多個(gè)可動(dòng)鏡片共用光柵尺的回零裝置及控制方法
【專利摘要】一種用于光刻設(shè)備中的多個(gè)可動(dòng)鏡片共用光柵尺的回零裝置及控制方法，該裝置包括：底座、N個(gè)可動(dòng)鏡片、運(yùn)動(dòng)控制主控模塊、信號(hào)處理模塊、驅(qū)動(dòng)模塊、光柵尺反饋模塊、N個(gè)限位感應(yīng)塊及N個(gè)電機(jī)，其中N為3以上是正整數(shù)。本發(fā)明能實(shí)現(xiàn)多個(gè)可動(dòng)鏡片在各自運(yùn)動(dòng)軌跡范圍內(nèi)運(yùn)動(dòng)；能實(shí)現(xiàn)多個(gè)可動(dòng)鏡片準(zhǔn)確、快速的回零，且在回零過程中不相撞。該發(fā)明既滿足了尺寸結(jié)構(gòu)緊湊、維護(hù)性強(qiáng)的要求，也滿足了高精度的要求，具有通用性。
【專利說明】多個(gè)可動(dòng)鏡片共用光柵尺的回零裝置及控制方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及光刻設(shè)備，特別是1種用于光刻設(shè)備的多個(gè)可動(dòng)鏡片共用光柵尺的回 零裝置及控制方法。

【背景技術(shù)】
[0002] 受到社會(huì)信息化進(jìn)程牽引，集成電路得到了飛速發(fā)展，光學(xué)光刻設(shè)備是推動(dòng)集成 電路發(fā)展的核心驅(qū)動(dòng)力。在光學(xué)光刻設(shè)備中，光源發(fā)出的光經(jīng)由光刻照明系統(tǒng)均勻照射到 掩模上，再通過縮小倍率的物鏡將掩模上的圖形投影成像到硅片表面的光刻膠上，即可實(shí) 現(xiàn)圖形的復(fù)制。
[0003] 照明系統(tǒng)為掩模面提供均勻照明、控制曝光劑量和實(shí)現(xiàn)照明模式，是提高整個(gè)光 刻機(jī)性能至關(guān)重要的組成部分。為使不同的掩模結(jié)構(gòu)在光刻過程中得到更優(yōu)的光刻性能， 需采用不同的照明模式增強(qiáng)光刻分辨力，增大焦深，提高成像對(duì)比度。在照明系統(tǒng)中，照明 模式的設(shè)置是通過改變多個(gè)可動(dòng)鏡片之間的距離來實(shí)現(xiàn)的，而可動(dòng)鏡片的運(yùn)動(dòng)軌跡存在重 疊。因此，如何防止多個(gè)可動(dòng)鏡片在初始回零過程中相撞顯得尤為重要。而現(xiàn)有技術(shù)中未 有多個(gè)可動(dòng)鏡片在回零過程中的防撞技術(shù)，因此，有必要提供1種多個(gè)可動(dòng)鏡片在回零過 程中不相撞的回零裝置和控制方法。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004] 本發(fā)明的目的在于提供1種用于光刻設(shè)備的多個(gè)可動(dòng)鏡片共用光柵尺的回零裝 置及控制方法，所述的回零控制裝置能實(shí)現(xiàn)多個(gè)可動(dòng)鏡片在各自運(yùn)動(dòng)軌跡范圍內(nèi)運(yùn)動(dòng)；所 述的回零控制方法能實(shí)現(xiàn)多個(gè)可動(dòng)鏡片準(zhǔn)確、快速的回零，且在回零過程中不相撞。該發(fā)明 既滿足了尺寸結(jié)構(gòu)緊湊、維護(hù)性強(qiáng)的要求，也滿足了高精度的要求，具有通用性。
[0005] 本發(fā)明的技術(shù)解決方案如下：
[0006] -種用于光刻設(shè)備中的多個(gè)可動(dòng)鏡片共用光柵尺的回零裝置，其特點(diǎn)在于該裝置 包括：底座、N個(gè)可動(dòng)鏡片、運(yùn)動(dòng)控制主控模塊、信號(hào)處理模塊、驅(qū)動(dòng)模塊、光柵尺反饋模塊、 N個(gè)限位感應(yīng)塊及N個(gè)電機(jī)，其中N為3以上是正整數(shù)；
