用于壓敏指紋傳感器的薄膜層壓體的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種能夠提供準確地識別指紋的凸脊和凹谷的壓力分布，從而可以清晰地識別所述指紋形狀的用于壓敏指紋傳感器的薄膜層壓體。一種用于壓敏指紋傳感器的薄膜層壓體，包括具有第一表面和第二表面的基膜，利用干法成膜工藝在所述第一表面形成的導電層，及在所述第二表面（也即與所述基膜的第一表面相對的側(cè)面）上提供的彈性層A薄膜層壓體，其特征在于所述基膜的厚度為6μm或更小，且所述彈性層的厚度不小于所述基膜的厚度且彈性為108Pa或以下。
【專利說明】用于壓敏指紋傳感器的薄膜層壓體
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及用于壓敏指紋傳感器的薄膜層壓體以及采用該薄膜層壓體的壓敏指紋傳感器。
【背景技術(shù)】
[0002]一種已知類型的指紋傳感器是壓敏指紋傳感器，其通過檢測按壓指尖時指紋的凸脊和凹谷導致的壓力分布以識別指紋形狀。例如，日本未審專利申請公開N0.H6-288845和日本未審專利申請公開N0.H6-288846中描述的半導體矩陣型超細表面壓力分布傳感器和矩陣型表面壓力分布檢測元件均公知。此外，日本未審專利申請公開N0.2002-228410披露了一種具備導電膜的柔性薄膜制備的指紋檢測部件，所述部件安裝在覆蓋單層粉末涂料的具有矩陣電極的基片上，該單層粉末涂料的形成方式為在所述柔性薄膜上的導電膜的對側(cè)將粉末顆粒完全覆蓋并固定成單顆粒層。
[0003]為了實現(xiàn)準確的指紋圖案識別，需要一種壓敏指紋傳感器以能夠獲取對應于指紋的凸脊和凹谷的準確的壓力分布，從而能夠精確地識別指紋形狀。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的一個方面為用于壓敏指紋傳感器的薄膜層壓體，其包括具有第一表面和第二表面的基膜以及在所述第一表面上用干法成膜工藝形成的導電層和設(shè)于所述第二表面(位于所述基膜的第一表面的對側(cè))上的彈性層，其中所述基膜的厚度為6μπι或更小，所述彈性層的厚度不小于所述基膜厚度，且彈性為IO8Pa或更小。
[0005]在一個實施例中，壓敏指紋傳感器的薄膜層壓體還可包括位于所述基膜對側(cè)的彈性層表面?zhèn)鹊母采w膜。
[0006]在一個實施例中，所述彈性層還可包括壓敏粘合劑。此外，所述基膜中可以含有聚苯硫醚。
[0007]本發(fā)明的另一個方面為一種壓敏指紋傳感器，包括具有矩陣電極的基片及用于接觸所述矩陣電極和所述導電層的置于所述基片上的壓敏指紋傳感器的薄膜層壓體。
[0008]本發(fā)明可以提供用于壓敏指紋傳感器的薄膜層壓體，所述薄膜層壓體可獲得對應于指紋的凸脊和凹谷的程度的準確壓力分布，從而可清楚地識別指紋的形狀，且制造成本不高，另外本發(fā)明可提供設(shè)有可清楚識別指紋形狀的所述薄膜層壓體的壓敏指紋傳感器。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0009]圖1示出了用于優(yōu)選實施例的壓敏指紋傳感器的薄膜層壓體的橫截面構(gòu)造。
[0010]圖2為示意圖，顯示了使用壓敏指紋傳感器100進行指紋識別的條件。
[0011]圖3a_3c分別是說明根據(jù)本發(fā)明的實例的設(shè)有膜I致3的壓敏指紋傳感器的指紋識別裝置的識別結(jié)果的圖示。
[0012]圖4a_4b分別是說明根據(jù)本發(fā)明的實例的設(shè)有膜4和5的壓敏指紋傳感器的指紋識別裝置的識別結(jié)果的圖示。
[0013]圖5a_5c分別是說明根據(jù)比較例的設(shè)有膜6至8的壓敏指紋傳感器的指紋識別裝置的識別結(jié)果的圖示。
