觸控屏及其制造方法
【專利摘要】一種觸控屏，其包括一個基板及形成于所述基板上的一層氧化銦錫膜，所述氧化銦錫膜形成呈矩陣排列的多個驅(qū)動電極及多個感應(yīng)電極，所述多個驅(qū)動電極與所述多個感應(yīng)電極間隔設(shè)置，沿第一方向排列的同一列驅(qū)動電極之間相互電性連接，沿與所述第一方向交叉的第二方向排列的同一列感應(yīng)電極之間電性連接，沿所述第二方向排列的每相鄰的兩個感應(yīng)電極上形成有一個能夠部分覆蓋所述兩個感應(yīng)電極的一個絕緣層，所述絕緣層上形成有兩個通孔，且兩個通孔分別對應(yīng)設(shè)置在一個感應(yīng)電極上，每個絕緣層上形成一個導電層，所述導電層連通所述兩個通孔以電性連接所述兩個感應(yīng)電極。本發(fā)明還提供一種觸控屏的制造方法。
【專利說明】觸控屏及其制造方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種觸控屏，特別涉及一種具有單層氧化銦錫膜的觸控屏及其制造方 法。

【背景技術(shù)】
[0002] 觸控屏的應(yīng)用非常廣泛，而具有單層氧化銦錫（single indium tin oxide, SIT0) 結(jié)構(gòu)的觸控屏因其厚度薄、制造成本較低，具有更廣闊的應(yīng)用前景。SITO觸控屏通常包括一 個基板、形成于基板上的氧化銦錫膜，所述氧化銦錫膜經(jīng)由蝕刻等方法形成大致呈矩陣排 列的多個感應(yīng)電極和多個驅(qū)動電極。多個感應(yīng)電極和多個驅(qū)動電極間隔設(shè)置。在第一方向 上同一列的多個驅(qū)動電極之間電性連接。多個感應(yīng)電極之間是絕緣的，為了在與第一方向 交叉的第二方向上使得同一列的多個感應(yīng)電極之間電性連接，通常的做法是在相鄰的兩個 感應(yīng)電極上形成一個絕緣層，然后在所述絕緣層形成一個導電層以電性連接沿第二方向排 列的同一列的相鄰的兩個感應(yīng)電極，從而在第二方向上使得多個感應(yīng)電極之間電性連接。
[0003] 然而，在絕緣層及感應(yīng)電極上形成導電層時，由于絕緣層和感應(yīng)電極的材質(zhì)不同， 形成導電層的導電材料與絕緣層和感應(yīng)電極之間的親和性不同，導致導電層的厚度及大小 難以控制，不同的導電層的導電性能不同，從而影響觸控屏的性能。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004] 鑒于上述狀況，有必要提供一種不同導電層具有相同導電性能的觸控屏及其制造 方法。
[0005] -種觸控屏，其包括一個基板及形成于所述基板上的一層氧化銦錫膜，所述氧化 銦錫膜形成呈矩陣排列的多個驅(qū)動電極及多個感應(yīng)電極，所述多個驅(qū)動電極與所述多個感 應(yīng)電極間隔設(shè)置，沿第一方向排列的同一列驅(qū)動電極之間相互電性連接，沿與所述第一方 向交叉的第二方向排列的同一列感應(yīng)電極之間電性連接，沿所述第二方向排列的每相鄰的 兩個感應(yīng)電極上形成有一個能夠部分覆蓋所述兩個感應(yīng)電極的一個絕緣層，所述絕緣層上 形成有兩個通孔，且兩個通孔分別對應(yīng)設(shè)置在一個感應(yīng)電極上，每個絕緣層上形成一個導 電層，所述導電層連通所述兩個通孔以電性連接所述兩個感應(yīng)電極。
[0006] -種觸控屏，其包括一個基板及形成于所述基板上的一層氧化銦錫膜，所述氧化 銦錫膜形成呈矩陣排列的多個驅(qū)動電極及多個感應(yīng)電極，所述多個驅(qū)動電極與所述多個感 應(yīng)電極間隔設(shè)置，沿第一方向排列的同一列驅(qū)動電極之間相互電性連接，沿與所述第一方 向交叉的第二方向排列的同一列感應(yīng)電極之間電性連接，所述氧化銦錫膜上形成一個覆蓋 所述驅(qū)動電極及所述感應(yīng)電極的絕緣層，所述絕緣層上沿所述第二方向排列的每個感應(yīng)電 極上設(shè)置兩個通孔，所述絕緣層上形成有多個導電層，每個導電層填充相鄰的兩個感應(yīng)電 極的兩個相鄰的通孔以電性連接沿所述第二方向排列的相鄰的兩個感應(yīng)電極。
[0007] -種觸控屏的制造方法，其包括以下步驟：在基板上形成一層氧化銦錫膜；蝕刻 氧化銦錫膜以形成呈矩陣排列的多個驅(qū)動電極及多個感應(yīng)電極，多個驅(qū)動電極與多個感應(yīng) 電極間隔設(shè)置，沿第一方向排列的同一列驅(qū)動電極之間相互電性連接，沿與所述第一方向 交叉的第二方向排列的同一列感應(yīng)電極之間電性連接；在氧化銦錫膜上形成多個帶有兩 個通孔的絕緣層，每個絕緣層至少部分覆蓋沿第二方向排列的同一列的相鄰的兩個感應(yīng)電 極，且每個通孔對應(yīng)設(shè)置在一個感應(yīng)電極上；及在每個絕緣層上形成一個填充所述絕緣層 的兩個通孔的導電層以電性連接所述相鄰的兩個感應(yīng)電極。