[0007] 所述的底座，包括N根絲桿，用于承放N個(gè)可動(dòng)鏡片、光柵尺反饋模塊及N個(gè)電機(jī)；
[0008] 所述的光柵尺反饋模塊由1個(gè)光柵尺、N個(gè)光柵尺讀數(shù)頭組成，N個(gè)光柵尺讀數(shù)頭 與N個(gè)可動(dòng)鏡片聯(lián)動(dòng)，分別用于N個(gè)可動(dòng)鏡片位移的檢測(cè)，所述的光柵尺的零位位于光柵尺 的中間位置；所述的運(yùn)動(dòng)控制主控模塊經(jīng)所述的信號(hào)處理模塊、驅(qū)動(dòng)模塊與N個(gè)電機(jī)相連， 在所述的運(yùn)動(dòng)控制主控模塊的指令下，所述的驅(qū)動(dòng)模塊驅(qū)動(dòng)相應(yīng)的電機(jī)驅(qū)動(dòng)相應(yīng)的絲桿帶 動(dòng)相應(yīng)的可動(dòng)鏡片運(yùn)動(dòng)，所述的相應(yīng)的光柵尺讀數(shù)頭記錄所述的可動(dòng)鏡片在光柵尺的位置 并輸入所述的信號(hào)處理模塊。
[0009] 利用上述回零裝置回零運(yùn)動(dòng)的控制方法，其特點(diǎn)在于該方法包括如下步驟：
[0010] 1)確定N個(gè)可動(dòng)鏡片的初始位置和相對(duì)零位：
[0011] 所述的N個(gè)可動(dòng)鏡片的初始位置由相應(yīng)的硬件限位感應(yīng)塊的位置確定，所述的N 個(gè)可動(dòng)鏡片的相對(duì)零位由事先設(shè)定的偏離光柵尺的零位的位置，
[0012] 2)運(yùn)動(dòng)控制主控模塊有序地發(fā)出限位信號(hào)，所述的驅(qū)動(dòng)模塊通過第1電機(jī)驅(qū)動(dòng)第 1絲桿帶動(dòng)第1可動(dòng)鏡片，當(dāng)?shù)?可動(dòng)鏡片到達(dá)第1限位感應(yīng)塊位置時(shí)，第1可動(dòng)鏡片到達(dá) 初始位置；通過第2電機(jī)驅(qū)動(dòng)第2絲桿帶動(dòng)第2可動(dòng)鏡片，當(dāng)?shù)?可動(dòng)鏡片到達(dá)第2限位感 應(yīng)塊的位置時(shí)，第2可動(dòng)鏡片到達(dá)初始位置；……，第N電機(jī)驅(qū)動(dòng)第N絲桿帶動(dòng)第N可動(dòng)鏡 片，當(dāng)?shù)贜可動(dòng)鏡片到達(dá)第N限位感應(yīng)塊的位置時(shí)，第N可動(dòng)鏡片到達(dá)初始位置第N可動(dòng)鏡 片到達(dá)初始位置；
[0013] 3)運(yùn)動(dòng)控制主控模塊有序地發(fā)出回零信號(hào)，所述的驅(qū)動(dòng)模塊通過第N電機(jī)驅(qū)動(dòng)第 N絲桿帶動(dòng)第N可動(dòng)鏡片，第N可動(dòng)鏡片尋找光柵尺零位后并到達(dá)第N可動(dòng)鏡片的相對(duì)零 位；……，所述的驅(qū)動(dòng)模塊通過第2電機(jī)驅(qū)動(dòng)第2絲桿帶動(dòng)第2可動(dòng)鏡片，當(dāng)?shù)?可動(dòng)鏡片 到達(dá)第2可動(dòng)鏡片的相對(duì)零位；所述的驅(qū)動(dòng)模塊通過第1電機(jī)驅(qū)動(dòng)第1絲桿帶動(dòng)第1可動(dòng) 鏡片，當(dāng)?shù)?可動(dòng)鏡片到達(dá)第1可動(dòng)鏡片）的相對(duì)零位；