【具體實施方式】
[0014]下面將參考附圖詳細說明本發(fā)明的優(yōu)選實施例，但是本發(fā)明不限于以下實施例。注意，在下面的說明中相同或類似的構(gòu)成要素被賦予相同的代碼且省略重復說明。
[0015]圖1為說明優(yōu)選實施例的壓敏指紋傳感器的薄膜層壓體的截面構(gòu)造的示意圖。圖1所示的用于壓敏指紋傳感器10的薄膜層壓體(以下簡稱“薄膜層壓體10”)具有由導電層8、基膜6、彈性層4和覆蓋膜2依次層壓的結(jié)構(gòu)。
[0016]所述薄膜層壓體10可以被設(shè)置在具有下述矩陣電極的基片上并用于壓敏指紋傳感器中。在這種情況下，所述薄膜層壓體10被構(gòu)造成使得所述導電層8面向基片側(cè)，并可由手指在覆蓋膜2側(cè)壓下。
[0017]所述基膜6具有相互面對的第一表面6a和第二表面6b。所述基膜6的厚度(從第一表面6a到第二表面6b的距離)為6 μ m或更小。如果所述基膜6的厚度為6 μ m或更小，當手指按壓所述薄膜層壓體10時，所述薄膜層壓體10將能夠變形以相配于所述彈性層4和所述覆蓋膜2沿著指紋的凸脊和凹谷產(chǎn)生的變形。因此，所述指紋的凸脊和凹谷導致的壓力分布可以準確地傳遞至導電層8側(cè)。為了得到更優(yōu)選的結(jié)果，所述基膜6的厚度優(yōu)選地為5 μ m或以下，更優(yōu)選地為2 μ m或以下。但是，如果所述基膜6太薄，則可能出現(xiàn)斷裂或類似情況，因此所述基膜6的厚度優(yōu)選地為I μ m或以上。
[0018]所述導電層8設(shè)于所述基膜6的第一表面6a上。所述導電層8采用干法成膜工藝在所述基膜6的第一表面6a上形成。在本發(fā)明中，所述干法成膜工藝指的是在氣體或真空中于物體表面上成膜，例如有汽相沉積法或濺射法等成膜工藝。
[0019]所述導電層具有一定厚度，在手指按壓薄膜層壓體10時該厚度的導電層能夠充分地與所述覆蓋膜2、所述彈性層4和所述基膜6的變形一起變形。所述導電層8采用干法成膜工藝在所述基膜6的第一表面6a上形成，因此如果采用常規(guī)干法成膜工藝條件形成，可以得到優(yōu)選的厚度。例如，所述導電層8的厚度優(yōu)選地充分薄于所述基膜，更優(yōu)選地為I至IOOnm,還更優(yōu)選地為10至50nm。
[0020]所述基膜6可由具備可通過干法成膜工藝來形成導電層8的性質(zhì)(耐熱性和強度)的材料制備，并且優(yōu)選地由具備這些性質(zhì)的樹脂制備。所述基膜6優(yōu)選地是用樹脂材料制備的樹脂膜，并且可以是由聚苯硫醚、聚酰胺、聚酯或類似材料制備的樹脂膜。在這些材料中，聚苯硫醚(PPS)甚至在厚度為6μπι或以下時也能表現(xiàn)出高的耐熱性和強度。因此，所述導電層8可以用干法成膜工藝形成，并且在用于所述薄膜層壓體10中時表現(xiàn)出高強度，因此聚苯硫醚為所述基膜6的優(yōu)選材料。
[0021]所述導電層8的材料可以用干法成膜工藝形成，且應能夠在所述導電層8形成后表現(xiàn)出導電性。所述導電層8的材料可以為具備導電性的氧化材料，如ITO或類似材料，或?qū)щ娦阅軆?yōu)良的金屬材料例如金。
[0022]所述彈性層4設(shè)置在所述基膜6的第二表面6b上。所述彈性層4的厚度至少大于所述基膜6的厚度。所述彈性層4的厚度優(yōu)選地為6至20 μ m，更優(yōu)選地為7至15 μ m。如果厚度處于優(yōu)選的程度，則所述基膜6可以被有利地支撐，且可以防止所述基膜6剝離和變形的傾向。此外，即便重復進行手指按壓和釋放，仍可完好地保持原來的形狀，從而存在壓敏指紋傳感器的耐用性將得以增強的趨勢。