[0008] 本發(fā)明的觸控屏的絕緣層上開設(shè)有通孔，導電層填充通孔以電性連接兩個相鄰的 感應(yīng)電極。由于通孔的形狀及大小一致性好，而導電層僅需要形成于絕緣層上及填充于絕 緣層上開設(shè)的通孔內(nèi)，導電層的厚度及形狀可以精確控制，因此，導電層的厚度及形狀的一 致性好，從而使得不同的導電層的導電性相同，以提升觸控屏的性能。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0009] 圖1是本發(fā)明實施例一的觸控屏的立體示意圖。
[0010] 圖2-圖4是圖1所示觸控屏的制造過程示意圖，其中，圖4為圖1所示觸控屏沿 II處的放大示意圖。
[0011] 圖5是圖1所示觸控屏的制造方法流程圖。
[0012] 圖6是本發(fā)明實施例二的觸控屏的局部放大示意圖。
[0013] 主要元件符號說明

【權(quán)利要求】
1. 一種觸控屏，其包括一個基板及形成于所述基板上的一層氧化銦錫膜，所述氧化銦 錫膜形成呈矩陣排列的多個驅(qū)動電極及多個感應(yīng)電極，所述多個驅(qū)動電極與所述多個感應(yīng) 電極間隔設(shè)置，沿第一方向排列的同一列驅(qū)動電極之間相互電性連接，沿與所述第一方向 交叉的第二方向排列的同一列感應(yīng)電極之間電性連接，其特征在于：沿所述第二方向排列 的每相鄰的兩個感應(yīng)電極上形成有一個能夠部分覆蓋所述兩個感應(yīng)電極的一個絕緣層，所 述絕緣層上形成有兩個通孔，且兩個通孔分別對應(yīng)設(shè)置在一個感應(yīng)電極上，每個絕緣層上 形成一個導電層，所述導電層連通所述兩個通孔以電性連接所述兩個感應(yīng)電極。
2. 如權(quán)利要求1所述的觸控屏，其特征在于：所述絕緣層覆蓋每個所述兩個感應(yīng)電極 的一角，所述兩個通孔分別對應(yīng)形成在一個感應(yīng)電極的一角。
3. -種觸控屏，其包括一個基板及形成于所述基板上的一層氧化銦錫膜，所述氧化銦 錫膜形成呈矩陣排列的多個驅(qū)動電極及多個感應(yīng)電極，所述多個驅(qū)動電極與所述多個感應(yīng) 電極間隔設(shè)置，沿第一方向排列的同一列驅(qū)動電極之間相互電性連接，沿與所述第一方向 交叉的第二方向排列的同一列感應(yīng)電極之間電性連接，其特征在于：所述氧化銦錫膜上形 成一個覆蓋所述驅(qū)動電極及所述感應(yīng)電極的絕緣層，所述絕緣層上沿所述第二方向排列的 每個感應(yīng)電極上設(shè)置兩個通孔，所述絕緣層上形成有多個導電層，每個導電層填充相鄰的 兩個感應(yīng)電極的兩個相鄰的通孔以電性連接沿所述第二方向排列的相鄰的兩個感應(yīng)電極。
4. 如權(quán)利要求1或3所述的觸控屏，其特征在于：所述絕緣層由熱固型或UV型透明有 機材料制成。
5. 如權(quán)利要求1或3所述的觸控屏，其特征在于：所述導電層由石墨烯、納米銀絲、納 米碳管或?qū)щ姼叻肿有纬伞?br> 6. -種觸控屏的制造方法，其包括以下步驟： 在基板上形成一層氧化銦錫膜； 蝕刻氧化銦錫膜以形成呈矩陣排列的多個驅(qū)動電極及多個感應(yīng)電極，多個驅(qū)動電極與 多個感應(yīng)電極間隔設(shè)置，沿第一方向排列的同一列驅(qū)動電極之間相互電性連接，沿與所述 第一方向交叉的第二方向排列的同一列感應(yīng)電極之間電性連接； 在氧化銦錫膜上形成多個帶有兩個通孔的絕緣層，每個絕緣層至少部分覆蓋沿第二方 向排列的同一列的相鄰的兩個感應(yīng)電極，且每個通孔對應(yīng)設(shè)置在一個感應(yīng)電極上；及 在每個絕緣層上形成一個填充所述絕緣層的兩個通孔的導電層以電性連接所述相鄰 的兩個感應(yīng)電極。
7. 如權(quán)利要求6所述的觸控屏的制造方法，其特征在于：所述絕緣層及所述導電層經(jīng) 由噴墨列印方法形成。
8. 如權(quán)利要求6所述的觸控屏的制造方法，其特征在于：所述通孔的直徑為 50-150 μ m。
9. 如權(quán)利要求6所述的觸控屏的制造方法，其特征在于：所述導電層的厚度為 0. 1-1 μ m，所述導電層的寬度等于或大于所述通孔的直徑。
10. 如權(quán)利要求6所述的觸控屏的制造方法，其特征在于：所述導電層由石墨烯、納米 銀絲、納米碳管或?qū)щ姼叻肿有纬伞?br> 【文檔編號】G06F3/041GK104156098SQ201310176756
【公開日】2014年11月19日 申請日期:2013年5月14日 優(yōu)先權(quán)日:2013年5月14日
【發(fā)明者】吳景揚, 趙天行, 宋斯偉, 陳秋棋, 羅文凱 申請人:鴻富錦精密工業(yè)（深圳）有限公司, 鴻海精密工業(yè)股份有限公司