[0014] 4)至此所有多個(gè)可動(dòng)鏡片均到達(dá)各自的零位，各可動(dòng)鏡片的回零運(yùn)動(dòng)結(jié)束。
[0015] 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的技術(shù)效果如下：
[0016] 提供1種用于光刻設(shè)備的多個(gè)可動(dòng)鏡片共用光柵尺回零裝置，多個(gè)可動(dòng)鏡片共用 同1根光柵尺來進(jìn)行可動(dòng)鏡片位置信息的反饋，所述的控制裝置結(jié)構(gòu)緊湊、可維護(hù)性強(qiáng)；
[0017] 利用信號(hào)處理模塊使各個(gè)可動(dòng)鏡片的光柵尺讀數(shù)頭只對(duì)各自對(duì)應(yīng)的硬件限位塊 響應(yīng)，從而能使多個(gè)可動(dòng)鏡片在回零過程中能找到對(duì)應(yīng)的硬件限位位置，有序完成多個(gè)可 動(dòng)鏡片的回零而不發(fā)生相撞；
[0018] 提供1種用于光刻設(shè)備的多個(gè)可動(dòng)鏡片共用光柵尺回零控制方法，利用光柵尺零 位信號(hào)并結(jié)合正負(fù)硬件限位信號(hào)，能使多個(gè)可動(dòng)鏡片在初始位置不確定的情況下，實(shí)現(xiàn)多 個(gè)可動(dòng)鏡片快速、準(zhǔn)確的回零。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0019] 圖1是本發(fā)明多個(gè)可動(dòng)鏡片共用光柵尺回零裝置較佳實(shí)施例中3個(gè)可動(dòng)鏡片共用 光柵尺回零裝置示意圖。
[0020] 圖2是本發(fā)明多個(gè)可動(dòng)鏡片共用光柵尺回零裝置較佳實(shí)施例中信號(hào)處理模塊電 路不意圖。
[0021] 圖3是本發(fā)明多個(gè)可動(dòng)鏡片共用光柵尺回零控制方法較佳實(shí)施例的流程圖。

【具體實(shí)施方式】
[0022] 本發(fā)明多個(gè)可動(dòng)鏡片共光柵尺的回零裝置及控制方法，可用于光刻設(shè)備照明系統(tǒng) 中，該照明系統(tǒng)至少包含3個(gè)可動(dòng)鏡片，且3個(gè)可動(dòng)鏡片的運(yùn)動(dòng)軌跡存在重疊區(qū)域。以下結(jié) 合附圖和具體實(shí)施方案對(duì)本發(fā)明提出的多個(gè)可動(dòng)鏡片共光柵尺的回零裝置及控制方法進(jìn)1 步詳細(xì)說明。
[0023] 參閱圖1所示，是本發(fā)明多個(gè)可動(dòng)鏡片共用光柵尺回零裝置較佳實(shí)施例中多個(gè)可 動(dòng)鏡片共用光柵尺回零裝置示意圖。所述的多個(gè)可動(dòng)鏡片共用光柵尺回零裝置包括底座、3 個(gè)可動(dòng)鏡片、運(yùn)動(dòng)控制主控模塊1、信號(hào)處理模塊2、驅(qū)動(dòng)模塊3、光柵尺反饋模塊、3個(gè)硬件 限位感應(yīng)塊及3個(gè)電機(jī)。
[0024] 所述的底座由3根絲桿組成。所述的3根絲桿包含絲桿第1絲桿41、絲桿第2絲 桿42、絲桿第3絲桿43 ;