[0023]所述彈性層4為彈性體。在本文中，所述彈性體指的是在被施加作用力后產(chǎn)生了變形時受到恢復力而恢復原狀的物體。所述彈性層4為彈性體，因此手指重復按壓和釋放所述覆蓋膜2側(cè)時，所述薄膜層壓體10可以重復變形并沿著指紋的凸脊和凹谷恢復到原來的形狀。
[0024]I另外，所述彈性層4的彈性為108Pa。如果所述彈性層4的彈性為IO8或以下，那么所述覆蓋膜2側(cè)的手指按壓所述薄膜層壓體10時，所述彈性層4將比指紋的凸脊和凹谷更容易發(fā)生形變。因此，手指按壓時指紋的凸脊和凹谷的壓扁程度將會最小，因而原指紋的凸脊和凹谷(在按壓前)可以容易地通過薄膜層壓體10的形狀沿著手指按下產(chǎn)生的指紋的凸脊和凹谷改變而反映出來。因此，如果將此薄膜層壓體10貼附于壓敏指紋傳感器，就可以進行準確的識別指紋。
[0025]為了更好地取得這些效果，所述彈性層4的彈性優(yōu)選地為5X107Pa或更小，且更優(yōu)選地為IO7Pa或更小。但是，如果所述彈性層4的彈性太小，則容易發(fā)生指紋按壓因素外的變形且可能難以進行準確的指紋識別。因此，所述彈性層4的彈性優(yōu)選地為IO3Pa或以下，更優(yōu)選地為IO4Pa或以下。
[0026]所述彈性層4的彈性例如可以通過測量只取所述彈性層4進行測量時的厚度變化以及在垂直于平面方向的方向上施加的負荷來測定。換言之，假定初始厚度為Ltl當單位面積施加的負荷K為L，則彈性的表達式為Κ/α-L/U)。注意(如下所述)，所述彈性層4無需為單一材質(zhì)，且可以為多種材料的層壓體。例如，如果所述彈性層4的層壓體具有使得彈性為E1, E2, E3, E4,...、厚度為X1, X2, X3, X4,...的材料1、2、3、4、...相比于所述彈性層4的總厚度(式中Xl+X2+X3+X4+…=1)的厚度比，則該彈性塊體的彈性E可以類似地使用上述方法測定。在這種情況下，彈性塊`體的彈性與每個部分的彈性(E1, E2, E3, E4...)之間的關(guān)系可以使用下式表示。
[0027]1/E=x1/E1+x2/E2+x3/E3+x4/E4+
[0028]所述彈性層4的材料使得彈性層4為彈性體且具有上述彈性。此外，優(yōu)選使用可以與所述基膜6和所述覆蓋膜2粘附的材料。所述彈性層4的材料優(yōu)選地為壓敏粘合劑(PSA)。例如，丙烯酸PSA、聚氨酯PSA、硅酮PSA、橡膠PSA及類似材料，但是其中以丙烯酸PSA為優(yōu)選。
[0029]所述覆蓋膜2設(shè)置在基膜對側(cè)的所述彈性層4的表面?zhèn)?。所述覆蓋膜2可以將手指接觸或類似情況對所述彈性層4的損壞降低到最小，因此存在增強薄膜層壓體10和設(shè)有該薄膜層壓體的所述壓敏指紋傳感器的耐用性的趨勢。再者，在所述彈性層4具有粘性的情況下，覆蓋膜可以實現(xiàn)在使用中無黏著感，另外，無粘性的蓋膜2可以防止雜質(zhì)的粘附和識別靈敏度的降低。
[0030]覆蓋膜2優(yōu)選地為具有足以傳遞所述彈性層4的指紋的凸脊和凹谷形狀的厚度，且可以在手指按壓時，沿著指紋的凸脊和凹谷發(fā)生形變。例如，所述覆蓋膜2的厚度優(yōu)選地至少比所述彈性層4薄,更優(yōu)選地是5至15 μ m,還更優(yōu)選地是6至12 μ m。
[0031]如上所述，對所述覆蓋膜2的材料并無特殊限制，只要能夠在按壓時沿著指紋的凸脊和凹谷發(fā)生形變即可。例如，可以建議使用塑性材料，但是更具體地說，可以建議使用聚酯或聚烯烴(如聚乙烯或聚丙烯)。
[0032]所述薄膜層壓體10可以通過將上述的各層適當?shù)貙訅憾瞥?。例如，所述薄膜層壓體10可以通過先制備所述基膜6，然后使用干法成膜工藝在表面上形成所述導電層8，并在所述表面上形成所述彈性層4的覆蓋膜2，然后將這些層疊合成使得所述基膜6與所述彈性層4接觸。
