(cè)電極TP1和第二感測(cè)電極TP2兩者具有比諸如氧化銦錫(ITO)的非網(wǎng)透明導(dǎo)電氧化物低的電阻，所以可以抑制分別經(jīng)由第一信號(hào)線SL1和第二信號(hào)線SL2傳輸?shù)男盘?hào)的延誤。即，因?yàn)橐种屏朔謩e經(jīng)由第一信號(hào)線SL1和第二信號(hào)線SL2傳輸?shù)男盘?hào)的延誤，所以可以提供具有改善的觸摸靈敏度的包括觸摸傳感器單元TS的觸摸面板。也注意的是，網(wǎng)圖案能夠使基底SUB柔性地形成，并改善了整體的柔性。即，對(duì)于柔性顯示面板可以優(yōu)化柔性觸摸面板。

根據(jù)一個(gè)或更多個(gè)示例性實(shí)施例，第一感測(cè)電極TP1和第二感測(cè)電極TP2分別包括金屬網(wǎng)圖案，如此，即使當(dāng)觸摸面板彎曲時(shí)在觸摸面板中產(chǎn)生應(yīng)力，由于應(yīng)力可以遍及第一感測(cè)電極TP1和第二感測(cè)電極TP2中的每個(gè)分布，所以包括金屬網(wǎng)圖案的第一感測(cè)電極TP1和第二感測(cè)電極TP2也可以分別地并容易地被應(yīng)力彎曲。以這種方式，可以分別防止第一感測(cè)電極TP1和第二感測(cè)電極TP2被彎曲應(yīng)力損壞。即，可以提供防止被彎曲應(yīng)力損壞的觸摸面板。

現(xiàn)在將參照?qǐng)D4至圖9來(lái)描述根據(jù)一個(gè)或更多個(gè)示例性實(shí)施例的制造觸摸面板的方法。注意的是，可以使用圖4至圖9的方法來(lái)制造圖1至圖3的觸摸面板。

圖4是根據(jù)一個(gè)或更多個(gè)示例性實(shí)施例的用于制造觸摸面板的工藝的流程圖。圖5至圖9是根據(jù)一個(gè)或更多個(gè)示例性實(shí)施例的處于制造的各個(gè)階段的觸摸面板的相應(yīng)的剖視圖。

如圖4和圖5中所示，在基底SUB上形成第一信號(hào)線SL1(S100)。即，在基底SUB上形成緩沖層并在緩沖層上形成金屬層之后，使用諸如使用掩模的光刻工藝的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)對(duì)金屬層進(jìn)行圖案化，以形成包括第一感測(cè)電極TP1和第一連接部CP1的第一信號(hào)線SL1。第一感測(cè)電極TP1和第一連接部CP1在第一方向上延伸，在第二方向上彼此間隔開(kāi)，并且在與第一方向和第二方向正交的第三方向上具有自基底SUB的上表面的第一高度H1。

如圖4和圖6中所示，形成覆蓋第一信號(hào)線SL1并包括開(kāi)口OP的第一絕緣層IL1(S200)。即，在形成覆蓋第一信號(hào)線SL1的第一絕緣層IL1并在第一絕緣層IL1上形成光致抗蝕劑層之后，將光致抗蝕劑層曝光并顯影，從而形成光致抗蝕劑圖案PR。接著，通過(guò)使用光致抗蝕劑圖案PR作為掩模選擇性地蝕刻第一絕緣層IL1來(lái)在第一絕緣層IL1中形成包括第一子開(kāi)口SOP1和第二子開(kāi)口SOP2的開(kāi)口OP。以這種方式，形成了覆蓋第一信號(hào)線SL1并包括在與第一方向交叉的第二方向上延伸的開(kāi)口OP的第一絕緣層IL1。

根據(jù)圖4和圖7，在開(kāi)口OP內(nèi)部形成第二信號(hào)線SL2(S300)。即，在光致抗蝕劑圖案PR上形成金屬層ML。因?yàn)榻饘賹覯L被填充在開(kāi)口OP的第一子開(kāi)口SOP1和第二子開(kāi)口SOP2中的每個(gè)中，所以第二感測(cè)電極TP2和第二連接部CP2分別形成在開(kāi)口OP的第一子開(kāi)口SOP1和第二子開(kāi)口SOP2中的每個(gè)的內(nèi)部。以這種方式，形成了第二信號(hào)線SL2。隨后，通過(guò)去除設(shè)置在光致抗蝕劑圖案上的金屬層ML，然后從第一絕緣層IL1灰化或剝離光致抗蝕劑圖案PR，可以去除設(shè)置在第二信號(hào)線SL2上的金屬材料。

如圖4和圖8中所示，對(duì)第二信號(hào)線SL2的表面和第一絕緣層IL1的表面進(jìn)行拋光(S400)。例如，使用利用蝕刻劑的化學(xué)拋光方法或者利用磨料的物理拋光方法來(lái)對(duì)第二信號(hào)線SL2的表面和第一絕緣層IL1的表面進(jìn)行拋光。因?yàn)榈诙盘?hào)線SL2和第一絕緣層IL1的表面被拋光，所以第二信號(hào)線SL2和第一絕緣層IL1的表面形成在同一虛線VL上(例如，第二信號(hào)線SL2和第一絕緣層IL1的表面彼此共面)。因此，在第二方向上在基底SUB上延伸并且可以具有自基底SUB的比第一高度H1大的第二高度H2的第二信號(hào)線SL2形成在開(kāi)口OP的內(nèi)部。

根據(jù)圖4和圖9，形成覆蓋第一絕緣層IL1的第二絕緣層IL2(S500)。即，在第一絕緣層IL1上形成包括與第一絕緣層IL1相同的或相似的材料的第二絕緣層IL2，使得形成覆蓋第一絕緣層IL1的第二絕緣層IL2。注意的是，可以分別對(duì)位于基底SUB的外圍處的第一絕緣層IL1和第二絕緣層IL2進(jìn)行蝕刻以形成外圍開(kāi)口。如此，連接到形成為例如柔性印刷電路板(FPCB)或印刷電路板(PCB)的觸摸控制器的布線部W可以經(jīng)由外圍開(kāi)口而連接到第一信號(hào)線SL1和第二信號(hào)線SL2中的每條信號(hào)線。

根據(jù)一個(gè)或更多個(gè)示例性實(shí)施例，形成了第一信號(hào)線SL1和第二信號(hào)線SL2，使得它們分別具有自基底SUB的第一高度H1和第二高度H2并且設(shè)置在位于基底SUB上方的同一層上。以這種方式，當(dāng)外部光照射到第一信號(hào)線SL1和第二信號(hào)線SL2中的每條信號(hào)線，然后被第一信號(hào)線SL1和第二信號(hào)線SL2中的每條信號(hào)線反射時(shí)，反射的光所采取的路徑彼此沒(méi)有多少不同。如此，所述方法能夠使抑制第一信號(hào)線SL1和第二信號(hào)線SL2從外部被識(shí)別的觸摸面板形成。

雖然這里已經(jīng)描述了特定示例性實(shí)施例和實(shí)施方式，然而其它實(shí)施例和修改將通過(guò)此描述而明顯。因此，發(fā)明構(gòu)思不限于這樣的實(shí)施例，而是所呈現(xiàn)的權(quán)利要求以及各種明顯修改和等同布置的更寬范圍。