[0025] 所述的的3個(gè)可動(dòng)鏡片包含第1可動(dòng)鏡片51、第2可動(dòng)鏡片52以及第3可動(dòng)鏡片 53。其中第1可動(dòng)鏡片51的運(yùn)動(dòng)軌跡范圍位于b?b'區(qū)域，第2可動(dòng)鏡片52的運(yùn)動(dòng)軌跡 范圍位于c?c'區(qū)域，第3可動(dòng)鏡片53的運(yùn)動(dòng)軌跡范圍位于d?d'區(qū)域；可見，第1可動(dòng) 鏡片51與第2可動(dòng)鏡片52在c?b'區(qū)域運(yùn)動(dòng)軌跡存在重疊，第2可動(dòng)鏡片52與第3可 動(dòng)鏡片53在d?c'區(qū)域運(yùn)動(dòng)軌跡存在重疊。為確保第1可動(dòng)鏡片51、52及53在回零過 程中不發(fā)生相撞，第1可動(dòng)鏡片51、52及53執(zhí)行回零指令之前需先回到對(duì)應(yīng)的限位位置。 第1可動(dòng)鏡片51、第2可動(dòng)鏡片52以及第3可動(dòng)鏡片53分別由絲桿第1絲桿41、絲桿第 2絲桿42、絲桿第3絲桿43驅(qū)動(dòng)運(yùn)動(dòng)。
[0026] 所述的的光柵尺反饋模塊由1個(gè)光柵尺61、1個(gè)光柵尺零位63、多個(gè)光柵尺讀數(shù)頭 組成。所述的的光柵尺61位于光柵尺安裝面，量程范圍位于a?a'區(qū)域，且只有1個(gè)零位 63,位于光柵尺61的中間位置；所述的的多個(gè)第1可動(dòng)鏡片51，52, 53分別對(duì)應(yīng)了光柵尺讀 數(shù)頭6201、光柵尺讀數(shù)頭6202以及光柵尺讀數(shù)頭6203,第1可動(dòng)鏡片51，52, 53均利用光 柵尺61的零位63完成回零。
[0027] 所述的的3個(gè)硬件限位感應(yīng)塊由1個(gè)硬件正限位感應(yīng)塊71和兩個(gè)硬件負(fù)限位感 應(yīng)塊72、73組成。為確保第1可動(dòng)鏡片51、52及53在回零過程中不發(fā)生相撞，在第1可動(dòng) 鏡片51，52, 53執(zhí)行回零指令之前，第1可動(dòng)鏡片51需運(yùn)動(dòng)到硬件正限位感應(yīng)塊71處，第2 可動(dòng)鏡片52需運(yùn)動(dòng)到硬件負(fù)限位感應(yīng)塊72處，第3可動(dòng)鏡片53需運(yùn)動(dòng)到硬件負(fù)限位感應(yīng) 塊73處，因此，硬件正限位感應(yīng)塊71安裝在靠近光柵尺61的a端，硬件負(fù)限位感應(yīng)塊73安 裝在靠近光柵尺61的b端，而硬件負(fù)限位感應(yīng)塊72安裝在靠近第2可動(dòng)鏡片52的c端。
[0028] 所述的的3個(gè)電機(jī)由第1電機(jī)81、第2電機(jī)82及第3電機(jī)83組成。第1電機(jī)81、 第2電機(jī)82和第3電機(jī)83分別與第1絲桿41、絲桿第2絲桿42、絲桿第3絲桿43聯(lián)接。 第1電機(jī)81轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)第1絲桿41轉(zhuǎn)動(dòng)，從而驅(qū)動(dòng)第1可動(dòng)鏡片51運(yùn)動(dòng)；第2電機(jī)82轉(zhuǎn)動(dòng) 帶動(dòng)絲桿第2絲桿42轉(zhuǎn)動(dòng)，從而驅(qū)動(dòng)第2可動(dòng)鏡片52運(yùn)動(dòng)；第3電機(jī)83轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)絲桿第 3絲桿43轉(zhuǎn)動(dòng)，從而驅(qū)動(dòng)第3可動(dòng)鏡片53運(yùn)動(dòng)；
[0029] 所述的回零控制裝置是由運(yùn)動(dòng)控制主控模塊1往驅(qū)動(dòng)模塊3發(fā)送指令，驅(qū)動(dòng)模塊 3驅(qū)動(dòng)第1電機(jī)81、第2電機(jī)82和第3電機(jī)83運(yùn)動(dòng)，從而帶動(dòng)第1可動(dòng)鏡片51、52、53。