[0033]在其表面形成有導電層8的所述基膜6可以通過干式工藝(例如氣相沉積法、濺射法等等)在所述基膜6上形成導電層8而制成。此外，可以通過溶液涂層工藝在所述表面形成所述彈性層4和覆蓋膜2，所述溶液含有溶解在溶劑中的所述彈性層4的材料，該溶液被涂敷在所述覆蓋膜2的表面上，然后加以干燥。此外，所述薄膜層壓體10的制備方式為:層壓所述基膜6并在所述表面上形成導電層8及在所述表面上形成彈性層4和覆蓋膜2，然后使用層壓器或類似工具將這些膜壓合到一起。
[0034]但是，在本實施例中，所述基膜6的厚度為6 μ m或更小，但是如果所述基膜6具體用樹脂材料制備，則其厚度可比正常塑料膜薄很多。因此，將上述材料壓合到一起時，在所述表面上形成的導電層8和基膜6不可能具有足夠的剛性和強度，會難以處理，且所述膜可能在粘合期間斷裂。
[0035]因此,在本發(fā)明的一個優(yōu)選實施例中,在其表面上形成有導電層8的基膜6的導電層8上設(shè)置具有足夠強度的支持膜，如PET或類似材料，從而可以對層壓體進行前述的壓力粘合。因此，所述薄基膜6由支撐膜提供支持，且所述層壓體將都達到足夠的強度，因此，在進行壓力粘合時使用性能可以得到改善，并可以抑制所述基膜6斷裂或出現(xiàn)類似情況。進行壓力粘合后，剝離所述支撐膜后便可得到優(yōu)選實施例所使用的薄膜層壓體10。應注意到，所述支撐膜可以通過壓敏粘合劑層(如其之間的PSA)連接到所述導電層8，在這種情況下，所述支撐膜和所述壓敏粘合劑層可以在壓力粘合后剝離。
[0036]本發(fā)明的薄膜層壓體10具有上述構(gòu)造且使用上述制造方法形成，但是所述薄膜層壓體的構(gòu)造和制造方法不必限于這種實施方式。
[0037]換言之，在上述實施例中，所述彈性層4為使用一種材料形成的單層，但是所述彈性層4不必只有一層，且可以通過層疊多個不同材料或性質(zhì)的層組成。例如，所述彈性層4可以采用層狀構(gòu)造，其中用于粘結(jié)所述基膜6和覆蓋膜2的粘合劑層設(shè)置在用特定彈性體制備的層的兩側(cè)面。在這種情況下，多層組成的所述彈性層4的所有層均為彈性體，彈性為IO8Pa或以下，且滿足上述厚度條件。此外，在這種情況下，所述彈性的測量方法可適用于由多層構(gòu)成的彈性層4。
[0038]類似的，所述基膜6和所述覆蓋膜2無需為使用一種材料制造的單層，可以為多層形成的疊層。在這種情況下，由多個層制成的基膜6和覆蓋膜2可以具有優(yōu)選厚度或類似厚度作為其整體厚度。
[0039]此外，所述薄膜層壓體不必一定需要覆蓋膜。例如，如果所述彈性層4自身足夠耐用并且具有使得其使用觸摸感不差的特性，則所述薄膜層壓體即便在沒有覆蓋膜的條件下也能充分發(fā)揮作為壓敏指紋傳感器的功能。
[0040]此外，所述薄膜層壓體10可以使用除上述方法之外的方法制造得到。例如，所述薄膜層壓體10可以通過在具有通過干法成膜工藝形成的導電層8的所述基膜6上，或在由支撐膜支撐的層壓體的基膜6上連續(xù)層壓所述彈性層4和所述覆蓋膜2而形成。此外，可以先單獨形成用于所述彈性層4形成的膜，以及覆蓋所述具有所述導電層8 (或具有支撐膜的層壓體)的基膜6，形成所述彈性層4的膜和所述覆蓋膜，然后將這些層壓合到一起，從而制備所述薄膜層壓體10。
[0041]接著，描述用于壓敏指紋傳感器中的上述優(yōu)選實施例的薄膜層壓體10。圖2為示意圖，說明通過采用所述薄膜層壓體10的壓敏指紋傳感器100識別指紋的條件。在圖2中，上側(cè)示出了手指F按壓壓敏指紋傳感器100的條件，而下側(cè)示出了所述手指F與所述壓敏指紋傳感器100接觸部分的放大圖。
[0042]如圖2所示，所述壓敏指紋傳感器100設(shè)置在預定的指紋識別裝置200上。用手指F按壓所述壓敏指紋傳感器100，可以識別所述手指F的指紋圖案。