[0030] 本發(fā)明利用1個(gè)硬件正限位感應(yīng)塊71和兩個(gè)硬件負(fù)限位感應(yīng)塊72、73實(shí)現(xiàn)第1 可動(dòng)鏡片51、52、53有序回零，然而在第1可動(dòng)鏡片51的運(yùn)動(dòng)軌跡范圍內(nèi)存在71和72兩 個(gè)硬件限位感應(yīng)塊，為使第1可動(dòng)鏡片51在運(yùn)動(dòng)到硬件正限位感應(yīng)塊71過程中時(shí)不會(huì)感 應(yīng)到硬件負(fù)限位感應(yīng)塊72,因此，需對(duì)光柵尺讀數(shù)頭6201的負(fù)限位信號(hào)做處理。參閱圖2 所示，圖2是本發(fā)明多個(gè)共光柵尺回零裝置較佳實(shí)施例中信號(hào)處理模塊電路示意圖，包括 光柵尺讀數(shù)頭6201的輸入接口、輸出接口及信號(hào)處理電路。
[0031] 所述的輸入接口是包括光柵尺讀數(shù)頭6201正限位信號(hào)輸入接口 9101及光柵尺讀 數(shù)頭6201負(fù)限位信號(hào)輸入接口 9102 ;
[0032] 所述的輸出接口是包括光柵尺讀數(shù)頭6201正限位信號(hào)輸出接口 9201及光柵尺讀 數(shù)頭6201負(fù)限位信號(hào)輸出接口 9202 ;另外，GND代表地線，VCC是電路的電源輸入端，93代 表上拉電阻；
[0033] 所述的信號(hào)處理電路主要用于對(duì)光柵尺讀數(shù)頭6201的正限位和負(fù)限位信號(hào)進(jìn)行 處理，還用于光柵尺讀數(shù)頭6201與運(yùn)動(dòng)控制主控模塊1之間接口的轉(zhuǎn)換。為起接口轉(zhuǎn)換作 用，對(duì)應(yīng)的輸入輸出引腳相連通，即光柵尺讀數(shù)頭6201正限位信號(hào)輸入接口 9101和光柵尺 讀數(shù)頭6201正限位信號(hào)輸出接口 9201連通，光柵尺讀數(shù)頭6201負(fù)限位信號(hào)輸入接口 9102 和光柵尺讀數(shù)頭6201負(fù)限位信號(hào)輸出接口 9202連通。由圖1可知，第1可動(dòng)鏡片51運(yùn)動(dòng) 軌跡范圍內(nèi)存在71和72兩個(gè)硬件限位感應(yīng)塊，因此，為確保第1可動(dòng)鏡片51在運(yùn)動(dòng)到正限 位感應(yīng)塊71過程中不受硬件負(fù)限位感應(yīng)塊72的影響，需屏蔽光柵尺讀數(shù)頭6201的負(fù)限位 信號(hào)，即需將光柵尺讀數(shù)頭6201負(fù)限位信號(hào)輸入接口 9102和輸出接口 9202與GND相接， 且需將光柵尺讀數(shù)頭6201正限位信號(hào)輸入接口 9101和正限位信號(hào)輸出接口 9201與上拉 電阻93相連。
[0034] 參閱圖3,圖3是本發(fā)明多個(gè)共用光柵尺回零控制方法的流程圖。由圖1可知，第 1可動(dòng)鏡片51、第2可動(dòng)鏡片52及第3可動(dòng)鏡片53的運(yùn)動(dòng)軌跡存在重疊區(qū)域，因此，該回 零控制方法需防止各可動(dòng)鏡片在回零過程中發(fā)生碰撞。請(qǐng)配合參閱圖1、2,本發(fā)明所述的的 回零控制方法包括：
[0035] 1)確定第1可動(dòng)鏡片51的初始位置
[0036] 第1可動(dòng)鏡片51的初始位置為正限位感應(yīng)塊71的位置，因此，在回零之初，第1 可動(dòng)鏡片51需運(yùn)動(dòng)到硬件正限位感應(yīng)塊71位置。硬件正限位感應(yīng)塊71位于光柵尺零位 63與光柵尺的a端區(qū)域，因此，第1可動(dòng)鏡片51需往光柵尺61的a端尋找硬件正限位感應(yīng) 塊71，如參閱圖1所示，在第1可動(dòng)鏡片51的運(yùn)動(dòng)軌跡b?b'區(qū)域內(nèi)存在71、72兩個(gè)硬件 限位感應(yīng)塊，由于第1可動(dòng)鏡片51對(duì)應(yīng)的光柵尺讀數(shù)頭6201的負(fù)限位信號(hào)輸入接口 9102 與GND相連，屏蔽了光柵尺讀數(shù)頭6201的負(fù)限位信號(hào)，因此，第1可動(dòng)鏡片51運(yùn)動(dòng)到硬件 正限位感應(yīng)塊71過程中，不會(huì)停止在硬件負(fù)限位感應(yīng)塊72位置處。當(dāng)運(yùn)動(dòng)控制主控模塊1 接收到光柵尺讀數(shù)頭6201的正限位信號(hào)時(shí)，第1可動(dòng)鏡片51已運(yùn)動(dòng)硬件正限位感應(yīng)塊71 處。
[0037] 2)確定第2可動(dòng)鏡片52的初始位置
[0038] 第2可動(dòng)鏡片52的初始位置為硬件負(fù)限位感應(yīng)塊72,因此，在回零之初，第2可動(dòng) 鏡片52需運(yùn)動(dòng)到硬件負(fù)限位感應(yīng)塊72位置。硬件負(fù)限位感應(yīng)塊72位于光柵尺零位63與 光柵尺a端區(qū)域，因此，第2可動(dòng)鏡片52需往光柵尺61的a端尋找硬件正限位感應(yīng)塊72， 在可動(dòng)鏡片72的運(yùn)動(dòng)軌跡c?c'區(qū)域內(nèi)只存在硬件負(fù)限位感應(yīng)塊72,當(dāng)運(yùn)動(dòng)控制主控模 塊1接收到光柵尺讀數(shù)頭6202的負(fù)限位信號(hào)時(shí)，第2可動(dòng)鏡片52已運(yùn)動(dòng)硬件負(fù)限位感應(yīng) 塊72處。
[0039] 3)確定第3可動(dòng)鏡片53的初始位置
[0040] 第3可動(dòng)鏡片53的初始位置為硬件負(fù)限位感應(yīng)塊73,因此，在回零之初，第3可 動(dòng)鏡片53需運(yùn)動(dòng)到硬件負(fù)限位感應(yīng)塊73位置。硬件負(fù)限位感應(yīng)塊73位于光柵尺零位63 與光柵尺a'端區(qū)域，因此，第3可動(dòng)鏡片53需往光柵尺61的a'端尋找硬件負(fù)限位感應(yīng)塊 73,在可動(dòng)鏡片73的運(yùn)動(dòng)軌跡d?d'區(qū)域內(nèi)只存在硬件負(fù)限位感應(yīng)塊73,當(dāng)運(yùn)動(dòng)控制主控 模塊1接收到光柵尺讀數(shù)頭6203的負(fù)限位信號(hào)時(shí)，第3可動(dòng)鏡片53已運(yùn)動(dòng)硬件負(fù)限位感 應(yīng)塊73處。
[0041] 4)第3可動(dòng)鏡片53回到光柵尺61的零位63,并確定第3可動(dòng)鏡片53的相對(duì)零 位
[0042] 第3可動(dòng)鏡片53的初始位置位于硬件負(fù)限位感應(yīng)塊73處，為使第3可動(dòng)鏡片53 能回到光柵尺61的零位63,需設(shè)置第3可動(dòng)鏡片53往光柵尺61的a端回零。當(dāng)運(yùn)動(dòng)控制 主控模塊1接收到光柵尺讀數(shù)頭6203的零位信號(hào)時(shí)，第3可動(dòng)鏡片53已回到光柵尺61的 零位63處。為不妨礙第1可動(dòng)鏡片51、第2可動(dòng)鏡片52完成回零過程，第3可動(dòng)鏡片53 在回到光柵尺61零位63處后，需停留在偏離于光柵尺61零位63的位置L3處，第3可動(dòng) 鏡片53將位置L3當(dāng)成相對(duì)零位。