[0043]所述壓敏指紋傳感器100的構(gòu)造是在基片20上設(shè)置薄膜層壓體10。本文中，多個矩陣電極22被設(shè)置在所述基片20的薄膜層壓體10上。所述矩陣電極22按預定間距以矩陣形式布置在所述基片20上。例如，所述矩陣電極22為圖中未示出的開關(guān)元件的輸出電極。應注意到，所述薄膜層壓體10的結(jié)構(gòu)如圖1的相同，因此省略了對圖2的詳細結(jié)構(gòu)的討論。
[0044]在所述壓敏指紋傳感器100中，所述薄膜層壓體10被設(shè)置成使得所述導電層8面向所述基片20。所述薄膜層壓體10和所述基片20被布置成相分離，使得所述導電層8和所述矩陣電極22不接觸，在這種情況下，所述薄膜層壓體10未被手指或類似物按壓。
[0045]如圖2所示，當用手指F按壓所述壓敏指紋傳感器100時，所述薄膜層壓體100沿著所述指紋的凸脊和凹谷變形。因此，所述導電層8會有一些區(qū)域與所述矩陣電極22接觸和一些未接觸的區(qū)域，它們對應于所述指紋的凸脊和凹谷。所述導電層8和所述矩陣電極22之間的電壓將隨著接觸程度變化，因此可以通過測量設(shè)有所述矩陣電極的各個區(qū)域的電壓來得到與所述指紋的凸脊和凹谷對應的電壓分布。所述手指F的指紋圖案可以根據(jù)此電壓分布進行識別。
[0046]所述壓敏指紋傳感器100具有上述實施例所述的薄膜層壓體10，因此可以表現(xiàn)出以下卓越的性能。換言之，首先所述薄膜層壓體10為彈性體且包括具有上述特殊彈性的所述彈性層4，因此當用手指F按壓時，所述指紋的凸脊和凹谷不會被過度壓平，且所述薄膜層壓體10能夠形變來與指紋的凸脊和凹谷相配。此外，所述薄膜層壓體10中的基膜6的厚度為6 μ m或以下，因此能充分地變形來跟蹤手指F按壓而產(chǎn)生形變的所述彈性層4，并能準確地將所述指紋的凸脊和凹谷轉(zhuǎn)變成所述導電層8側(cè)面的凸脊和凹谷的形狀。因此，所述薄膜層壓體10的導電層8與所述基片20上的矩陣電極22之間的接觸可以與指紋固有的凸脊和凹谷的高低準確對應，從而可以使用所述壓敏指紋傳感器100高度準確地識別指紋。
[0047]
[0048]下面將更加詳細的描述本發(fā)明的實例，但是本發(fā)明并不限于這些實例。
[0049]制造壓敏指紋傳感器
[0050]首先，制備了指紋傳感器(BLP-100，由BMF公司制造)。設(shè)置在所述指紋傳感器表面上的膜被用下述膜1-8替代，然后制成了各種類型的壓敏指紋傳感器。
[0051]膜1:用于工作實例壓敏指紋傳感器的薄膜層壓體[0052]利用層壓法制造的薄膜層壓體，各層依次為:使用聚苯硫醚(PPS)薄膜(Trelina(注冊商標)、Toray公司的產(chǎn)品)制備的厚度為2 μ m的基膜、以及用濺射法在其表面上形成的厚度在200到500埃之間的金屬膜、丙烯酸PSA形成的厚度為10 μ m的彈性層以及用聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)薄膜制備的厚度為6μπι的覆蓋膜。
[0053]膜2:用于工作實例壓敏指紋傳感器的薄膜層壓體
[0054]利用層壓法制造的薄膜層壓體，各層依次為:使用聚苯硫醚(PPS)薄膜(Trelina(注冊商標)，Toray公司的產(chǎn)品)制備的厚度為2 μ m的基膜、使用濺射法在其表面上形成的厚度在200到500埃之間的金屬膜、丙烯酸PSA形成的厚度為25 μ m的彈性層和用PET薄膜制備的厚度為6 μ m的覆蓋膜。
[0055]膜3:用于工作實例壓敏指紋傳感器的薄膜層壓體