[0043] 5)第2可動(dòng)鏡片52回到光柵尺零位，并確定第2可動(dòng)鏡片52的相對(duì)零位
[0044] 第2可動(dòng)鏡片52的初始位置位于硬件負(fù)限位感應(yīng)塊72處，為使第2可動(dòng)鏡片52 能回到光柵尺61的零位63,需設(shè)置第2可動(dòng)鏡片52往光柵尺61的a'端回零。當(dāng)運(yùn)動(dòng)控 制主控模塊1接收到光柵尺讀數(shù)頭6202的零位信號(hào)時(shí)，此時(shí)，第2可動(dòng)鏡片52已回到光柵 尺61的零位63處。為不妨礙第1可動(dòng)鏡片51完成回零過程，第2可動(dòng)鏡片52在回到光 柵尺61零位63處后，需停留在偏離于光柵尺61零位63的位置L2處。為了防止第3可動(dòng) 鏡片53與第2可動(dòng)鏡片52相互碰撞，L3應(yīng)大于L2,第2可動(dòng)鏡片52將位置L2當(dāng)成相對(duì) 零位。
[0045] 6)第1可動(dòng)鏡片51回到光柵尺零位，并確定第1可動(dòng)鏡片51的相對(duì)零位
[0046] 第1可動(dòng)鏡片51的初始位置位于硬件正限位感應(yīng)塊71處，為使第1可動(dòng)鏡片51 能回到光柵尺61的零位63,需設(shè)置第1可動(dòng)鏡片51往光柵尺61的a'端回零。當(dāng)運(yùn)動(dòng)控 制主控模塊1接收到光柵尺讀數(shù)頭6201的零位信號(hào)時(shí)，此時(shí)，第1可動(dòng)鏡片51已回到光柵 尺61的零位63處。第1可動(dòng)鏡片51在回到光柵尺61零位63處后，需停留在偏離于光柵 尺61零位63的位置L1處，第1可動(dòng)鏡片51將位置L1當(dāng)成相對(duì)零位。
[0047] 7)第1可動(dòng)鏡片51、第2可動(dòng)鏡片52、第3可動(dòng)鏡片53回到對(duì)應(yīng)的相對(duì)零點(diǎn)時(shí)， 第1可動(dòng)鏡片51、第2可動(dòng)鏡片52、第3可動(dòng)鏡片53的回零運(yùn)動(dòng)結(jié)束。
【權(quán)利要求】
1. 一種用于光刻設(shè)備中的多個(gè)可動(dòng)鏡片共用光柵尺的回零裝置，其特征在于該裝置包 括：底座、N個(gè)可動(dòng)鏡片、運(yùn)動(dòng)控制主控模塊（1)、信號(hào)處理模塊（2)、驅(qū)動(dòng)模塊（3)、光柵尺反 饋模塊、N個(gè)限位感應(yīng)塊（71、72、73)及N個(gè)電機(jī)（81、82、83)，其中N為3以上是正整數(shù) ； 所述的底座，包括N根絲桿（41、42、43)，用于承放N個(gè)可動(dòng)鏡片（51、52、53)、光柵尺反 饋模塊及N個(gè)電機(jī)（81、82、83); 所述的光柵尺反饋模塊由1個(gè)光柵尺出1)、N個(gè)光柵尺讀數(shù)頭出201、6202、6203)組 成，N個(gè)光柵尺讀數(shù)頭與N個(gè)可動(dòng)鏡片聯(lián)動(dòng)，分別用于N個(gè)可動(dòng)鏡片位移的檢測(cè)，設(shè)定光柵 尺（61)的零位（63)位于光柵尺的中間位置；所述的運(yùn)動(dòng)控制主控模塊（1)經(jīng)所述的信號(hào) 處理模塊（2)、驅(qū)動(dòng)模塊⑶與N個(gè)電機(jī)（81、82、83)相連，在所述的運(yùn)動(dòng)控制主控模塊（1) 的指令下，所述的驅(qū)動(dòng)模塊（3)驅(qū)動(dòng)電機(jī)（81)驅(qū)動(dòng)相應(yīng)的絲桿（41)帶動(dòng)相應(yīng)的可動(dòng)鏡片 (51)運(yùn)動(dòng)，所述的相應(yīng)的光柵尺讀數(shù)頭￠201)記錄所述的可動(dòng)鏡片（51)在光柵尺￠1)的 位置并輸入所述的信號(hào)處理模塊（2)。
2. -種利用上述回零裝置的回零運(yùn)動(dòng)控制方法，其特征在于該方法包括如下步驟： 1) 確定N個(gè)可動(dòng)鏡片（51、52、53)的初始位置（71、72、73)和相對(duì)零位（L1，L2，L3): 所述的N個(gè)可動(dòng)鏡片（51、52、53)的初始位置（71、72、73)由相應(yīng)的硬件限位感應(yīng)塊 (71、72、73)的位置確定，所述的N個(gè)可動(dòng)鏡片（51、52、53)的相對(duì)零位（L1，L2，L3)由事先 設(shè)定的偏離光柵尺（61)的零位（63)的位置， 2) 運(yùn)動(dòng)控制主控模塊有序地發(fā)出限位信號(hào)，所述的驅(qū)動(dòng)模塊通過第1電機(jī)（81)驅(qū)動(dòng)第 1絲桿（41)帶動(dòng)第1可動(dòng)鏡片（51)，當(dāng)?shù)?可動(dòng)鏡片（51)到達(dá)第1限位感應(yīng)塊（71)位置 時(shí)，第1可動(dòng)鏡片（51)到達(dá)初始位置；通過第2電機(jī)（82)驅(qū)動(dòng)第2絲桿（42)帶動(dòng)第2可 動(dòng)鏡片（52)，當(dāng)?shù)?可動(dòng)鏡片（52)到達(dá)第2限位感應(yīng)塊（72)的位置時(shí)，第2可動(dòng)鏡片（51) 到達(dá)初始位置；……，第N電機(jī)（83)驅(qū)動(dòng)第N絲桿（42)帶動(dòng)第N可動(dòng)鏡片（52)，當(dāng)?shù)贜可 動(dòng)鏡片（53)到達(dá)第N限位感應(yīng)塊（73)的位置時(shí)，第N可動(dòng)鏡片（53)到達(dá)初始位置第N可 動(dòng)鏡片（53)到達(dá)初始位置； 3) 運(yùn)動(dòng)控制主控模塊有序地發(fā)出回零信號(hào)，所述的驅(qū)動(dòng)模塊通過第N電機(jī)（83)驅(qū)動(dòng) 第N絲桿（43)帶動(dòng)第N可動(dòng)鏡片（53)，第N可動(dòng)鏡片（53)尋找到光柵尺（61)零位（63) 后并到達(dá)第N可動(dòng)鏡片（53)的相對(duì)零位（L3);……，所述的驅(qū)動(dòng)模塊通過第2電機(jī)（82) 驅(qū)動(dòng)第2絲桿（42)帶動(dòng)第2可動(dòng)鏡片（52)，當(dāng)?shù)?可動(dòng)鏡片（52)到達(dá)第2可動(dòng)鏡片（52) 的相對(duì)零位（L2);所述的驅(qū)動(dòng)模塊通過第1電機(jī)（81)驅(qū)動(dòng)第1絲桿（41)帶動(dòng)第1可動(dòng)鏡 片（51)，當(dāng)?shù)?可動(dòng)鏡片（51)到達(dá)第1可動(dòng)鏡片（51)的相對(duì)零位（L1); 4) 至此所有多個(gè)可動(dòng)鏡片均到達(dá)各自的零位，各可動(dòng)鏡片的回零運(yùn)動(dòng)結(jié)束。
【文檔編號(hào)】G05D3/12GK104111591SQ201410348746
【公開日】2014年10月22日 申請(qǐng)日期:2014年7月22日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月22日
【發(fā)明者】胡小邦, 張友寶, 孫征宇, 楊寶喜, 李璟, 黃惠杰 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所