[0056]利用層壓法制造的薄膜層壓體，各層依次為:使用聚苯硫醚(PPS)薄膜(Trelina(注冊商標)，Toray公司的產(chǎn)品)制備的厚度為2 μ m的基膜、以及用濺射法在其表面上形成的厚度在200到500埃之間的金屬膜、丙烯酸PSA形成的厚度為50 μ m的彈性層和用PET薄膜制備的厚度為6 μ m的覆蓋膜。
[0057]膜4:用于工作實例壓敏指紋傳感器的薄膜層壓體
[0058]利用層壓法制造的薄膜層壓體，各層依次為:由厚度為6 μ m的PET薄膜制備的基膜，以及用濺射法在其表面上形成的厚度在200到500埃之間的金屬膜、丙烯酸PSA形成的厚度為10 μ m的彈性層及厚度為6 μ m的PET薄膜的覆蓋膜。
[0059]膜5:用于工作實例壓敏指紋傳感器的薄膜層壓體
[0060]利用層壓法制造的薄膜層壓體，各層依次為:由厚度為6 μ m的PET薄膜制備的基膜，以及用濺射法在其表面上形成的厚度在200到500埃之間的金屬膜、丙烯酸PSA制成的厚度為25 μ m的彈性層和用PET薄膜制備的厚度為6 μ m的覆蓋膜。
[0061]臘6:比較例
[0062]僅含有單層PPS薄膜(Trelina (注冊商標)且厚度為2 μ m的膜。
[0063]臘7:比較例
[0064]僅含有單層PET薄膜且厚度為6μπι的膜。
[0065]臘8:比較例
[0066]僅含有單層PET薄膜且厚度為9μπι的膜。
_7] 指紋識別裝置的制造和評估
[0068]含有上述膜1-8的壓敏指紋傳感器分別連接到控制器ICXBCT-100，BMF公司產(chǎn)品)上而形成各種指紋識別裝置。此外，使用所述指紋識別裝置進行指紋識別。每種指紋識別裝置所識別的指紋的形狀的成像結(jié)果如圖3到圖5所示。圖3Α到圖3C示出了使用根據(jù)本發(fā)明工作實例的膜1-3的壓敏指紋傳感器得到的指紋識別的結(jié)果，圖4Α和圖4Β示出了從使用根據(jù)本發(fā)明工作實例的膜4和5的壓敏指紋傳感器得到的指紋識別結(jié)果，而圖5Α到圖5C示出了從使用根據(jù)比較實例的膜6到8的壓敏指紋傳感器的指紋識別裝置得到的結(jié)果。
[0069]如圖3到圖5所示，當使用根據(jù)本發(fā)明工作實例的膜I到5作為壓敏指紋傳感器的薄膜層壓體時，得到的是清晰的指紋形狀的圖像，比使用塑料膜6到8 (比較實例)得到的指紋形狀更清晰。
【權(quán)利要求】
1.一種用于壓敏指紋傳感器的薄膜層壓體，包括: 基膜，其具有第一和第二表面，以及利用干法成膜工藝在所述第一表面形成的導電層；和 設(shè)置在所述第二表面上的彈性層，所述第二表面是與所述基膜的第一表面相對的側(cè)面；其中: 所述基膜的厚度為6 μ m或更小；和 所述彈性層的厚度不小于所述基層的厚度，且彈性為IO8Pa或更小。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于壓敏指紋傳感器的薄膜層壓體，還包括所述基膜對側(cè)的彈性層表面?zhèn)壬系母采w膜。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的用于壓敏指紋傳感器的薄膜層壓體，還包括壓敏粘合劑。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的用于壓敏指紋傳感器的薄膜層壓體，其中所述基膜中含有聚苯硫醚。
5.一種壓敏指紋傳感器，包括: 具有矩陣電極的基片；和 權(quán)利要求1到4中所述的用于壓敏指紋傳感器的薄膜層壓體，其布置在所述基片上，使得所述矩陣電極和所述導電層相對。
【文檔編號】G06K9/20GK103608824SQ201280026364
【公開日】2014年2月26日 申請日期:2012年5月22日 優(yōu)先權(quán)日:2011年5月30日
【發(fā)明者】川手恒一郎 申請人:3M創(chuàng)新有限公司